JPH06241237A - 真空チャンバーロボット装置用２重同軸磁気カプラ - Google Patents

真空チャンバーロボット装置用２重同軸磁気カプラ

Info

Publication number
JPH06241237A
JPH06241237A JP6008679A JP867994A JPH06241237A JP H06241237 A JPH06241237 A JP H06241237A JP 6008679 A JP6008679 A JP 6008679A JP 867994 A JP867994 A JP 867994A JP H06241237 A JPH06241237 A JP H06241237A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
ring
magnetic
coupler
rings
coupling
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP6008679A
Other languages
English (en)
Other versions
JP3529416B2 (ja
Inventor
Craig L Stevens
エル． スティーヴンス クレイグ
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Applied Materials Inc
Original Assignee
Applied Materials Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Applied Materials Inc filed Critical Applied Materials Inc
Publication of JPH06241237A publication Critical patent/JPH06241237A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3529416B2 publication Critical patent/JP3529416B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
    • H02K49/00—Dynamo-electric clutches; Dynamo-electric brakes
    • H02K49/10—Dynamo-electric clutches; Dynamo-electric brakes of the permanent-magnet type
    • H02K49/104—Magnetic couplings consisting of only two coaxial rotary elements, i.e. the driving element and the driven element
    • H02K49/106—Magnetic couplings consisting of only two coaxial rotary elements, i.e. the driving element and the driven element with a radial air gap
    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
    • H02K5/00—Casings; Enclosures; Supports
    • H02K5/04—Casings or enclosures characterised by the shape, form or construction thereof
    • H02K5/12—Casings or enclosures characterised by the shape, form or construction thereof specially adapted for operating in liquid or gas
    • H02K5/128—Casings or enclosures characterised by the shape, form or construction thereof specially adapted for operating in liquid or gas using air-gap sleeves or air-gap discs

