JP2549594B2 - プレ−ト型オゾン発生装置 - Google Patents
プレ−ト型オゾン発生装置Info
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- JP2549594B2 JP2549594B2 JP4171494A JP17149492A JP2549594B2 JP 2549594 B2 JP2549594 B2 JP 2549594B2 JP 4171494 A JP4171494 A JP 4171494A JP 17149492 A JP17149492 A JP 17149492A JP 2549594 B2 JP2549594 B2 JP 2549594B2
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- ozone
- discharge
- ozone generator
- quartz
- discharge cell
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B13/00—Oxygen; Ozone; Oxides or hydroxides in general
- C01B13/10—Preparation of ozone
- C01B13/11—Preparation of ozone by electric discharge
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B2201/00—Preparation of ozone by electrical discharge
- C01B2201/10—Dischargers used for production of ozone
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B2201/00—Preparation of ozone by electrical discharge
- C01B2201/30—Dielectrics used in the electrical dischargers
- C01B2201/34—Composition of the dielectrics
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Oxygen, Ozone, And Oxides In General (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、高濃度，高純度のオゾ
ンを製造するプレ−ト型オゾン発生装置の改良に係り、
特に、放電空間を形成する放電セルに使用されるガスケ
ットの劣化及び有害ガスであるオゾンの漏洩を防止し、
しかも金属汚染のない高純度のオゾンを発生することの
できるプレ−ト型オゾン発生装置に関するものである。
ンを製造するプレ−ト型オゾン発生装置の改良に係り、
特に、放電空間を形成する放電セルに使用されるガスケ
ットの劣化及び有害ガスであるオゾンの漏洩を防止し、
しかも金属汚染のない高純度のオゾンを発生することの
できるプレ−ト型オゾン発生装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】オゾンは強力な酸化力を持っているの
で、古くから酸化剤として化学工業に用いられているほ
か、各種の水の殺菌、脱臭，脱色等にも広く利用され、
また、近年はファインケミカル用としての用途にも広く
用いられている。
で、古くから酸化剤として化学工業に用いられているほ
か、各種の水の殺菌、脱臭，脱色等にも広く利用され、
また、近年はファインケミカル用としての用途にも広く
用いられている。
【０００３】従来、オゾン発生方法としては、紫外線を
酸素に照射する方法や、水を電気分解する方法などがあ
るが、工業用として多量のオゾンを連続的に発生するに
は、通常、無声放電による方法が多く採用されている。
この方法は、相対向して設けられた一対の電極の間に空
隙を形成すると共に、これら電極の一方又は双方の電極
面に誘電体を取付けた上で、前記両電極の間に交流電圧
を印加し、誘電体を介して両電極間に無声放電が持続し
て発生させ、前記両電極間に空気又は酸素ガスを流通さ
せてオゾンを発生させる方法であり、その工業的なオゾ
ン発生装置としてプレ−ト型オゾン発生装置がある。
酸素に照射する方法や、水を電気分解する方法などがあ
