JPH06243966A - 有機ｅｌ素子およびその形成方法 - Google Patents
有機ｅｌ素子およびその形成方法Info
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 基板上に発光層、または色素が分散された発
光層から成る有機薄膜の均一膜厚を有する有機ＥＬ素子
と、その形成方法。 【構成】 基板上に発光層の原料モノマーを蒸着させ、
重合法で高分子膜またはオリゴマー膜から成る発光層を
形成する方法、および発光層の原料モノマーの蒸着中に
色素を蒸発させて色素が分散された発光層を形成する方
法。
光層から成る有機薄膜の均一膜厚を有する有機ＥＬ素子
と、その形成方法。 【構成】 基板上に発光層の原料モノマーを蒸着させ、
重合法で高分子膜またはオリゴマー膜から成る発光層を
形成する方法、および発光層の原料モノマーの蒸着中に
色素を蒸発させて色素が分散された発光層を形成する方
法。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、有機ＥＬ素子およびそ
の形成方法に関するものである。
の形成方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種の有機ＥＬ素子の形成方法
としては、次のような形成方法が知られている。
としては、次のような形成方法が知られている。
【０００３】(1) 真空中で低分子蛍光色素の原料を蒸発
させ、これを基板上に蒸着させて積層薄膜を形成する方
法。
させ、これを基板上に蒸着させて積層薄膜を形成する方
法。
【０００４】(2) 湿式成膜法により基板上にπ共役高分
子単層薄膜を形成する方法。
子単層薄膜を形成する方法。
【０００５】(3) 湿式成膜法により基板上に蛍光色素構
造を主鎖ないし側鎖に組み込んだ非共役型高分子薄膜を
形成する方法。
造を主鎖ないし側鎖に組み込んだ非共役型高分子薄膜を
形成する方法。
【０００６】(4) 湿式成膜法により基板上に低分子色素
をバインダーとして高分子膜中に分散させた材料の薄膜
を形成する方法。
をバインダーとして高分子膜中に分散させた材料の薄膜
を形成する方法。
【０００７】(5) 前記(2)〜(4)のいずれかの薄膜と(1)
の形成方法とを組み合わせて基板上に積層膜を形成する
方法。
の形成方法とを組み合わせて基板上に積層膜を形成する
方法。
【０００８】有機ＥＬ素子の形成方法としては前記のよ
うな種々の方法があるが、現在は(1)の形成方法が主流
となっている。
うな種々の方法があるが、現在は(1)の形成方法が主流
となっている。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記従
来の有機ＥＬ素子の形成方法は次のような問題点を有す
る。
来の有機ＥＬ素子の形成方法は次のような問題点を有す
る。
【００１０】(1) の蒸着法の場合は、蒸着法により最も
高性能な有機ＥＬ素子を形成することが出来るが、低分
子化合物の薄膜であるため、安定性や耐久性が低いとい
う問題がある。
高性能な有機ＥＬ素子を形成することが出来るが、低分
子化合物の薄膜であるため、安定性や耐久性が低いとい
う問題がある。
【００１１】(2) の湿式成膜法の場合は、前記(1)の蒸
着法で得られた低分子化合物の薄膜に比して発光効率は
１／２０〜１／１００程度と低く、また、湿式成膜法で
あるため、薄膜の積層化は困難で、多層構造の素子を形
成することが出来ないという問題がある。
着法で得られた低分子化合物の薄膜に比して発光効率は
１／２０〜１／１００程度と低く、また、湿式成膜法で
あるため、薄膜の積層化は困難で、多層構造の素子を形
成することが出来ないという問題がある。
【００１２】(3) の湿式成膜法の場合は、湿式成膜法の
ため、薄膜の積層化は困難で、多層構造の素子を形成す
ることは出来ないという問題がある。
ため、薄膜の積層化は困難で、多層構造の素子を形成す
ることは出来ないという問題がある。
【００１３】(4) の湿式成膜法の場合は、湿式成膜法の
ため、薄膜の積層化は困難で、多層構造の素子を形成す
ることが出来ないという問題がある。
ため、薄膜の積層化は困難で、多層構造の素子を形成す
ることが出来ないという問題がある。
【００１４】(5) の(2)〜(4)のいずれかの薄膜と(1)の
形成方法との組み合わせ法の場合は、個々の薄膜を形成
することは出来るが、蒸着法で作成された低分子化合物
の薄膜の上に湿式成膜法で多層構造の素子を形成するこ
とは困難であるという問題がある。
形成方法との組み合わせ法の場合は、個々の薄膜を形成
することは出来るが、蒸着法で作成された低分子化合物
の薄膜の上に湿式成膜法で多層構造の素子を形成するこ
とは困難であるという問題がある。
【００１５】本発明は、前記問題点を解消した有機ＥＬ
素子と、その形成方法を提供することを目的とする。
素子と、その形成方法を提供することを目的とする。
【００１６】
【課題を解決するための手段】本発明の有機ＥＬ素子
は、基板上に形成された有機ＥＬ素子において、該有機
ＥＬ素子の有機薄膜が原料モノマーの蒸着重合法で形成
された高分子膜またはオリゴマー膜から成る発光層であ
ることを特徴とする。また、前記有機薄膜を発光層とキ
ャリア輸送層の積層膜としてもよい。また、キャリア輸
送層を原料モノマーを蒸着重合させた高分子膜から成る
ホール輸送層またはホール輸送性色素の蒸着膜から成る
ホール輸送層としてもよいし、該キャリア輸送層を原料
モノマーを蒸着重合させた高分子膜から成る電子輸送層
としてもよい。また、該発光層を発光層の原料モノマー
の蒸着重合中に発光性色素、またはホール輸送性色素が
分散した発光層としてもよい。
は、基板上に形成された有機ＥＬ素子において、該有機
ＥＬ素子の有機薄膜が原料モノマーの蒸着重合法で形成
された高分子膜またはオリゴマー膜から成る発光層であ
ることを特徴とする。また、前記有機薄膜を発光層とキ
ャリア輸送層の積層膜としてもよい。また、キャリア輸
送層を原料モノマーを蒸着重合させた高分子膜から成る
ホール輸送層またはホール輸送性色素の蒸着膜から成る
ホール輸送層としてもよいし、該キャリア輸送層を原料
モノマーを蒸着重合させた高分子膜から成る電子輸送層
としてもよい。また、該発光層を発光層の原料モノマー
の蒸着重合中に発光性色素、またはホール輸送性色素が
分散した発光層としてもよい。
【００１７】また、本発明は前記有機ＥＬ素子を形成す
るための形成方法を提案するもので、有機ＥＬ素子の形
成方法は、真空中で高分子膜の原料モノマーを蒸発さ
せ、これを基板上で蒸着重合させて該基板上に高分子膜
またはオリゴマー膜から成る発光層を形成することを特
徴とする。
るための形成方法を提案するもので、有機ＥＬ素子の形
成方法は、真空中で高分子膜の原料モノマーを蒸発さ
せ、これを基板上で蒸着重合させて該基板上に高分子膜
またはオリゴマー膜から成る発光層を形成することを特
徴とする。
