JPH06227802A - プレ−ト型オゾン発生装置 - Google Patents
プレ−ト型オゾン発生装置Info
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- JPH06227802A JPH06227802A JP3930193A JP3930193A JPH06227802A JP H06227802 A JPH06227802 A JP H06227802A JP 3930193 A JP3930193 A JP 3930193A JP 3930193 A JP3930193 A JP 3930193A JP H06227802 A JPH06227802 A JP H06227802A
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- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B13/00—Oxygen; Ozone; Oxides or hydroxides in general
- C01B13/10—Preparation of ozone
- C01B13/11—Preparation of ozone by electric discharge
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- C01B2201/00—Preparation of ozone by electrical discharge
- C01B2201/10—Dischargers used for production of ozone
- C01B2201/12—Plate-type dischargers
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Oxygen, Ozone, And Oxides In General (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 プレ−ト型オゾン発生装置において、有機化
合物等で構成されるガスケット類を使用せずに、長期間
安定して、しかも漏洩のおそれがなく、高濃度,高純度
のオゾン生成が可能なオゾン発生装置を提供する。 【構成】 純度99.9%以上の二酸化珪素から成る石英を
誘電体として内部を放電空隙とした筺状の放電セルを形
成すると共に、該放電セルの放電空隙内に石英から成る
隔壁を設けて原料ガスの流路を形成し、且つ放電セルに
放電空隙内に連通させて原料ガスの導入部とオゾンの取
出部を設け、また、原料ガスの導入部及びオゾンの取出
部を石英管で形成し、該石英管にステンレス管を、コバ
−ルガラス,コバ−ル合金を介して接合融着するように
した。
合物等で構成されるガスケット類を使用せずに、長期間
安定して、しかも漏洩のおそれがなく、高濃度,高純度
のオゾン生成が可能なオゾン発生装置を提供する。 【構成】 純度99.9%以上の二酸化珪素から成る石英を
誘電体として内部を放電空隙とした筺状の放電セルを形
成すると共に、該放電セルの放電空隙内に石英から成る
隔壁を設けて原料ガスの流路を形成し、且つ放電セルに
放電空隙内に連通させて原料ガスの導入部とオゾンの取
出部を設け、また、原料ガスの導入部及びオゾンの取出
部を石英管で形成し、該石英管にステンレス管を、コバ
−ルガラス,コバ−ル合金を介して接合融着するように
した。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、高濃度,高純度のオゾ
ンを製造するプレ−ト型オゾン発生装置の改良に係り、
特に、放電空間を形成する放電セルに使用されるガスケ
ットの劣化及び有害ガスであるオゾンの漏洩を防止し、
しかも金属汚染のない高純度のオゾンを発生することの
できるプレ−ト型オゾン発生装置に関するものである。
ンを製造するプレ−ト型オゾン発生装置の改良に係り、
特に、放電空間を形成する放電セルに使用されるガスケ
ットの劣化及び有害ガスであるオゾンの漏洩を防止し、
しかも金属汚染のない高純度のオゾンを発生することの
できるプレ−ト型オゾン発生装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】オゾンは強力な酸化力を持っているの
で、古くから酸化剤として化学工業に用いられているほ
か、各種の水の殺菌、脱臭,脱色等にも広く利用され、
また、近年はファインケミカル用としての用途にも広く
用いられている。
で、古くから酸化剤として化学工業に用いられているほ
か、各種の水の殺菌、脱臭,脱色等にも広く利用され、
また、近年はファインケミカル用としての用途にも広く
用いられている。
