CN116514068B - 一种渐变放电间隙深度的高浓度分体板式臭氧发生器 - Google Patents

Abstract

本公开是关于一种渐变放电间隙深度的高浓度分体板式臭氧发生器。其中，该渐变放电间隙深度的高浓度分体板式臭氧发生器包括：高压组件、低压组件、氧气臭氧管路、冷却管路、地级组件，其中：所述地级组件包括地级下组件、地级上组件，所述高压组件、低压组件在地级下组件、地级上组件连接后，内部形成密闭放电室；所述地级下组件内包括用于为高压组件冷却的预设的高压侧冷却管路；所述地级上组件内包括用于为低压组件冷却的预设的低压侧冷却管路；放电间隙深度由外向内递减。本公开通过渐渐变放电间隙深度实现了放电间隙内放电效率的提升，进而提高了臭氧转化效率。

Description

一种渐变放电间隙深度的高浓度分体板式臭氧发生器

技术领域

本公开涉及臭氧制备装置领域，具体而言，涉及一种渐变放电间隙深度的高浓度分体板式臭氧发生器。

背景技术

臭氧是绿色环保的强氧化剂，臭氧用于水质消毒、化工氧化、污水处理、废气处理、空气灭菌和高级氧化等工艺应用。同时臭氧在光伏ALD镀膜、硅片清洗、面板清洗、半导体制造中同样有很大的应用。

现有技术的臭氧发生器氧气从圆形的放电间隙的四周进入放电间隙生成臭氧后由圆心的臭氧输出孔输出时，由于现有技术的臭氧发生器的放电间隙为深度均匀的等高设计，使得圆心处的气体流动速度远大于圆形的放电间隙的四周的气体流动速度，导致放电间隙的圆心处臭氧反应效率过低，进而导致臭氧发生器整体的臭氧转化率降低。

因此，需要一种或多种方法解决上述问题。

需要说明的是，在上述背景技术部分公开的信息仅用于加强对本公开的背景的理解，因此可以包括不构成对本领域普通技术人员已知的现有技术的信息。

发明内容

本公开的目的在于提供一种渐变放电间隙深度的高浓度分体板式臭氧发生器，进而至少在一定程度上克服由于相关技术的限制和缺陷而导致的一个或者多个问题。

根据本公开的一个方面，提供一种渐变放电间隙深度的高浓度分体板式臭氧发生器，包括高压组件、低压组件、氧气臭氧管路、冷却管路、地级组件，其中：

所述地级组件包括第一地级下组件、第二地级下组件、第一地级上组件、第二地级上组件，所述第二地级下组件的内侧与所述高压组件固定连接，所述第二地级上组件的内侧与所述低压组件固定连接，所述第一地级下组件、第二地级下组件、第一地级上组件、第二地级上组件通过紧固装置贯穿连接，内部形成密闭放电室，所述密闭放电室用于使氧气基于所述高压组件、低压组件放电作用生成臭氧；

所述第二地级下组件的外侧与所述第一地级下组件的内侧均预设有通路凹槽，在所述第二地级下组件的外侧与所述第一地级下组件的内侧固定连接，所述第二地级下组件的外侧与所述第一地级下组件的内侧的预设通路凹槽对接生成高压侧冷却管路，所述高压侧冷却管路用于冷却液通过所述第二地级下组件导热以实现对所述高压组件的冷却；

所述第二地级上组件的外侧与所述第一地级上组件的内侧均预设有通路凹槽，在所述第二地级上组件的外侧与所述第一地级上组件的内侧固定连接，所述第二地级上组件的外侧与所述第一地级上组件的内侧的预设通路凹槽对接生成低压侧冷却管路，所述低压侧冷却管路用于冷却液通过所述第二地级上组件导热以实现对所述低压组件的冷却。

