JPH06229766A - 角速度センサの振動子 - Google Patents
角速度センサの振動子Info
- Publication number
- JPH06229766A JPH06229766A JP5018875A JP1887593A JPH06229766A JP H06229766 A JPH06229766 A JP H06229766A JP 5018875 A JP5018875 A JP 5018875A JP 1887593 A JP1887593 A JP 1887593A JP H06229766 A JPH06229766 A JP H06229766A
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- JP
- Japan
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- vibrator
- oscillator
- angular velocity
- angular speed
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 低コスト且つセンサ精度の低下を招くことの
ない角速度センサの振動子の提供を目的とする。 【構成】 円筒状の圧電材料からなる振動子と、電源と
電気的に導通する駆動用電極と、振動子の主要面に付着
され出力電圧から角速度を演算する演算手段と電気的に
導通する出力用電極とを備えた角速度センサの振動子に
おいて、基体に固定され振動子を固定支持する支持部材
を備えたことを特徴とする角速度センサの振動。
ない角速度センサの振動子の提供を目的とする。 【構成】 円筒状の圧電材料からなる振動子と、電源と
電気的に導通する駆動用電極と、振動子の主要面に付着
され出力電圧から角速度を演算する演算手段と電気的に
導通する出力用電極とを備えた角速度センサの振動子に
おいて、基体に固定され振動子を固定支持する支持部材
を備えたことを特徴とする角速度センサの振動。
Description
【０００１】
【産業状の利用分野】本発明は、角速度センサの振動子
に関する。
に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種の角速度センサの振動子と
しては、第１にＧＢ２１５４７９に開示される技術があ
る。これは、振動子全体が圧電材料からなり、振動子自
体が直接基体に固定されているものである。
しては、第１にＧＢ２１５４７９に開示される技術があ
る。これは、振動子全体が圧電材料からなり、振動子自
体が直接基体に固定されているものである。
【０００３】又、第２にＧＢ２０６１５０２に開示され
る技術では、金属製で円筒形状を呈したものの外周面
に、圧電材料を接着して振動子を構成するものである。
る技術では、金属製で円筒形状を呈したものの外周面
に、圧電材料を接着して振動子を構成するものである。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上記した第１の従来技
術では、振動子全体が圧電材料からなり、均質な振動子
を得るためには加工が複雑且つ困難であり高コストであ
る。
術では、振動子全体が圧電材料からなり、均質な振動子
を得るためには加工が複雑且つ困難であり高コストであ
る。
【０００５】又、第２の従来技術では、金属円筒部に圧
電材料を接着しているため、振動子の主要振動部に接着
剤が介在することになり、振動が接着剤によって減衰さ
れ、且つ、温度の変化等によりその減衰力も変化するた
め振動が安定せずセンサ精度の低下に繋がる。
電材料を接着しているため、振動子の主要振動部に接着
剤が介在することになり、振動が接着剤によって減衰さ
れ、且つ、温度の変化等によりその減衰力も変化するた
め振動が安定せずセンサ精度の低下に繋がる。
【０００６】本発明は、低コスト且つセンサ精度の低下
を招くことのない角速度センサの振動子の提供を技術的
課題とする。
を招くことのない角速度センサの振動子の提供を技術的
課題とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記した技術的課題を解
決するため本発明において講じた技術的手段は、円筒状
の圧電材料からなる振動子と、電源と電気的に導通する
駆動用電極と、振動子の主要面に付着され出力電圧から
