JPH06238537A - 台盤支持装置 - Google Patents
台盤支持装置Info
- Publication number
- JPH06238537A JPH06238537A JP5348227A JP34822793A JPH06238537A JP H06238537 A JPH06238537 A JP H06238537A JP 5348227 A JP5348227 A JP 5348227A JP 34822793 A JP34822793 A JP 34822793A JP H06238537 A JPH06238537 A JP H06238537A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- base
- bed supporting
- rigid body
- supporting apparatus
- groove
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25B—TOOLS OR BENCH DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR, FOR FASTENING, CONNECTING, DISENGAGING OR HOLDING
- B25B11/00—Work holders not covered by any preceding group in the subclass, e.g. magnetic work holders, vacuum work holders
- B25B11/005—Vacuum work holders
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Jigs For Machine Tools (AREA)
- Drilling And Boring (AREA)
- Shaping Of Tube Ends By Bending Or Straightening (AREA)
- Compressor (AREA)
- Iron Core Of Rotating Electric Machines (AREA)
- Machine Tool Units (AREA)
- Bending Of Plates, Rods, And Pipes (AREA)
- Gasket Seals (AREA)
- Accommodation For Nursing Or Treatment Tables (AREA)
- Insulation, Fastening Of Motor, Generator Windings (AREA)
- Mechanical Coupling Of Light Guides (AREA)
- Dowels (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 被加工材の形状が異なったり、加工部位が異
なっても、孔明け加工が可能な区域を簡単に変更できる
工作台等の台盤支持装置とする。 【構成】 複数の溝１を碁盤目等状に交差させて形成し
た基盤２と、溝１に沿って所望の長さに渡って曲折して
あるいは直線上に取り付け可能な台盤の支持体３からな
る。支持体３は、被加工材と基盤２との間に所定寸法Ｈ
の間隙を設ける高さ寸法を有し下端を溝１内に差し込め
る複数の略直角二等辺三角形状の剛性体４と、一対の剛
性体４、４に挟んで取り付け上下の頂部６、７を押し潰
し可能なフォームラバーからなる可撓体８とからなる。
剛性体４、４の組み合わせ体を、被加工材を載置するた
めに望まれる支持形状に必要な長さだけ連続的させ、可
撓体８をその全長に渡って連続して設ける。
なっても、孔明け加工が可能な区域を簡単に変更できる
工作台等の台盤支持装置とする。 【構成】 複数の溝１を碁盤目等状に交差させて形成し
た基盤２と、溝１に沿って所望の長さに渡って曲折して
あるいは直線上に取り付け可能な台盤の支持体３からな
る。支持体３は、被加工材と基盤２との間に所定寸法Ｈ
の間隙を設ける高さ寸法を有し下端を溝１内に差し込め
る複数の略直角二等辺三角形状の剛性体４と、一対の剛
性体４、４に挟んで取り付け上下の頂部６、７を押し潰
し可能なフォームラバーからなる可撓体８とからなる。
剛性体４、４の組み合わせ体を、被加工材を載置するた
めに望まれる支持形状に必要な長さだけ連続的させ、可
