JPH06247703A - オゾン発生装置 - Google Patents
オゾン発生装置Info
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- JPH06247703A JPH06247703A JP6085193A JP6085193A JPH06247703A JP H06247703 A JPH06247703 A JP H06247703A JP 6085193 A JP6085193 A JP 6085193A JP 6085193 A JP6085193 A JP 6085193A JP H06247703 A JPH06247703 A JP H06247703A
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B13/00—Oxygen; Ozone; Oxides or hydroxides in general
- C01B13/10—Preparation of ozone
- C01B13/11—Preparation of ozone by electric discharge
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B2201/00—Preparation of ozone by electrical discharge
- C01B2201/30—Dielectrics used in the electrical dischargers
- C01B2201/34—Composition of the dielectrics
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- Inorganic Chemistry (AREA)
- Oxygen, Ozone, And Oxides In General (AREA)
Abstract
得る。 【構成】 電極1,1′の放電板2,2間隙Lを保持す
るガスケット4をふっ素樹脂で形成する。かつ、このガ
スケットを放電板2に焼付けたふっ素樹脂塗膜3と熱溶
着させる。
Description
り、特に電極の放電板間隙を保持するガスケットをふっ
素樹脂で形成したオゾン発生装置に関する。
互いに対向する高圧側電極1と低圧側電極1′の両放電
板2,2間隙にO2 等の原料ガスを流し、両電極1,
1′に高電圧を加えて放電板2,2間隙に放電現象を誘
起することにより、原料ガスをオゾンO3 化する仕組み
のものである。したがって、両放電板2,2の間隙を保
持するガスケットには、耐ガスシール性、耐オゾン性、
耐電圧性が要求される。
3や図4に示すものが使用されている。
で形成したガスケット4を、シール材であるOリング8
を介して両放電板2,2に密着させる構造であり、図4
に示すものは、比較的耐オゾン性を有するシリコン樹脂
で形成したガスケット4を、接着剤9で両放電板2,2
に接着する構造である。
来のガスケットは、いずれも比較的低濃度のオゾン発生
装置を対象に開発されたものであったため、例えば半導
体の生産工程等で必要とされる125g/Nm3 以上の
高濃度オゾンの発生装置に使用すると、図4のガスケッ
トの場合では、ゴム製のOリング8が早期にオゾン劣化
をきたし、また、図5のガスケットの場合では、接着剤
9がやはり早期にオゾン劣化をきたすだけでなく、シリ
コン樹脂製のガスケット4自体も早期にオゾン劣化する
といった問題を生じる。このため、上記のような高濃度
のオゾンを長期間、安定的に発生できる装置の開発は困
難なのが実情である。
もので、高濃度オゾン発生下にあっても耐ガスシール
性、耐オゾン性、耐電圧性が全く損なわれない構造のガ
スケットを採用したオゾン発生装置の提供を目的とす
る。
明のオゾン発生装置は、互いに対向する高圧側電極1と
低圧側電極1′の両放電板2,2間隙に原料ガスを流
し、両電極に高電圧を加えてオゾンを発生させる装置に
おいて、高圧側電極と低圧側電極の両放電板2,2間隙
Lを保持するガスケット4をふっ素樹脂で形成し、両放
電板2,2の表面に焼付けたふっ素樹脂塗膜3と、熱溶
着させたことを特徴とする。
体が耐高濃度オゾン性および耐電圧性に優れた性質を有
しており、これらの雰囲気下に晒しても全く変質しな
い。しかも、このガスケット4は、両放電板2,2の表
面に焼付けた同じ性質のふっ素樹脂塗膜3と熱溶着さ
れ、これによってガスシールされる。したがって、シー
ル材に別途Oリング8や接着剤9を使用する従来のもの
のようにシール材からオゾン劣化を生じることがなく、
高濃度オゾン下の耐ガスシール性においても優れた性能
を発揮する。
ン発生装置の一例を模式的に示す平面図とそのA−A断
面図である。
高圧側電極1と低圧側電極1′は、いずれも放熱体を兼
ねるラジェータ構造の板型電極であり、その電極板面に
放電板2が誘電性の接着剤で貼着してある。
たはホーローのコーティングを施したものである。両放
電板2,2のコーティング表面はふっ素樹脂(ポリフル
オロエチレン:通称テフロン)の塗膜3で被覆してあ
る。この塗膜3は、市販の上記ふっ素樹脂塗料(ポリフ
ロンTFE、エナメルEK−1783GB融点330℃
ダイキン製)を200メッシュ程度の網でろ過したもの
を、吹き付け圧力2〜3kgf/cm2 に調整したスプ
レーガンにて膜厚7〜15μm程度に塗布し、乾燥(1
10℃×10分)させた後、焼成(380℃×15〜3
0分)して焼付けたものである。
2,2間の周辺部に配設された枠板状のガスケット4に