在本公开的一种示例性实施例中，所述臭氧发生器的高压组件还包括第一高压导电元件、第二高压导电元件、高压电缆，其中：

所述第一高压导电元件的一侧与阻挡介质陶瓷板连接，所述第一高压导电元件的另一侧通过第一导电导热粘合剂与所述第二高压导电元件的一侧连接；

所述第二高压导电元件的另一侧与高压隔离绝缘件的一侧连接；

所述高压隔离绝缘件的另一侧通过第二导电导热粘合剂与所述第二地级下组件连接；

所述高压电缆穿过所述高压隔离绝缘件、第二导电导热粘合剂与所述第二高压导电元件连接，所述高压电缆用于为所述高压组件供电。

所述第一导热粘合剂与所述第一导电导热粘合剂的外缘包裹连接，所述第二导热粘合剂与所述第二导电导热粘合剂的外缘包裹连接。

在本公开的一种示例性实施例中，所述臭氧发生器的低压组件还包括低压导电元件，所述低压导电元件通过所述第三导电导热粘合剂与所述第二地级上组件连接；所述第三导热粘合剂与所述第三导电导热粘合剂的外缘包裹连接。

在本公开的一种示例性实施例中，所述臭氧发生器还包括间隙垫片；

所述间隙垫片呈预设角度置于所述阻挡介质陶瓷板、低压导电元件之间，用于使在所述密闭放电室内的所述高压组件、低压组件间生成预设距离的放电间隙。

在本公开的一种示例性实施例中，所述臭氧发生器的氧气臭氧管路还包括氧气输入通道、臭氧出口通道，其中：

所述氧气输入通道预设于所述第二地级下组件内，与预设于所述第二地级下组件内的氧气支管连接，所述氧气输入通道、氧气支管用于将氧气输入至所述密闭放电室内，所述氧气支管与限流器连接，所述限流器用于调节进入所述密闭放电室内的氧气的流量；

所述臭氧出口通道预设于所述第二地级上组件内，与预设于所述第二地级上组件内的臭氧支管连接，所述臭氧出口通道、臭氧支管用于将在密闭放电室内生成的臭氧输出。

在本公开的一种示例性实施例中，所述臭氧发生器还包括：

所述低压导电元件还包括第一低压侧孔，所述第三导电导热粘合剂还包括第二低压侧孔，所述第一低压侧孔、第二低压侧孔用于使在密闭放电室内生成的臭氧通过所述第一低压侧孔、第二低压侧孔输出至所述臭氧支管。

在本公开的一种示例性实施例中，所述臭氧发生器还包括：

所述第一地级下组件还包括第一高压电缆孔、第二地级下组件还包括第二高压电缆孔，所述第一高压电缆孔、第二高压电缆孔用于使所述高压电缆穿过所述第一地级下组件、第二地级下组件与所述第二高压导电元件连接。

在本公开的一种示例性实施例中，所述臭氧发生器的冷却管路还包括高压侧进水口、高压侧出水口，所述高压侧进水口、高压侧出水口为在所述第二地级下组件、第一地级下组件对接时，分别由预设在所述第二地级下组件的外侧与所述第一地级下组件的内侧的管路凹槽对接形成，所述高压侧进水口、高压侧出水口用于将冷却液输入、输出于高压侧冷却管路，以对所述高压组件的冷却。

在本公开的一种示例性实施例中，所述臭氧发生器的冷却管路还包括低压侧进水口、低压侧出水口，所述低压侧进水口、低压侧出水口为在所述第二地级上组件、第一地级上组件对接时，分别由预设在所述第二地级上组件的外侧与所述第一地级上组件的内侧的管路凹槽对接形成，所述低压侧进水口、低压侧出水口用于将冷却液输入、输出于低压侧冷却管路，以对所述低压组件的冷却。

在本公开的一种示例性实施例中，所述第一地级下组件、第二地级下组件、第一地级上组件、第二地级上组件基于所述中心螺栓、紧固螺栓连接，该连接的连接处、穿孔处均预设有O型密封圈安装槽，用于安装O型密封圈，所述O型密封圈用于使所述第一地级下组件、第二地级下组件、第一地级上组件、第二地级上组件密封连接。