撓体８をその全長に渡って連続して設ける。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は板状の部材に孔明け等の
工作台等の台盤支持装置に関する。
工作台等の台盤支持装置に関する。
【０００２】
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】板状の
部材に孔明け等の工作を行なう装置の台盤には、ドリル
等の工具が台盤面に当たったり、台盤自体に孔を明けた
りしないように、台盤面の必要な部位に溝を設けたり、
台盤を分割してスリットを形成したりしている。しかし
ながらこのように台盤を形成することは、精密な平坦度
を必要とする台盤面を形成するためには非常に面倒で、
しかもコストが高くなるという問題がある。
部材に孔明け等の工作を行なう装置の台盤には、ドリル
等の工具が台盤面に当たったり、台盤自体に孔を明けた
りしないように、台盤面の必要な部位に溝を設けたり、
台盤を分割してスリットを形成したりしている。しかし
ながらこのように台盤を形成することは、精密な平坦度
を必要とする台盤面を形成するためには非常に面倒で、
しかもコストが高くなるという問題がある。
【０００３】そこで、台盤の一部を盛り上げて、その部
分で被加工材である板状の部材を支持する支持装置が提
案されている。この台盤は、予め所定の部位に溝を彫り
その中に可撓性のゴム材を埋めて孔明け加工が可能な区
域を定め、その区域内に加工すべき部位が位置するよう
に板状の被加工材を載せて加工を行なうようになってい
る。しかしながらこのような構造では、孔明け加工が可
能な区域を簡単には可変できず、被加工材の形状が異な
ったり、加工部位が異なってしまうと被加工材の載せ方
を変えなければならず、常にバランスよく被加工材を載
置、位置決めすることが難しかった。
分で被加工材である板状の部材を支持する支持装置が提
案されている。この台盤は、予め所定の部位に溝を彫り
その中に可撓性のゴム材を埋めて孔明け加工が可能な区
域を定め、その区域内に加工すべき部位が位置するよう
に板状の被加工材を載せて加工を行なうようになってい
る。しかしながらこのような構造では、孔明け加工が可
能な区域を簡単には可変できず、被加工材の形状が異な
ったり、加工部位が異なってしまうと被加工材の載せ方
を変えなければならず、常にバランスよく被加工材を載
置、位置決めすることが難しかった。
【０００４】載置した被加工材をしっかりと位置決めで
きる装置として、台盤上に所定の高さ寸法を有するゴム
材をグリッド状あるいは格子状に固着し、被加工材と台
盤との間を吸引して被加工材を吸着する装置がドイツ特
許ＤＥ ＤＥ−２．２５８．００７ 号に開示されてい
る。しかしながらこの装置においても孔明け加工が可能
な区域を簡単には可変できず、加工部位が異なってしま
うと被加工材の載せ方を変えなければならないという問
題は解決できていなかった。
きる装置として、台盤上に所定の高さ寸法を有するゴム
材をグリッド状あるいは格子状に固着し、被加工材と台
盤との間を吸引して被加工材を吸着する装置がドイツ特
許ＤＥ ＤＥ−２．２５８．００７ 号に開示されてい
る。しかしながらこの装置においても孔明け加工が可能
な区域を簡単には可変できず、加工部位が異なってしま
うと被加工材の載せ方を変えなければならないという問
題は解決できていなかった。
【０００５】本発明はこのような従来の問題点に鑑みて
なしたもので、被加工材の形状が異なったり、加工部位
が異なっても、孔明け加工が可能な区域を簡単に変更で
きる台盤支持装置を提供することを目的とする。
なしたもので、被加工材の形状が異なったり、加工部位
が異なっても、孔明け加工が可能な区域を簡単に変更で
きる台盤支持装置を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明に係る台盤支持装
置は上記目的を達成する構成として、複数の溝を碁盤目
等状に交差させて形成した基盤と、該溝に沿って所望の
長さに渡って曲折してあるいは直線状に取り付け可能な
支持体からなり、該支持体が、載置すべき被加工材と上
記基盤との間に所定寸法の間隙を設ける高さ寸法を有す
るとともに上記溝内に入り込まない幅寸法を有する複数
の略直角二等辺三角柱状の剛性体と、一対の該剛性体の
三角形の底辺をなす縁を含む側面間に上下に貫通するよ
うに挟んで取り付け上下の突出端を押し潰し可能な可撓