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Manipulator (AREA)
  • Dynamo-Electric Clutches, Dynamo-Electric Brakes (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 真空容器壁を通して２軸のシャフトの回転方
向の動きをつなぐための２つの磁気式カプラをもつコン
パクトな装置に関するものである。 【構成】 各カプラは、周上に磁石が配置された同一中
心のリングを２つ有し、これらのリングは、対応するリ
ング中にある磁石間で磁気的な結合が得られるように配
置されている。磁石が比較的多く配置されているので、
リング間で堅固な結合が得られるが、これらのリングに
は磁石とともに磁束リングがあるので、各リング上の隣
接する磁石間の不要な周方向の結合が小さくなってい
る。磁束リングによってリング間の径方向の磁力線に対
して帰り道が形成される。各リングに磁気シールドがあ
るので、カプラ間の相互結合は小さくなっている。これ
らの磁気シールドによって、カプラをその共通の軸上で
近接して配置することができる。腐食を抑えるために、
真空容器壁の真空側に配置された各磁石のリングは、ス
テンレスですっぽりと覆われている。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、一般的には、真空チャ
ンバー或いは他の大気のない環境下で用いられるメカト
ロロボット(electromechanichal robots )に関し、特
に、真空シールを用いないで真空チャンバーの壁を通し
て機械的なトルクを伝達するための磁気カプラを用いた
真空チャンバー用ロボット(vacuum chamber robots )に
関する。
【０００２】
【従来の技術】真空下において加工物(workpiece )を動
かすために様々なタイプのロボットがよく用いられてい
る。例えば、半導体の製作工程において、真空或いは真
空に近い環境下でプロセスチャンバ(processing chambe
rs )から出し入れするために基板やウェハを動かす必要
がある。
【０００３】角度方向及び径方向の動き(angular and r
adial motion )ができる真空チャンバー用ロボットをデ
ザインする上で２つの問題点がある。典型的なプロセス
システムでは、真空チャンバーは、プロセスチャンバー
に囲まれるようにしてほぼ中央に配置され、ロボット
は、基板やその他の加工物をあるプロセスチャンバーか
らほかのプロセスチャンバーに動かすという機能を果た
す。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】このような装置での一
つの問題は、大型の基板をあるプロセスチャンバーから
取り出し、新しい位置に回転し、ほかのプロセスチャン
バーにいれるようにするため、この大型の基板を収容す
るには真空チャンバーがかなり大きくなってしまうこと
である。デザイン目標は真空チャンバーの大きさを小さ
くすることにあり、これによって、より低い製造コス
ト、体積の小さなプロセスシステム、汚染の可能性の減
少をもたらすことになる。システムの大きさを規定す
る、周囲の多くのプロセスチャンバがあるなら、真空チ
ャンバーの大きさを減少することは難しい。しかし、多
くのプロセスチャンバーが比較的小さくなるとき、真空
チャンバーの容積を減少することは、通常、重要な目標
になる。
【０００５】真空チャンバーの大きさを小さくするため
の一つの方法は、ロボットの回転中央上に基板を配置で
きるようなロボットを装備することである。こうするこ
とで、可能な限り小さい真空チャンバー内でロボット及
び基板を回転させることができるようになる。ロボット
を中央位置の上方(over-center position)にまで動かし
うるようにするには、真空チャンバーの下方から真空チ
ャンバーの中へ結合するようなロボットの駆動機構が必
要になる。本発明は、真空チャンバーの中へ同軸シャフ
トの角方向の動きを伝達するための磁気式カプラに関わ
るものである。
【０００６】真空チャンバー用ロボットに用いるドライ
ブモータは、チャンバーの外に取付けられるのが望まし
く、角方向の動きは真空チャンバーの壁を通して伝達さ
れねばならない。真空チャンバーの壁を貫通する回転可
能な１本以上のシャフトを適応させるように真空チャン
バーをデザインするのは、このドライブシャフトのまわ
りのシールがよく故障を起こすことから、好ましいもの
ではない。２次元の動きを与えるようなロボットの場
合、２つの独立の駆動モータが必要であり、これはとて
も込み入った問題である。米国特許 4,951,601号（Mayd
an et al. ）に記載されているようなロボットは、２つ
の駆動トルクを真空チャンバー内に同軸で伝達するのに
好適である。このことを考慮すれば、ロボットをコンパ
クトにし、中央位置の上方にまで動かせるようにするに
は、同軸の駆動機構も必要になる。
【０００７】従来、磁気式のトルクカプラは多くの目的
で用いられてきた。基本的には、磁気式のトルクカプラ
は、２セットの磁石（通常は永久磁石）からなり、同軸
の離れたシャフトに取付けられ、真空バリアによって離
されている。磁石のセットはともに磁気的に結合してお
り、一本のシャフトの回転によって他方が同期して回転
するようになっている。
【０００８】この概念は簡単なものであるが、実際に用
いるには、特に、２同軸駆動のカプラとして用いる場合
には大きな問題点がある。根本的な要求として、機械的
なカプラは強くかつ堅固(stiff )でなけらばならない。
磁石の一方のセットの回転により、最小の応答おくれで
他方のほとんど同期した回転が生じなければばならな
い。磁気的な結合がゆるくなれば、ロボットの位置が不
正確なものになるか、良くても顕著な位置遅れ(positio
n delays )が生じる。もし、真空チャンバー内で２つの
駆動シャフトをつなぐのに２つのカプラを用いる場合、
これらのカプラの間の不要な相互結合(cross-coupling)
を最小にするようにカプラを通常は空間的に離さなけれ
ばならない。
【０００９】したがって、真空チャンバー用ロボットの
分野においては、まだ改良の必要がある。本発明はこの
要求にこたえるものである。
【００１０】
【課題を解決するための手段及び作用】本発明は、真空
チャンバー用ロボットに用いるための２軸の磁気式同軸
カプラを備えたものである。簡単に一般用語でいえば、
本発明の機構は、第１及び第２のカプラを有するもので
あり、これらの各カプラは、磁石の主リング(primary r
ing)と、この主リングと同一中心と略同一平面の磁石の
副リング(secondary ring)を有し、これら主リング及び
副リングは、共通の軸を中心にして独立して回転し得る
ように取り付けられ(mounted for independed rotation
)、半径方向にむけられた複数の磁石を含む。主リング
中にある磁石は、同じカプラの副リング中にある対応す
る磁石と径方向で磁気的に結合している。
【００１１】本発明の機構は、さらに、各リング中にあ
る隣り合った磁石間の不要な周方向の結合(unwanted ci
rcumferential coupling )を最小化する手段(means for
minimizing)と、異なる主又は副リングにおける隣り合
う磁石間の相互結合(cross-coupling)を最小化する手段
とを有する。本機構は、同軸の第１及び第２のカプラ
に、不要な周方向の結合又は相互結合を最小限にして強
い磁気的な結合を与える。
【００１２】カプラ機構の好ましい態様としては、主又
は副リング中にある磁石は、一つの磁石の位置から次の
磁石位置へとその極性が交互になるようにし、磁石の主
リング及び副リングは真空バリア(vacuum barrier)を隔
てて互いに反対側になるように配置されている。同じリ
ング中にある隣り合った磁石間の不要な周方向の結合を
最小化する手段は、真空バリアから最も離れた磁石の端
部に極めて近接して各主リング及び副リング中にある磁
石の隣に配置された環状磁束路リングを含んで構成され
る。環状磁束路リングは、真空バリアを通る径方向の磁
気的な結合(radial magnetic coupling across the vac
uum barrior)に対して低い磁気抵抗の磁路(flux path )
を与え、真空バリアに最も近い磁石端部における不要な
周方向の結合をできるだけ小さくする。
【００１３】第１及び第２のカプラの間の相互結合を最
小化する手段は、磁石の主及び副リングのそれぞれの環
状の磁気シールドを含む。磁気シールドは、他方のカプ
ラに最も近い位置においてリング中にある磁石に近接し
て装備される。環状の磁気シールドがなかった場合に２
つのカプラ間の不要な相互結合が生じるであろう磁力線
に対して、各磁気シールドは他の磁路を与える。
【００１４】本発明の好ましい態様としては、真空バリ
アの真空側に配置されたリングは、例えばステンレス製
などの保護カバーを有するものとし、真空を汚染する腐
食性の物質による影響を最小化するのが望ましい。
【００１５】上述のことから明らかなように、本発明
は、真空チャンバー用ロボットに用いるための磁気式カ
プラの分野において大きな進歩をもたらすものである。
特に、本発明のカップリング機構(coupling mechanism)
は、不要な周方向の結合や相互結合を最小におさえて、
２同軸のシャフトの角度位置(angular position)での強
い磁気的な結合をもたらす。本発明の他の態様及び利点
は、次に示す詳細な説明及び添付図面から明らかになろ
う。
【００１６】
【実施例】本発明は、図面に例示されているように、真
空チャンバー用ロボットに関するものであり、真空チャ
ンバー壁を通して２つのシャフトの角度変位をロボット
装置に伝達するための２同軸の磁気カプラ(dual coaxia
l magnetic couplers)に関するものである。磁気カプラ
を用いることによって、フリクションシール(friction
seals)、磁性流体シール(ferrofluidic seals)やベロー
構造(bellow structure)を採る必要がなくなり、また、
真空チャンバー内の微粒子汚染をほとんどなくすことが
できる。しかし、２同軸の磁気カプラはデザインするの
がむつかしく、このおもな理由は、強力な(stiff )磁気
的な結合を要する一方、２つのカプラの間で（磁気的
な）不要な結合又はクロストークをなくさねばならない
からである。クロストークは、弱い磁石を用いたり、磁
石の数が少なかったりすると減少するのであるが、これ
によってカップリングが弱くなるなど好ましくないこと
になる。クロストークは、２つのカプラをさらに遠くに
離間することによっても減少するが、これは利用できな
いほど大きなカプラ装置になる。
【００１７】本発明における２同軸の磁気カプラは、小
型の装置で、強い磁気的な結合(magnetic coupling) が
備わっているが、これらの結合の間のクロストークが非
常に小さいものになっている。本発明の実施例では、回
転軸の回りを角度方向に動くことができ、回転軸上方に
実際に加工物を移動させるよう内側に径方向に動くこと
ができる連結ロボット(linkage robot )即ちフロッグレ
ッグロボット(flog-leg robot)を駆動するために２同軸
カプラが用いられている。
【００１８】図１は、予備知識として、真空チャンバー
１２の中にある符号１０で示されるロボットのメカニズ
ムを示したものである。一般に、ロボットは、半導体又
はガラスの基板といった加工物を、あるプロセスチャン
バーから他のプロセスチャンバーに、或いはプロセスチ
ャンバーと基板の装填及び脱着用エアロックの間で、動
かすのに用いられる。プロセスチャンバーとエアロック
