JP2556805B2 - プレ−ト型オゾン発生装置 - Google Patents
プレ−ト型オゾン発生装置Info
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- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B13/00—Oxygen; Ozone; Oxides or hydroxides in general
- C01B13/10—Preparation of ozone
- C01B13/11—Preparation of ozone by electric discharge
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B2201/00—Preparation of ozone by electrical discharge
- C01B2201/10—Dischargers used for production of ozone
- C01B2201/12—Plate-type dischargers
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
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- C01B2201/34—Composition of the dielectrics
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- Organic Chemistry (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Oxygen, Ozone, And Oxides In General (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、高濃度，高純度のオゾ
ンを製造するプレ−ト型オゾン発生装置の改良に係り、
特に、放電空間を形成する放電セルに使用されるガスケ
ットの劣化及び有害ガスであるオゾンの漏洩を防止し、
しかも金属汚染のない高純度のオゾンを発生することの
できるプレ−ト型オゾン発生装置に関するものである。
ンを製造するプレ−ト型オゾン発生装置の改良に係り、
特に、放電空間を形成する放電セルに使用されるガスケ
ットの劣化及び有害ガスであるオゾンの漏洩を防止し、
しかも金属汚染のない高純度のオゾンを発生することの
できるプレ−ト型オゾン発生装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】オゾンは強力な酸化力を持っているの
で、古くから酸化剤として化学工業に用いられているほ
か、各種の水の殺菌、脱臭，脱色等にも広く利用され、
また、近年はファインケミカル用としての用途にも広く
用いられている。
で、古くから酸化剤として化学工業に用いられているほ
か、各種の水の殺菌、脱臭，脱色等にも広く利用され、
また、近年はファインケミカル用としての用途にも広く
用いられている。
【０００３】従来、オゾン発生方法としては、紫外線を
酸素に照射する方法や、水を電気分解する方法などがあ
るが、工業用として多量のオゾンを連続的に発生するに
は、通常、無声放電による方法が多く採用されている。
この方法は、相対向して設けられた−対の電極の間に空
隙を形成すると共に、これら電極の一方又は双方の電極
面に誘電体を取付けた上で、前記両電極の間に交流電圧
を印加し、誘電体を介して両電極間に無声放電を持続し
て発生させ、前記両電極間に空気又は酸素ガスを流通さ
せてオゾンを発生させる方法であり、その工業的なオゾ
ン発生装置としてプレート型オゾン発生装置がある。
酸素に照射する方法や、水を電気分解する方法などがあ
るが、工業用として多量のオゾンを連続的に発生するに
は、通常、無声放電による方法が多く採用されている。
この方法は、相対向して設けられた−対の電極の間に空
隙を形成すると共に、これら電極の一方又は双方の電極
面に誘電体を取付けた上で、前記両電極の間に交流電圧
を印加し、誘電体を介して両電極間に無声放電を持続し
て発生させ、前記両電極間に空気又は酸素ガスを流通さ