本公开的示例性实施例中的一种渐变放电间隙深度的高浓度分体板式臭氧发生器，其中，该渐变放电间隙深度的高浓度分体板式臭氧发生器包括高压组件、低压组件、氧气臭氧管路、冷却管路、地级组件，其中：所述地级组件包括地级下组件、地级上组件，所述高压组件、低压组件在地级下组件、地级上组件连接后，内部形成密闭放电室；所述地级下组件内包括用于为高压组件冷却的预设的高压侧冷却管路；所述地级上组件内包括用于为低压组件冷却的预设的低压侧冷却管路。本公开通过地级下组件、地级上组件的组装连接，实现了包含密闭放电室、冷却管路的臭氧发生器，能够快速高效的生成高浓度臭氧气体。

应当理解的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性和解释性的，并不能限制本公开。

附图说明

通过参照附图来详细描述其示例实施例，本公开的上述和其它特征及优点将变得更加明显。

图1示出了根据本公开一示例性实施例的一种渐变放电间隙深度的高浓度分体板式臭氧发生器的纵向剖面图。

图2示出了根据本公开一示例性实施例的一种渐变放电间隙深度的高浓度分体板式臭氧发生器的整体效果图。

图3A-3B示出了根据本公开一示例性实施例的一种渐变放电间隙深度的高浓度分体板式臭氧发生器的纵向剖面分解图。

图4A-4C示出了根据本公开一示例性实施例的一种渐变放电间隙深度的高浓度分体板式臭氧发生器的渐变放电间隙深度示意图。

图5示出了根据本公开一示例性实施例的一种渐变放电间隙深度的高浓度分体板式臭氧发生器的下壳俯视及剖面关系图。

图6示出了根据本公开一示例性实施例的一种渐变放电间隙深度的高浓度分体板式臭氧发生器的上壳俯视及剖面关系图。

附图标号：高压组件10、阻挡介质陶瓷板11、第一高压导电元件12、第一导热粘合剂13、第一导电导热粘合剂14、第二高压导电元件15、高压隔离绝缘件16、第二导电导热粘合剂17、第二导热粘合剂18、高压电缆19、低压组件20、第三导热粘合剂21、第三导电导热粘合剂22、低压导电元件23、氧气臭氧管路30、氧气输入通道31、氧气支管32、限流器33、臭氧出口通道34、臭氧支管35、冷却管路40、高压侧进水口41、高压侧冷却管路42、高压侧出水口43、低压侧进水口44、低压侧冷却管路45、低压侧出水口46、孔50、第一高压电缆孔51、第二高压电缆孔52、第一低压侧孔53、第二低压侧孔54、地级组件60、第一地级下组件61、第二地级下组件62、第一地级上组件63、第二地级上组件64、间隙垫片70、O型密封圈80。

具体实施方式

现在将参考附图更全面地描述示例实施例。然而，示例实施例能够以多种形式实施，且不应被理解为限于在此阐述的实施例；相反，提供这些实施例使得本公开将全面和完整，并将示例实施例的构思全面地传达给本领域的技术人员。在图中相同的附图标记表示相同或类似的部分，因而将省略对它们的重复描述。

此外，所描述的特征、结构或特性可以以任何合适的方式结合在一个或更多实施例中。在下面的描述中，提供许多具体细节从而给出对本公开的实施例的充分理解。然而，本领域技术人员将意识到，可以实践本公开的技术方案而没有所述特定细节中的一个或更多，或者可以采用其它的方法、组元、材料、装置、步骤等。在其它情况下，不详细示出或描述公知结构、方法、装置、实现、材料或者操作以避免模糊本公开的各方面。

附图中所示的方框图仅仅是功能实体，不一定必须与物理上独立的实体相对应。即，可以采用软件形式来实现这些功能实体，或在一个或多个软件硬化的模块中实现这些功能实体或功能实体的一部分，或在不同网络和/或处理器装置和/或微控制器装置中实现这些功能实体。