は図１では示されていないが、良好な空間配置になるよ
うに真空チャンバーと隣接されている。この図に示すよ
うにロボットの駆動機構１４は、真空チャンバー１２の
下方に全体的に外側で配置され、これによって、真空チ
ャンバーの汚染を小さし、ロボットの駆動機構のメンテ
ナンスが簡単になるようにしている。
【００１９】図２は、本発明の一般的な応用例として用
いられるフロッグレッグロボット機構の原理を示したも
のである。フロッグレッグ機構は取付け板(mounting pl
ate)２０を有し、この取付け板２０に、エンドエフェク
タとよばれる図示しないワークピース支持部(workpiece
support )がつながれる。エンドエフェクタマウント２
０は、回転軸２２に対して径方向及び角度方向に動かす
ことができる。この機構は、エンドエフェクタマウント
２０に加えて、第１及び第２の近位アーム(proximal ar
m)２４，２６、第１及び第２の遠位アーム(distal arm)
２８，２９、という４つの基本的なコンポーネントを持
つ。第１及び第２の近位アーム２４，２６は、軸２２を
中心に回動可能に装備されている。第１の遠位アーム２
８は、一端で第１の近位アーム２４の自由端に回動可能
に接続されており、その他端は、エンドエフェクタマウ
ント２０の一の側面に回動可能に接続されている。第２
の遠位アーム２９も同様に、第２の近位アーム２６の自
由端部及びエンドエフェクタマウント２０の他の側面に
回動可能に接続されている。
【００２０】第１及び第２の近位アーム２４，２６が、
矢印で示すように、同じ角速度で反対方向に回転する
と、エンドエフェクタマウント２０は軸２２の方にその
半径に沿って動く。近い方にある第１及び第２のアーム
２４，２６が、同じ角速度で同じ方向に回転すると、エ
ンドエフェクタマウント２０は、軸までの距離を維持し
ながら軸２２を中心に回転する。エンドエフェクタマウ
ント２０を径方向に延ばしてプロセスチャンバーから基
板その他の物を取り出し、エンドエフェクタマウント２
０を縮めて新たなプロセスチャンバーがある方に回転
し、エンドエフェクタマウント２０を再び延ばして新た
なチャンバーに基板を置くというのがこのロボット機構
の通常の操作手順である。真空チャンバーの体積を小さ
くするには、実質的に回転軸２２の上方の位置にエンド
エフェクタマウント２０を縮めることができるのが望ま
しい。当該機構は、最も縮めたときの位置が点線で、プ
ライムの付された符号で引用されたコンポーネントとと
もに示されている。
【００２１】図示したような最も縮めた位置になるよう
にするには、エンドエフェクタマウント２０が回転軸２
２の上方を自由に通れるようにしなければならない。そ
のためには、まず、近位アーム２４，２６を回転させる
ために用いられる駆動機構１４（図１）が全体的に真空
チャンバーの下方に配置されなければならない。一つの
近位アームが真空チャンバーの下方から駆動され、他方
が真空チャンバー１２の上方から駆動されるような場合
では、十分縮んだ位置にはならない。
【００２２】図３〜６に示すように、本発明は、ロボッ
ト機構を駆動するための２同軸磁気カプラについてコン
パクトな装置を提供するものである。強力な磁気的なカ
ップリング(magnetic coupling )を、不要な相互結合や
同じカプラ側にある隣り合った磁石間の実質的な結合(s
ubstantial coupling)をなくして達成するものである。
図３に示すように、このデュアルカプラ機構は、第１及
び第２の主リング３０，３２から成り、これらの主リン
グ３０，３２は、真空チャンバー壁１２の外側に配置さ
れ、共通の軸２２を中心に回転するように取付けられて
いる。例えば、第１の主リング３０は、フランジの付い
たシャフト３４に取付けられ、第２の主リング３２は、
シャフト上に回転自在に取付けられたフランジの付いた
ブッシング３６に取付けられるようにしてもかまわな
い。シャフト３４及びブッシング３６には、図に模式的
に示すように、別々の駆動モータＭ１（３８），Ｍ２
（４０）がつながれる。例えば、駆動モータＭ１はドラ
イブベルトでブッシング３６につなぎ、駆動モータＭ２
は直接シャフト３４につなぐようにしてもかまわない。
駆動モータＭ１，Ｍ２には従来からあるサーボモータを
用いて、角度位置及び角速度の正確な制御を可能にして
いる。
【００２３】図４に良く示されているように、磁石の主
リング３０，３２はそれぞれ、かなり多くの永久磁石を
備える。図では、磁石のＮ極及びＳ極は各々「Ｎ」，
「Ｓ」で示されている。図に示す本発明の実施例では、
各リングには４８個の磁石がある。特定設計における磁
石の個数は、カプラの大きさとか望ましい磁気的な結合
の強さとかいった要因できまる。説明が進むにつれて明
らかになるように、磁石は主リング３０，３２と次に説
明する副リングにこれらの径方向に置かれる。
【００２４】このデュアルカプラは、さらに、第１及び
第２の副リング４２，４４を有し、これらの副リング４
２，４４は、共通の軸２２を中心に回転するように取付
けられているが、真空チャンバー壁１２の内側に全体が
配置されている。これら副リングは主リング３０，３２
と同じ数の磁石にするのが望ましい。主リング３０，３
２中にある磁石と各副リング４２，４４中にある対応す
る磁石との間の半径方向の結合の結果としてカップリン
グメカニズムが機能する。主及び副リング中にある反対
極性は、真空チャンバー壁１２を通して互いに引き合
い、主リング３０，３２の一つの角度方向の動きは、副
リング４２，４４の対応した動きとなる。副リング４
２，４４はロボット機構１０としっかりと連結されてい
る（この点に付いては図示せず）。図２で示されている
フロッグレッグロボット機構の場合、副リング４２，４
４はそれぞれ、近い方のアーム２４，２６につながれて
いる。
【００２５】従来のカプラのデザインのあるものにおい
ては、永久磁石を周方向の線に沿って磁極をつなぐよう
にして配置したものがある。これに関しては２つの欠点
がある。まず、所定のサイズのリングにはそれほど多く
の磁石をのせることはできない。また、第２に、密接し
て磁石をリングに組み込むと、主リングと副リングとの
間で得られる所望の径方向の磁束路を犠牲にしてリング
の周りに強い周方向の磁束路が生じてしまう。
【００２６】本発明では、磁石を径方向に並べて、所定
のリングサイズに多くの磁石をのせ、これによって主リ
ングと副リングとの間でより強い磁気的な結合が得られ
ている。また、各リングに環状の磁束路を設けることに
よって、同じリング中にある隣り合った磁石間の不要な
結合を最小限にしている。特に、主リング３０，３２
は、その磁石の内側に配置された環状の磁束リング４
６，４８を有する。同様に、副リング４２，４４は、磁
石の外側に配置された環状の磁束リング５０，５２を有
する。磁束リング４６，４８，５０，５２は、並んだ主
リング及び副リングのペアの間の径方向の磁束線に対し
て磁気抵抗の小さな帰路になる。図６の拡大図に示すよ
うに、環状の磁束リングは主及び副リング中にある磁石
の間の磁束は強める。真空チャンバー壁面(interface )
から最も離れた磁石の端部での周方向の結合(circumfer
encial coupling)は、望ましいものになる（換言すれ
ば、主リング３０，３２の内側の磁極の近くにあり、副
リング４２，４４の外側の磁極の近くにあるためであ
る）。これらの領域内の周方向の磁路は、径方向に並べ
られた磁石を通る複数の並列の磁気回路（図６の点線参
照）を形成し、真空バリアを横切る径方向の結合(coupl
ing)を強める。真空チャンバー壁近くの磁極では、周方
向の結合がある程度あるであろうが、磁束リングがある
ことによって、この不要な結合は比較的小さく抑えられ
る。磁束リングがなければ、径方向の磁力線に対する磁
気抵抗の小さな帰路がなくなり、真空チャンバー壁１２
を横切る径方向の結合は弱いものになる。
【００２７】図５は、図３，４，６に示されていなかっ
た本発明の２つの特徴をさらに示したものである。コン
パクトなデュアルカプラ装置は、多くの理由から最も好
ましいものであるが、できるだけ真空チャンバーの高さ
を小さくできることがその主なものである。そのために
は、磁石の主リング３０，３２と磁石の副リング４２，
４４とは、極めて接近して配置されねばならない。図
３，５から明らかなように、このように接近した配置に
すると、主リング及び副リング中にある磁石間に不要な
相互結合(cross coupling)が生じることになる。この相
互結合によって悪い場合には、主リング３０，３２の一
方の動きによって、他方が動いてしまう。このような相
互結合は、明らかに、デュアルカプラを操作する際にお
いて様々な問題を孕むことになる。本発明の態様の一つ
では、各主リング３０，３２及び各副リング４２，４４
はそれぞれ、主及び副リング中にある磁石に接触する環
状のシールドリング６０を備える。各主リング上の環状
のシールドリング６０は、他方の主リングに最も近い磁
石の面上に接して配置されている。同様に、各副リング
上の環状のシールドリング６０は、他方の副リングに最
も近い磁石の面上に接して配置されている。各シールド
リング６０は、主リング同士或いは副リング同士の結合
を妨げるような磁路を形成する。シールドリング６０の
大きさ及び材質は、隣接する磁石リング間の空気又は真
空路の磁気抵抗よりも実質的に小さな磁気抵抗を与える
ように選択されねばならないが、磁石間を「ショート」
させたり、真空バリアを横切る所望の磁路を除外するほ
ど小さな磁気抵抗のものを選んではならない。
【００２８】図５に示された本発明の特徴のもう一つ
は、各副磁石リング４２，４４を囲む保護層６２を用い
ることである。副リング４２，４４は真空に近い環境下
に晒されるが、真空チャンバーは、周りのプロセスチャ
ンバーで使用された原料などによって汚染されるように
なる。これらの汚染物質の多くは、主及び副リングに用
いられる強磁性体材料に対して腐食性がある。保護層６
２はステンレス鋼或いは類似の材料でできている。
【００２９】上述したことから分かるように、本発明
は、磁気カプラの分野に大きな進歩をもたらすものであ
り、とくに、真空バリアを通して機械的なシャフトの回
転を伝達するのに用いるカプラの分野に大きな進歩をも
たらすものである。本発明は、良好で磁気的に強く堅固
であるが、隣り合った磁石間の不要な周方向の結合や不
要な相互結合のない磁気式同軸デュアルカプラを提供し
得る。発明の実施例は説明のために示されるものであ
り、発明の本質或いは範囲に基づいて様々な変形を行い
得ることは明らかである。したがって、本発明は、クレ
ーム以外では限定されない。
【００３０】
【発明の効果】本発明は、真空チャンバー用ロボットに
用いるための磁気式カプラの分野において大きな進歩を
もたらすものである。特に、本発明のカップリング機構
(coupling mechanism)は、不要な周方向の結合や相互結
合を最小におさえて、２同軸のシャフトの角度位置(ang
ular position)での強い磁気的な結合をもたらしうる。
【図面の簡単な説明】
【図１】真空チャンバーに関連するロボットと駆動機構
を示す簡単な全体図である。
【図２】本発明とともに用いられるフロッグレッグロボ
ット機構(flog-leg robot mechanism)の平面図である。
【図３】本発明に係る２同軸の磁気カプラを部分的に示
した簡単な全体図である。
【図４】図３の３−３断面を示したものであり、カプラ
の一つの平面図である。
【図５】図４の３−３断面を示したものであり、磁気カ
プラの拡大断面図である。
【図６】カプラの１を通る磁束路の一部を示したもので
あり、図４と類似の部分拡大図である。
【符号の説明】
１２…真空バリア、３０，３２…主リング、４０，４２
…副リング、軸、３４…シャフト、３６…ブッシング、
３８，４０…モータ、４６，４８，５０，５２…磁束路
リング、６０…磁気シールド保護カバー