せてオゾンを発生させる方法であり、その工業的なオゾ
ン発生装置としてプレート型オゾン発生装置がある。
【０００４】而して、従来のこのプレート型オゾン発生
装置は、第５図及び第６図に示すように、電極平面に誘
電体１３を積層した高圧電極１１及び接地電極１２から
成る一対の放電セルを、絶縁材セパレータ１４を介して
対向配置し、更にその周囲にシリコン系接着剤を用いて
一体化することにより、放電空隙１５を形成すると共
に、放電セルの外面に放熱器１６を設置して構成され、
この放電空隙１５内に、対角線方向に孔１７，１８を設
けて、一方の孔１７から空気又は酸素を導入し、無声放
電させてオゾンを発生させ、他方の孔１８からオゾンを
収集するようにしたもので、放電空隙１５を形成するた
めに一対の放電セルの対向面周囲に、通常シリコンガス
ケット１９を設置するが、このガスケットは常時高濃度
のオゾンに晒されるため、劣化が進みやすく、劣化する
とシール性能が低下して、オゾン発生装置としての信頼
性，安定性に問題を残している。
装置は、第５図及び第６図に示すように、電極平面に誘
電体１３を積層した高圧電極１１及び接地電極１２から
成る一対の放電セルを、絶縁材セパレータ１４を介して
対向配置し、更にその周囲にシリコン系接着剤を用いて
一体化することにより、放電空隙１５を形成すると共
に、放電セルの外面に放熱器１６を設置して構成され、
この放電空隙１５内に、対角線方向に孔１７，１８を設
けて、一方の孔１７から空気又は酸素を導入し、無声放
電させてオゾンを発生させ、他方の孔１８からオゾンを
収集するようにしたもので、放電空隙１５を形成するた
めに一対の放電セルの対向面周囲に、通常シリコンガス
ケット１９を設置するが、このガスケットは常時高濃度
のオゾンに晒されるため、劣化が進みやすく、劣化する
とシール性能が低下して、オゾン発生装置としての信頼
性，安定性に問題を残している。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記のよう
な従来技術の問題点に鑑み、プレ−ト型オゾン発生装置
において、有機化合物等で構成されるガスケット類を使
用せずに、長期間安定して、しかも漏洩のおそれがな
く、高濃度，高純度のオゾン生成が可能なオゾン発生装
置を提供することを、課題とするものである。
な従来技術の問題点に鑑み、プレ−ト型オゾン発生装置
において、有機化合物等で構成されるガスケット類を使
用せずに、長期間安定して、しかも漏洩のおそれがな
く、高濃度，高純度のオゾン生成が可能なオゾン発生装
置を提供することを、課題とするものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は上記課題を解決
することを目的としてなされたもので、その構成は、純
度99.9％以上の二酸化珪素から成る石英を誘電体として
内部を放電空隙とし、両外面に電極を設けて筺状の放電
セルを形成すると共に、該放電セルの放電空隙内に石英
から成る隔壁を設けて原料ガスの流路を形成し、且つ放
電セルに放電空隙内に連通させて原料ガスの導入部とオ
ゾンの取出部を設けたことを特徴とするものである。
することを目的としてなされたもので、その構成は、純
度99.9％以上の二酸化珪素から成る石英を誘電体として
内部を放電空隙とし、両外面に電極を設けて筺状の放電
セルを形成すると共に、該放電セルの放電空隙内に石英
から成る隔壁を設けて原料ガスの流路を形成し、且つ放
電セルに放電空隙内に連通させて原料ガスの導入部とオ
ゾンの取出部を設けたことを特徴とするものである。
【０００７】即ち、本発明の発明者は、誘電体として純
度99.9％以上の二酸化珪素から成る石英を用いて、ガス
ケットを用いることなく放電セルを形成すると共に、放
電セルの放電空隙内に石英から成る隔壁を設けて放電空
隙長を確保するようにし、放電セルの一方の外側に導電
性皮膜を設けて高圧電極を、他方の外側に導電性皮膜を
設けて接地電極をそれぞれ設け、且つ原料ガスの導入部
とオゾンの取出部を放電空隙に連通させて設ければ、前
記課題を解決できること、及び、前記の電極を設けた放
電セルの周辺部全周を電気的絶縁材により包接させたも
のの２基を、間にヒ−トシンクを介在させて対称的に配
し、外側の電極面が冷却器に当接させ、且つ原料ガスの
導入部とオゾンの取出部を放電空隙に連通させて設けれ
