JPH06232036A - 液体回収装置及び回収方法 - Google Patents
液体回収装置及び回収方法Info
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- JPH06232036A JPH06232036A JP1733793A JP1733793A JPH06232036A JP H06232036 A JPH06232036 A JP H06232036A JP 1733793 A JP1733793 A JP 1733793A JP 1733793 A JP1733793 A JP 1733793A JP H06232036 A JPH06232036 A JP H06232036A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 レジスト液及び溶剤を回収して再利用するこ
とができる液体回収装置及び回収方法を提供する。 【構成】 回収装置は切換手段１及びレジスト廃液回収
容器２並びに溶剤廃液回収容器３を主構成要素とし、切
換手段１を介して回転塗布装置４に接続している。切換
手段１はアウターカップ廃液排気口１２と接続してい
る。またレジスト廃液回収容器２は、回収液タンク１
３、液受入管１４、排気管１５、排気トラップボックス
１６、及び廃液量センサー１７からなる。また溶剤廃液
回収容器３は、回収液タンク１９、液受入管２０、排気
管２１、排気トラップボックス２２、及び廃液量センサ
ー２３からなる。また、切換手段１と液受入管１４、２
０との間、及び排気管１５、２１と図示しない排気処理
装置との間はフレキシブル管１８によって接続されてい
る。
とができる液体回収装置及び回収方法を提供する。 【構成】 回収装置は切換手段１及びレジスト廃液回収
容器２並びに溶剤廃液回収容器３を主構成要素とし、切
換手段１を介して回転塗布装置４に接続している。切換
手段１はアウターカップ廃液排気口１２と接続してい
る。またレジスト廃液回収容器２は、回収液タンク１
３、液受入管１４、排気管１５、排気トラップボックス
１６、及び廃液量センサー１７からなる。また溶剤廃液
回収容器３は、回収液タンク１９、液受入管２０、排気
管２１、排気トラップボックス２２、及び廃液量センサ
ー２３からなる。また、切換手段１と液受入管１４、２
０との間、及び排気管１５、２１と図示しない排気処理
装置との間はフレキシブル管１８によって接続されてい
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はガラス基板や半導体ウェ
ハ等の被処理物の塗布装置に係る廃液の回収装置及び回
収方法に関する。
ハ等の被処理物の塗布装置に係る廃液の回収装置及び回
収方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】ガラス基板や半導体ウェハ等の被処理物
の表面にレジスト液を均一に塗布するために、回転カッ
プ型等の回転塗布装置が用いられている。回転塗布の際
には、遠心力によってレジスト液が飛散させられるた
め、大量のレジスト廃液が発生する。また、被処理物の
塗布の合間には、残留するレジスト液の硬化を防ぎ、或
いはカラーレジストの場合は他の色のレジスト液との混
濁を避けるため、塗布装置内を大量の溶剤で洗い流す必
要がある。このようにして生じたレジスト廃液及び溶剤
廃液は、従来同一の回収容器に溜められていた。
の表面にレジスト液を均一に塗布するために、回転カッ
プ型等の回転塗布装置が用いられている。回転塗布の際
には、遠心力によってレジスト液が飛散させられるた
め、大量のレジスト廃液が発生する。また、被処理物の
塗布の合間には、残留するレジスト液の硬化を防ぎ、或
いはカラーレジストの場合は他の色のレジスト液との混
濁を避けるため、塗布装置内を大量の溶剤で洗い流す必
要がある。このようにして生じたレジスト廃液及び溶剤
廃液は、従来同一の回収容器に溜められていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来の回収方
法では、レジスト廃液及び溶剤廃液が混在しているた
め、レジスト廃液及び溶剤廃液を回収して再利用するに
は、この混在廃液中からレジスト分を分別しなければな
らず、作業上不当に長時間を要しコスト高となるため、
これまで回収して再利用されることがなかった。
法では、レジスト廃液及び溶剤廃液が混在しているた