在本示例实施例中，提供了一种渐变放电间隙深度的高浓度分体板式臭氧发生器；参考图1中所示，该一种渐变放电间隙深度的高浓度分体板式臭氧发生器包括高压组件10、低压组件20、氧气臭氧管路30、冷却管路40、地级组件60，其中：

地级组件60包括第一地级下组件61、第二地级下组件62、第一地级上组件63、第二地级上组件64，第二地级下组件62的内侧与高压组件10固定连接，第二地级上组件64的内侧与低压组件20固定连接，第一地级下组件61、第二地级下组件62、第一地级上组件63、第二地级上组件64通过紧固螺栓贯穿连接后，内部形成密闭放电室，密闭放电室用于使氧气基于高压组件10、低压组件20放电作用生成臭氧；

第二地级下组件62的外侧与第一地级下组件61的内侧均预设有通路凹槽，在第二地级下组件62的外侧与第一地级下组件61的内侧固定连接，例如可以通过中心螺栓固定连接，第二地级下组件62的外侧与第一地级下组件61的内侧的预设通路凹槽对接生成高压侧冷却管路42，高压侧冷却管路42用于基于冷却液通过第二地级下组件62导热以实现对高压组件10的冷却；

第二地级上组件64的外侧与第一地级上组件63的内侧均预设有通路凹槽，在第二地级上组件64的外侧与第一地级上组件63的内侧通过中心螺栓固定连接后，第二地级上组件64的外侧与第一地级上组件63的内侧的预设通路凹槽对接生成低压侧冷却管路45，低压侧冷却管路45用于基于冷却液通过第二地级上组件64导热以实现对低压组件20的冷却。

本公开的示例性实施例中的一种渐变放电间隙深度的高浓度分体板式臭氧发生器，其中，该渐变放电间隙深度的高浓度分体板式臭氧发生器包括：高压组件、低压组件、氧气臭氧管路、冷却管路、地级组件，其中：地级组件包括地级下组件、地级上组件，高压组件、低压组件在地级下组件、地级上组件连接后，内部形成密闭放电室；地级下组件内包括用于为高压组件冷却的预设的高压侧冷却管路；地级上组件内包括用于为低压组件冷却的预设的低压侧冷却管路。本公开通过地级下组件、地级上组件的组装连接，实现了包含密闭放电室、冷却管路的臭氧发生器，能够快速高效的生成高浓度臭氧气体。

如图2所示，为臭氧发生器的整体效果图，下面，将对本示例实施例中的一种渐变放电间隙深度的高浓度分体板式臭氧发生器进行进一步的说明。

臭氧发生器包括高压组件10、低压组件20、氧气臭氧管路30、冷却管路40、地级组件60，其中：

地级组件60包括第一地级下组件61、第二地级下组件62、第一地级上组件63、第二地级上组件64，第二地级下组件62的内侧与高压组件10固定连接，第二地级上组件64的内侧与低压组件20固定连接，第一地级下组件61、第二地级下组件62、第一地级上组件63、第二地级上组件64通过紧固螺栓贯穿连接后，内部形成密闭放电室，密闭放电室用于使氧气基于高压组件10、低压组件20放电作用生成臭氧；

第二地级下组件62的外侧与第一地级下组件61的内侧均预设有通路凹槽，在第二地级下组件62的外侧与第一地级下组件61的内侧固定连接，例如可以通过中心螺栓固定连接，第二地级下组件62的外侧与第一地级下组件61的内侧的预设通路凹槽对接生成高压侧冷却管路42，高压侧冷却管路42用于基于冷却液通过第二地级下组件62导热以实现对高压组件10的冷却；

第二地级上组件64的外侧与第一地级上组件63的内侧均预设有通路凹槽，在第二地级上组件64的外侧与第一地级上组件63的内侧通过中心螺栓固定连接后，第二地级上组件64的外侧与第一地级上组件63的内侧的预设通路凹槽对接生成低压侧冷却管路45，低压侧冷却管路45用于基于冷却液通过第二地级上组件64导热以实现对低压组件20的冷却。