【００１８】また、もう１つの有機ＥＬ素子の形成方法
は、真空中で基板上に発光層の原料モノマーを蒸発さ
せ、これを該基板上で蒸着重合させて発光層を形成し、
該発光層の上にキャリア輸送層の原料モノマーを蒸発さ
せ、これを発光層の上で蒸着重合させてキャリア輸送層
を形成することを特徴とする。
は、真空中で基板上に発光層の原料モノマーを蒸発さ
せ、これを該基板上で蒸着重合させて発光層を形成し、
該発光層の上にキャリア輸送層の原料モノマーを蒸発さ
せ、これを発光層の上で蒸着重合させてキャリア輸送層
を形成することを特徴とする。
【００１９】また、更にもう１つの有機ＥＬ素子の形成
方法は、真空中で基板上にキャリア輸送層の原料モノマ
ーを蒸発させ、これを基板上で蒸着重合させてキャリア
輸送層を形成し、該キャリア輸送層の上に発光層の原料
モノマーを蒸発させ、これを該キャリア輸送層の上で蒸
着重合させて発光層を形成することを特徴とする。
方法は、真空中で基板上にキャリア輸送層の原料モノマ
ーを蒸発させ、これを基板上で蒸着重合させてキャリア
輸送層を形成し、該キャリア輸送層の上に発光層の原料
モノマーを蒸発させ、これを該キャリア輸送層の上で蒸
着重合させて発光層を形成することを特徴とする。
【００２０】また、前記発光層の形成を、発光層の原料
モノマーを蒸発させ、基板上で該原料モノマーの薄膜を
形成しつつ、これと同時に発光性色素、またはホール輸
送性色素を蒸発させて、該色素を該原料モノマーの薄膜
中に蒸着分散させて発光層を形成するようにしてもよ
い。
モノマーを蒸発させ、基板上で該原料モノマーの薄膜を
形成しつつ、これと同時に発光性色素、またはホール輸
送性色素を蒸発させて、該色素を該原料モノマーの薄膜
中に蒸着分散させて発光層を形成するようにしてもよ
い。
【００２１】
【作用】基板上に蒸着した高分子の原料モノマーは重合
してオリゴマー膜、或いは高分子膜から成る有機ＥＬ素
子の有機薄膜を形成する。その有機薄膜の形成の際、蒸
着重合法を用いているため、数百オングストロームのオ
リゴマー膜或いは高分子膜を基板上に容易に形成する。
してオリゴマー膜、或いは高分子膜から成る有機ＥＬ素
子の有機薄膜を形成する。その有機薄膜の形成の際、蒸
着重合法を用いているため、数百オングストロームのオ
リゴマー膜或いは高分子膜を基板上に容易に形成する。
【００２２】また、基板上に蒸着した発光層の原料モノ
マーは重合して発光層を形成する。その際、同時に発光
性色素、またはホール輸送性色素を蒸発させると、蒸発
した色素は発光層の薄膜中に蒸着し、均一に色素分散し
た発光層を形成する。
マーは重合して発光層を形成する。その際、同時に発光
性色素、またはホール輸送性色素を蒸発させると、蒸発
した色素は発光層の薄膜中に蒸着し、均一に色素分散し
た発光層を形成する。
【００２３】
【実施例】先ず、有機ＥＬ素子の構造について説明す
る。該有機ＥＬ素子の構造としては、陽極（ＩＴＯ）／
発光層／陰極のような有機薄膜が発光層（高分子膜或い
はオリゴマー膜から成る）のみの単層構造の場合、陽極
／ホール輸送層／発光層／陰極、または陽極／発光層／
電子輸送層／陰極のような有機薄膜がホール輸送層と発
光層、或いは発光層と電子輸送層の２層構造の場合があ
る。
る。該有機ＥＬ素子の構造としては、陽極（ＩＴＯ）／
発光層／陰極のような有機薄膜が発光層（高分子膜或い
はオリゴマー膜から成る）のみの単層構造の場合、陽極
／ホール輸送層／発光層／陰極、または陽極／発光層／
電子輸送層／陰極のような有機薄膜がホール輸送層と発
光層、或いは発光層と電子輸送層の２層構造の場合があ
る。
【００２４】次に、有機ＥＬ素子の構造について例えば
陽極／ホール輸送層／発光層／陰極を図１に従い説明す
る。図中、１は例えばスライドガラスから成る基板、２
は例えばＩＴＯ膜から成る陽極、３はホール輸送層、４
は発光層、５は例えばＭｇ−Ａｇ合金から成る陰極、６
は陽極２と陰極５に所定電圧を印加する電源を示す。そ
して、陽極２からホール輸送層３内に注入されたホール
と、陰極５から注入された電子が発光層４内で再結合す
る際、出るエネルギーで発光層４内の有機材料を励起さ
せる。その励起状態から基底状態に戻る際に出すエネル
ギーが光となる場合がＥＬ現象である。
陽極／ホール輸送層／発光層／陰極を図１に従い説明す
る。図中、１は例えばスライドガラスから成る基板、２
は例えばＩＴＯ膜から成る陽極、３はホール輸送層、４
は発光層、５は例えばＭｇ−Ａｇ合金から成る陰極、６
は陽極２と陰極５に所定電圧を印加する電源を示す。そ
して、陽極２からホール輸送層３内に注入されたホール
と、陰極５から注入された電子が発光層４内で再結合す
る際、出るエネルギーで発光層４内の有機材料を励起さ
せる。その励起状態から基底状態に戻る際に出すエネル
ギーが光となる場合がＥＬ現象である。
【００２５】本発明では有機薄膜即ち、発光層およびキ
ャリア輸送層（ホール輸送層または電子輸送層）を蒸着
重合法を用いて形成するものである。
ャリア輸送層（ホール輸送層または電子輸送層）を蒸着
重合法を用いて形成するものである。
【００２６】有機薄膜を発光層とする場合は、蛍光（発
光）色素構造を有するモノマーを用いて、蛍光色素構造
を有する高分子膜またはオリゴマー膜を形成する。そし
て、発光層の構造としてはポリ尿素、ポリイミド、ポリ
アミド、ポリイミダゾール等が挙げられる。また、発光
層を形成する際、例えばペリノン誘導体、カルバゾール
誘導体、ペリレン系化合物のような発光性色素、または
例えばＮ，Ｎ′−ジフェニル−Ｎ，Ｎ′−ジ（３−メチ
ルフェニル）１，１′−ビフェニル４，４′−ジアミン
（略称ＴＰＤ）、ヒドラゾン誘導体のようなホール輸送
性色素を用いて、これを前記有機薄膜の原料モノマーの
形成時に、同時に蒸発させて該色素を有機薄膜中に蒸着
分散させた発光層としてもよい。
光）色素構造を有するモノマーを用いて、蛍光色素構造
を有する高分子膜またはオリゴマー膜を形成する。そし
て、発光層の構造としてはポリ尿素、ポリイミド、ポリ
アミド、ポリイミダゾール等が挙げられる。また、発光
層を形成する際、例えばペリノン誘導体、カルバゾール
誘導体、ペリレン系化合物のような発光性色素、または
例えばＮ，Ｎ′−ジフェニル−Ｎ，Ｎ′−ジ（３−メチ
ルフェニル）１，１′−ビフェニル４，４′−ジアミン
（略称ＴＰＤ）、ヒドラゾン誘導体のようなホール輸送
性色素を用いて、これを前記有機薄膜の原料モノマーの
形成時に、同時に蒸発させて該色素を有機薄膜中に蒸着
分散させた発光層としてもよい。
【００２７】また、有機薄膜をキャリア輸送層とする場
合は、キャリア輸送層としてはホール輸送性、或いは電
子輸送性の分子構造を有する高分子膜（ポリマー層）を
形成する。そしてキャリア輸送層の高分子膜の構造とし
てはポリアゾメチン、ポリイミド、ポリ尿素等が挙げら
れる。また、キャリア輸送層を形成する際、例えばＮ，
Ｎ′−ジフェニル−Ｎ，Ｎ′−ジ（３−メチルフェニ
ル）１，１′−ビフェニル４，４′−ジアミン（略称Ｔ