ば、前記課題を解決できるばかりでなく、極めて能率的
にオゾンを発生させることができること、更には、前記
導入部と取出部を石英管により形成し、該石英管にステ
ンレス管を、熱膨張係数を合わせて熱応力による破壊を
防ぐよう、コバ−ルガラス，コバ−ル合金を介して接合
融着することにより、オゾンの漏洩を防止できると共
に、金属汚染のない高純度のオゾンを発生させることが
できることを知得し、本発明を完成したのである。
度99.9％以上の二酸化珪素から成る石英を用いて、ガス
ケットを用いることなく放電セルを形成すると共に、放
電セルの放電空隙内に石英から成る隔壁を設けて放電空
隙長を確保するようにし、放電セルの一方の外側に導電
性皮膜を設けて高圧電極を、他方の外側に導電性皮膜を
設けて接地電極をそれぞれ設け、且つ原料ガスの導入部
とオゾンの取出部を放電空隙に連通させて設ければ、前
記課題を解決できること、及び、前記の電極を設けた放
電セルの周辺部全周を電気的絶縁材により包接させたも
のの２基を、間にヒ−トシンクを介在させて対称的に配
し、外側の電極面が冷却器に当接させ、且つ原料ガスの
導入部とオゾンの取出部を放電空隙に連通させて設けれ
ば、前記課題を解決できるばかりでなく、極めて能率的
にオゾンを発生させることができること、更には、前記
導入部と取出部を石英管により形成し、該石英管にステ
ンレス管を、熱膨張係数を合わせて熱応力による破壊を
防ぐよう、コバ−ルガラス，コバ−ル合金を介して接合
融着することにより、オゾンの漏洩を防止できると共
に、金属汚染のない高純度のオゾンを発生させることが
できることを知得し、本発明を完成したのである。
【０００８】
【実施例】次に本発明の実施例を図により説明する。図
１は本発明プレ−ト型オゾン発生装置の要部の縦断側面
図、図２は放電セルを２基用いた本発明プレ−ト型オゾ
ン発生装置の正面図、図３は同じく要部の縦断側面図、
図４は原料ガス導入管及びオゾン取出管の詳細図であ
る。
１は本発明プレ−ト型オゾン発生装置の要部の縦断側面
図、図２は放電セルを２基用いた本発明プレ−ト型オゾ
ン発生装置の正面図、図３は同じく要部の縦断側面図、
図４は原料ガス導入管及びオゾン取出管の詳細図であ
る。
【０００９】図１において、１は純度99.9％以上の二酸
化珪素から成る石英を誘電体として内部を放電空隙２と
した筺状の放電セルで、その対向する外面に導電性皮膜
を設けて高圧電極３，接地電極４を設けてあり、放電空
隙２内に石英から成る隔壁５を設けて流通する原料ガス
の流路を形成してある。６は放電セル１の接地電極３側
に設けた原料ガス導入管、７は同じくオゾン取出管であ
り、これら両管は、それぞれ、図４に示すように、放電
セル１に設けた石英管61，71にステンレス管Ｓを、コバ
−ルガラス管CP及びコバ−ル合金CAを介して接合融着し
てある。８は高圧電極３に当接させた冷却器、９は接地
電極４に当接させたヒ−トシンクであり、以上により本
発明の一例のプレ−ト型オゾン発生装置を構成する。
化珪素から成る石英を誘電体として内部を放電空隙２と
した筺状の放電セルで、その対向する外面に導電性皮膜
を設けて高圧電極３，接地電極４を設けてあり、放電空
隙２内に石英から成る隔壁５を設けて流通する原料ガス
の流路を形成してある。６は放電セル１の接地電極３側
に設けた原料ガス導入管、７は同じくオゾン取出管であ
り、これら両管は、それぞれ、図４に示すように、放電
セル１に設けた石英管61，71にステンレス管Ｓを、コバ
−ルガラス管CP及びコバ−ル合金CAを介して接合融着し
てある。８は高圧電極３に当接させた冷却器、９は接地
電極４に当接させたヒ−トシンクであり、以上により本
発明の一例のプレ−ト型オゾン発生装置を構成する。
【００１０】上記のように構成されるオゾン発生装置
は、電極３，４に電圧を印加し、原料ガス導入管６から
放電空隙２内に空気又は酸素を導入すれば、無声放電に
よりオゾンが発生し、該オゾンはオゾン取出管７から取
り出され、配管により所要個所に送られるのである。
は、電極３，４に電圧を印加し、原料ガス導入管６から
放電空隙２内に空気又は酸素を導入すれば、無声放電に
よりオゾンが発生し、該オゾンはオゾン取出管７から取
り出され、配管により所要個所に送られるのである。
【００１１】而して、本発明オゾン発生装置は、上記の