め、レジスト廃液及び溶剤廃液を回収して再利用するに
は、この混在廃液中からレジスト分を分別しなければな
らず、作業上不当に長時間を要しコスト高となるため、
これまで回収して再利用されることがなかった。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決すべく本
願発明は被処理物上に、回転塗布装置によってレジスト
液を塗布する際に生じるレジスト廃液、及び前記塗布装
置を洗浄する際に生じる溶剤廃液の回収装置であって、
この回収装置は前記塗布装置で生じたレジスト廃液の流
路と溶剤廃液の流路とを切換える手段と、この切換手段
を介して前記塗布装置に接続されるレジスト廃液回収容
器及び溶剤廃液回収容器とを備えるようにした。
願発明は被処理物上に、回転塗布装置によってレジスト
液を塗布する際に生じるレジスト廃液、及び前記塗布装
置を洗浄する際に生じる溶剤廃液の回収装置であって、
この回収装置は前記塗布装置で生じたレジスト廃液の流
路と溶剤廃液の流路とを切換える手段と、この切換手段
を介して前記塗布装置に接続されるレジスト廃液回収容
器及び溶剤廃液回収容器とを備えるようにした。
【０００５】また、本願発明の方法は、被処理物上に、
回転塗布装置によってレジスト液を塗布する際に生じる
レジスト廃液と、前記被処理物の塗布後に塗布装置内部
を溶剤で洗浄する際に生じる溶剤廃液とを、前記回転塗
布装置からの廃液流路に設けた切換手段を操作して、レ
ジスト廃液回収容器及び溶剤廃液回収容器に分別回収す
る。
回転塗布装置によってレジスト液を塗布する際に生じる
レジスト廃液と、前記被処理物の塗布後に塗布装置内部
を溶剤で洗浄する際に生じる溶剤廃液とを、前記回転塗
布装置からの廃液流路に設けた切換手段を操作して、レ
ジスト廃液回収容器及び溶剤廃液回収容器に分別回収す
る。
【０００６】
【作用】レジスト廃液と溶剤廃液とが分別回収されるた
め、それぞれの廃液を再利用することが可能となる。
め、それぞれの廃液を再利用することが可能となる。
【０００７】
【実施例】以下に本発明の実施例を添付図面に基づいて
説明する。ここで、図１は本発明に基づく回収装置が回
転塗布装置と接続された様子を示す部分断面図、図２は
同平面図である。
説明する。ここで、図１は本発明に基づく回収装置が回
転塗布装置と接続された様子を示す部分断面図、図２は
同平面図である。
【０００８】本発明に基づく回収装置は切換手段１及び
レジスト廃液回収容器２並びに溶剤廃液回収容器３を主
構成要素とし、この切換手段１を介して回転塗布装置４
に接続されている。
レジスト廃液回収容器２並びに溶剤廃液回収容器３を主
構成要素とし、この切換手段１を介して回転塗布装置４
に接続されている。
【０００９】回転塗布装置４は、回転カップ５内に真空
チャック機能を有するスピンナー６を備えている。また
被処理物Ｗの出し入れを行い、且つレジスト液並びに溶
剤の飛散を防止するための回転カップカバー７が、閉時
には回転カップ５上端の内周に密着するように設けられ
ている。この回転カップカバー７の中心部は、回転カッ
プカバーアーム８に回転可能に連結されて回転カップカ
バー７の開け閉めを行う。
チャック機能を有するスピンナー６を備えている。また
被処理物Ｗの出し入れを行い、且つレジスト液並びに溶
剤の飛散を防止するための回転カップカバー７が、閉時
には回転カップ５上端の内周に密着するように設けられ
ている。この回転カップカバー７の中心部は、回転カッ
プカバーアーム８に回転可能に連結されて回転カップカ
バー７の開け閉めを行う。
【００１０】一方、回転カップ５の外周には、アウター
カップ９が設置されており、このアウターカップ９内に
形成された空間部１０には、回転カップ５の壁を貫通し
て付設された複数のドレインパイプ１１の先端が突出し
ている。
カップ９が設置されており、このアウターカップ９内に
形成された空間部１０には、回転カップ５の壁を貫通し
て付設された複数のドレインパイプ１１の先端が突出し
ている。
【００１１】本発明に係る切換手段１は、上記回転塗布
装置４のアウターカップ９に設けられたアウターカップ
廃液排気口１２と接続されている。この切換手段１の接
続は、本例のように廃液排気口１２に直結されていても
よく、また、配管を介して間接的に繋がれていてもよ
い。また、このような切換手段１としては、特に防爆型
の電磁式切換弁又は空気式切換弁が好ましいが、その他