体とからなり、該可撓体を所望数組み合わせて略連続的
に並設した上記剛性体の全長に渡って連続する長さのも
のとしてある。
置は上記目的を達成する構成として、複数の溝を碁盤目
等状に交差させて形成した基盤と、該溝に沿って所望の
長さに渡って曲折してあるいは直線状に取り付け可能な
支持体からなり、該支持体が、載置すべき被加工材と上
記基盤との間に所定寸法の間隙を設ける高さ寸法を有す
るとともに上記溝内に入り込まない幅寸法を有する複数
の略直角二等辺三角柱状の剛性体と、一対の該剛性体の
三角形の底辺をなす縁を含む側面間に上下に貫通するよ
うに挟んで取り付け上下の突出端を押し潰し可能な可撓
体とからなり、該可撓体を所望数組み合わせて略連続的
に並設した上記剛性体の全長に渡って連続する長さのも
のとしてある。
【０００７】本発明に係る台盤支持装置は、上記剛性体
の底辺をなす縁を含む側面の幅寸法を、上記基盤の隣り
合う溝の中心間の寸法に略等しくした構成とすることが
できる。
の底辺をなす縁を含む側面の幅寸法を、上記基盤の隣り
合う溝の中心間の寸法に略等しくした構成とすることが
できる。
【０００８】本発明に係る台盤支持装置は、上記剛性体
の底辺をなす縁を含む側面と頂部を若干切り落として略
台形状とした構成とすることができる。
の底辺をなす縁を含む側面と頂部を若干切り落として略
台形状とした構成とすることができる。
【０００９】本発明に係る台盤支持装置は、上記剛性体
の底辺をなす縁を含む側面の上縁に、対をなす他の剛性
体との間に溝を形成する段部を設けた構成とすることが
できる。
の底辺をなす縁を含む側面の上縁に、対をなす他の剛性
体との間に溝を形成する段部を設けた構成とすることが
できる。
【００１０】本発明に係る台盤支持装置は、上記剛性体
の底辺をなす縁を含む側面の下縁に、上記基盤の溝内に
入り込む伸張部を設けた構成とすることができる。
の底辺をなす縁を含む側面の下縁に、上記基盤の溝内に
入り込む伸張部を設けた構成とすることができる。
【００１１】本発明に係る台盤支持装置は、上記可撓体
の頂部を半円形の断面形状とした構成とすることができ
る。
の頂部を半円形の断面形状とした構成とすることができ
る。
【００１２】本発明に係る台盤支持装置は、上記可撓体
の下端部を半円形の断面形状とした構成とすることがで
きる。
の下端部を半円形の断面形状とした構成とすることがで
きる。
【００１３】本発明に係る台盤支持装置は、上記基盤の
材質を磁性を有する金属製のものとし、上記剛性体を透
磁性を有する金属製とした構成とすることができる。
材質を磁性を有する金属製のものとし、上記剛性体を透
磁性を有する金属製とした構成とすることができる。
【００１４】本発明に係る台盤支持装置は、上記基盤の
材質を透磁性を有する金属製のものとし、上記剛性体を
磁性を有する金属製とした構成とすることができる。
材質を透磁性を有する金属製のものとし、上記剛性体を
磁性を有する金属製とした構成とすることができる。
【００１５】本発明に係る台盤支持装置は、上記基盤を
溝のない平滑表面を有するものとし、上記剛性体の下端
面を平坦面とし、さらに上記可撓体の下端を上記剛性体
の下端面から突出しない形状のものとした構成とするこ
とができる。
溝のない平滑表面を有するものとし、上記剛性体の下端
面を平坦面とし、さらに上記可撓体の下端を上記剛性体
の下端面から突出しない形状のものとした構成とするこ
とができる。
【００１６】
【実施例】以下本発明の実施例を図面を参照して説明す
る。図１は本発明に係る台盤支持装置の一部を拡大して
示す平面図、図２は図１の装置の拡大部分断面図であ
る。本実施例装置は、複数の溝１を碁盤目等状に交差さ
せて形成した基盤２と、溝１に沿って所望の長さに渡っ
て曲折してあるいは直線状に取り付け可能な台盤の支持
体３からなる。なお図示の例では溝１を直角に交差させ
ているが本発明はこれに限定されずその他の交差形状も
採用できる。
る。図１は本発明に係る台盤支持装置の一部を拡大して
示す平面図、図２は図１の装置の拡大部分断面図であ
る。本実施例装置は、複数の溝１を碁盤目等状に交差さ
せて形成した基盤２と、溝１に沿って所望の長さに渡っ
て曲折してあるいは直線状に取り付け可能な台盤の支持
体３からなる。なお図示の例では溝１を直角に交差させ
ているが本発明はこれに限定されずその他の交差形状も
採用できる。
【００１７】支持体３は、載置する被加工材（図１、図
２には示さず。）と基盤２との間に所定寸法Ｈの間隙を