原料ガス導入管６及びオゾン取出管７を用いずに、従来
の配管材料であるリ−ク特性の良い耐オゾン性のテフロ
ン継手を用いても、かなりの効果を挙げることができる
が、上記の管を用いた方がその効果は一段と優れる。即
ち、従来の配管材料を用いた場合の気体放出速度は、１
×10-5pa・m3/secであるのに対し、上記の原料ガス導入
管６及びオゾン取出管７を用いた場合のそれは、１×10
-8pa・m3/secであり、気密性が大幅に改善されることが
明らかである。
原料ガス導入管６及びオゾン取出管７を用いずに、従来
の配管材料であるリ−ク特性の良い耐オゾン性のテフロ
ン継手を用いても、かなりの効果を挙げることができる
が、上記の管を用いた方がその効果は一段と優れる。即
ち、従来の配管材料を用いた場合の気体放出速度は、１
×10-5pa・m3/secであるのに対し、上記の原料ガス導入
管６及びオゾン取出管７を用いた場合のそれは、１×10
-8pa・m3/secであり、気密性が大幅に改善されることが
明らかである。
【００１２】また、図２，３に示すものは、２基の前記
放電セル１，1'を用い、それらの周辺部全周を、電極端
部からの放電を防止する電気的絶縁材10，10'により包
接させてあり、それらを間にヒ−トシンク９を介在させ
て対称的に配し、接地電極４，4'をヒ−トシンク９に当
接させ、外側に位置する高圧電極３，3'を冷却器８，8'
に当接させたもので、その他は図１のものと同様であ
る。尚、図中、5'，6'，7'は、放電セル1'の隔壁，原料
ガス導入管，オゾン取出管である。
放電セル１，1'を用い、それらの周辺部全周を、電極端
部からの放電を防止する電気的絶縁材10，10'により包
接させてあり、それらを間にヒ−トシンク９を介在させ
て対称的に配し、接地電極４，4'をヒ−トシンク９に当
接させ、外側に位置する高圧電極３，3'を冷却器８，8'
に当接させたもので、その他は図１のものと同様であ
る。尚、図中、5'，6'，7'は、放電セル1'の隔壁，原料
ガス導入管，オゾン取出管である。
【００１３】上記の放電セル１，1'を用いたオゾン発生
装置は、放電セル１のみを用いた装置に比し、およそ２
倍のオゾンを発生させることができるので、大量のオゾ
ンを必要とする半導体産業におけるオゾン供給に使用す
るオゾン発生装置として好適である。
装置は、放電セル１のみを用いた装置に比し、およそ２
倍のオゾンを発生させることができるので、大量のオゾ
ンを必要とする半導体産業におけるオゾン供給に使用す
るオゾン発生装置として好適である。
【００１４】
【発明の効果】本発明は上述のとおりであって、ガスケ
ットを用いることなく高純度の二酸化珪素からなる石英
を誘電体として放電セルを形成し、その放電空隙内に空
隙長の確保及び原料ガスの放電セル内での流れと放電反
応を均一化するための石英から成る隔壁を設けたから、
高濃度で金属汚染のないオゾンを発生させることがで
き、また、原料ガス導入管及びオゾン取出管として、放
電セルに放電空隙内に連通させて設けた石英管にステン
レス管を、コバ−ルガラス管，コバ−ル合金を介して接
合融着したものを用いれば、気密性は極めて高くなり、
安定して金属汚染のない高濃度のオゾンを得ることがで
きるので、これを半導体産業におけるオゾンの供給に使
用すれば、クリ−ンな環境の確保が可能となる。
ットを用いることなく高純度の二酸化珪素からなる石英
を誘電体として放電セルを形成し、その放電空隙内に空
隙長の確保及び原料ガスの放電セル内での流れと放電反
応を均一化するための石英から成る隔壁を設けたから、
高濃度で金属汚染のないオゾンを発生させることがで
き、また、原料ガス導入管及びオゾン取出管として、放
電セルに放電空隙内に連通させて設けた石英管にステン
レス管を、コバ−ルガラス管，コバ−ル合金を介して接
合融着したものを用いれば、気密性は極めて高くなり、
安定して金属汚染のない高濃度のオゾンを得ることがで
きるので、これを半導体産業におけるオゾンの供給に使
用すれば、クリ−ンな環境の確保が可能となる。
【図１】本発明の一例のプレ−ト型オゾン発生装置の要
部の縦断側面図。
部の縦断側面図。
【図２】放電セルを２基用いたプレ−ト型オゾン発生装
置の正面図。
置の正面図。
【図３】図２の装置の要部の縦断側面図。
【図４】原料ガス導入管及びオゾン取出管の詳細図。