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 磁石の主リング及びこの主リングと同一
    中心で略同一平面上にある磁石の副リングを有し、これ
    ら各リングが軸を共通にして回転するように取付けられ
    るとともに複数の半径方向に向けられたそ磁石を含み、
    前記主リングにある磁石が前記副リング上の対応する磁
    石と径方向で磁気的に結合するように構成された第１カ
    プラと、 第１カプラと類似の構成をもち、主リング及びこの主リ
    ングと同一中心で略同一平面上にある副リングを有する
    第２カプラであって、第２カプラのこれら各リングが前
    記第１のカプラと同じ軸を中心に回転するように取付け
    られるとともに複数の半径方向に向けられた磁石を含
    み、前記第１のカプラに対して軸方向に近く間隔を開け
    て配置された第２のカプラと、 前記リングのどの隣接した磁石間の不要な周方向の結合
    (circumferential coupling)を小さくする手段と、 異なった前記主リング又は副リングの隣接する磁石間の
    相互結合(cross coupling)を小さくする手段とを備え、 周方向の不要な結合或いは前記相互結合を小さくして前
    記第１及び第２の同軸カプラの間で強い磁気的な結合を
    与える２重磁気カプラ機構。
  2. 【請求項２】 前記各主及び副リングにある磁石は一つ
    の磁石の位置から次の磁石位置へと交互に替わる磁極を
    有し、 磁石の前記主及び副リングは、真空バリアに向かい合う
    側に配置され、 前記同じリングにある隣接する磁石間の周方向の不要な
    結合を小さくする手段は、前記真空バリアから最も離れ
    た磁石の端部に近接させて前記各主及び副リングの磁石
    と隣接させて配置された環状の磁束路リングを含んで構
    成され、 前記環状の磁束路リングは、前記真空バリアを通る径方
    向の磁気的な結合に対して低い磁気抵抗の磁束路を与
    え、真空バリアに最も近い磁石端部での周方向の不要な
    結合を小さくする請求項１記載の２重磁気カプラ機構。
  3. 【請求項３】 前記相互結合を小さくする手段は、前記
    主及び副リングの各々に、前記カプラの一方に最も近い
    位置でそのリング上の磁石に近接して取付けられた環状
    の磁気シールドを含んで構成され、 前記磁気シールドの各々は、それがなければ２つの前記
    カプラ間で不要な周方向の結合が生じるであろう磁束線
    に対して磁路を与える請求項１記載の２重磁気カプラ機
    構。
  4. 【請求項４】 前記相互結合を小さくする手段は、前記
    主及び副リングの各々に、前記カプラの一方に最も近い
    位置でそのリングにある磁石に近接して取付けられた環
    状の磁気シールドを含んで構成され、 前記磁気シールドの各々は、それがなければ２つの前記
    カプラ間で不要な周方向の結合が生じるであろう磁束線
    に対して磁路を与える請求項２記載の２重磁気カプラ機
    構。
  5. 【請求項５】 前記主及び副リングは、真空バリアに向
    かい合う側に配置され、 前記真空バリアの真空側に配置された前記リングは、真
    空を汚染する腐食性物質の影響を小さくするための保護
    カバーを有する請求項１記載の２重磁気カプラ機構。
  6. 【請求項６】 前記保護カバーはステンレス鋼でできて
    いる請求項５記載の２重磁気カプラ機構。
  7. 【請求項７】 前記第１のカプラは、その第１主リング
    を第１の駆動用モータとつなぐための手段と、その第１
    副リングを前記真空バリアの真空側にある２軸ロボット
    とつなぐための手段とをさらに有し、 前記第２のカプラは、その主リングを第２の駆動用モー
    タとつなぐための手段と、その副リングを前記２軸ロボ
    ットとつなぐための手段とをさらに有する請求項２記載
    の２重磁気カプラ機構。
  8. 【請求項８】 前記第１主リングを第１の駆動用モータ
    とつなぐための手段は、前記第１主リングが取付けられ
    ているシャフトを含んで構成され、 前記第２主リングを第２の駆動用モータとつなぐための
    手段は、前記シャフト上で回転し得るように取付けられ
    るとともに前記第２主リングが取付けられている筒形の
    ブッシングを含んで構成されている請求項２記載の２重
    磁気カプラ機構。
JP00867994A 1993-01-28 1994-01-28 真空チャンバーロボット装置用２重同軸磁気カプラ Expired - Lifetime JP3529416B2 (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US08/010,377 US5376862A (en) 1993-01-28 1993-01-28 Dual coaxial magnetic couplers for vacuum chamber robot assembly
US08/010377 1993-01-28