設ける高さ寸法を有しかつ溝１内に入り込まない幅寸法
を有する複数の略直角二等辺三角形状の剛性体４と、一
対の剛性体４、４の三角形の底辺をなす縁を含む側面
５、５間に上下に貫通するように挟んで取り付け上下の
頂部６、７を押し潰し可能なフォームラバーからなる可
撓体８とからなる。剛性体４、４の組み合わせ体は、被
加工材を載置するために望まれる支持形状（例えば枠形
状）を構成するのに必要な長さだけ設けられ、可撓体８
は連続的に並べた剛性体４、４の組み合わせ体の全長に
渡って連続して設ける。もちろん可撓体８にはフォーム
ラバー以外の材質のものも採用できる。
２には示さず。）と基盤２との間に所定寸法Ｈの間隙を
設ける高さ寸法を有しかつ溝１内に入り込まない幅寸法
を有する複数の略直角二等辺三角形状の剛性体４と、一
対の剛性体４、４の三角形の底辺をなす縁を含む側面
５、５間に上下に貫通するように挟んで取り付け上下の
頂部６、７を押し潰し可能なフォームラバーからなる可
撓体８とからなる。剛性体４、４の組み合わせ体は、被
加工材を載置するために望まれる支持形状（例えば枠形
状）を構成するのに必要な長さだけ設けられ、可撓体８
は連続的に並べた剛性体４、４の組み合わせ体の全長に
渡って連続して設ける。もちろん可撓体８にはフォーム
ラバー以外の材質のものも採用できる。
【００１８】剛性体４の側面５の幅寸法は、基盤２の隣
り合う溝１、１の中心間の寸法に略等しくしてある。ま
た剛性体４は上述のように略直角二等辺三角形の水平断
面形状を有するが、側面５に対向する頂部９を若干切り
落として略台形状としてある。また側面５の上縁には段
部１０を設けてあり、対をなす他の剛性体４との間に溝
１１を形成するようになっている。さらに側面５の下縁
には、後述する可撓体８の下端部を受け入れるための若
干の窪み１２が形成してある。
り合う溝１、１の中心間の寸法に略等しくしてある。ま
た剛性体４は上述のように略直角二等辺三角形の水平断
面形状を有するが、側面５に対向する頂部９を若干切り
落として略台形状としてある。また側面５の上縁には段
部１０を設けてあり、対をなす他の剛性体４との間に溝
１１を形成するようになっている。さらに側面５の下縁
には、後述する可撓体８の下端部を受け入れるための若
干の窪み１２が形成してある。
【００１９】さらに剛性体４の側面５の下縁には、基盤
２の溝１内に入り込む伸張部１３を形成してある。これ
によって一対の剛性体４、４を組み合わせて溝１内に差
し込めば図２に示すように十分安定したものとなり、両
剛性体４、４の間に可撓体８をしっかりと挟み込める。
２の溝１内に入り込む伸張部１３を形成してある。これ
によって一対の剛性体４、４を組み合わせて溝１内に差
し込めば図２に示すように十分安定したものとなり、両
剛性体４、４の間に可撓体８をしっかりと挟み込める。
【００２０】可撓体８は、図２に示すように上端側の頂
部６を半円形の断面形状としてあり、また下端側の頂部
７も図では明確ではないが同様に半円形の断面形状とし
てある。これによって頂部６、７とも潰れた場合に剛性
体４、４が形成する溝１１と窪み１２内に収まりやすく
なる。
部６を半円形の断面形状としてあり、また下端側の頂部
７も図では明確ではないが同様に半円形の断面形状とし
てある。これによって頂部６、７とも潰れた場合に剛性
体４、４が形成する溝１１と窪み１２内に収まりやすく
なる。
【００２１】以上のように構成した支持体３は、連続す
る各剛性体４、４の組み合わせ体の間で自由に折曲げる
ことができ、図１に示すように基盤２の溝１に合わせて
所望の形状に折曲げて設置することができる。また剛性
体４の側面５の寸法を上述のように溝１、１の中心間寸
法に合わせてあるので、各溝１の中心位置で他の組み合
わせ体の剛性体４の端部と突き合わせ状態で位置させる
ことができ（突き合わせ部分を図中矢印Ｘで示す。）、
しっかりとした支持構造が形成できるとともに、隙間な
く剛性体４の組み合わせ体を連続させることができる。
る各剛性体４、４の組み合わせ体の間で自由に折曲げる
ことができ、図１に示すように基盤２の溝１に合わせて
所望の形状に折曲げて設置することができる。また剛性
体４の側面５の寸法を上述のように溝１、１の中心間寸
法に合わせてあるので、各溝１の中心位置で他の組み合
わせ体の剛性体４の端部と突き合わせ状態で位置させる
ことができ（突き合わせ部分を図中矢印Ｘで示す。）、
しっかりとした支持構造が形成できるとともに、隙間な