手動式の切換弁、或いは空気式、電磁式、手動式等のボ
ール弁、ゲート弁、バタフライバルブ等を組合わせて切
換え手段を形成してもよい。これらの切換手段１は、使
用するレジスト液又は溶剤と化学的な反応を起こさない
材質のものを適宜選択する。上記電磁式又は空気式の切
換手段１を用いた場合には、回転塗布装置４における塗
装工程、洗浄工程等に連動させて作動用信号を送ること
ができるため有利である。
装置４のアウターカップ９に設けられたアウターカップ
廃液排気口１２と接続されている。この切換手段１の接
続は、本例のように廃液排気口１２に直結されていても
よく、また、配管を介して間接的に繋がれていてもよ
い。また、このような切換手段１としては、特に防爆型
の電磁式切換弁又は空気式切換弁が好ましいが、その他
手動式の切換弁、或いは空気式、電磁式、手動式等のボ
ール弁、ゲート弁、バタフライバルブ等を組合わせて切
換え手段を形成してもよい。これらの切換手段１は、使
用するレジスト液又は溶剤と化学的な反応を起こさない
材質のものを適宜選択する。上記電磁式又は空気式の切
換手段１を用いた場合には、回転塗布装置４における塗
装工程、洗浄工程等に連動させて作動用信号を送ること
ができるため有利である。
【００１２】本発明に係るレジスト廃液回収容器２は、
回収液タンク１３、回転塗布装置４から送られてくるレ
ジスト液を回収液タンク１３へ受入れるための液受入管
１４、回収液タンク１３からの排気を送出するための排
気管１５、回収液タンク１３周辺にレジスト液に含まれ
る溶剤等が気化して洩れた場合に備える排気トラップボ
ックス１６、及び廃液量センサー１７からなる。また、
切換手段１と液受入管１４との間、及び排気管１５と図
示しない排気処理装置との間はフレキシブル管１８によ
って接続されている。
回収液タンク１３、回転塗布装置４から送られてくるレ
ジスト液を回収液タンク１３へ受入れるための液受入管
１４、回収液タンク１３からの排気を送出するための排
気管１５、回収液タンク１３周辺にレジスト液に含まれ
る溶剤等が気化して洩れた場合に備える排気トラップボ
ックス１６、及び廃液量センサー１７からなる。また、
切換手段１と液受入管１４との間、及び排気管１５と図
示しない排気処理装置との間はフレキシブル管１８によ
って接続されている。
【００１３】本発明に係る溶剤廃液回収容器３について
は、基本的にレジスト廃液回収容器２と同様の構成を有
しており、回収液タンク１９、回転塗布装置４から送ら
れてくる溶剤廃液を回収液タンク１９へ受入れるための
液受入管２０、回収液タンク１９からの排気を送出する
ための排気管２１、回収液タンク１９周辺に溶剤が気化
して洩れた場合のための排気トラップボックス２２、及
び廃液量センサー２３からなる。また、切換手段１と液
受入管２０との間、及び排気管２１と図示しない排気処
理装置との間はフレキシブル管１８によって接続されて
いる。
は、基本的にレジスト廃液回収容器２と同様の構成を有
しており、回収液タンク１９、回転塗布装置４から送ら
れてくる溶剤廃液を回収液タンク１９へ受入れるための
液受入管２０、回収液タンク１９からの排気を送出する
ための排気管２１、回収液タンク１９周辺に溶剤が気化
して洩れた場合のための排気トラップボックス２２、及
び廃液量センサー２３からなる。また、切換手段１と液
受入管２０との間、及び排気管２１と図示しない排気処
理装置との間はフレキシブル管１８によって接続されて
いる。
【００１４】なお、前記レジスト廃液回収容器２及び溶
剤廃液回収容器３の上記各構成要素についても、使用す
るレジスト液又は溶剤と化学的な反応を起こさない材質
のものを適宜選択する必要がある。
剤廃液回収容器３の上記各構成要素についても、使用す
るレジスト液又は溶剤と化学的な反応を起こさない材質
のものを適宜選択する必要がある。
【００１５】次に本発明に基づく回収方法を説明する。
先ず回転カップカバーアーム８によって回転カップカバ
ー７を開け、被処理物Ｗをスピンナー６上中央に吸着さ
せる。そして回転カップカバー７を閉め、図示しない滴
下ノズルからレジスト液を滴下する。このレジスト液
は、カラーフィルター形成用レジスト液等従来公知のど
のようなものでも使用できる。
先ず回転カップカバーアーム８によって回転カップカバ
ー７を開け、被処理物Ｗをスピンナー６上中央に吸着さ
せる。そして回転カップカバー７を閉め、図示しない滴
下ノズルからレジスト液を滴下する。このレジスト液