るが、工業用として多量のオゾンを連続的に発生するに
は、通常、無声放電による方法が多く採用されている。
この方法は、相対向して設けられた一対の電極の間に空
隙を形成すると共に、これら電極の一方又は双方の電極
面に誘電体を取付けた上で、前記両電極の間に交流電圧
を印加し、誘電体を介して両電極間に無声放電が持続し
て発生させ、前記両電極間に空気又は酸素ガスを流通さ
せてオゾンを発生させる方法であり、その工業的なオゾ
ン発生装置としてプレ−ト型オゾン発生装置がある。
【０００４】而して、従来のこのプレ−ト型オゾン発生
装置は、第４図及び第５図に示すように、電極平面に誘
電体12を積層した高圧電極10及び接地電極11から成る一
対の放電セルを、絶縁材セパレ−タ13を介して対向配置
し、更にその周囲にシリコン系接着剤を用いて一体化す
ることにより、放電空隙14を形成すると共に、放電セル
の外面に放熱器15を設置して構成され、この放電空隙14
内に、対角線方向に孔16，17を設けて、一方の孔16から
空気又は酸素を導入し、無声放電させてオゾンを発生さ
せ、他方の孔17からオゾンを収集するようにしたもの
で、放電空隙14を形成するために一対の放電セルの対向
面周囲に、通常シリコンガスケット18を設置するが、こ
のガスケットは常時高濃度のオゾンに晒されるため、劣
化が進みやすく、劣化するとシ−ル性能が低下して、オ
ゾン発生装置としての信頼性，安定性に問題を残してい
る。
装置は、第４図及び第５図に示すように、電極平面に誘
電体12を積層した高圧電極10及び接地電極11から成る一
対の放電セルを、絶縁材セパレ−タ13を介して対向配置
し、更にその周囲にシリコン系接着剤を用いて一体化す
ることにより、放電空隙14を形成すると共に、放電セル
の外面に放熱器15を設置して構成され、この放電空隙14
内に、対角線方向に孔16，17を設けて、一方の孔16から
空気又は酸素を導入し、無声放電させてオゾンを発生さ
せ、他方の孔17からオゾンを収集するようにしたもの
で、放電空隙14を形成するために一対の放電セルの対向
面周囲に、通常シリコンガスケット18を設置するが、こ
のガスケットは常時高濃度のオゾンに晒されるため、劣
化が進みやすく、劣化するとシ−ル性能が低下して、オ
ゾン発生装置としての信頼性，安定性に問題を残してい
る。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記のよう
な従来技術の問題点に鑑み、プレ−ト型オゾン発生装置
において、有機化合物等で構成されるガスケット類を使
用することなく、長期間安定して、しかも漏洩のおそれ
がないオゾン生成が可能なオゾン発生装置を提供するこ
とを、課題とするものである。
な従来技術の問題点に鑑み、プレ−ト型オゾン発生装置
において、有機化合物等で構成されるガスケット類を使
用することなく、長期間安定して、しかも漏洩のおそれ
がないオゾン生成が可能なオゾン発生装置を提供するこ
とを、課題とするものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は上記課題を解決
することを目的としてなされたもので、その構成は、純
度99.9％以上の二酸化珪素から成る石英を誘電体として
内部を放電空隙とした筺状の放電セルを形成すると共
に、該放電セルの放電空隙内に石英から成る１以上の支
柱を設け、且つ放電セルに放電空隙内に連通させて原料
ガスの導入部とオゾンの取出部を設けたことを特徴とす
るものである。
することを目的としてなされたもので、その構成は、純
度99.9％以上の二酸化珪素から成る石英を誘電体として
内部を放電空隙とした筺状の放電セルを形成すると共
に、該放電セルの放電空隙内に石英から成る１以上の支
柱を設け、且つ放電セルに放電空隙内に連通させて原料
ガスの導入部とオゾンの取出部を設けたことを特徴とす
るものである。
【０００７】即ち、本発明の発明者は、誘電体として純
度99.9％以上の二酸化珪素から成る石英を用いて、ガス
ケットを用いることなく放電セルを形成すると共に、放
電セルの放電空隙内に石英から成る１以上の補強用の支
柱を設けて放電空隙長を確保するようにし、放電セルの
一方の外側に高圧電極を、他方の外側に接地電極をそれ
ぞれ設け、且つ原料ガスの導入部とオゾンの取出部を放
電空隙に連通させて設けること、及び前記導入部と取出
部を石英管により形成し、該石英管にステンレス管を、
熱膨張係数を合わせて熱応力による破壊を防ぐよう、コ
バ−ルガラス，コバ−ル合金を介して接合融着すること