く剛性体４の組み合わせ体を連続させることができる。
【００２２】このため図３のように適宜の形状に支持体
３で基盤１のある区域を取り囲めば、吸引装置を使用し
ても漏れのない構造を形成できる。図３の構造は、ある
一つの組み合わせ体を構成する剛性体４、４に吸引孔１
４を設け、そこに吸引装置に接続したパイプ１５を連結
してある。これによって図４に示すように支持体３上に
板状の被加工材１６を載せ、被加工材１６と基盤２との
間に形成される空間１７を吸引すれば、被加工材１６を
しっかりと支持体３上に吸着でき、位置決め固定でき
る。もちろん被加工材１６の重量が重く、自重で支持体
３の可撓体８を完全に押し潰すものであれば、吸引は必
要がないことが多い。なお図３中の１８は支持体３の余
り部分であり、図示のように囲みの内側へ折り返してお
けば、被加工材１６の支持を強化できる。もちろん囲み
の外側へ出すようにしてもよい。
３で基盤１のある区域を取り囲めば、吸引装置を使用し
ても漏れのない構造を形成できる。図３の構造は、ある
一つの組み合わせ体を構成する剛性体４、４に吸引孔１
４を設け、そこに吸引装置に接続したパイプ１５を連結
してある。これによって図４に示すように支持体３上に
板状の被加工材１６を載せ、被加工材１６と基盤２との
間に形成される空間１７を吸引すれば、被加工材１６を
しっかりと支持体３上に吸着でき、位置決め固定でき
る。もちろん被加工材１６の重量が重く、自重で支持体
３の可撓体８を完全に押し潰すものであれば、吸引は必
要がないことが多い。なお図３中の１８は支持体３の余
り部分であり、図示のように囲みの内側へ折り返してお
けば、被加工材１６の支持を強化できる。もちろん囲み
の外側へ出すようにしてもよい。
【００２３】なお基盤２の材質を磁性を有する金属製の
ものとし、剛性体４を透磁性を有する金属製とするか、
あるいは基盤２の材質を透磁性を有する金属製のものと
し、剛性体４を磁性を有する金属製としてもよい。この
ようにすると基盤２に対する剛性体４の取り付け力がさ
らに強化される。また基盤が溝のない平滑表面を有する
ものにも本発明を適用できるようになる。この場合、剛
性体４の下端の伸張部１３を形成しないようにして平坦
面とし、さらに可撓体８の下端も剛性体４の下端面から
突出しない形状とすればよい。
ものとし、剛性体４を透磁性を有する金属製とするか、
あるいは基盤２の材質を透磁性を有する金属製のものと
し、剛性体４を磁性を有する金属製としてもよい。この
ようにすると基盤２に対する剛性体４の取り付け力がさ
らに強化される。また基盤が溝のない平滑表面を有する
ものにも本発明を適用できるようになる。この場合、剛
性体４の下端の伸張部１３を形成しないようにして平坦
面とし、さらに可撓体８の下端も剛性体４の下端面から
突出しない形状とすればよい。
【００２４】
【発明の効果】本発明に係る台盤支持装置は以上説明し
てきたようなものなので、被加工材の形状が異なった
り、加工部位が異なっても、孔明け加工が可能な区域を
簡単に変更でき、加工機の台盤装置として非常に適した
ものになるという効果がある。
てきたようなものなので、被加工材の形状が異なった
り、加工部位が異なっても、孔明け加工が可能な区域を
簡単に変更でき、加工機の台盤装置として非常に適した
ものになるという効果がある。
【図１】本発明に係る台盤支持装置の一部を拡大して示
す平面図である。
す平面図である。
【図２】図１の装置の拡大部分断面図である。
【図３】本発明に係る台盤支持装置に吸引手段を取り付
けて構成した装置の全体を示す平面図である。
けて構成した装置の全体を示す平面図である。
【図４】図３の装置の断面図である。
１ 基盤の溝 ２ 基盤 ３ 支持体 ４ 剛性体 ５ 剛性体の側面 ６、７ 可撓体の頂部 ８ 可撓体 ９ 剛性体の頂部 １０ 段部 １１ 溝 １２ 窪み １３ 伸張部 １４ 吸引孔 １５ パイプ １６ 被加工材 １７ 空間 １８ 支持体の余り部分 Ｘ 突き合わせ部分
Claims (10)
- 【請求項１】 複数の溝を碁盤目等状に交差させて形成
した基盤と、該溝に沿って所望の長さに渡って曲折して
あるいは直線状に取り付け可能な支持体からなり、該支
持体が、載置すべき被加工材と上記基盤との間に所定寸
法の間隙を設ける高さ寸法を有するとともに上記溝内に
入り込まない幅寸法を有する複数の略直角二等辺三角柱
状の剛性体と、一対の該剛性体の三角形の底辺をなす縁
を含む側面間に上下に貫通するように挟んで取り付け上