ＰＤ）、スチルベン誘導体のようなホール輸送性色素を
蒸着法により蒸着させて蒸着膜から成るホール輸送層と
してもよい。
合は、キャリア輸送層としてはホール輸送性、或いは電
子輸送性の分子構造を有する高分子膜（ポリマー層）を
形成する。そしてキャリア輸送層の高分子膜の構造とし
てはポリアゾメチン、ポリイミド、ポリ尿素等が挙げら
れる。また、キャリア輸送層を形成する際、例えばＮ，
Ｎ′−ジフェニル−Ｎ，Ｎ′−ジ（３−メチルフェニ
ル）１，１′−ビフェニル４，４′−ジアミン（略称Ｔ
ＰＤ）、スチルベン誘導体のようなホール輸送性色素を
蒸着法により蒸着させて蒸着膜から成るホール輸送層と
してもよい。
【００２８】以下に本発明の具体的実施例について説明
する。
する。
【００２９】図２は本発明有機ＥＬ素子のうち有機薄膜
のみを形成する装置の１例を示すものであり、電極形成
装置は含まないものである。図中、１１は有機薄膜の蒸
着重合室を示す。該蒸着重合室１１内を真空ポンプその
他真空排気系１２に接続した。また、蒸着重合室１１内
の下方の一方に有機薄膜の原料モノマーＸ，Ｙ［例えば
有機薄膜がスチルベン構造を持つポリ尿素膜の場合はモ
ノマーＸが４，４′−ジフェニルメタンジイソシアナー
ト、モノマーＹが４−アミノ−４′−（Ｎ，Ｎ−ジメチ
ルアミノ）スチルベン］を加熱、蒸発させるガラス製の
モノマー蒸発源１３，１４を設けると共に、各モノマー
蒸発源１３，１４に例えばハロゲンランプから成るヒー
ター１５，１６を配置して原料モノマーＸ，Ｙを所定温
度に加熱出来るようにした。また、蒸着重合室１１内の
下方の他方に発光性色素、またはホール輸送性色素の原
料Ｚ［例えば発光性色素がペリノン誘導体の場合は該色
素材の粉末］を加熱、蒸発させるアルミナ製のルツボ型
の色素材蒸発源１７を設けると共に、該色素材蒸発源１
７の周囲にタングステン製のヒーター１８を巻回して抵
抗加熱法で原料Ｚを所定温度に加熱し蒸発出来るように
した。
のみを形成する装置の１例を示すものであり、電極形成
装置は含まないものである。図中、１１は有機薄膜の蒸
着重合室を示す。該蒸着重合室１１内を真空ポンプその
他真空排気系１２に接続した。また、蒸着重合室１１内
の下方の一方に有機薄膜の原料モノマーＸ，Ｙ［例えば
有機薄膜がスチルベン構造を持つポリ尿素膜の場合はモ
ノマーＸが４，４′−ジフェニルメタンジイソシアナー
ト、モノマーＹが４−アミノ−４′−（Ｎ，Ｎ−ジメチ
ルアミノ）スチルベン］を加熱、蒸発させるガラス製の
モノマー蒸発源１３，１４を設けると共に、各モノマー
蒸発源１３，１４に例えばハロゲンランプから成るヒー
ター１５，１６を配置して原料モノマーＸ，Ｙを所定温
度に加熱出来るようにした。また、蒸着重合室１１内の
下方の他方に発光性色素、またはホール輸送性色素の原
料Ｚ［例えば発光性色素がペリノン誘導体の場合は該色
素材の粉末］を加熱、蒸発させるアルミナ製のルツボ型
の色素材蒸発源１７を設けると共に、該色素材蒸発源１
７の周囲にタングステン製のヒーター１８を巻回して抵
抗加熱法で原料Ｚを所定温度に加熱し蒸発出来るように
した。
【００３０】また、蒸着重合室１１内の上方の中央部分
に前記モノマー蒸発源１３，１４および色素材蒸発源１
７に対向させて有機薄膜を形成せしめるべき基板１を基
板ホルダー１９によって保持するようにした。図中、２
０はモノマー蒸発源１３，１４の上方に設けたシャッタ
ー、２１は色素材蒸発源１７の上方に設けたシャッタ
ー、２２，２３はモノマー蒸発源１３，１４内に夫々設
けた熱電対、２４は色素材蒸発源１７内に設けた熱電
対、２５はモノマー蒸発源１３，１４間に設けた仕切り
板、２６は基板１近傍に設けた有機薄膜の水晶振動式膜
厚モニターを夫々示す。
に前記モノマー蒸発源１３，１４および色素材蒸発源１
７に対向させて有機薄膜を形成せしめるべき基板１を基
板ホルダー１９によって保持するようにした。図中、２
０はモノマー蒸発源１３，１４の上方に設けたシャッタ
ー、２１は色素材蒸発源１７の上方に設けたシャッタ
ー、２２，２３はモノマー蒸発源１３，１４内に夫々設
けた熱電対、２４は色素材蒸発源１７内に設けた熱電
対、２５はモノマー蒸発源１３，１４間に設けた仕切り
板、２６は基板１近傍に設けた有機薄膜の水晶振動式膜
厚モニターを夫々示す。
【００３１】尚、有機薄膜の原料モノマーＸ，Ｙを蒸発
させ、基板１上に原料モノマーの蒸着重合によるオリゴ
マー膜または高分子膜から成る有機薄膜を形成する際の
蒸着重合室１１の真空度としては形成する有機薄膜の種
類によって異なるが、一般には１×１０-1〜１×１０-3
Ｐａ程度とすればよい。また、有機薄膜の原料モノマー
Ｘ，Ｙおよび発光性色素，またはホール輸送性色素の原
料Ｚを蒸発させ、基板上に原料モノマーの蒸着重合と、
これに該色素を蒸着分散させる際の蒸着重合室１１の真
空度としては形成する有機薄膜およびこれに分散させる
色素材の種類によって異なるが、一般には１×１０-1〜
１×１０-3Ｐａ程度とすればよい。
させ、基板１上に原料モノマーの蒸着重合によるオリゴ
マー膜または高分子膜から成る有機薄膜を形成する際の
蒸着重合室１１の真空度としては形成する有機薄膜の種
類によって異なるが、一般には１×１０-1〜１×１０-3
Ｐａ程度とすればよい。また、有機薄膜の原料モノマー
Ｘ，Ｙおよび発光性色素，またはホール輸送性色素の原
料Ｚを蒸発させ、基板上に原料モノマーの蒸着重合と、
これに該色素を蒸着分散させる際の蒸着重合室１１の真
空度としては形成する有機薄膜およびこれに分散させる
色素材の種類によって異なるが、一般には１×１０-1〜
１×１０-3Ｐａ程度とすればよい。
【００３２】次に、前記装置を用いて有機ＥＬ素子の具
体的実施例を説明する。
体的実施例を説明する。
【００３３】実施例１ 本実施例は有機ＥＬ素子の構成が陽極／発光層／陰極の
場合の作製例であり、該発光層を蒸着重合法による高分
子膜とした。
場合の作製例であり、該発光層を蒸着重合法による高分
子膜とした。
【００３４】基板１は縦２５mm、横７５mm、厚さ０．５
mmのスライドガラスを用いた。先ず、モノマー蒸発源１
３に発光層の一方の原料モノマーとして４，４′−ジフ
ェニルメタンジイソシアナート（略称ＭＤＡ、以下原料
Ｘという）、モノマー蒸発源１４に発光層の他方の原料
モノマーとして４−アミノ−４′−（Ｎ，Ｎ−ジメチル
アミノ）スチルベン（以下原料Ｙという）を夫々充填
し、シャッター２０を閉じた。また、予め表面にスパッ
タ法または蒸着法により厚さ１０００ÅのＩＴＯ膜から
成る陽極が形成された基板１を基板ホルダー１９に装着
保持した状態で、蒸着重合室１１内の圧力を真空排気系
１２により１．３×１０-3Ｐａに設定した。尚、本実施
例では色素材蒸発源１７には色素材は充填していない。
mmのスライドガラスを用いた。先ず、モノマー蒸発源１
３に発光層の一方の原料モノマーとして４，４′−ジフ
ェニルメタンジイソシアナート（略称ＭＤＡ、以下原料
Ｘという）、モノマー蒸発源１４に発光層の他方の原料