より一定に保持されている。このガスケット4は前記塗
膜3と同様のふっ素樹脂(テフロン)よりなる厚さ1m
mのシート材(ネオフロンPFA、融点302〜310
℃ ダイキン製)より形成したもので、その上下両面は
放電板2表面に焼付けられた前記塗膜3と熱溶着させて
ある。ガスケット4と塗膜3との熱溶着は、塗膜3を焼
付けた両放電板2,2を、その塗膜3およびガスケット
4の溶融温度以上に予め加熱しておき、十分加熱された
両放電板2,2間にガスケット4を挟んで、所要時間一
定の重量下に保持することにより行ったものである。
その予熱時間、およびガスケットを挟んだ後に加える重
量とその重量下での保持時間等の条件は、溶着後のガス
ケット4の厚さ、即ち両放電板2,2の間隙L精度を大
きく左右する。したがって、これらの溶着条件は予め十
分に試験を行い、実際の熱溶着に際して、目標の間隙L
値が得られるように管理する必要がある。因に、図示例
の場合は、両放電板2,2の予熱を350℃で10分間
行い、次いで、この両放電板2,2間に前記1mm厚の
ガスケット4を挟んだ後、上部より1kgfの重量(重
し)を加えて1分間保持することにより溶着させたもの
であり、これにより目標どおりの間隙値0.8mmが得ら
れている。
側電極1と低圧側電極1′に高電圧を印加し、ガスケッ
ト4にて保持された高圧側と低圧側の両放電板2,2間
隙Lにガス送給管6より原料酸素ガス(O2 )を流す
と、両放電板2,2間の放電現象によって原料酸素ガス
(O2 )中に高濃度のオゾン(O3 )を発生し、発生し
たオゾンを排出管7より外部へ排出するようになってい
る。
てのみならず、円筒型オゾン発生装置に対しても同様に
実施することができ、同様の効果を得ることができる。
発生装置は、電極の両放電板間隙を保持するガスケット
を耐高濃度オゾン性、耐電圧性に優れたふっ素樹脂で形
成し、かつ、このガスケットを放電板表面に焼付けた同
じふっ素樹脂塗膜と溶着させて耐ガスシール性を確保し
た構造であるから、ガスケットが高濃度オゾンや高電圧
によって変質することはなく、またガスシール性が損な
われることもない。したがって、高濃度オゾンの発生が
要求されるオゾン発生装置として最適である。
(イ)のA−A矢視断面図である。
ある。
図である。
Claims (1)
- 【請求項1】 互いに対向する高圧側電極1と低圧側電
極1′の両放電板2,2間隙に原料ガスを流し、両電極
に高電圧を加えてオゾンを発生させる装置において、高
圧側電極と低圧側電極の両放電板2,2間隙Lを保持す
るガスケット4をふっ素樹脂で形成し、両放電板2,2
の表面に焼付けたふっ素樹脂塗膜3と、熱溶着させたこ
とを特徴とするオゾン発生装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5060851A JP2750651B2 (ja) | 1993-02-24 | 1993-02-24 | オゾン発生装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5060851A JP2750651B2 (ja) | 1993-02-24 | 1993-02-24 | オゾン発生装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH06247703A true JPH06247703A (ja) | 1994-09-06 |
JP2750651B2 JP2750651B2 (ja) | 1998-05-13 |
Family
ID=13154302
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP5060851A Expired - Fee Related JP2750651B2 (ja) | 1993-02-24 | 1993-02-24 | オゾン発生装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2750651B2 (ja) |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0489303A (ja) * | 1990-07-27 | 1992-03-23 | Sumitomo Precision Prod Co Ltd | オゾン発生装置 |
JPH0489304A (ja) * | 1990-07-27 | 1992-03-23 | Sumitomo Precision Prod Co Ltd | オゾン発生装置 |
-
1993
- 1993-02-24 JP JP5060851A patent/JP2750651B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0489303A (ja) * | 1990-07-27 | 1992-03-23 | Sumitomo Precision Prod Co Ltd | オゾン発生装置 |
JPH0489304A (ja) * | 1990-07-27 | 1992-03-23 | Sumitomo Precision Prod Co Ltd | オゾン発生装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2750651B2 (ja) | 1998-05-13 |
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