如图3A所示，臭氧发生器的高压组件10还包括第一高压导电元件12、第二高压导电元件15、高压电缆19，其中：

第一高压导电元件12的一侧与阻挡介质陶瓷板11连接，第一高压导电元件12的另一侧通过第一导电导热粘合剂14与第二高压导电元件15的一侧连接；

第二高压导电元件15的另一侧与高压隔离绝缘件16的一侧连接；

高压隔离绝缘件16的另一侧通过第二导电导热粘合剂17与第二地级下组件62连接；

高压电缆19穿过高压隔离绝缘件16、第二导电导热粘合剂17与第二高压导电元件15连接，高压电缆19用于为高压组件10供电。

第一导热粘合剂13与第一导电导热粘合剂14的外缘包裹连接，第二导热粘合剂18与第二导电导热粘合剂17的外缘包裹连接，第一导热粘合剂13、第二导热粘合剂18分别用于防止高压组件10在臭氧环境下氧化。

在本示例的实施例中，臭氧发生器的低压组件20还包括低压导电元件23：

低压导电元件23通过第三导电导热粘合剂22与第二地级上组件64连接；

第三导热粘合剂21与第三导电导热粘合剂22的外缘包裹连接，第三导热粘合剂21用于防止低压组件20在臭氧环境下氧化。

在本示例的实施例中，由于在密闭放电室内生成的臭氧的氧化还原特性，易与密闭放电室内的高压组件10、低压组件20发生反应进而导致高压组件10、低压组件20老化失效，所以，通过第一导热粘合剂13、第二导热粘合剂18、第三导热粘合剂21将高压组件10、低压组件20的外边缘包围以减少高压组件10、低压组件20与臭氧接触，进而减少了高压组件10、低压组件20的老化。

在本示例的实施例中，臭氧发生器还包括间隙垫片70，间隙垫片70呈预设角度置于阻挡介质陶瓷板11、低压导电元件23之间，用于使在密闭放电室内的高压组件10、低压组件20间生成预设距离的放电间隙。该预设角度可以是120°。

所述高压组件还包括阻挡介质陶瓷板11，所述低压组件20还包括低压导电元件23，所述低压导电元件23的放电间隙侧为锥形结构，所述阻挡介质陶瓷板11、低压导电元件23、间隙垫片70生成的放电间隙的圆形外圈间隙至圆心方向深度递减，这样的设计可以让气体越流向靠近放电间隙的中央时，虽然气体流速加快了，但是同时放电间隙的深度也减小了，由于放电间隙的深度减小可以有效提高臭氧转化率，所以所述渐变放电间隙深度的技术方案，可以有效的保障臭氧转化率，与现有技术相比，实现了臭氧转化率的提高。

具体的，如图3B所示，氧气从限流器33进入密闭放电室后，沿着箭头方向进入放电间隙，在进入放电间隙后，由于通过所述阻挡介质陶瓷板11、低压导电元件23、间隙垫片70生成的放电间隙的圆形外圈间隙至圆心方向深度递减，而使得高压电极10与低压电极20间的放电效果提升，进而实现了臭氧转化率的提升。气体到达所述低压导电元件23的圆心处时，此时生成的臭氧由第一低压侧孔53流出。

如图4A所示，为由阻挡介质陶瓷板11、低压导电元件23、间隙垫片70生成的放电间隙示意图，图4A中A框部分的局部放大图如图4B所示，图4B中低压导电元件23的圆心处的C点放电间隙的深度为0.05～0.08 mm，图4A中B框部分去除间隙垫片70的局部放大图如图4C所示，图4C中阻挡介质陶瓷板11与低压导电元件23的放电间隙D点的深度为0.1～0.13mm。