【図５】従来のオゾン発生装置の縦断側面図。
【図６】図５のａ−ａ線断面図。
１，1' 放電セル ２，2' 放電空隙 ３，3' 高圧電極 ４，4' 接地電極 ５，5' 石英から成る隔壁 ６，6' 原料ガス導入管 ７，7' オゾン取出管 61，71 石英管 ８，8' 冷却器 ９ ヒ−トシンク 10，10' 電気的絶縁材 CP コバ−ル管 CA コバ−ル合金 Ｓ ステンレス管
Claims (3)
- 【請求項１】 純度99.9％以上の二酸化珪素から成る石
英を誘電体として内部を放電空隙とし、両外面に電極を
設けて筺状の放電セルを形成すると共に、該放電セルの
放電空隙内に石英から成る隔壁を設けて原料ガスの流路
を形成し、且つ放電セルに放電空隙内に連通させて原料
ガスの導入部とオゾンの取出部を設けたことを特徴とす
るプレ−ト型オゾン発生装置。 - 【請求項２】 純度99.9％以上の二酸化珪素から成る石
英を誘電体として内部を放電空隙とした筺状体の前記放
電空隙内に石英から成る隔壁を設けて原料ガスの流路を
形成し、その両外面に導電性皮膜を形成して電極を設け
ると共に、その周辺部全周を電気的絶縁材により包接し
て成る放電セルの２基を、それらの一方の電極面を冷却
器表面に、他方の電極面をヒ−トシンクに、それぞれ当
接させ、且つ各放電セルに放電空隙内に連通させて原料
ガスの導入部とオゾンの取出部を設けたことを特徴とす
るプレ−ト型オゾン発生装置。 - 【請求項３】 原料ガスの導入部及びオゾンの取出部を
石英管で形成し、該石英管にステンレス管を、コバ−ル
ガラス，コバ−ル合金を介して接合融着した請求項１又
は２に記載のプレ−ト型オゾン発生装置。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5039301A JP2556805B2 (ja) | 1993-02-04 | 1993-02-04 | プレ−ト型オゾン発生装置 |
| US08/055,244 US5417936A (en) | 1992-06-08 | 1993-05-03 | Plate-type ozone generator |
| KR1019930010059A KR940000371A (ko) | 1992-06-08 | 1993-06-04 | 플레이트형 오존발생장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5039301A JP2556805B2 (ja) | 1993-02-04 | 1993-02-04 | プレ−ト型オゾン発生装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06227802A JPH06227802A (ja) | 1994-08-16 |
| JP2556805B2 true JP2556805B2 (ja) | 1996-11-27 |
Family
ID=12549306
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5039301A Expired - Lifetime JP2556805B2 (ja) | 1992-06-08 | 1993-02-04 | プレ−ト型オゾン発生装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2556805B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02262982A (ja) * | 1989-03-31 | 1990-10-25 | Fanuc Ltd | ツールセンタポイントの設定方法 |
| JPH0859210A (ja) * | 1994-08-24 | 1996-03-05 | Ebara Corp | オゾン発生装置 |
-
1993
- 1993-02-04 JP JP5039301A patent/JP2556805B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06227802A (ja) | 1994-08-16 |
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