は、カラーフィルター形成用レジスト液等従来公知のど
のようなものでも使用できる。
【００１６】回転塗布は、回転カップ５、スピンナー６
及び回転カップカバー７を一体的に回転させて行う。す
ると、レジスト液は被処理物Ｗ上を広がり均一な塗膜を
形成する。そして余剰のレジスト液は、被処理物Ｗの周
縁部から飛散し、遠心力によってドレインパイプ１１を
通ってアウターカップ９の空間部１０へ飛び出す。空間
部１０内は、排気管１５の接続された図示しない排気処
理装置のブロワーの吸引力により減圧となっているた
め、レジスト廃液はレジスト廃液回収容器２方向へ切換
えられた切換手段１を通過し、液受入管１４を通って回
収液タンク１３へ吸込まれる。
及び回転カップカバー７を一体的に回転させて行う。す
ると、レジスト液は被処理物Ｗ上を広がり均一な塗膜を
形成する。そして余剰のレジスト液は、被処理物Ｗの周
縁部から飛散し、遠心力によってドレインパイプ１１を
通ってアウターカップ９の空間部１０へ飛び出す。空間
部１０内は、排気管１５の接続された図示しない排気処
理装置のブロワーの吸引力により減圧となっているた
め、レジスト廃液はレジスト廃液回収容器２方向へ切換
えられた切換手段１を通過し、液受入管１４を通って回
収液タンク１３へ吸込まれる。
【００１７】このようにして回収されたレジスト液は、
例えばエチルセロソルブアセテート（ＥＣＡ）等の溶剤
の量を調整するだけで再度使用することが可能である。
回転塗布による被処理物Ｗへのレジスト液塗布量と、こ
のとき発生するレジスト廃液の量との比は約１：９であ
り、従来はこのレジスト廃液の全てが無駄に廃棄されて
いた。本発明の方法によれば、レジストコストを各段に
低減することができ、併せて環境も汚染せずに済む。
例えばエチルセロソルブアセテート（ＥＣＡ）等の溶剤
の量を調整するだけで再度使用することが可能である。
回転塗布による被処理物Ｗへのレジスト液塗布量と、こ
のとき発生するレジスト廃液の量との比は約１：９であ
り、従来はこのレジスト廃液の全てが無駄に廃棄されて
いた。本発明の方法によれば、レジストコストを各段に
低減することができ、併せて環境も汚染せずに済む。
【００１８】上記回転塗布の終了後、被処理物Ｗを取り
出した回転カップ５は、例えばジシクロヘキサン等の溶
剤で回転洗浄される。このとき、切換手段１は溶剤廃液
回収容器３方向へ切換えられているため、溶剤廃液は前
記レジスト液と同じくドレインパイプ１１から空間部１
０へ飛び出し、切換手段１を通って回収液タンク１９吸
引される。こうして回収された溶剤廃液は、僅かにレジ
スト液を含んでいるが再利用が可能であり、また蒸留等
によって精製すれば繰り返し使用することができる。
出した回転カップ５は、例えばジシクロヘキサン等の溶
剤で回転洗浄される。このとき、切換手段１は溶剤廃液
回収容器３方向へ切換えられているため、溶剤廃液は前
記レジスト液と同じくドレインパイプ１１から空間部１
０へ飛び出し、切換手段１を通って回収液タンク１９吸
引される。こうして回収された溶剤廃液は、僅かにレジ
スト液を含んでいるが再利用が可能であり、また蒸留等
によって精製すれば繰り返し使用することができる。
【００１９】上記のように洗浄された回転塗布装置４
は、乾燥後、再び被処理物Ｗの塗布に使用され、この工
程が繰り返される。
は、乾燥後、再び被処理物Ｗの塗布に使用され、この工
程が繰り返される。
【００２０】
【発明の効果】以上に説明したように本発明の液体回収
装置及び回収方法によれば、レジスト液及び溶剤を回収
して再利用することができる。従って、従来は使用量の
内の約９０％が無駄になっていたカラーフィルター用等
のレジスト液の殆どが再利用できるため、コストを大幅
に低減することができ、しかも環境の汚染も防ぐことが
できる。
装置及び回収方法によれば、レジスト液及び溶剤を回収
して再利用することができる。従って、従来は使用量の
内の約９０％が無駄になっていたカラーフィルター用等
のレジスト液の殆どが再利用できるため、コストを大幅
に低減することができ、しかも環境の汚染も防ぐことが
できる。
【図１】本発明に基づく回収装置が回転塗布装置と接続
された様子を示す部分断面図
された様子を示す部分断面図
【図２】同、平面図
１…切換手段、２…レジスト廃液回収容器、３…溶剤廃
液回収容器、４…回転塗布装置、１３、１９…回収液タ
ンク、Ｗ…被処理物。
液回収容器、４…回転塗布装置、１３、１９…回収液タ