在本示例的实施例中，臭氧发生器的氧气臭氧管路30还包括氧气输入通道31、臭氧出口通道34；

氧气输入通道31预设于第二地级下组件62内，与预设于第二地级下组件62内的氧气支管32连接，氧气输入通道31、氧气支管32用于将氧气输入至密闭放电室内，氧气支管32与限流器33连接，限流器33用于调节进入密闭放电室内的氧气的流量；

臭氧出口通道34预设于第二地级上组件64内，与预设于第二地级上组件64内的臭氧支管35连接，臭氧出口通道34、臭氧支管35用于将在密闭放电室内生成的臭氧输出。

在本示例的实施例中，臭氧发生器还包括：

低压导电元件23还包括第一低压侧孔53，第三导电导热粘合剂22还包括第二低压侧孔54，第一低压侧孔53、第二低压侧孔54用于使在密闭放电室内生成的臭氧通过第一低压侧孔53、第二低压侧孔54输出至臭氧支管35。

在本示例的实施例中，臭氧发生器还包括：

第一地级下组件61还包括第一高压电缆孔51、第二地级下组件62还包括第二高压电缆孔52，第一高压电缆孔51、第二高压电缆孔52用于使高压电缆19穿过第一地级下组件61、第二地级下组件62与第二高压导电元件15连接。

在本示例的实施例中，如图5所示，臭氧发生器的冷却管路40还包括高压侧进水口41、高压侧出水口43，高压侧进水口41、高压侧出水口43为在第二地级下组件62、第一地级下组件61对接时，分别由预设在第二地级下组件62的外侧与第一地级下组件61的内侧的管路凹槽对接形成，高压侧进水口41、高压侧出水口43用于将冷却液输入、输出于高压侧冷却管路42，以实现对高压组件10的冷却。

在本示例的实施例中，如图6所示，臭氧发生器的冷却管路40还包括低压侧进水口44、低压侧出水口46，低压侧进水口44、低压侧出水口46为在第二地级上组件64、第一地级上组件63对接时，分别由预设在第二地级上组件64的外侧与第一地级上组件63的内侧的管路凹槽对接形成，低压侧进水口44、低压侧出水口46用于将冷却液输入、输出于低压侧冷却管路45，以实现对低压组件20的冷却。

在本示例的实施例中，高压侧冷却管路42、低压侧冷却管路45为多曲折性一线排布，可以既能保障冷却液畅通流过，又能实现最大化的冷却效果。

在本示例的实施例中，第一地级下组件61、第二地级下组件62、第一地级上组件63、第二地级上组件64基于中心螺栓、紧固螺栓连接的连接处、穿孔处均预设有O型密封圈80安装槽，用于安装O型密封圈80，O型密封圈80用于使第一地级下组件61、第二地级下组件62、第一地级上组件63、第二地级上组件64密封连接。

在本示例的实施例中，如图3A所示，第一地级下组件61与第二地级下组件62的连接处、第一地级上组件63与第二地级上组件64的连接处、第二地级下组件62与第二地级上组件64的连接处、中心螺栓的连接处、紧固螺栓的连接处、高压电缆在第一地级下组件61与第二地级下组件62的穿孔连接处，均预设有O型密封圈安装槽并安装有O型密封圈，实现了第一地级下组件61、第二地级下组件62、第一地级上组件63、第二地级上组件64内的密闭放电室对外的完全密封连接。

在本示例的实施例中，臭氧发生器的供电方式为，将工频交流电源通过逆变器转换为高频交流电，再通过变压器升压后，以高压高频交流电输出，输出端的一端为高压级，通过高压电缆19与高压组件10连接，输出端的另一端为地级，与地级组件60直接连接。

在高压组件10中，高压电缆19与第二高压导电元件15连接，而第二高压导电元件15与第一高压导电元件12通过第一导电导热粘合剂14连接，使得第一高压导电元件12、第二高压导电元件15均连通了高压电缆19输送的高压电。同时，由于第二高压导电元件15与高压隔离绝缘件16连接，而使得高压组件10相对于地级组件60绝缘。在低压组件20中，低压导电元件23通过第三导电导热粘合剂22与地级组件60连接导通，而地级组件60接地，由此使高压组件10与低压组件20的生成电势差，实现臭氧的制备。