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH06241237A true JPH06241237A (ja) 1994-08-30
JP3529416B2 JP3529416B2 (ja) 2004-05-24

Family

ID=21745488

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP00867994A Expired - Lifetime JP3529416B2 (ja) 1993-01-28 1994-01-28 真空チャンバーロボット装置用２重同軸磁気カプラ

Country Status (2)

Country Link
US (2) US5376862A (ja)
JP (1) JP3529416B2 (ja)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001308012A (ja) * 2000-04-20 2001-11-02 Tokyo Electron Ltd 熱処理装置及びその方法
DE112009003498T5 (de) 2008-12-02 2012-10-04 Meidensha Corporation Vakuumkondensator
DE112009003538T5 (de) 2008-12-02 2012-10-04 Meidensha Corp. Vakuumkondensator
CN102844827A (zh) * 2010-04-19 2012-12-26 株式会社明电舍 真空电容器
JP2019505450A (ja) * 2016-02-03 2019-02-28 アイエムエー、インドゥストリア、マッキーネ、アウトマティケ、ソチエタ、ペル、アチオニＩ．Ｍ．Ａ． Ｉｎｄｕｓｔｒｉａ Ｍａｃｃｈｉｎｅ Ａｕｔｏｍａｔｉｃｈｅ Ｓ．Ｐ．Ａ 粉末製品の分注装置