【0003】従来、オゾン発生方法としては、紫外線を
酸素に照射する方法や、水を電気分解する方法などがあ
るが、工業用として多量のオゾンを連続的に発生するに
は、通常、無声放電による方法が多く採用されている。
この方法は、相対向して設けられた一対の電極の間に空
隙を形成すると共に、これら電極の一方又は双方の電極
面に誘電体を取付けた上で、前記両電極の間に交流電圧
を印加し、誘電体を介して両電極間に無声放電が持続し
て発生させ、前記両電極間に空気又は酸素ガスを流通さ
せてオゾンを発生させる方法であり、その工業的なオゾ
ン発生装置としてプレ−ト型オゾン発生装置がある。
酸素に照射する方法や、水を電気分解する方法などがあ
るが、工業用として多量のオゾンを連続的に発生するに
は、通常、無声放電による方法が多く採用されている。
この方法は、相対向して設けられた一対の電極の間に空
隙を形成すると共に、これら電極の一方又は双方の電極
面に誘電体を取付けた上で、前記両電極の間に交流電圧
を印加し、誘電体を介して両電極間に無声放電が持続し
て発生させ、前記両電極間に空気又は酸素ガスを流通さ
せてオゾンを発生させる方法であり、その工業的なオゾ
ン発生装置としてプレ−ト型オゾン発生装置がある。
【0004】而して、従来のこのプレ−ト型オゾン発生
装置は、第4図及び第5図に示すように、電極平面に誘
電体13を積層した高圧電極11及び接地電極12から成る一
対の放電セルを、絶縁材セパレ−タ14を介して対向配置
し、更にその周囲にシリコン系接着剤を用いて一体化す
ることにより、放電空隙15を形成すると共に、放電セル
の外面に放熱器16を設置して構成され、この放電空隙15
内に、対角線方向に孔17,18を設けて、一方の孔17から
空気又は酸素を導入し、無声放電させてオゾンを発生さ
せ、他方の孔18からオゾンを収集するようにしたもの
で、放電空隙15を形成するために一対の放電セルの対向
面周囲に、通常シリコンガスケット19を設置するが、こ
のガスケットは常時高濃度のオゾンに晒されるため、劣
化が進みやすく、劣化するとシ−ル性能が低下して、オ
ゾン発生装置としての信頼性,安定性に問題を残してい
る。
装置は、第4図及び第5図に示すように、電極平面に誘
電体13を積層した高圧電極11及び接地電極12から成る一
対の放電セルを、絶縁材セパレ−タ14を介して対向配置
し、更にその周囲にシリコン系接着剤を用いて一体化す
ることにより、放電空隙15を形成すると共に、放電セル
の外面に放熱器16を設置して構成され、この放電空隙15
内に、対角線方向に孔17,18を設けて、一方の孔17から
空気又は酸素を導入し、無声放電させてオゾンを発生さ
せ、他方の孔18からオゾンを収集するようにしたもの
で、放電空隙15を形成するために一対の放電セルの対向
面周囲に、通常シリコンガスケット19を設置するが、こ
のガスケットは常時高濃度のオゾンに晒されるため、劣
化が進みやすく、劣化するとシ−ル性能が低下して、オ
ゾン発生装置としての信頼性,安定性に問題を残してい
る。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記のよう
な従来技術の問題点に鑑み、プレ−ト型オゾン発生装置
において、有機化合物等で構成されるガスケット類を使
用せずに、長期間安定して、しかも漏洩のおそれがな
く、高濃度,高純度のオゾン生成が可能なオゾン発生装
置を提供することを、課題とするものである。
な従来技術の問題点に鑑み、プレ−ト型オゾン発生装置
において、有機化合物等で構成されるガスケット類を使
用せずに、長期間安定して、しかも漏洩のおそれがな
く、高濃度,高純度のオゾン生成が可能なオゾン発生装
置を提供することを、課題とするものである。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明は上記課題を解決
することを目的としてなされたもので、その構成は、純
度99.9%以上の二酸化珪素から成る石英を誘電体として
内部を放電空隙とし、両外面に電極を設けて筺状の放電
セルを形成すると共に、該放電セルの放電空隙内に石英
から成る隔壁を設けて原料ガスの流路を形成し、且つ放
電セルに放電空隙内に連通させて原料ガスの導入部とオ
ゾンの取出部を設けたことを特徴とするものである。
することを目的としてなされたもので、その構成は、純
度99.9%以上の二酸化珪素から成る石英を誘電体として
内部を放電空隙とし、両外面に電極を設けて筺状の放電
セルを形成すると共に、該放電セルの放電空隙内に石英
から成る隔壁を設けて原料ガスの流路を形成し、且つ放
電セルに放電空隙内に連通させて原料ガスの導入部とオ
ゾンの取出部を設けたことを特徴とするものである。
【0007】即ち、本発明の発明者は、誘電体として純
度99.9%以上の二酸化珪素から成る石英を用いて、ガス