在本示例的实施例中，地级组件60可以是导电、导热金属材质，例如可以为铝合金或不锈钢。由于地级组件60为金属材质，一方面可以使地级组件60中的冷却管路40中冷却液通过所述地级组件60与所述高压组件10、低压组件20充分接触，高压隔离绝缘件16为导热性能优的材料，实现热量的高效传递；另一方面地级组件60可以与电源的地级连接，进而实现电源的地级与低压组件20连接。

应当注意，尽管在上文详细描述中提及了一种渐变放电间隙深度的高浓度分体板式臭氧发生器的若干模块或者单元，但是这种划分并非强制性的。实际上，根据本公开的实施方式，上文描述的两个或更多模块或者单元的特征和功能可以在一个模块或者单元中具体化。反之，上文描述的一个模块或者单元的特征和功能可以进一步划分为由多个模块或者单元来具体化。

此外，上述附图仅是根据本发明示例性实施例的方法所包括的处理的示意性说明，而不是限制目的。易于理解，上述附图所示的处理并不表明或限制这些处理的时间顺序。另外，也易于理解，这些处理可以是例如在多个模块中同步或异步执行的。

本领域技术人员在考虑说明书及实践这里公开的发明后，将容易想到本公开的其他实施例。本申请旨在涵盖本公开的任何变型、用途或者适应性变化，这些变型、用途或者适应性变化遵循本公开的一般性原理并包括本公开未公开的本技术领域中的公知常识或惯用技术手段。说明书和实施例仅被视为示例性的，本公开的真正范围和精神由权利要求指出。

应当理解的是，本公开并不局限于上面已经描述并在附图中示出的精确结构，并且可以在不脱离其范围进行各种修改和改变。本公开的范围仅由所附的权利要求来限。

Claims (5)

1.一种渐变放电间隙深度的高浓度分体板式臭氧发生器，其特征在于，所述臭氧发生器包括高压组件、低压组件、氧气臭氧管路、冷却管路、地级组件、间隙垫片，其中：

所述地级组件包括第一地级下组件、第二地级下组件、第一地级上组件、第二地级上组件，所述第二地级下组件的内侧与所述高压组件固定连接，所述第二地级上组件的内侧与所述低压组件固定连接，所述第一地级下组件、第二地级下组件、第一地级上组件、第二地级上组件通过紧固装置贯穿连接，内部形成包含放电间隙的密闭放电室，所述密闭放电室用于使氧气基于所述高压组件、低压组件放电作用生成臭氧；

所述第二地级下组件的外侧与所述第一地级下组件的内侧均预设有通路凹槽，在所述第二地级下组件的外侧与所述第一地级下组件的内侧固定连接，所述第二地级下组件的外侧与所述第一地级下组件的内侧的预设通路凹槽对接生成高压侧冷却管路，所述高压侧冷却管路用于冷却液通过所述第二地级下组件导热以实现对所述高压组件的冷却；

所述第二地级上组件的外侧与所述第一地级上组件的内侧均预设有通路凹槽，在所述第二地级上组件的外侧与所述第一地级上组件的内侧固定连接，所述第二地级上组件的外侧与所述第一地级上组件的内侧的预设通路凹槽对接生成低压侧冷却管路，所述低压侧冷却管路用于冷却液通过所述第二地级上组件导热以实现对所述低压组件的冷却；

所述间隙垫片呈预设角度置于阻挡介质陶瓷板、低压导电元件之间，用于使在所述密闭放电室内的所述高压组件、低压组件间生成预设距离的放电间隙；

所述高压组件还包括阻挡介质陶瓷板，所述低压组件还包括低压导电元件，所述低压导电元件的放电间隙侧为锥形结构，所述阻挡介质陶瓷板、低压导电元件、间隙垫片生成的放电间隙的圆形外圈间隙至圆心方向深度递减；

