JPH06232036A - 液体回収装置及び回収方法 - Google Patents

液体回収装置及び回収方法

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JPH06232036A
JPH06232036A JP1733793A JP1733793A JPH06232036A JP H06232036 A JPH06232036 A JP H06232036A JP 1733793 A JP1733793 A JP 1733793A JP 1733793 A JP1733793 A JP 1733793A JP H06232036 A JPH06232036 A JP H06232036A
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JP
Japan
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liquid
waste liquid
resist
solvent
exhaust
Prior art date
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Pending
Application number
JP1733793A
Other languages
English (en)
Inventor
Hirotsugu Kumazawa
博嗣 熊澤
Katsuhiko Kudo
勝彦 工藤
Shigemi Fujiyama
重美 藤山
Hirohito Sago
宏仁 佐合
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd
Original Assignee
Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd
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Publication date
Application filed by Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd filed Critical Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 レジスト液及び溶剤を回収して再利用するこ
とができる液体回収装置及び回収方法を提供する。 【構成】 回収装置は切換手段1及びレジスト廃液回収
容器2並びに溶剤廃液回収容器3を主構成要素とし、切
換手段1を介して回転塗布装置4に接続している。切換
手段1はアウターカップ廃液排気口12と接続してい
る。またレジスト廃液回収容器2は、回収液タンク1
3、液受入管14、排気管15、排気トラップボックス
16、及び廃液量センサー17からなる。また溶剤廃液
回収容器3は、回収液タンク19、液受入管20、排気
管21、排気トラップボックス22、及び廃液量センサ
ー23からなる。また、切換手段1と液受入管14、2
0との間、及び排気管15、21と図示しない排気処理
装置との間はフレキシブル管18によって接続されてい
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明はガラス基板や半導体ウェ
ハ等の被処理物の塗布装置に係る廃液の回収装置及び回
収方法に関する。
【0002】
【従来の技術】ガラス基板や半導体ウェハ等の被処理物
の表面にレジスト液を均一に塗布するために、回転カッ
プ型等の回転塗布装置が用いられている。回転塗布の際
には、遠心力によってレジスト液が飛散させられるた
め、大量のレジスト廃液が発生する。また、被処理物の
塗布の合間には、残留するレジスト液の硬化を防ぎ、或
いはカラーレジストの場合は他の色のレジスト液との混
濁を避けるため、塗布装置内を大量の溶剤で洗い流す必
要がある。このようにして生じたレジスト廃液及び溶剤
廃液は、従来同一の回収容器に溜められていた。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来の回収方
法では、レジスト廃液及び溶剤廃液が混在しているた
め、レジスト廃液及び溶剤廃液を回収して再利用するに
は、この混在廃液中からレジスト分を分別しなければな
らず、作業上不当に長時間を要しコスト高となるため、
これまで回収して再利用されることがなかった。
【0004】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決すべく本