ンク、Ｗ…被処理物。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 佐合 宏仁 神奈川県川崎市中原区中丸子150番地 東 京応化工業株式会社内
Claims (2)
- 【請求項１】 被処理物上に、回転塗布装置によってレ
ジスト液を塗布する際に生じるレジスト廃液、及び前記
塗布装置を洗浄する際に生じる溶剤廃液の回収装置にお
いて、この回収装置は前記塗布装置で生じたレジスト廃
液の流路と溶剤廃液の流路とを切換える手段と、この切
換手段を介して前記塗布装置に接続されるレジスト廃液
回収容器及び溶剤廃液回収容器とからなることを特徴と
する液体回収装置。 - 【請求項２】 被処理物上に、回転塗布装置によってレ
ジスト液を塗布する際に生じるレジスト廃液と、前記被
処理物の塗布後に塗布装置内部を溶剤で洗浄する際に生
じる溶剤廃液とを、前記回転塗布装置からの廃液流路に
設けられた切換手段の操作によってレジスト廃液回収容
器及び溶剤廃液回収容器に分別回収することを特徴とす
る液体回収方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1733793A JPH06232036A (ja) | 1993-02-04 | 1993-02-04 | 液体回収装置及び回収方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1733793A JPH06232036A (ja) | 1993-02-04 | 1993-02-04 | 液体回収装置及び回収方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06232036A true JPH06232036A (ja) | 1994-08-19 |
Family
ID=11941241
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1733793A Pending JPH06232036A (ja) | 1993-02-04 | 1993-02-04 | 液体回収装置及び回収方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06232036A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6503568B1 (en) | 1999-09-30 | 2003-01-07 | Oki Electric Industry Co., Ltd. | Resist coating and recycling method |
| JP2015128171A (ja) * | 2004-06-10 | 2015-07-09 | 株式会社ニコン | 露光装置、露光方法及びデバイス製造方法 |
-
1993
- 1993-02-04 JP JP1733793A patent/JPH06232036A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6503568B1 (en) | 1999-09-30 | 2003-01-07 | Oki Electric Industry Co., Ltd. | Resist coating and recycling method |
| US6656280B2 (en) | 1999-09-30 | 2003-12-02 | Oki Electric Industry Co., Ltd. | Resist recycling apparatus and method for recycling the same |
| JP2015128171A (ja) * | 2004-06-10 | 2015-07-09 | 株式会社ニコン | 露光装置、露光方法及びデバイス製造方法 |
| JP2016048395A (ja) * | 2004-06-10 | 2016-04-07 | 株式会社ニコン | 露光装置、露光方法及びデバイス製造方法 |
| JP2017037344A (ja) * | 2004-06-10 | 2017-02-16 | 株式会社ニコン | 露光装置、露光方法及びデバイス製造方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20011009 |