ケットを用いることなく放電セルを形成すると共に、放
電セルの放電空隙内に石英から成る隔壁を設けて放電空
隙長を確保するようにし、放電セルの一方の外側に導電
性皮膜を設けて高圧電極を、他方の外側に導電性皮膜を
設けて接地電極をそれぞれ設け、且つ原料ガスの導入部
とオゾンの取出部を放電空隙に連通させて設ければ、前
記課題を解決できること、及び、前記の電極を設けた放
電セルの周辺部全周を電気的絶縁材により包接させたも
のの2基を、間にヒ−トシンクを介在させて対称的に配
し、外側の電極面が冷却器に当接させ、且つ原料ガスの
導入部とオゾンの取出部を放電空隙に連通させて設けれ
ば、前記課題を解決できるばかりでなく、極めて能率的
にオゾンを発生させることができること、更には、前記
導入部と取出部を石英管により形成し、該石英管にステ
ンレス管を、熱膨張係数を合わせて熱応力による破壊を
防ぐよう、コバ−ルガラス,コバ−ル合金を介して接合
融着することにより、オゾンの漏洩を防止できると共
に、金属汚染のない高純度のオゾンを発生させることが
できることを知得し、本発明を完成したのである。
度99.9%以上の二酸化珪素から成る石英を用いて、ガス
ケットを用いることなく放電セルを形成すると共に、放
電セルの放電空隙内に石英から成る隔壁を設けて放電空
隙長を確保するようにし、放電セルの一方の外側に導電
性皮膜を設けて高圧電極を、他方の外側に導電性皮膜を
設けて接地電極をそれぞれ設け、且つ原料ガスの導入部
とオゾンの取出部を放電空隙に連通させて設ければ、前
記課題を解決できること、及び、前記の電極を設けた放
電セルの周辺部全周を電気的絶縁材により包接させたも
のの2基を、間にヒ−トシンクを介在させて対称的に配
し、外側の電極面が冷却器に当接させ、且つ原料ガスの
導入部とオゾンの取出部を放電空隙に連通させて設けれ
ば、前記課題を解決できるばかりでなく、極めて能率的
にオゾンを発生させることができること、更には、前記
導入部と取出部を石英管により形成し、該石英管にステ
ンレス管を、熱膨張係数を合わせて熱応力による破壊を
防ぐよう、コバ−ルガラス,コバ−ル合金を介して接合
融着することにより、オゾンの漏洩を防止できると共
に、金属汚染のない高純度のオゾンを発生させることが
できることを知得し、本発明を完成したのである。
【0008】
【実施例】次に本発明の実施例を図により説明する。図
1は本発明プレ−ト型オゾン発生装置の要部の縦断側面
図、図2は放電セルを2基用いた本発明プレ−ト型オゾ
ン発生装置の正面図、図3は同じく要部の縦断側面図、
図4は原料ガス導入管及びオゾン取出管の詳細図であ
る。
1は本発明プレ−ト型オゾン発生装置の要部の縦断側面
図、図2は放電セルを2基用いた本発明プレ−ト型オゾ
ン発生装置の正面図、図3は同じく要部の縦断側面図、
図4は原料ガス導入管及びオゾン取出管の詳細図であ
る。
【0009】図1において、1は純度99.9%以上の二酸
化珪素から成る石英を誘電体として内部を放電空隙2と
した筺状の放電セルで、その対向する外面に導電性皮膜
を設けて高圧電極3,接地電極4を設けてあり、放電空
隙2内に石英から成る隔壁5を設けて流通する原料ガス
の流路を形成してある。6は放電セル1の接地電極3側
に設けた原料ガス導入管、7は同じくオゾン取出管であ
り、これら両管は、それぞれ、図4に示すように、放電
セル1に設けた石英管61,71にステンレス管Sを、コバ
−ルガラス管CP及びコバ−ル合金CAを介して接合融着し
てある。8は高圧電極3に当接させた冷却器、9は接地
電極4に当接させたヒ−トシンクであり、以上により本
発明の一例のプレ−ト型オゾン発生装置を構成する。
化珪素から成る石英を誘電体として内部を放電空隙2と
した筺状の放電セルで、その対向する外面に導電性皮膜
を設けて高圧電極3,接地電極4を設けてあり、放電空
隙2内に石英から成る隔壁5を設けて流通する原料ガス
の流路を形成してある。6は放電セル1の接地電極3側
に設けた原料ガス導入管、7は同じくオゾン取出管であ
り、これら両管は、それぞれ、図4に示すように、放電
セル1に設けた石英管61,71にステンレス管Sを、コバ
−ルガラス管CP及びコバ−ル合金CAを介して接合融着し
てある。8は高圧電極3に当接させた冷却器、9は接地
電極4に当接させたヒ−トシンクであり、以上により本
発明の一例のプレ−ト型オゾン発生装置を構成する。
【0010】上記のように構成されるオゾン発生装置
は、電極3,4に電圧を印加し、原料ガス導入管6から
放電空隙2内に空気又は酸素を導入すれば、無声放電に
よりオゾンが発生し、該オゾンはオゾン取出管7から取
り出され、配管により所要個所に送られるのである。
は、電極3,4に電圧を印加し、原料ガス導入管6から
放電空隙2内に空気又は酸素を導入すれば、無声放電に