Families Citing this family (70)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5739627A (en) * 1993-05-21 1998-04-14 Magna Force, Inc. Adjustable permanent magnet coupler
FR2715011B1 (fr) * 1994-01-13 1996-03-29 Schlumberger Ind Sa Système d'entraînement en rotation de deux organes mécaniques par accouplement magnétique et compteur de fluide comportant un tel système.
EP0865680A1 (en) * 1994-12-12 1998-09-23 Jorge De Armas Electromagnetic-coupled/levitated apparatus and method for rotating equipment
EP0797863B1 (en) * 1995-10-17 2001-05-16 Paul Richard Stonestreet Magnetic transmission couplings
US5818137A (en) * 1995-10-26 1998-10-06 Satcon Technology, Inc. Integrated magnetic levitation and rotation system
JP3444324B2 (ja) * 1995-11-30 2003-09-08 いすゞ自動車株式会社 永久磁石式渦電流減速装置
US20040005211A1 (en) * 1996-02-28 2004-01-08 Lowrance Robert B. Multiple independent robot assembly and apparatus and control system for processing and transferring semiconductor wafers
US6102164A (en) * 1996-02-28 2000-08-15 Applied Materials, Inc. Multiple independent robot assembly and apparatus for processing and transferring semiconductor wafers
US5694621A (en) * 1996-09-05 1997-12-02 Eastman Kodak Company Underwater one-time-use camera with magnetic torque coupling for film winding
US5886608A (en) * 1997-01-30 1999-03-23 The New Curiosity Shop, Inc. Apparatus for displaying the interactions between magnetic fields
JP3757016B2 (ja) * 1997-02-20 2006-03-22 ローツェ株式会社 ハンドリング用ロボット
US6099467A (en) 1998-03-27 2000-08-08 Karl Storz Gmbh & Co. Kg Device for positioning components within endoscopic systems
DE19713276C2 (de) * 1997-03-29 1999-06-17 Storz Karl Gmbh & Co Vorrichtung zum Positionieren von Bauelementen innerhalb endoskopischer Systeme
GB9822638D0 (en) * 1998-10-16 1998-12-09 Rolls Royce Plc Nested rotary shafts and support therefor
US8533960B1 (en) * 1999-07-12 2013-09-17 Dan Barish Electrical devices, particularly electrical shavers, having magnetically coupled drives, and adapters therefor
US6072258A (en) * 1999-08-04 2000-06-06 Magna Force, Inc. Permanent magnet coupler with adjustable air gaps
US6646364B1 (en) * 2000-07-11 2003-11-11 Honeywell International Inc. MEMS actuator with lower power consumption and lower cost simplified fabrication
US6411001B1 (en) * 2000-10-09 2002-06-25 Lockheed Martin Corporation Variable ratio angled magnetic drive
US6770146B2 (en) 2001-02-02 2004-08-03 Mattson Technology, Inc. Method and system for rotating a semiconductor wafer in processing chambers
US20030154923A1 (en) * 2002-02-19 2003-08-21 Innovative Technology Licensing, Llc Mechanical translator with ultra low friction ferrofluid bearings
US7288860B2 (en) * 2002-02-19 2007-10-30 Teledyne Licensing, Inc. Magnetic transducer with ferrofluid end bearings
US6812583B2 (en) 2002-02-19 2004-11-02 Rockwell Scientific Licensing, Llc Electrical generator with ferrofluid bearings
US6768230B2 (en) * 2002-02-19 2004-07-27 Rockwell Scientific Licensing, Llc Multiple magnet transducer
US6812598B2 (en) * 2002-02-19 2004-11-02 Rockwell Scientific Licensing, Llc Multiple magnet transducer with differential magnetic strengths
US6798090B2 (en) 2002-04-18 2004-09-28 Rockwell Scientific Licensing, Llc Electrical power generation by coupled magnets
KR100487689B1 (ko) * 2002-05-31 2005-05-03 주식회사 두배시스템 수중촬영장치의 동력전달기구
US6695070B1 (en) * 2002-08-05 2004-02-24 Matsushita Electric Works, Ltd. Magnetic impact device and method for magnetically generating impact motion
US6841910B2 (en) * 2002-10-02 2005-01-11 Quadrant Technology Corp. Magnetic coupling using halbach type magnet array
ITBO20040629A1 (it) * 2004-10-14 2005-01-14 Marchesini Group Spa Sistema per la trasmissione del moto tra organi separati da una parete divisoria
US20060182493A1 (en) * 2005-02-14 2006-08-17 Skoda George I Apparatus for magnetically coupling a position instrument
JP2008535462A (ja) * 2005-04-08 2008-08-28 アンドリュー ボイド フレンチ 磁気駆動装置
KR100760846B1 (ko) * 2006-09-04 2007-09-21 한국과학기술연구원 강성 발생 장치 및 이를 구비하는 로봇 머니퓰레이터의조인트
US8137048B2 (en) * 2006-09-27 2012-03-20 Vserv Technologies Wafer processing system with dual wafer robots capable of asynchronous motion
CH697642B1 (de) * 2007-05-15 2008-12-31 Philippe Saint Ger Ag Verfahren zur Beeinflussung der magnetischen Kopplung zwischen zwei voneinander beabstandeten Körpern sowie Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens.
US7861540B2 (en) * 2008-01-25 2011-01-04 Hamilton Storage Technologies, Inc. Automated storage and retrieval system for storing biological or chemical samples at ultra-low temperatures
US9375848B2 (en) 2012-06-25 2016-06-28 Systems Machine Automation Components Corporation Robotic finger
US9731418B2 (en) 2008-01-25 2017-08-15 Systems Machine Automation Components Corporation Methods and apparatus for closed loop force control in a linear actuator
EP2380192A4 (en) * 2008-12-19 2014-07-30 Lam Res Ag DEVICE FOR TREATING DISC-SHAPED ARTICLES AND METHOD FOR IMPLEMENTING THE SAME
US9780634B2 (en) 2010-09-23 2017-10-03 Systems Machine Automation Components Corporation Low cost multi-coil linear actuator configured to accommodate a variable number of coils
CN103370858B (zh) * 2011-02-17 2015-12-23 日立金属株式会社 电动机装置
CN102255579A (zh) * 2011-07-09 2011-11-23 常州新亚电机有限公司 一种磁吸式旋转体及其组合件
US9202733B2 (en) 2011-11-07 2015-12-01 Persimmon Technologies Corporation Robot system with independent arms
JP2013234699A (ja) * 2012-05-08 2013-11-21 Prospine:Kk 磁気カップリング装置
DE112013003169T5 (de) 2012-06-25 2015-03-26 Mark Cato Preiswerter linearer Stellantrieb mit reduziertem Durchmesser
US10916999B2 (en) 2013-03-19 2021-02-09 Intellitech Pty Ltd Device and method for using a magnetic clutch in BLDC motors
BR112015022360B1 (pt) 2013-03-19 2022-07-26 Vastech Holdings Ltd Aparelho para o acoplamento de potência mecânica entre o rotor de um motor de corrente contínua sem escovas e uma carga mecânica externa
TWI695447B (zh) 2013-11-13 2020-06-01 布魯克斯自動機械公司 運送設備
WO2015073647A1 (en) 2013-11-13 2015-05-21 Brooks Automation, Inc. Sealed robot drive
US10564221B2 (en) 2013-11-13 2020-02-18 Brooks Automation, Inc. Method and apparatus for brushless electrical machine control
KR102591049B1 (ko) 2013-11-13 2023-10-18 브룩스 오토메이션 인코퍼레이티드 밀봉된 스위치드 릴럭턴스 모터
US10807248B2 (en) 2014-01-31 2020-10-20 Systems, Machines, Automation Components Corporation Direct drive brushless motor for robotic finger
US9871435B2 (en) 2014-01-31 2018-01-16 Systems, Machines, Automation Components Corporation Direct drive motor for robotic finger
US20170227070A1 (en) * 2014-03-13 2017-08-10 Vastech Holdings Ltd. Magnetic clutch
GB2533167B (en) * 2014-12-12 2017-08-30 Thermo Fisher Scient (Bremen) Gmbh An adjustment mechanism
CN106292194B (zh) * 2015-05-24 2018-03-30 上海微电子装备（集团）股份有限公司 硅片传输系统
US10429211B2 (en) 2015-07-10 2019-10-01 Systems, Machines, Automation Components Corporation Apparatus and methods for linear actuator with piston assembly having an integrated controller and encoder
US10215802B2 (en) 2015-09-24 2019-02-26 Systems, Machines, Automation Components Corporation Magnetically-latched actuator
GB2544720A (en) 2015-10-15 2017-05-31 Vastech Holdings Ltd Electric motor
US10675723B1 (en) 2016-04-08 2020-06-09 Systems, Machines, Automation Components Corporation Methods and apparatus for inserting a threaded fastener using a linear rotary actuator
US10865085B1 (en) 2016-04-08 2020-12-15 Systems, Machines, Automation Components Corporation Methods and apparatus for applying a threaded cap using a linear rotary actuator
US11482434B2 (en) 2016-10-18 2022-10-25 Belting E-Town Semiconductor Technology Co., Ltd Systems and methods for workpiece processing
KR20210027503A (ko) 2016-10-18 2021-03-10 베이징 이타운 세미컨덕터 테크놀로지 컴퍼니 리미티드 워크피스 처리를 위한 시스템 및 방법
US10205355B2 (en) 2017-01-03 2019-02-12 Systems, Machines, Automation Components Corporation High-torque, low-current brushless motor
WO2019064239A1 (en) * 2017-09-29 2019-04-04 Genesis Robotics And Motion Technologies Canada, Ulc MAGNETIC SOLICITATION ASSEMBLY
DE102017124981B4 (de) * 2017-10-25 2024-03-07 Schölly Fiberoptic GmbH Magnetische Kupplung
GB201722054D0 (en) 2017-12-28 2018-02-14 Vastech Holdings Ltd Electric Motor
US20210159004A1 (en) * 2018-04-22 2021-05-27 Genesis Robotics And Motion Technologies, LP Magnetic assembly
FR3081170B1 (fr) * 2018-05-15 2021-04-30 Safran Ceram Installation de traitement chimique
CN108900067B (zh) * 2018-09-30 2023-09-29 河南晶珂锐真空科技有限公司 一种多功能磁耦合驱动器及使用该驱动器的真空设备
WO2020232074A1 (en) 2019-05-14 2020-11-19 Mattson Technology, Inc. Plasma processing apparatus having a focus ring adjustment assembly