モノマーとして４−アミノ−４′−（Ｎ，Ｎ−ジメチル
アミノ）スチルベン（以下原料Ｙという）を夫々充填
し、シャッター２０を閉じた。また、予め表面にスパッ
タ法または蒸着法により厚さ１０００ÅのＩＴＯ膜から
成る陽極が形成された基板１を基板ホルダー１９に装着
保持した状態で、蒸着重合室１１内の圧力を真空排気系
１２により１．３×１０-3Ｐａに設定した。尚、本実施
例では色素材蒸発源１７には色素材は充填していない。
【００３５】そして、モノマー蒸発源１３内の原料Ｘを
ヒーター１５で加熱し、熱電対２２で温度６０±０．５
℃に、またモノマー蒸発源１４内の原料Ｙをヒーター１
６で加熱し、熱電対２３で温度１３５±０．５℃に夫々
保持した。次に、各原料Ｘ，Ｙが所定温度に達して所要
の蒸発量が得られた時点でシャッター２０を開き、基板
１表面に形成されている陽極上に原料Ｘ，Ｙを５０Å／
分の析出速度で蒸着、重合させながら基板１近傍に配置
された水晶振動式モニター２６で膜厚を測定し、膜厚１
０００Åになった時点でシャッター２０を閉じて、スチ
ルベン構造を持つポリ尿素膜から成る発光層を形成し
た。
ヒーター１５で加熱し、熱電対２２で温度６０±０．５
℃に、またモノマー蒸発源１４内の原料Ｙをヒーター１
６で加熱し、熱電対２３で温度１３５±０．５℃に夫々
保持した。次に、各原料Ｘ，Ｙが所定温度に達して所要
の蒸発量が得られた時点でシャッター２０を開き、基板
１表面に形成されている陽極上に原料Ｘ，Ｙを５０Å／
分の析出速度で蒸着、重合させながら基板１近傍に配置
された水晶振動式モニター２６で膜厚を測定し、膜厚１
０００Åになった時点でシャッター２０を閉じて、スチ
ルベン構造を持つポリ尿素膜から成る発光層を形成し
た。
【００３６】続いて発光層が形成された基板１を電極形
成室（図示せず）内に搬送し、発光層上にマグネシウム
を蒸着法により厚さ１０００Å蒸着させて陰極を形成
し、陰極の酸化防止のために陰極の上に更に銀を蒸着法
により厚さ２００Å蒸着させた後、大気中で温度１５０
℃の熱処理を施して、有機ＥＬ素子を作製した。尚、陰
極の形成後に大気中で熱処理を施すことにより有機ＥＬ
素子の有機薄膜から成る発光層を安定した高分子膜とす
ることが出来る。
成室（図示せず）内に搬送し、発光層上にマグネシウム
を蒸着法により厚さ１０００Å蒸着させて陰極を形成
し、陰極の酸化防止のために陰極の上に更に銀を蒸着法
により厚さ２００Å蒸着させた後、大気中で温度１５０
℃の熱処理を施して、有機ＥＬ素子を作製した。尚、陰
極の形成後に大気中で熱処理を施すことにより有機ＥＬ
素子の有機薄膜から成る発光層を安定した高分子膜とす
ることが出来る。
【００３７】そして、作製された有機ＥＬ素子の電圧−
電流特性を調べ、その結果を図３に示す。図３から明ら
かなように有機ＥＬ素子は整流特性を有していることが
確認された。また、陽極（ＩＴＯ電極）に＋８〜１０Ｖ
の電圧印加したところ有機ＥＬ素子は青色に発光するこ
とが確認された。その輝度は０．５ｃｄ／ｍ2であり、
また室温で連続作動させたところ５００時間以上安定し
た発光を保っていた。
電流特性を調べ、その結果を図３に示す。図３から明ら
かなように有機ＥＬ素子は整流特性を有していることが
確認された。また、陽極（ＩＴＯ電極）に＋８〜１０Ｖ
の電圧印加したところ有機ＥＬ素子は青色に発光するこ
とが確認された。その輝度は０．５ｃｄ／ｍ2であり、
また室温で連続作動させたところ５００時間以上安定し
た発光を保っていた。
【００３８】実施例２ 本実施例は有機ＥＬ素子の構成が陽極／発光層／陰極の
場合の作製例であり、該発光層を蒸着重合法によるオリ
ゴマー膜とした。
場合の作製例であり、該発光層を蒸着重合法によるオリ
ゴマー膜とした。
【００３９】基板上の陽極の上に有機ＥＬ素子のスチル
ベン構造を持つポリ尿素膜から成る有機薄膜を形成し、
続いて有機薄膜上にＭｇ−Ａｇから成る陰極を形成した
後、有機薄膜への熱処理を全く施さなかった以外は前記
実施１と同様の方法で有機ＥＬ素子を作製した。
ベン構造を持つポリ尿素膜から成る有機薄膜を形成し、
続いて有機薄膜上にＭｇ−Ａｇから成る陰極を形成した
後、有機薄膜への熱処理を全く施さなかった以外は前記
実施１と同様の方法で有機ＥＬ素子を作製した。
【００４０】そして、作製された有機ＥＬ素子の電圧−
電流特性を前記実施例１と同様の方法で調べたところ整
流特性があり、また輝度を前記実施例１と同様の方法で
調べたところ０．５ｃｄ／ｍ2であった。また発光は青
色であった。
電流特性を前記実施例１と同様の方法で調べたところ整
流特性があり、また輝度を前記実施例１と同様の方法で
調べたところ０．５ｃｄ／ｍ2であった。また発光は青
色であった。
【００４１】実施例３ 本実施例は有機ＥＬ素子の構成が陽極／ホール輸送層／
発光層／陰極の場合の作製例であり、該ホール輸送層お
よび発光層を蒸着重合法による高分子膜とした。
発光層／陰極の場合の作製例であり、該ホール輸送層お
よび発光層を蒸着重合法による高分子膜とした。
【００４２】先ず、表面にスパッタ法または蒸着法によ
り厚さ１０００ÅのＩＴＯ膜から成る陽極が形成された
基板上の陽極上にポリアゾメチン膜から成るホール輸送
層を形成した。該ポリアゾメチン膜から成るホール輸送
層は、一方の原料モノマーとしてテレフタルアルデヒド
（以下原料Ｘという）、他方の原料モノマーとして４，
４−ジフェニルメタンジイソシアナート（略称ＭＤＩ、
以下原料Ｙという）を用い、重縮合反応により形成し
た。尚、原料Ｘの加熱温度を３５±０．５℃、原料Ｙの
加熱温度は６０±０．５℃とし、各原料Ｘ、Ｙが所定温
度に達して所要の蒸発量が得られた時点で夫々を基板上
の陽極上に蒸発させ、重縮合反応により膜厚５００Åの
ポリアゾメチン膜から成るホール輸送層を形成したとこ
ろで、シャッター２０（図１）を閉じ、各原料Ｘ、Ｙを
室温まで冷却した。
り厚さ１０００ÅのＩＴＯ膜から成る陽極が形成された
基板上の陽極上にポリアゾメチン膜から成るホール輸送
層を形成した。該ポリアゾメチン膜から成るホール輸送
層は、一方の原料モノマーとしてテレフタルアルデヒド
（以下原料Ｘという）、他方の原料モノマーとして４，
４−ジフェニルメタンジイソシアナート（略称ＭＤＩ、
以下原料Ｙという）を用い、重縮合反応により形成し
た。尚、原料Ｘの加熱温度を３５±０．５℃、原料Ｙの
加熱温度は６０±０．５℃とし、各原料Ｘ、Ｙが所定温
度に達して所要の蒸発量が得られた時点で夫々を基板上
の陽極上に蒸発させ、重縮合反応により膜厚５００Åの
ポリアゾメチン膜から成るホール輸送層を形成したとこ
ろで、シャッター２０（図１）を閉じ、各原料Ｘ、Ｙを
室温まで冷却した。
【００４３】次に前記ホール輸送層の上にスチルベン構
造を有するポリ尿素膜から成る発光層を形成した。該ポ
リ尿素膜から成る発光層は、一方の原料モノマーとして
４，４′−ジフェニルメタンジイソシアナート（略称Ｍ
ＤＡ、以下原料Ｘ′という）、他方の原料モノマーとし