願発明は被処理物上に、回転塗布装置によってレジスト
液を塗布する際に生じるレジスト廃液、及び前記塗布装
置を洗浄する際に生じる溶剤廃液の回収装置であって、
この回収装置は前記塗布装置で生じたレジスト廃液の流
路と溶剤廃液の流路とを切換える手段と、この切換手段
を介して前記塗布装置に接続されるレジスト廃液回収容
器及び溶剤廃液回収容器とを備えるようにした。
【0005】また、本願発明の方法は、被処理物上に、
回転塗布装置によってレジスト液を塗布する際に生じる
レジスト廃液と、前記被処理物の塗布後に塗布装置内部
を溶剤で洗浄する際に生じる溶剤廃液とを、前記回転塗
布装置からの廃液流路に設けた切換手段を操作して、レ
ジスト廃液回収容器及び溶剤廃液回収容器に分別回収す
る。
【0006】
【作用】レジスト廃液と溶剤廃液とが分別回収されるた
め、それぞれの廃液を再利用することが可能となる。
【0007】
【実施例】以下に本発明の実施例を添付図面に基づいて
説明する。ここで、図1は本発明に基づく回収装置が回
転塗布装置と接続された様子を示す部分断面図、図2は
同平面図である。
【0008】本発明に基づく回収装置は切換手段1及び
レジスト廃液回収容器2並びに溶剤廃液回収容器3を主
構成要素とし、この切換手段1を介して回転塗布装置4
に接続されている。
【0009】回転塗布装置4は、回転カップ5内に真空
チャック機能を有するスピンナー6を備えている。また
被処理物Wの出し入れを行い、且つレジスト液並びに溶
剤の飛散を防止するための回転カップカバー7が、閉時
には回転カップ5上端の内周に密着するように設けられ
ている。この回転カップカバー7の中心部は、回転カッ
プカバーアーム8に回転可能に連結されて回転カップカ
バー7の開け閉めを行う。
【0010】一方、回転カップ5の外周には、アウター
カップ9が設置されており、このアウターカップ9内に
形成された空間部10には、回転カップ5の壁を貫通し
て付設された複数のドレインパイプ11の先端が突出し
ている。
【0011】本発明に係る切換手段1は、上記回転塗布
装置4のアウターカップ9に設けられたアウターカップ
廃液排気口12と接続されている。この切換手段1の接
続は、本例のように廃液排気口12に直結されていても
よく、また、配管を介して間接的に繋がれていてもよ
い。また、このような切換手段1としては、特に防爆型
の電磁式切換弁又は空気式切換弁が好ましいが、その他
手動式の切換弁、或いは空気式、電磁式、手動式等のボ
ール弁、ゲート弁、バタフライバルブ等を組合わせて切
換え手段を形成してもよい。これらの切換手段1は、使
用するレジスト液又は溶剤と化学的な反応を起こさない
材質のものを適宜選択する。上記電磁式又は空気式の切
換手段1を用いた場合には、回転塗布装置4における塗
装工程、洗浄工程等に連動させて作動用信号を送ること
ができるため有利である。
【0012】本発明に係るレジスト廃液回収容器2は、
回収液タンク13、回転塗布装置4から送られてくるレ
ジスト液を回収液タンク13へ受入れるための液受入管
14、回収液タンク13からの排気を送出するための排
気管15、回収液タンク13周辺にレジスト液に含まれ
る溶剤等が気化して洩れた場合に備える排気トラップボ
ックス16、及び廃液量センサー17からなる。また、
切換手段1と液受入管14との間、及び排気管15と図
示しない排気処理装置との間はフレキシブル管18によ
って接続されている。
【0013】本発明に係る溶剤廃液回収容器3について
は、基本的にレジスト廃液回収容器2と同様の構成を有
しており、回収液タンク19、回転塗布装置4から送ら
れてくる溶剤廃液を回収液タンク19へ受入れるための
液受入管20、回収液タンク19からの排気を送出する
ための排気管21、回収液タンク19周辺に溶剤が気化
して洩れた場合のための排気トラップボックス22、及
び廃液量センサー23からなる。また、切換手段1と液
受入管20との間、及び排気管21と図示しない排気処
理装置との間はフレキシブル管18によって接続されて
いる。
【0014】なお、前記レジスト廃液回収容器2及び溶
剤廃液回収容器3の上記各構成要素についても、使用す
るレジスト液又は溶剤と化学的な反応を起こさない材質
のものを適宜選択する必要がある。
【0015】次に本発明に基づく回収方法を説明する。
先ず回転カップカバーアーム8によって回転カップカバ
ー7を開け、被処理物Wをスピンナー6上中央に吸着さ
せる。そして回転カップカバー7を閉め、図示しない滴
下ノズルからレジスト液を滴下する。このレジスト液
は、カラーフィルター形成用レジスト液等従来公知のど
のようなものでも使用できる。