Family Cites Families (72)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2722617A (en) * 1951-11-28 1955-11-01 Hartford Nat Bank & Trust Comp Magnetic circuits and devices
US2993152A (en) * 1957-07-18 1961-07-18 Westinghouse Electric Corp Shields for magnets
FR1187997A (fr) * 1959-01-20 1959-09-17 Commissariat Energie Atomique Télémanipulateur à transmission magnétique pour manipulation à l'intérieur d'enceintes étanches
US3523204A (en) * 1968-01-19 1970-08-04 Sydney Rand Magnetic transmission system
JPS5122150B1 (ja) * 1970-12-31 1976-07-07
US3799057A (en) * 1972-01-26 1974-03-26 Palmer Shile Co Electrical control system
GB1489055A (en) * 1973-08-17 1977-10-19 Pont Res & Investment Services Magnetic coupling
US3954191A (en) * 1974-11-18 1976-05-04 Extrion Corporation Isolation lock for workpieces
US4163914A (en) * 1977-04-11 1979-08-07 Keyes John H Infinitely variable ratio permanent magnet transmission
US4163164A (en) * 1977-10-11 1979-07-31 Micropump Corporation Split magnet drive
US4215330A (en) * 1977-12-20 1980-07-29 Ethel Hartman Permanent magnet propulsion system
JPS5656396A (en) * 1979-10-12 1981-05-18 Hiroshi Makino Robot for assembly
DE3012740A1 (de) * 1980-03-28 1981-10-08 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Magnetische zentral-drehkupplung
US4379598A (en) * 1980-12-22 1983-04-12 North American Philips Corporation Magnetic bearing
FR2499647B1 (fr) * 1981-02-06 1989-03-03 Nova Scotia Res Found Perfectionnements aux accouplements magnetiques hermetiques
IT1144724B (it) * 1981-06-03 1986-10-29 Comau Spa Apparecchio manipolatore a due bracci contrapposti
JPS5843421A (ja) * 1981-09-09 1983-03-14 Toshiba Corp 回転鏡光偏向器
DE3141312A1 (de) * 1981-10-17 1983-07-07 Leybold-Heraeus GmbH, 5000 Köln Vakuumlichtbogen-schmelz- und -giessofen mit vakuumkammer und kipptiegel
US4424473A (en) * 1982-02-05 1984-01-03 American Robot Corporation Drive apparatus for an industrial robot
JPS5950538A (ja) * 1982-09-17 1984-03-23 Hitachi Ltd ウエハ搬送装置
FR2537301B1 (fr) * 1982-12-07 1986-01-24 France Etat Convertisseur electro-mecanique a plusieurs degres de liberte
US4909701A (en) * 1983-02-14 1990-03-20 Brooks Automation Inc. Articulated arm transfer device
US4666366A (en) * 1983-02-14 1987-05-19 Canon Kabushiki Kaisha Articulated arm transfer device
EP0137819B1 (en) * 1983-02-14 1987-08-12 Aeronca Electronics, Inc. Articulated arm transfer device
US4544317A (en) * 1984-04-16 1985-10-01 International Business Machines Corporation Vacuum-to-vacuum entry system apparatus
EP0160305B1 (en) * 1984-05-02 1989-10-25 Kabushiki Kaisha Tokuda Seisakusho Carrying device
DE3418720A1 (de) * 1984-05-19 1985-11-21 Kuka Schweissanlagen + Roboter Gmbh, 8900 Augsburg Sicherungsvorrichtung fuer handhabungsgeraete zur abschaltung des motorischen antriebes bei kollision
DE3441332A1 (de) * 1984-11-12 1986-05-22 Forschungsinstitut für Steuerungstechnik der Werkzeugmaschinen und Fertigungseinrichtungen in der Institutsgemeinschaft Stuttgart e.V., 7000 Stuttgart Gelenkantrieb, insbesondere fuer industrieroboter
JPS61121880A (ja) * 1984-11-19 1986-06-09 松下電器産業株式会社 直接駆動方式ロボツト
US4712971A (en) * 1985-02-13 1987-12-15 The Charles Stark Draper Laboratory, Inc. Control arm assembly
DE3527687A1 (de) * 1985-08-01 1987-02-12 Siemens Ag Magnetkupplung mit integrierter magnetischer lagerentlastung
JPS6276246A (ja) * 1985-09-30 1987-04-08 Toshiba Corp 回転陽極形ｘ線管
US4715764A (en) * 1986-04-28 1987-12-29 Varian Associates, Inc. Gate valve for wafer processing system
JPS62296235A (ja) * 1986-06-17 1987-12-23 Matsushita Electric Ind Co Ltd 外部割り込み信号制御回路
US4841908A (en) * 1986-06-23 1989-06-27 Minnesota Mining And Manufacturing Company Multi-chamber deposition system
US5000652A (en) * 1986-09-22 1991-03-19 International Business Machines Corporation Wafer transfer apparatus
KR930002562B1 (ko) * 1986-11-20 1993-04-03 시미즈 겐세쯔 가부시끼가이샤 클린룸내에서 사용되는 방진저장 캐비넷장치
JPS63252439A (ja) * 1986-12-19 1988-10-19 アプライド　マテリアルズインコーポレーテッド 多チャンバの統合処理システム
US4951601A (en) * 1986-12-19 1990-08-28 Applied Materials, Inc. Multi-chamber integrated process system
US4819167A (en) * 1987-04-20 1989-04-04 Applied Materials, Inc. System and method for detecting the center of an integrated circuit wafer
US4861563A (en) * 1987-05-14 1989-08-29 Spectrum Cvd, Inc. Vacuum load lock
US4786359A (en) * 1987-06-24 1988-11-22 Tegal Corporation Xenon enhanced plasma etch
FR2620837B1 (fr) * 1987-09-21 1990-11-30 Commissariat Energie Atomique Dispositif d'orientation d'un objet autour de deux axes de rotation
US5092728A (en) * 1987-10-15 1992-03-03 Epsilon Technology, Inc. Substrate loading apparatus for a CVD process
JPH01125821A (ja) * 1987-11-10 1989-05-18 Matsushita Electric Ind Co Ltd 気相成長装置
US4808869A (en) * 1987-11-18 1989-02-28 Sundstrand Corp. Integral magnetic torque limiting coupling/motor
US4836826A (en) * 1987-12-18 1989-06-06 The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration Magnetic drive coupling
JP2502661B2 (ja) * 1988-03-04 1996-05-29 松下電器産業株式会社 気相成長装置
FR2633863A1 (fr) * 1988-07-07 1990-01-12 Margery Alain Robot manipulateur a deplacement horizontal circulaire
JPH0825151B2 (ja) * 1988-09-16 1996-03-13 東京応化工業株式会社 ハンドリングユニット
US4923584A (en) * 1988-10-31 1990-05-08 Eaton Corporation Sealing apparatus for a vacuum processing system
US5019233A (en) * 1988-10-31 1991-05-28 Eaton Corporation Sputtering system
US4952299A (en) * 1988-10-31 1990-08-28 Eaton Corporation Wafer handling apparatus
US4944860A (en) * 1988-11-04 1990-07-31 Eaton Corporation Platen assembly for a vacuum processing system
US4975586A (en) * 1989-02-28 1990-12-04 Eaton Corporation Ion implanter end station
US4962441A (en) * 1989-04-10 1990-10-09 Applied Materials, Inc. Isolated electrostatic wafer blade clamp
US5046909A (en) * 1989-06-29 1991-09-10 Applied Materials, Inc. Method and apparatus for handling semiconductor wafers
EP0423608B1 (en) * 1989-10-20 1996-06-05 Applied Materials, Inc. Two-axis magnetically coupled robot
US5227708A (en) * 1989-10-20 1993-07-13 Applied Materials, Inc. Two-axis magnetically coupled robot
JP2808826B2 (ja) * 1990-05-25 1998-10-08 松下電器産業株式会社 基板の移し換え装置
DE4117639A1 (de) * 1990-05-31 1991-12-05 Toshiba Kawasaki Kk Synchrotronstrahlungsgeraet
US5013949A (en) * 1990-06-25 1991-05-07 Sundstrand Corporation Magnetic transmission
US5204572A (en) * 1990-09-13 1993-04-20 Sundstrand Corporation Radial magnetic coupling
US5180955A (en) * 1990-10-11 1993-01-19 International Business Machines Corporation Positioning apparatus
JP3196218B2 (ja) * 1991-01-10 2001-08-06 ソニー株式会社 ウエハ搬送装置とウエハ搬送方法
US5297910A (en) * 1991-02-15 1994-03-29 Tokyo Electron Limited Transportation-transfer device for an object of treatment
US5180276A (en) * 1991-04-18 1993-01-19 Brooks Automation, Inc. Articulated arm transfer device
EP0512516B1 (en) * 1991-05-08 1995-12-20 Koyo Seiko Co., Ltd. Magnetic drive device
US5204573A (en) * 1991-07-17 1993-04-20 Vision Applications, Inc. Two-dimensional pointing motor
US5294209A (en) * 1991-07-25 1994-03-15 Yamaha Hatsudoki Kabushiki Kaisha Tool attaching device
DE9200071U1 (de) * 1992-01-04 1992-04-30 G + W Bühler Maschinenbau GmbH & Co. KG, 7836 Bahlingen Handhabungsgerät
US5293107A (en) * 1993-02-24 1994-03-08 Fanuc Robotics North America, Inc. Motorized rotary joint and method of constructing a modular robot utilizing same

Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001308012A (ja) * 2000-04-20 2001-11-02 Tokyo Electron Ltd 熱処理装置及びその方法
JP4605853B2 (ja) * 2000-04-20 2011-01-05 東京エレクトロン株式会社 熱処理装置、熱処理システム及び熱処理方法
DE112009003498T5 (de) 2008-12-02 2012-10-04 Meidensha Corporation Vakuumkondensator
DE112009003538T5 (de) 2008-12-02 2012-10-04 Meidensha Corp. Vakuumkondensator
US8749946B2 (en) 2008-12-02 2014-06-10 Meidensha Corporation Vacuum capacitor
US8755166B2 (en) 2008-12-02 2014-06-17 Meidensha Corporation Vacuum capacitor
CN102844827A (zh) * 2010-04-19 2012-12-26 株式会社明电舍 真空电容器
US8749947B2 (en) 2010-04-19 2014-06-10 Meidensha Corporation Vacuum capacitor
JP2019505450A (ja) * 2016-02-03 2019-02-28 アイエムエー、インドゥストリア、マッキーネ、アウトマティケ、ソチエタ、ペル、アチオニＩ．Ｍ．Ａ． Ｉｎｄｕｓｔｒｉａ Ｍａｃｃｈｉｎｅ Ａｕｔｏｍａｔｉｃｈｅ Ｓ．Ｐ．Ａ 粉末製品の分注装置
US10745163B2 (en) 2016-02-03 2020-08-18 I.M.A. Industria Macchine Automatiche S.P.A. Dosing apparatus for powder products

Also Published As

Publication number Publication date
JP3529416B2 (ja) 2004-05-24
US5539266A (en) 1996-07-23
US5376862A (en) 1994-12-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3529416B2 (ja) 真空チャンバーロボット装置用２重同軸磁気カプラ
JP2761438B2 (ja) 搬送装置
US11772261B2 (en) Compact direct drive spindle
JP6708546B2 (ja) 密封型ロボット駆動部
US5764012A (en) Two-axis magnetically coupled robot
KR100742091B1 (ko) 반도체 웨이퍼 취급용 로봇
TW201308505A (zh) 基板處理裝置
KR20010092771A (ko) 공동 회전축 상에 다중 아암을 구비한 기판이송장치
US6057662A (en) Single motor control for substrate handler in processing system
JPH06132380A (ja) 搬送装置
US6247889B1 (en) Multiple-shaft power transmission apparatus and wafer transport arm link
JP2948216B1 (ja) 複数軸動力伝達装置およびウエハ搬送用アームリンク
JP2001237294A (ja) 特定環境用ロボット
TWI688457B (zh) 運送設備
TW587133B (en) Coaxial type high vacuum magnetic transmission coupler
JPS6178200A (ja) 磁気駆動装置の磁気シ−ルド構造
JPS62123954A (ja) アクチユエ−タ
Wu et al. Design and analysis of vacuum robot for cluster tools
JPS62126860A (ja) アクチユエ−タの防塵構造
JP2001054278A (ja) 磁気結合組立体
JPS61121762A (ja) アクチユエ−タ
JPH0624422B2 (ja) アクチュエータ

Legal Events

Date Code Title Description
A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20040106

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20040128

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20040225

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080305

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090305

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100305

Year of fee payment: 6

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100305

Year of fee payment: 6

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110305

Year of fee payment: 7

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110305

Year of fee payment: 7

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120305

Year of fee payment: 8

RD02 Notification of acceptance of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R3D02

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120305

Year of fee payment: 8

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130305

Year of fee payment: 9

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130305

Year of fee payment: 9

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140305

Year of fee payment: 10

EXPY Cancellation because of completion of term