て４−アミノ−４′−（Ｎ，Ｎ−ジメチルアミノ）スチ
ルベン（以下原料Ｙ′という）を用い、蒸着重合法によ
り形成した。尚、原料Ｘ′の加熱温度を６０±０．５
℃、原料Ｙ′の加熱温度を１３５±０．５℃とし、各原
料Ｘ′、Ｙ′が所定温度に達して所要の蒸発量が得られ
た時点で夫々を蒸発させ、ホール輸送層（高分子膜）上
に膜厚５００Åのポリ尿素の発光層を形成したところ
で、シャッター２０（図１）を閉じ、各原料Ｘ′、Ｙ′
を室温まで冷却した。
造を有するポリ尿素膜から成る発光層を形成した。該ポ
リ尿素膜から成る発光層は、一方の原料モノマーとして
４，４′−ジフェニルメタンジイソシアナート（略称Ｍ
ＤＡ、以下原料Ｘ′という）、他方の原料モノマーとし
て４−アミノ−４′−（Ｎ，Ｎ−ジメチルアミノ）スチ
ルベン（以下原料Ｙ′という）を用い、蒸着重合法によ
り形成した。尚、原料Ｘ′の加熱温度を６０±０．５
℃、原料Ｙ′の加熱温度を１３５±０．５℃とし、各原
料Ｘ′、Ｙ′が所定温度に達して所要の蒸発量が得られ
た時点で夫々を蒸発させ、ホール輸送層（高分子膜）上
に膜厚５００Åのポリ尿素の発光層を形成したところ
で、シャッター２０（図１）を閉じ、各原料Ｘ′、Ｙ′
を室温まで冷却した。
【００４４】続いて、発光層の上に前記実施例１に準じ
てＭｇ−Ａｇから成る陰極を形成し、更に、大気中で温
度２００℃で熱処理を施して、ホール輸送層と発光層を
有する有機ＥＬ素子を作製した。その他の作製条件は前
記実施例１と同一とした。
てＭｇ−Ａｇから成る陰極を形成し、更に、大気中で温
度２００℃で熱処理を施して、ホール輸送層と発光層を
有する有機ＥＬ素子を作製した。その他の作製条件は前
記実施例１と同一とした。
【００４５】そして、作製された有機ＥＬ素子の電圧−
電流特性を前記実施例１と同様の方法で調べたところ整
流特性があり、また輝度を前記実施例１と同様の方法で
調べたところ５ｃｄ／ｍ2であった。また発光は青色で
あった。
電流特性を前記実施例１と同様の方法で調べたところ整
流特性があり、また輝度を前記実施例１と同様の方法で
調べたところ５ｃｄ／ｍ2であった。また発光は青色で
あった。
【００４６】実施例４ 本実施例は有機ＥＬ素子の構成が陽極／ホール輸送層／
発光層／陰極の場合の作製例であり、該ホール輸送層を
蒸着法による低分子色素膜、該発光層を蒸着重合法によ
る高分子膜とした。
発光層／陰極の場合の作製例であり、該ホール輸送層を
蒸着法による低分子色素膜、該発光層を蒸着重合法によ
る高分子膜とした。
【００４７】先ず、表面にスパッタ法または蒸着法によ
り厚さ１０００ÅのＩＴＯ膜から成る陽極が形成された
基板上の陽極上に低分子色素膜から成るホール輸送層を
形成した。該低分子色素膜から成るホール輸送層は、図
１における色素材蒸発源１７内にＮ，Ｎ′−ジフェニル
−Ｎ，Ｎ′−ジ（３−メチルフェニル）１，１′−ビフ
ェニル−４，４′−ジアミン（略称ＴＰＤ、以下原料Ｚ
という）を充填し、該原料Ｚをヒーター１８（図１）で
温度２００℃に加熱し、所定温度に達して所要の蒸発量
が得られた時点で陽極上に蒸発させて蒸着して膜厚５０
０Åの低分子色素膜から成るホール輸送層を形成したと
ころで、シャッター２１（図１）を閉じ、原料Ｚを常温
まで冷却した。
り厚さ１０００ÅのＩＴＯ膜から成る陽極が形成された
基板上の陽極上に低分子色素膜から成るホール輸送層を
形成した。該低分子色素膜から成るホール輸送層は、図
１における色素材蒸発源１７内にＮ，Ｎ′−ジフェニル
−Ｎ，Ｎ′−ジ（３−メチルフェニル）１，１′−ビフ
ェニル−４，４′−ジアミン（略称ＴＰＤ、以下原料Ｚ
という）を充填し、該原料Ｚをヒーター１８（図１）で
温度２００℃に加熱し、所定温度に達して所要の蒸発量
が得られた時点で陽極上に蒸発させて蒸着して膜厚５０
０Åの低分子色素膜から成るホール輸送層を形成したと
ころで、シャッター２１（図１）を閉じ、原料Ｚを常温
まで冷却した。
【００４８】次に前記ホール輸送層の上にスチルベン構
造を有するポリ尿素膜から成る発光層を形成した。該ポ
リ尿素膜から成る発光層は、一方の原料モノマーとして
４，４′−ジフェニルメタンジイソシアナート（略称Ｍ
ＤＡ、以下原料Ｘという）、他方の原料モノマーとして
４−アミノ−４′−（Ｎ，Ｎ−ジメチルアミノ）スチル
ベン（以下原料Ｙという）を用い、蒸着重合法により形
成した。尚、原料Ｘの加熱温度を６０±０．５℃、原料
Ｙの加熱温度を１３５±０．５℃とし、各原料Ｘ、が所
定温度に達して所要の蒸発量が得られた時点で夫々を蒸
発させ、ホール輸送層（低分子色素膜）上に膜厚５００
Åの発光層を形成したところで、シャッター２０（図
１）を閉じ、各原料Ｘ、Ｙを室温まで冷却した。
造を有するポリ尿素膜から成る発光層を形成した。該ポ
リ尿素膜から成る発光層は、一方の原料モノマーとして
４，４′−ジフェニルメタンジイソシアナート（略称Ｍ
ＤＡ、以下原料Ｘという）、他方の原料モノマーとして
４−アミノ−４′−（Ｎ，Ｎ−ジメチルアミノ）スチル
ベン（以下原料Ｙという）を用い、蒸着重合法により形
成した。尚、原料Ｘの加熱温度を６０±０．５℃、原料
Ｙの加熱温度を１３５±０．５℃とし、各原料Ｘ、が所
定温度に達して所要の蒸発量が得られた時点で夫々を蒸
発させ、ホール輸送層（低分子色素膜）上に膜厚５００
Åの発光層を形成したところで、シャッター２０（図
１）を閉じ、各原料Ｘ、Ｙを室温まで冷却した。
【００４９】続いて、発光層の上に前記実施例１に準じ
てＭｇ−Ａｇから成る陰極を形成し、ホール輸送層と発
光層を有する有機ＥＬ素子を作製した。その他の作製条
件は前記実施例１と同一とした。
てＭｇ−Ａｇから成る陰極を形成し、ホール輸送層と発
光層を有する有機ＥＬ素子を作製した。その他の作製条
件は前記実施例１と同一とした。
【００５０】そして、作製された有機ＥＬ素子の電圧−
電流特性を前記実施例１と同様の方法で調べたところ整
流特性があり、また輝度を前記実施例１と同様の方法で
調べたところ５ｃｄ／ｍ2であった。また発光は青色で
あった。
電流特性を前記実施例１と同様の方法で調べたところ整
流特性があり、また輝度を前記実施例１と同様の方法で
調べたところ５ｃｄ／ｍ2であった。また発光は青色で
あった。
【００５１】実施例５ 本実施例は有機ＥＬ素子の構成が陽極／発光層／電子輸
送層／陰極の場合の作製例であり、該発光層および電子
輸送層を蒸着重合法による高分子膜とした。
送層／陰極の場合の作製例であり、該発光層および電子
輸送層を蒸着重合法による高分子膜とした。
【００５２】先ず、表面にスパッタ法または蒸着法によ
り厚さ１０００ÅのＩＴＯ膜から成る陽極が形成された
基板上の陽極上にスチルベン構造を有するポリ尿素から
成る発光層を形成した。該ポリ尿素から成る発光層は、
一方の原料モノマーとして４，４′−ジフェニルメタン
ジイソシアナート（略称ＭＤＡ、以下原料Ｘという）、
他方の原料モノマーとして４−アミノ−４′−（Ｎ，Ｎ
−ジメチルアミノ）スチルベン（以下原料Ｙという）を