よりオゾンが発生し、該オゾンはオゾン取出管7から取
り出され、配管により所要個所に送られるのである。
【0011】而して、本発明オゾン発生装置は、上記の
原料ガス導入管6及びオゾン取出管7を用いずに、従来
の配管材料であるリ−ク特性の良い耐オゾン性のテフロ
ン継手を用いても、かなりの効果を挙げることができる
が、上記の管を用いた方がその効果は一段と優れる。即
ち、従来の配管材料を用いた場合の気体放出速度は、1
×10-5pa・m3/secであるのに対し、上記の原料ガス導入
管6及びオゾン取出管7を用いた場合のそれは、1×10
-8pa・m3/secであり、気密性が大幅に改善されることが
明らかである。
原料ガス導入管6及びオゾン取出管7を用いずに、従来
の配管材料であるリ−ク特性の良い耐オゾン性のテフロ
ン継手を用いても、かなりの効果を挙げることができる
が、上記の管を用いた方がその効果は一段と優れる。即
ち、従来の配管材料を用いた場合の気体放出速度は、1
×10-5pa・m3/secであるのに対し、上記の原料ガス導入
管6及びオゾン取出管7を用いた場合のそれは、1×10
-8pa・m3/secであり、気密性が大幅に改善されることが
明らかである。
【0012】また、図2,3に示すものは、2基の前記
放電セル1,1'を用い、それらの周辺部全周を、電極端
部からの放電を防止する電気的絶縁材10,10'により包
接させてあり、それらを間にヒ−トシンク9を介在させ
て対称的に配し、接地電極4,4'をヒ−トシンク9に当
接させ、外側に位置する高圧電極3,3'を冷却器8,8'
に当接させたもので、その他は図1のものと同様であ
る。尚、図中、5',6',7'は、放電セル1'の隔壁,原料
ガス導入管,オゾン取出管である。
放電セル1,1'を用い、それらの周辺部全周を、電極端
部からの放電を防止する電気的絶縁材10,10'により包
接させてあり、それらを間にヒ−トシンク9を介在させ
て対称的に配し、接地電極4,4'をヒ−トシンク9に当
接させ、外側に位置する高圧電極3,3'を冷却器8,8'
に当接させたもので、その他は図1のものと同様であ
る。尚、図中、5',6',7'は、放電セル1'の隔壁,原料
ガス導入管,オゾン取出管である。
【0013】上記の放電セル1,1'を用いたオゾン発生
装置は、放電セル1のみを用いた装置に比し、およそ2
倍のオゾンを発生させることができるので、大量のオゾ
ンを必要とする半導体産業におけるオゾン供給に使用す
るオゾン発生装置として好適である。
装置は、放電セル1のみを用いた装置に比し、およそ2
倍のオゾンを発生させることができるので、大量のオゾ
ンを必要とする半導体産業におけるオゾン供給に使用す
るオゾン発生装置として好適である。
【0014】
【発明の効果】本発明は上述のとおりであって、ガスケ
ットを用いることなく高純度の二酸化珪素からなる石英
を誘電体として放電セルを形成し、その放電空隙内に空
隙長の確保及び原料ガスの放電セル内での流れと放電反
応を均一化するための石英から成る隔壁を設けたから、
高濃度で金属汚染のないオゾンを発生させることがで
き、また、原料ガス導入管及びオゾン取出管として、放
電セルに放電空隙内に連通させて設けた石英管にステン
レス管を、コバ−ルガラス管,コバ−ル合金を介して接
合融着したものを用いれば、気密性は極めて高くなり、
安定して金属汚染のない高濃度のオゾンを得ることがで
きるので、これを半導体産業におけるオゾンの供給に使
用すれば、クリ−ンな環境の確保が可能となる。
ットを用いることなく高純度の二酸化珪素からなる石英
を誘電体として放電セルを形成し、その放電空隙内に空
隙長の確保及び原料ガスの放電セル内での流れと放電反
応を均一化するための石英から成る隔壁を設けたから、
高濃度で金属汚染のないオゾンを発生させることがで
き、また、原料ガス導入管及びオゾン取出管として、放
電セルに放電空隙内に連通させて設けた石英管にステン
レス管を、コバ−ルガラス管,コバ−ル合金を介して接
合融着したものを用いれば、気密性は極めて高くなり、
安定して金属汚染のない高濃度のオゾンを得ることがで
きるので、これを半導体産業におけるオゾンの供給に使
用すれば、クリ−ンな環境の確保が可能となる。
【図1】本発明の一例のプレ−ト型オゾン発生装置の要
部の縦断側面図。
部の縦断側面図。
【図2】放電セルを2基用いたプレ−ト型オゾン発生装
置の正面図。
置の正面図。
【図3】図2の装置の要部の縦断側面図。
【図4】原料ガス導入管及びオゾン取出管の詳細図。
【図5】従来のオゾン発生装置の縦断側面図。
【図6】図5のa−a線断面図。
1,1' 放電セル 2,2' 放電空隙 3,3' 高圧電極 4,4' 接地電極 5,5' 石英から成る隔壁 6,6' 原料ガス導入管 7,7' オゾン取出管 61,71 石英管 8,8' 冷却器 9 ヒ−トシンク 10,10' 電気的絶縁材 CP コバ−ル管 CA コバ−ル合金 S ステンレス管