所述臭氧发生器的氧气臭氧管路还包括氧气输入通道、臭氧出口通道；所述氧气输入通道预设于所述第二地级下组件内，与预设于所述第二地级下组件内的氧气支管连接，所述氧气输入通道、氧气支管用于将氧气输入至所述密闭放电室内，所述氧气支管与限流器连接，所述限流器用于调节进入所述密闭放电室内的氧气的流量；所述臭氧出口通道预设于所述第二地级上组件内，与预设于所述第二地级上组件内的臭氧支管连接，所述臭氧出口通道、臭氧支管用于将在密闭放电室内生成的臭氧输出；

所述臭氧发生器的冷却管路还包括高压侧进水口、高压侧出水口，所述高压侧进水口、高压侧出水口为在所述第二地级下组件、第一地级下组件对接时，分别由预设在所述第二地级下组件的外侧与所述第一地级下组件的内侧的管路凹槽对接形成，所述高压侧进水口、高压侧出水口用于将冷却液输入、输出于高压侧冷却管路，以对所述高压组件的冷却；

所述臭氧发生器的冷却管路还包括低压侧进水口、低压侧出水口，所述低压侧进水口、低压侧出水口为在所述第二地级上组件、第一地级上组件对接时，分别由预设在所述第二地级上组件的外侧与所述第一地级上组件的内侧的管路凹槽对接形成，所述低压侧进水口、低压侧出水口用于将冷却液输入、输出于低压侧冷却管路，以对所述低压组件的冷却；

所述第一地级下组件、第二地级下组件、第一地级上组件、第二地级上组件基于中心螺栓、紧固螺栓连接，连接的连接处、穿孔处均预设有O型密封圈安装槽，用于安装O型密封圈，所述O型密封圈用于使所述第一地级下组件、第二地级下组件、第一地级上组件、第二地级上组件密封连接。

2.如权利要求1所述的臭氧发生器，其特征在于，所述臭氧发生器的高压组件还包括第一高压导电元件、第二高压导电元件、高压电缆、第一导热粘合剂、第二导热粘合剂，其中：

所述第一高压导电元件的一侧与阻挡介质陶瓷板连接，所述第一高压导电元件的另一侧通过第一导电导热粘合剂与所述第二高压导电元件的一侧连接；

所述第二高压导电元件的另一侧与高压隔离绝缘件的一侧连接；

所述高压隔离绝缘件的另一侧通过第二导电导热粘合剂与所述第二地级下组件连接；

所述高压电缆穿过所述高压隔离绝缘件、第二导电导热粘合剂与所述第二高压导电元件连接，所述高压电缆用于为所述高压组件供电；

所述第一导热粘合剂与所述第一导电导热粘合剂的外缘包裹连接，所述第二导热粘合剂与所述第二导电导热粘合剂的外缘包裹连接。

3.如权利要求2所述的臭氧发生器，其特征在于，所述臭氧发生器的低压组件还包括第三导电导热粘合剂、第三导热粘合剂，其中：

所述低压导电元件通过所述第三导电导热粘合剂与所述第二地级上组件连接；

所述第三导热粘合剂与所述第三导电导热粘合剂的外缘包裹连接。

4.如权利要求3所述的臭氧发生器，其特征在于，所述臭氧发生器还包括：

所述低压导电元件还包括第一低压侧孔，所述第三导电导热粘合剂还包括第二低压侧孔，所述第一低压侧孔、第二低压侧孔用于使在密闭放电室内生成的臭氧通过所述第一低压侧孔、第二低压侧孔输出至所述臭氧支管。

5.如权利要求2所述的臭氧发生器，其特征在于，所述臭氧发生器还包括：

所述第一地级下组件还包括第一高压电缆孔、第二地级下组件还包括第二高压电缆孔，所述第一高压电缆孔、第二高压电缆孔用于使所述高压电缆穿过所述第一地级下组件、第二地级下组件与所述第二高压导电元件连接。