下の突出端を押し潰し可能な可撓体とからなり、該可撓
体を所望数組み合わせて略連続的に並設した上記剛性体
の全長に渡って連続する長さのものとしたことを特徴と
する台盤支持装置。 - 【請求項２】 請求項１に記載の台盤支持装置におい
て、上記剛性体の底辺をなす縁を含む側面の幅寸法を、
上記基盤の隣り合う溝の中心間の寸法に略等しくしたこ
とを特徴とする台盤支持装置。 - 【請求項３】 請求項１または２に記載の台盤支持装置
において、上記剛性体の底辺をなす縁を含む側面と対向
する頂部を若干切り落として略台形状としたことを特徴
とする台盤支持装置。 - 【請求項４】 請求項１ないし３のいずれかに記載の台
盤支持装置において、上記剛性体の底辺をなす縁を含む
側面の上縁に、対をなす他の剛性体との間に溝を形成す
る段部を設けたことを特徴とする台盤支持装置。 - 【請求項５】 請求項１ないし４のいずれかに記載の台
盤支持装置において、上記剛性体の底辺をなす縁を含む
側面の下縁に、上記基盤の溝内に入り込む伸張部を設け
たことを特徴とする台盤支持装置。 - 【請求項６】 請求項１ないし５のいずれかに記載の台
盤支持装置において、上記可撓体の頂部を半円形の断面
形状としたことを特徴とする台盤支持装置。 - 【請求項７】 請求項１ないし６のいずれかに記載の台
盤支持装置において、上記可撓体の下端部を半円形の断
面形状としたことを特徴とする台盤支持装置。 - 【請求項８】 請求項１ないし７に記載の台盤支持装置
において、上記基盤の材質を磁性を有する金属製のもの
とし、上記剛性体を透磁性を有する金属製としたことを
特徴とする台盤支持装置。 - 【請求項９】 請求項１ないし７に記載の台盤支持装置
において、上記基盤の材質を透磁性を有する金属製のも
のとし、上記剛性体を磁性を有する金属製としたことを
特徴とする台盤支持装置。 - 【請求項１０】 請求項８または９の台盤支持装置にお
いて、上記基盤を溝のない平滑表面を有するものとし、
上記剛性体の下端面を平坦面とし、さらに上記可撓体の
下端を上記剛性体の下端面から突出しない形状のものと
したことを特徴とする台盤支持装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| FR9215974 | 1992-12-24 | ||
| FR9215974A FR2699846B1 (fr) | 1992-12-24 | 1992-12-24 | Elément de calage articulé. |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06238537A true JPH06238537A (ja) | 1994-08-30 |
Family
ID=9437326
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5348227A Pending JPH06238537A (ja) | 1992-12-24 | 1993-12-24 | 台盤支持装置 |
Country Status (7)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5454552A (ja) |
| EP (1) | EP0604339B1 (ja) |
| JP (1) | JPH06238537A (ja) |
| AT (1) | ATE130233T1 (ja) |
| CA (1) | CA2112291C (ja) |
| DE (1) | DE69300814D1 (ja) |
| FR (1) | FR2699846B1 (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5572786A (en) * | 1995-09-11 | 1996-11-12 | Aluminum Company Of America | Method for holding a workpiece by vacuum |
| JP4073735B2 (ja) * | 2001-08-23 | 2008-04-09 | エーエスエムエル ネザーランズ ビー．ブイ． | リソグラフィ装置の投影システムの収差を測定する方法、およびデバイス製造方法 |
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