Claims (3)
- 【請求項1】 純度99.9%以上の二酸化珪素から成る石
英を誘電体として内部を放電空隙とし、両外面に電極を
設けて筺状の放電セルを形成すると共に、該放電セルの
放電空隙内に石英から成る隔壁を設けて原料ガスの流路
を形成し、且つ放電セルに放電空隙内に連通させて原料
ガスの導入部とオゾンの取出部を設けたことを特徴とす
るプレ−ト型オゾン発生装置。 - 【請求項2】 純度99.9%以上の二酸化珪素から成る石
英を誘電体として内部を放電空隙とした筺状体の前記放
電空隙内に石英から成る隔壁を設けて原料ガスの流路を
形成し、その両外面に導電性皮膜を形成して電極を設け
ると共に、その周辺部全周を電気的絶縁材により包接し
て成る放電セルの2基を、それらの一方の電極面を冷却
器表面に、他方の電極面をヒ−トシンクに、それぞれ当
接させ、且つ各放電セルに放電空隙内に連通させて原料
ガスの導入部とオゾンの取出部を設けたことを特徴とす
るプレ−ト型オゾン発生装置。 - 【請求項3】 原料ガスの導入部及びオゾンの取出部を
石英管で形成し、該石英管にステンレス管を、コバ−ル
ガラス,コバ−ル合金を介して接合融着した請求項1又
は2に記載のプレ−ト型オゾン発生装置。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5039301A JP2556805B2 (ja) | 1993-02-04 | 1993-02-04 | プレ−ト型オゾン発生装置 |
US08/055,244 US5417936A (en) | 1992-06-08 | 1993-05-03 | Plate-type ozone generator |
KR1019930010059A KR940000371A (ko) | 1992-06-08 | 1993-06-04 | 플레이트형 오존발생장치 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5039301A JP2556805B2 (ja) | 1993-02-04 | 1993-02-04 | プレ−ト型オゾン発生装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH06227802A true JPH06227802A (ja) | 1994-08-16 |
JP2556805B2 JP2556805B2 (ja) | 1996-11-27 |
Family
ID=12549306
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP5039301A Expired - Lifetime JP2556805B2 (ja) | 1992-06-08 | 1993-02-04 | プレ−ト型オゾン発生装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2556805B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1990011872A1 (en) * | 1989-03-31 | 1990-10-18 | Fanuc Ltd | Method for setting tool center point for robot |
EP0698576A3 (en) * | 1994-08-24 | 1996-05-01 | Ebara Corp | Ozonizer |
-
1993
- 1993-02-04 JP JP5039301A patent/JP2556805B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1990011872A1 (en) * | 1989-03-31 | 1990-10-18 | Fanuc Ltd | Method for setting tool center point for robot |
EP0698576A3 (en) * | 1994-08-24 | 1996-05-01 | Ebara Corp | Ozonizer |
US5794114A (en) * | 1994-08-24 | 1998-08-11 | Ebara Corporation | Ozonizer |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2556805B2 (ja) | 1996-11-27 |
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