により、オゾンの漏洩を防止できると共に、金属汚染の
ない高純度のオゾンを発生させることができることを知
得し、本発明を完成したのである。
度99.9％以上の二酸化珪素から成る石英を用いて、ガス
ケットを用いることなく放電セルを形成すると共に、放
電セルの放電空隙内に石英から成る１以上の補強用の支
柱を設けて放電空隙長を確保するようにし、放電セルの
一方の外側に高圧電極を、他方の外側に接地電極をそれ
ぞれ設け、且つ原料ガスの導入部とオゾンの取出部を放
電空隙に連通させて設けること、及び前記導入部と取出
部を石英管により形成し、該石英管にステンレス管を、
熱膨張係数を合わせて熱応力による破壊を防ぐよう、コ
バ−ルガラス，コバ−ル合金を介して接合融着すること
により、オゾンの漏洩を防止できると共に、金属汚染の
ない高純度のオゾンを発生させることができることを知
得し、本発明を完成したのである。
【０００８】
【実施例】次に本発明の実施例を図により説明する。図
１は本発明プレ−ト型オゾン発生装置の正面図、図２は
要部の縦断側面図、図３は原料ガス導入管及びオゾン取
出管の詳細図である。
１は本発明プレ−ト型オゾン発生装置の正面図、図２は
要部の縦断側面図、図３は原料ガス導入管及びオゾン取
出管の詳細図である。
【０００９】図において、１は純度99.9％以上の二酸化
珪素から成る石英を誘電体として内部を放電空隙２とし
た筺状の放電セルで、その対向する外面に高圧電極３，
接地電極４を設けてあり、放電空隙２内に石英から成る
補強用の支柱５を設けて、放電空隙２の空隙長を確保す
るようにしてある。６は放電セル１の接地電極３側に設
けた原料ガス導入管、７は同じくオゾン取出管であり、
これら両管は、放電セル１に対角状に設けてあり、それ
ぞれ、放電セル１に設けた石英管61，71にステンレス管
Ｓを、コバ−ルガラス管CP及びコバ−ル合金CAを介して
接合融着してある。８，９は高圧電極３，接地電極４に
取付けた冷却器であり、以上により本発明の一例のプレ
−ト型オゾン発生装置を構成する。
珪素から成る石英を誘電体として内部を放電空隙２とし
た筺状の放電セルで、その対向する外面に高圧電極３，
接地電極４を設けてあり、放電空隙２内に石英から成る
補強用の支柱５を設けて、放電空隙２の空隙長を確保す
るようにしてある。６は放電セル１の接地電極３側に設
けた原料ガス導入管、７は同じくオゾン取出管であり、
これら両管は、放電セル１に対角状に設けてあり、それ
ぞれ、放電セル１に設けた石英管61，71にステンレス管
Ｓを、コバ−ルガラス管CP及びコバ−ル合金CAを介して
接合融着してある。８，９は高圧電極３，接地電極４に
取付けた冷却器であり、以上により本発明の一例のプレ
−ト型オゾン発生装置を構成する。
【００１０】上記のように構成されるオゾン発生装置
は、電極３，４に電圧を印加し、原料ガス導入管６から
放電空隙２内に空気又は酸素を導入すれば、無声放電に
よりオゾンが発生し、該オゾンはオゾン取出管７から取
り出され、配管により所要個所に送られるのである。
は、電極３，４に電圧を印加し、原料ガス導入管６から
放電空隙２内に空気又は酸素を導入すれば、無声放電に
よりオゾンが発生し、該オゾンはオゾン取出管７から取
り出され、配管により所要個所に送られるのである。
【００１１】而して、本発明オゾン発生装置は、上記の
原料ガス導入管６及びオゾン取出管７を用いずに、従来
の配管材料であるリーク特性の良い耐オゾン性のテフロ
ン継手を用いても、かなりの効果を挙げることができる
が、上記の管を用いた方がその効果は一段と優れる。即
ち、従来の配管材料を用いた場合のリーク特性は、１×
１０−３〜１０−４Ｔｏｒｒ １／ｓｅｃであるのに対
し、上記の原料ガス導入管６及びオゾン取出管７を用い
た場合のそれは、１×１０−５〜１０−６Ｔｏｒｒ １
／ｓｅｃであり、気密性が大幅に改善されることが明ら
かである。
原料ガス導入管６及びオゾン取出管７を用いずに、従来
の配管材料であるリーク特性の良い耐オゾン性のテフロ
ン継手を用いても、かなりの効果を挙げることができる
が、上記の管を用いた方がその効果は一段と優れる。即
ち、従来の配管材料を用いた場合のリーク特性は、１×
１０−３〜１０−４Ｔｏｒｒ １／ｓｅｃであるのに対
し、上記の原料ガス導入管６及びオゾン取出管７を用い
た場合のそれは、１×１０−５〜１０−６Ｔｏｒｒ １
／ｓｅｃであり、気密性が大幅に改善されることが明ら
かである。
【００１２】
【発明の効果】本発明は上述のとおりであって、ガスケ
ットを用いることなく高純度の二酸化珪素からなる石英