用い、蒸着重合法により形成した。尚、原料Ｘの加熱温
度を６０±０．５℃、原料Ｙの加熱温度を１３５±０．
５℃とし、各原料Ｘ、Ｙが所定温度に達して所要蒸発量
が得られた時点で夫々を蒸発させ、蒸着重合法により陽
極上に膜厚５００Åのポリ尿素の発光層を形成したとこ
ろで、シャッター２０（図１）を閉じ、各原料Ｘ、Ｙを
室温まで冷却した。
り厚さ１０００ÅのＩＴＯ膜から成る陽極が形成された
基板上の陽極上にスチルベン構造を有するポリ尿素から
成る発光層を形成した。該ポリ尿素から成る発光層は、
一方の原料モノマーとして４，４′−ジフェニルメタン
ジイソシアナート（略称ＭＤＡ、以下原料Ｘという）、
他方の原料モノマーとして４−アミノ−４′−（Ｎ，Ｎ
−ジメチルアミノ）スチルベン（以下原料Ｙという）を
用い、蒸着重合法により形成した。尚、原料Ｘの加熱温
度を６０±０．５℃、原料Ｙの加熱温度を１３５±０．
５℃とし、各原料Ｘ、Ｙが所定温度に達して所要蒸発量
が得られた時点で夫々を蒸発させ、蒸着重合法により陽
極上に膜厚５００Åのポリ尿素の発光層を形成したとこ
ろで、シャッター２０（図１）を閉じ、各原料Ｘ、Ｙを
室温まで冷却した。
【００５３】次に前記発光層の上にオキサジアゾール構
造を有するポリイミド膜から成る電子輸送層を形成し
た。
造を有するポリイミド膜から成る電子輸送層を形成し
た。
【００５４】該ポリイミド膜から成る電子輸送層は、一
方の原料モノマーとして２，５−ビス（４−アミノフェ
ニル）−１，３，４−オキサジアゾール（以下原料Ｘ′
という）、他方の原料モノマーとしてピロメリット酸二
無水物（略称ＰＭＤＡ、以下原料Ｙ′という）を用い、
蒸着重合法で形成した。尚、原料Ｘ′の加熱温度を２１
０±０．５℃、原料Ｙ′の加熱温度を１６０±０．５℃
とし、各原料Ｘ′、Ｙ′が所定温度に達して所要蒸発量
が得られた時点で夫々を発光層上に蒸発させ、蒸着重合
法により膜厚５００Åのポリイミド膜から成る電子輸送
層を形成したところで、シャッター２０を閉じ、各原料
Ｘ′、Ｙ′を室温まで冷却した。
方の原料モノマーとして２，５−ビス（４−アミノフェ
ニル）−１，３，４−オキサジアゾール（以下原料Ｘ′
という）、他方の原料モノマーとしてピロメリット酸二
無水物（略称ＰＭＤＡ、以下原料Ｙ′という）を用い、
蒸着重合法で形成した。尚、原料Ｘ′の加熱温度を２１
０±０．５℃、原料Ｙ′の加熱温度を１６０±０．５℃
とし、各原料Ｘ′、Ｙ′が所定温度に達して所要蒸発量
が得られた時点で夫々を発光層上に蒸発させ、蒸着重合
法により膜厚５００Åのポリイミド膜から成る電子輸送
層を形成したところで、シャッター２０を閉じ、各原料
Ｘ′、Ｙ′を室温まで冷却した。
【００５５】続いて、電子輸送層の上に前記実施例１に
準じてＭｇ−Ａｇから成る陰極を形成し、更に、真空中
（５Ｐａ）で、温度３００℃で熱処理（イミド化）を施
して、発光層と電子輸送層を有する有機ＥＬ素子を作製
した。その他の作製条件は前記実施例１と同一とした。
準じてＭｇ−Ａｇから成る陰極を形成し、更に、真空中
（５Ｐａ）で、温度３００℃で熱処理（イミド化）を施
して、発光層と電子輸送層を有する有機ＥＬ素子を作製
した。その他の作製条件は前記実施例１と同一とした。
【００５６】そして、作製された有機ＥＬ素子の電圧−
電流特性を前記実施例１と同様の方法で調べたところ整
流特性があり、また輝度を前記実施例１と同様の方法で
調べたところ１ｃｄ／ｍ2であった。また発光は青色で
あった。
電流特性を前記実施例１と同様の方法で調べたところ整
流特性があり、また輝度を前記実施例１と同様の方法で
調べたところ１ｃｄ／ｍ2であった。また発光は青色で
あった。
【００５７】実施例６ 本実施例は有機ＥＬ素子の構成が陽極／発光層／陰極の
場合の作製例であり、発光層をスチルベン構造を有する
ポリ尿素膜の成膜と同時に発光性色素としてペリノン誘
導体を蒸発させてポリ尿素膜中にペリノン誘導体を色素
材として分散させた１例である。
場合の作製例であり、発光層をスチルベン構造を有する
ポリ尿素膜の成膜と同時に発光性色素としてペリノン誘
導体を蒸発させてポリ尿素膜中にペリノン誘導体を色素
材として分散させた１例である。
【００５８】本実施例では基板１は縦２５mm、横７５m
m、厚さ０．５mmのスライドガラスを用いた。
m、厚さ０．５mmのスライドガラスを用いた。
【００５９】先ず、モノマー蒸発源１３に発光層の一方
の原料モノマーとして４，４′−ジフェニルメタンジイ
ソシアナート（略称ＭＤＡ、以下原料Ｘという）、モノ
マー蒸発源１４に他方の原料モノマーとして４−アミノ
−４′−（Ｎ，Ｎ−ジメチルアミノ）スチルベン（以下
原料Ｙという）を夫々充填し、色素材蒸発源１７に色素
材として
の原料モノマーとして４，４′−ジフェニルメタンジイ
ソシアナート（略称ＭＤＡ、以下原料Ｘという）、モノ
マー蒸発源１４に他方の原料モノマーとして４−アミノ
−４′−（Ｎ，Ｎ−ジメチルアミノ）スチルベン（以下
原料Ｙという）を夫々充填し、色素材蒸発源１７に色素
材として
【００６０】
【化１】
【００６１】（以下原料Ｚという）を充填し、シャッタ
ー２０およびシャッター２１を閉じた。また、予め表面
にスパッタ法または蒸着法により厚さ１０００ÅのＩＴ
Ｏ膜から成る陽極が形成された基板１を基板ホルダー１
９に装着保持した状態で、蒸着重合室１１内の圧力を真
空排気系１２により４×１０-3Ｐａに設定した。
ー２０およびシャッター２１を閉じた。また、予め表面
にスパッタ法または蒸着法により厚さ１０００ÅのＩＴ
Ｏ膜から成る陽極が形成された基板１を基板ホルダー１
９に装着保持した状態で、蒸着重合室１１内の圧力を真
空排気系１２により４×１０-3Ｐａに設定した。
【００６２】そして、モノマー蒸発源１３内の原料Ｘを
ヒーター１５で６０±０．５℃に、また、原料モノマー
１４内の原料Ｙをヒーター１６で１３５±０．５℃に夫
々加熱すると共に、色素材蒸発源１７内の原料Ｚをヒー
ター１８で抵抗加熱法で１７０±１．０℃に加熱した。
ヒーター１５で６０±０．５℃に、また、原料モノマー
１４内の原料Ｙをヒーター１６で１３５±０．５℃に夫
々加熱すると共に、色素材蒸発源１７内の原料Ｚをヒー
ター１８で抵抗加熱法で１７０±１．０℃に加熱した。
【００６３】次に、各原料Ｘ，Ｙおよび原料Ｚが所定温
度に達して所要の蒸発量が得られた時点でシャッター２
０およびシャッター２１を開き、基板１上の陽極上に原
料Ｘ、Ｙを５０Å／分の析出速度で蒸着させながら、原
料Ｚを６Å／分の析出速度で蒸着させ、蒸着重合中のポ
リ尿素膜中に原料Ｚを蒸着分散させながら、膜厚１００
０Åの色素（ペリノン誘導体）が分散されたポリ尿素膜
から成る発光層が得られた時点でシャッター２０および
シャッター２１を閉じた。
度に達して所要の蒸発量が得られた時点でシャッター２
０およびシャッター２１を開き、基板１上の陽極上に原
料Ｘ、Ｙを５０Å／分の析出速度で蒸着させながら、原
料Ｚを６Å／分の析出速度で蒸着させ、蒸着重合中のポ