【0016】回転塗布は、回転カップ5、スピンナー6
及び回転カップカバー7を一体的に回転させて行う。す
ると、レジスト液は被処理物W上を広がり均一な塗膜を
形成する。そして余剰のレジスト液は、被処理物Wの周
縁部から飛散し、遠心力によってドレインパイプ11を
通ってアウターカップ9の空間部10へ飛び出す。空間
部10内は、排気管15の接続された図示しない排気処
理装置のブロワーの吸引力により減圧となっているた
め、レジスト廃液はレジスト廃液回収容器2方向へ切換
えられた切換手段1を通過し、液受入管14を通って回
収液タンク13へ吸込まれる。
【0017】このようにして回収されたレジスト液は、
例えばエチルセロソルブアセテート(ECA)等の溶剤
の量を調整するだけで再度使用することが可能である。
回転塗布による被処理物Wへのレジスト液塗布量と、こ
のとき発生するレジスト廃液の量との比は約1:9であ
り、従来はこのレジスト廃液の全てが無駄に廃棄されて
いた。本発明の方法によれば、レジストコストを各段に
低減することができ、併せて環境も汚染せずに済む。
【0018】上記回転塗布の終了後、被処理物Wを取り
出した回転カップ5は、例えばジシクロヘキサン等の溶
剤で回転洗浄される。このとき、切換手段1は溶剤廃液
回収容器3方向へ切換えられているため、溶剤廃液は前
記レジスト液と同じくドレインパイプ11から空間部1
0へ飛び出し、切換手段1を通って回収液タンク19吸
引される。こうして回収された溶剤廃液は、僅かにレジ
スト液を含んでいるが再利用が可能であり、また蒸留等
によって精製すれば繰り返し使用することができる。
【0019】上記のように洗浄された回転塗布装置4
は、乾燥後、再び被処理物Wの塗布に使用され、この工
程が繰り返される。
【0020】
【発明の効果】以上に説明したように本発明の液体回収
装置及び回収方法によれば、レジスト液及び溶剤を回収
して再利用することができる。従って、従来は使用量の
内の約90%が無駄になっていたカラーフィルター用等
のレジスト液の殆どが再利用できるため、コストを大幅
に低減することができ、しかも環境の汚染も防ぐことが
できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に基づく回収装置が回転塗布装置と接続
された様子を示す部分断面図
【図2】同、平面図
【符号の説明】
1…切換手段、2…レジスト廃液回収容器、3…溶剤廃
液回収容器、4…回転塗布装置、13、19…回収液タ
ンク、W…被処理物。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 佐合 宏仁 神奈川県川崎市中原区中丸子150番地 東 京応化工業株式会社内

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 被処理物上に、回転塗布装置によってレ
    ジスト液を塗布する際に生じるレジスト廃液、及び前記
    塗布装置を洗浄する際に生じる溶剤廃液の回収装置にお
    いて、この回収装置は前記塗布装置で生じたレジスト廃
    液の流路と溶剤廃液の流路とを切換える手段と、この切
    換手段を介して前記塗布装置に接続されるレジスト廃液
    回収容器及び溶剤廃液回収容器とからなることを特徴と
    する液体回収装置。
  2. 【請求項2】 被処理物上に、回転塗布装置によってレ
    ジスト液を塗布する際に生じるレジスト廃液と、前記被
    処理物の塗布後に塗布装置内部を溶剤で洗浄する際に生
    じる溶剤廃液とを、前記回転塗布装置からの廃液流路に
    設けられた切換手段の操作によってレジスト廃液回収容
    器及び溶剤廃液回収容器に分別回収することを特徴とす
    る液体回収方法。
JP1733793A 1993-02-04 1993-02-04 液体回収装置及び回収方法 Pending JPH06232036A (ja)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6503568B1 (en) 1999-09-30 2003-01-07 Oki Electric Industry Co., Ltd. Resist coating and recycling method
JP2015128171A (ja) * 2004-06-10 2015-07-09 株式会社ニコン 露光装置、露光方法及びデバイス製造方法

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Effective date: 20011009