を誘電体として放電セルを形成し、その放電空隙内に空
隙長の確保及び補強のための石英からなる１以上の支柱
を設けたから、高濃度で金属汚染のないオゾンを発生さ
せることができ、また、原料ガス導入管及びオゾン取出
管として、放電セルに放電空隙内に連通させて設けた石
英管にステンレス管を、コバ−ルガラス管，コバ−ル合
金を介して接合融着したものを用いれば、気密性は極め
て高くなり、安定して金属汚染のない高濃度のオゾンを
得ることができるので、これを半導体産業におけるオゾ
ンの供給に使用すれば、クリ−ンな環境の確保が可能と
なる。
ットを用いることなく高純度の二酸化珪素からなる石英
を誘電体として放電セルを形成し、その放電空隙内に空
隙長の確保及び補強のための石英からなる１以上の支柱
を設けたから、高濃度で金属汚染のないオゾンを発生さ
せることができ、また、原料ガス導入管及びオゾン取出
管として、放電セルに放電空隙内に連通させて設けた石
英管にステンレス管を、コバ−ルガラス管，コバ−ル合
金を介して接合融着したものを用いれば、気密性は極め
て高くなり、安定して金属汚染のない高濃度のオゾンを
得ることができるので、これを半導体産業におけるオゾ
ンの供給に使用すれば、クリ−ンな環境の確保が可能と
なる。
【図１】本発明プレ−ト型オゾン発生装置の正面図。
【図２】図１の装置の要部の縦断側面図。
【図３】原料ガス導入管及びオゾン取出管の詳細図。
【図４】従来のオゾン発生装置の正面図。
【図５】図４のａ−ａ線断面図。
１ 放電セル ２ 放電空隙 ３ 高圧電極 ４ 接地電極 ５ 石英からなる支柱 ６ 原料ガス導入管 ７ オゾン取出管 71 石英管 CP コバ−ル管 CA コバ−ル合金 Ｓ ステンレス管 ８，９ 冷却器
Claims (2)
- 【請求項１】 純度99.9％以上の二酸化珪素から成る石
英を誘電体として内部を放電空隙とした筺状の放電セル
を形成すると共に、該放電セルの放電空隙内に石英から
成る１以上の支柱を設け、且つ放電セルに放電空隙内に
連通させて原料ガスの導入部とオゾンの取出部を設けた
ことを特徴とするプレ−ト型オゾン発生装置。 - 【請求項２】 原料ガスの導入部及びとオゾンの取出部
を石英管で形成し、該石英管にステンレス管を、コバ−
ルガラス，コバ−ル合金を介して接合融着した請求項１
に記載のプレ−ト型オゾン発生装置。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4171494A JP2549594B2 (ja) | 1992-06-08 | 1992-06-08 | プレ−ト型オゾン発生装置 |
| US08/055,244 US5417936A (en) | 1992-06-08 | 1993-05-03 | Plate-type ozone generator |
| KR1019930010059A KR940000371A (ko) | 1992-06-08 | 1993-06-04 | 플레이트형 오존발생장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4171494A JP2549594B2 (ja) | 1992-06-08 | 1992-06-08 | プレ−ト型オゾン発生装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05339001A JPH05339001A (ja) | 1993-12-21 |
| JP2549594B2 true JP2549594B2 (ja) | 1996-10-30 |
Family
ID=15924144
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4171494A Expired - Lifetime JP2549594B2 (ja) | 1992-06-08 | 1992-06-08 | プレ−ト型オゾン発生装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2549594B2 (ja) |
-
1992
- 1992-06-08 JP JP4171494A patent/JP2549594B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05339001A (ja) | 1993-12-21 |
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