リ尿素膜中に原料Ｚを蒸着分散させながら、膜厚１００
０Åの色素（ペリノン誘導体）が分散されたポリ尿素膜
から成る発光層が得られた時点でシャッター２０および
シャッター２１を閉じた。
【００６４】続いて、発光層（色素が分散されたポリ尿
素膜）の上に前記実施例１に準じてＭｇ−Ａｇから成る
陰極を形成し、色素（発光性色素）が分散されたポリ尿
素膜から成る発光層を有する有機ＥＬ素子を作製した。
その他の作製条件は前記実施例１と同一とした。
素膜）の上に前記実施例１に準じてＭｇ−Ａｇから成る
陰極を形成し、色素（発光性色素）が分散されたポリ尿
素膜から成る発光層を有する有機ＥＬ素子を作製した。
その他の作製条件は前記実施例１と同一とした。
【００６５】そして、作製された有機ＥＬ素子の電圧−
電流特性を前記実施例１と同様の方法で調べたところ整
流特性があり、また輝度を前記実施例１と同様の方法で
調べたところ２０ｃｄ／ｍ2であった。また発光は赤色
であった。
電流特性を前記実施例１と同様の方法で調べたところ整
流特性があり、また輝度を前記実施例１と同様の方法で
調べたところ２０ｃｄ／ｍ2であった。また発光は赤色
であった。
【００６６】尚、本実施例に用いた色素材（ペリノン誘
導体）は前記実施例１ないし実施例５のいずれの発光層
に分散させてもよい。
導体）は前記実施例１ないし実施例５のいずれの発光層
に分散させてもよい。
【００６７】実施例７ 本実施例は有機ＥＬ素子の構成が陽極／発光層／陰極の
場合の作製例であり、発光層をスチルベン構造を有する
ポリ尿素膜の成膜と同時にホール輸送性色素としてＮ，
Ｎ′−ジフェニル−Ｎ，Ｎ′−ジ（３−メチルフェニ
ル）１，１′−ビフェニル−４，４′−ジアミン（以下
ＴＰＤという）を蒸発させてポリ尿素膜中にＴＰＤを色
素材として分散させた１例である。
場合の作製例であり、発光層をスチルベン構造を有する
ポリ尿素膜の成膜と同時にホール輸送性色素としてＮ，
Ｎ′−ジフェニル−Ｎ，Ｎ′−ジ（３−メチルフェニ
ル）１，１′−ビフェニル−４，４′−ジアミン（以下
ＴＰＤという）を蒸発させてポリ尿素膜中にＴＰＤを色
素材として分散させた１例である。
【００６８】色素材蒸発源１７に充填する色素材として
ＴＰＤを用い、ヒーター１８による加熱温度を１８０℃
とし、また析出速度を２０Å／分とした以外は前記実施
例６に準じて色素（ホール輸送性色素）が分散されたポ
リ尿素膜から成る発光層（膜厚１０００Å）を有する有
機ＥＬ素子を作製した。
ＴＰＤを用い、ヒーター１８による加熱温度を１８０℃
とし、また析出速度を２０Å／分とした以外は前記実施
例６に準じて色素（ホール輸送性色素）が分散されたポ
リ尿素膜から成る発光層（膜厚１０００Å）を有する有
機ＥＬ素子を作製した。
【００６９】そして、作製された有機ＥＬ素子の電圧−
電流特性を前記実施例１と同様の方法で調べたところ整
流特性があり、また輝度を前記実施例１と同様の方法で
調べたところ２ｃｄ／ｍ2であった。また発光は青色で
あった。
電流特性を前記実施例１と同様の方法で調べたところ整
流特性があり、また輝度を前記実施例１と同様の方法で
調べたところ２ｃｄ／ｍ2であった。また発光は青色で
あった。
【００７０】本発明の有機ＥＬ素子は前記実施例に限定
されるものではなく、陽極と陰極間に、発光層のみの単
層構造の有機薄膜、または発光層とキャリア輸送層をの
２層構造の有機薄膜、更には発光層とキャリア輸送層を
組み合わせた３層以上の構造から成る有機薄膜を形成す
るようにした有機ＥＬ素子としてもよい。
されるものではなく、陽極と陰極間に、発光層のみの単
層構造の有機薄膜、または発光層とキャリア輸送層をの
２層構造の有機薄膜、更には発光層とキャリア輸送層を
組み合わせた３層以上の構造から成る有機薄膜を形成す
るようにした有機ＥＬ素子としてもよい。
【００７１】前述のように本発明では有機ＥＬ素子の有
機薄膜を蒸着重合法を用いて形成するようにしたので、
下記のようなメリットがある。 薄膜を数百オングストロームという均一な膜厚で連
続膜とすることが出来るので、積層化が容易である。 形成された有機薄膜はオリゴマー・ポリマー化して
いるため、安定性、耐久性の向上した薄膜である。 蛍光（発光）色素構造を有するモノマーの使用が可
能であり、種々の有機ＥＬ素子の有機薄膜が作製するこ
とが出来て、用途に対応した種々の発光色を備えた有機
ＥＬ素子を作製出来る。 低分子化合物の蒸着で問題となっていた耐久性、安
定性の向上を図ることが出来る。 蛍光（発光）性色素またはホール輸送性色素を有機
薄膜の原料モノマーと同時に蒸発させることが出来るか
ら、該色素が均一に分散され、結晶化を防止できて、安
定性、耐久性に優れた発光層を基板上の陽極上に容易に
形成することが出来る。
機薄膜を蒸着重合法を用いて形成するようにしたので、
下記のようなメリットがある。 薄膜を数百オングストロームという均一な膜厚で連
続膜とすることが出来るので、積層化が容易である。 形成された有機薄膜はオリゴマー・ポリマー化して
いるため、安定性、耐久性の向上した薄膜である。 蛍光（発光）色素構造を有するモノマーの使用が可
能であり、種々の有機ＥＬ素子の有機薄膜が作製するこ
とが出来て、用途に対応した種々の発光色を備えた有機
ＥＬ素子を作製出来る。 低分子化合物の蒸着で問題となっていた耐久性、安
定性の向上を図ることが出来る。 蛍光（発光）性色素またはホール輸送性色素を有機
薄膜の原料モノマーと同時に蒸発させることが出来るか
ら、該色素が均一に分散され、結晶化を防止できて、安
定性、耐久性に優れた発光層を基板上の陽極上に容易に
形成することが出来る。
【００７２】
【発明の効果】このように本発明では、有機ＥＬ素子の
有機薄膜の作製を全てドライプロセスで行えること。従
って、有機薄膜の均一な膜厚の作製、並び薄膜中への色
素の分散が容易に行え、また、有機薄膜の積層化が容易
であり、形成された有機薄膜は高分子膜、またはオリゴ
マー膜であるため、薄膜構造が安定性に優れ、有機ＥＬ
素子を作動させた時でも薄膜の劣化がなく耐久性に優れ
て、有機ＥＬ素子の寿命が長い等の効果がある。
有機薄膜の作製を全てドライプロセスで行えること。従
って、有機薄膜の均一な膜厚の作製、並び薄膜中への色
素の分散が容易に行え、また、有機薄膜の積層化が容易
であり、形成された有機薄膜は高分子膜、またはオリゴ
マー膜であるため、薄膜構造が安定性に優れ、有機ＥＬ
素子を作動させた時でも薄膜の劣化がなく耐久性に優れ
て、有機ＥＬ素子の寿命が長い等の効果がある。
【００７３】本発明の有機ＥＬ素子の形成方法によると
きは、基板上に発光層のみの単層構造、または基板上に
発光層とキャリア輸送層の２層構造の有機薄膜を均一な
膜厚で極めて容易に形成することが出来る効果がある。
また、基板上に有機薄膜の形成中に発光性色素、または
キャリア輸送性色素を蒸発させることにより、該有機薄
膜中に該色素が均一に分散された任意の膜厚を有する色
素分散有機薄膜を極めて容易に形成することが出来る。
きは、基板上に発光層のみの単層構造、または基板上に
発光層とキャリア輸送層の２層構造の有機薄膜を均一な
膜厚で極めて容易に形成することが出来る効果がある。
また、基板上に有機薄膜の形成中に発光性色素、または
キャリア輸送性色素を蒸発させることにより、該有機薄
膜中に該色素が均一に分散された任意の膜厚を有する色
素分散有機薄膜を極めて容易に形成することが出来る。
【図１】 本発明の形成方法で形成された有機ＥＬ素子
の１例の説明側面図、
の１例の説明側面図、
【図２】 本発明の有機ＥＬ素子の有機薄膜を形成する
のに用いる薄膜形成装置の１例の模式図、
のに用いる薄膜形成装置の１例の模式図、
【図３】 本発明形成方法の１例で作製された有機ＥＬ
素子の電圧と電流との関係を表す電圧−電流特性値図。
素子の電圧と電流との関係を表す電圧−電流特性値図。
１ 基板、 ２ 陽極、 ３ 発
光層、４ ホール輸送層、 ５ 陰極。
光層、４ ホール輸送層、 ５ 陰極。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 斉藤 省吾 福岡県春日市春日公園６−１ (72)発明者 筒井 哲夫 福岡県春日市春日公園６−１
Claims (9)
- 【請求項１】 基板上に形成された有機ＥＬ素子におい
て、該有機ＥＬ素子の有機薄膜が原料モノマーの蒸着重
合法で形成された高分子膜またはオリゴマー膜から成る
発光層であることを特徴とする有機ＥＬ素子。 - 【請求項２】 前記有機ＥＬ素子の有機薄膜は原料モノ
マーの蒸着重合法で形成された発光層とキャリア輸送層
の積層膜であることを特徴とする請求項第１項に記載の
有機ＥＬ素子。 - 【請求項３】 前記有機ＥＬ素子の有機薄膜のキャリア
輸送層は原料モノマーの蒸着重合法で形成された高分子
膜から成るホール輸送層またはホール輸送性色素を蒸着
させた蒸着膜から成るホール輸送層であることを特徴と
する請求項第２項に記載の有機ＥＬ素子。 - 【請求項４】 前記有機ＥＬ素子の有機薄膜のキャリア
輸送層は原料モノマーの蒸着重合法で形成された高分子
膜から成る電子輸送層であることを特徴とする請求項第
２項に記載の有機ＥＬ素子。 - 【請求項５】 前記有機ＥＬ素子の有機薄膜の発光層は
該発光層の原料モノマーの蒸着重合中に発光性色素また
はホール輸送性色素が分散された発光層であることを特
徴とする請求項第１項ないし第４項のいずれか１項に記
載の有機ＥＬ素子。 - 【請求項６】 真空中で高分子膜の原料モノマーを蒸発
させ、これを基板上で蒸着重合させて該基板上に高分子
膜またはオリゴマー膜から成る発光層を形成することを
特徴とする有機ＥＬ素子の形成方法。 - 【請求項７】 真空中で基板上に発光層の原料モノマー
を蒸発させ、これを該基板上で蒸着重合させて発光層を
形成し、該発光層の上にキャリア輸送層の原料モノマー
を蒸発させ、これを発光層の上で蒸着重合させてキャリ
ア輸送層を形成することを特徴とする有機ＥＬ素子の形
成方法。 - 【請求項８】 真空中で基板上にキャリア輸送層の原料
モノマーを蒸発させ、これを基板上で蒸着重合させてキ
ャリア輸送層を形成し、該キャリア輸送層の上に発光層
の原料モノマーを蒸発させ、これを該キャリア輸送層の
上で蒸着重合させて発光層を形成することを特徴とする
有機ＥＬ素子の形成方法。 - 【請求項９】 前記発光層は発光層の原料モノマーを蒸
発させ、基板上で該原料モノマーの薄膜を形成させつ
つ、これと同時に発光性色素またはホール輸送性色素を
蒸発させて、該発光性色素を該原料モノマーの薄膜中に
蒸着分散させた発光層であることを特徴とする請求項第
６項ないし第８項のいずれか１項に記載の有機ＥＬ素子
の形成方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5026840A JPH06243966A (ja) | 1993-02-16 | 1993-02-16 | 有機ｅｌ素子およびその形成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5026840A JPH06243966A (ja) | 1993-02-16 | 1993-02-16 | 有機ｅｌ素子およびその形成方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06243966A true JPH06243966A (ja) | 1994-09-02 |
Family
ID=12204472
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5026840A Pending JPH06243966A (ja) | 1993-02-16 | 1993-02-16 | 有機ｅｌ素子およびその形成方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06243966A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0698649A1 (de) * | 1994-08-26 | 1996-02-28 | Basf Aktiengesellschaft | Verwendung von thermoplastisch verarbeitbaren, langzeitstabilen elektrolumineszenten Materialien |
| US8389983B2 (en) | 2009-12-14 | 2013-03-05 | Samsung Display Co., Ltd. | Organic light emitting apparatus and method of manufacturing organic light emitting apparatus |
-
1993
- 1993-02-16 JP JP5026840A patent/JPH06243966A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0698649A1 (de) * | 1994-08-26 | 1996-02-28 | Basf Aktiengesellschaft | Verwendung von thermoplastisch verarbeitbaren, langzeitstabilen elektrolumineszenten Materialien |
| US8389983B2 (en) | 2009-12-14 | 2013-03-05 | Samsung Display Co., Ltd. | Organic light emitting apparatus and method of manufacturing organic light emitting apparatus |
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