角速度を演算する演算手段と電気的に導通する出力用電
極とを備えた角速度センサの振動子において、基体に固
定され振動子を固定支持する支持部材を備えたことであ
る。
決するため本発明において講じた技術的手段は、円筒状
の圧電材料からなる振動子と、電源と電気的に導通する
駆動用電極と、振動子の主要面に付着され出力電圧から
角速度を演算する演算手段と電気的に導通する出力用電
極とを備えた角速度センサの振動子において、基体に固
定され振動子を固定支持する支持部材を備えたことであ
る。
【０００８】
【作用】本発明の作用を説明する。基体に固定され振動
子を固定支持する支持部材を備えたことによって、振動
子の振動部以外の部分を支持部材により構成するため
に、振動子の形状を単純化できコスト低減に繋がる。
子を固定支持する支持部材を備えたことによって、振動
子の振動部以外の部分を支持部材により構成するため
に、振動子の形状を単純化できコスト低減に繋がる。
【０００９】更に、振動部全体を圧電素子により構成す
るために、接着剤等により振動に悪影響を与えることが
ないので、センサ精度の低下を招くことはない。
るために、接着剤等により振動に悪影響を与えることが
ないので、センサ精度の低下を招くことはない。
【００１０】
【実施例】本発明に係る一実施例を図面に基づいて説明
する。
する。
【００１１】図１は本実施例の角速度センサの断面図、
図２は図１の角速度センサの振動子の上方視図、図３は
角速度センサの振動子の振動の様子を示すモデル図であ
る。
図２は図１の角速度センサの振動子の上方視図、図３は
角速度センサの振動子の振動の様子を示すモデル図であ
る。
【００１２】角速度センサの振動子１０は、振動子１
１、駆動用電極１２、出力用電極１３、支持部材１４か
ら構成されている。振動子１１は、円筒状を呈した圧電
材料である。駆動用電極１２は、振動子１１の外周面に
印刷され、駆動用電源（図示省略）と電気的に導通可能
になっている。出力用電極１３は、駆動用電極１２と同
様に振動子１１の外周面に印刷され、演算装置（図示省
略）と電気的に導通可能になっている。又、駆動用電極
１２及び出力用電極１３は図２に示すように交互に配設
されている。支持部材１４は、金属製で、振動子１１の
下端が固定される皿部１４ａ、並びに、基体１５に設け
られた支持穴１５ａに嵌入されて固定される支持棒１４
ｂとから構成されて、これらは一体形成されている。
１、駆動用電極１２、出力用電極１３、支持部材１４か
ら構成されている。振動子１１は、円筒状を呈した圧電
材料である。駆動用電極１２は、振動子１１の外周面に
印刷され、駆動用電源（図示省略）と電気的に導通可能
になっている。出力用電極１３は、駆動用電極１２と同
様に振動子１１の外周面に印刷され、演算装置（図示省
略）と電気的に導通可能になっている。又、駆動用電極
１２及び出力用電極１３は図２に示すように交互に配設
されている。支持部材１４は、金属製で、振動子１１の
下端が固定される皿部１４ａ、並びに、基体１５に設け
られた支持穴１５ａに嵌入されて固定される支持棒１４
ｂとから構成されて、これらは一体形成されている。
【００１３】又、支持部材１４は、振動子１１を支持棒
１４ｂにより支持していることにより、基体１５の振動
による影響を受けにくく、更に、振動子１１の非振動部
を支持していることにより、振動子１１の振動に悪影響
を与えることがない。
１４ｂにより支持していることにより、基体１５の振動
による影響を受けにくく、更に、振動子１１の非振動部
を支持していることにより、振動子１１の振動に悪影響
を与えることがない。
【００１４】本実施例の角速度センサの作動を説明す
る。駆動用電極１２に電圧を印加することにより振動子
１１を図３に示すように振動させる。基体が中心軸Ｏを
中心に回動すると、角速度センサの振動子１０も一体的
に回動してコリオリ力が発生し、振動子１１の振動の方
向がずれる。このコリオリ力による振動を出力用電極１
３から出力される電圧により検出し、演算装置により演
算して基体１５の角速度を求めるようになっている。
る。駆動用電極１２に電圧を印加することにより振動子
１１を図３に示すように振動させる。基体が中心軸Ｏを
中心に回動すると、角速度センサの振動子１０も一体的
に回動してコリオリ力が発生し、振動子１１の振動の方
向がずれる。このコリオリ力による振動を出力用電極１
３から出力される電圧により検出し、演算装置により演
算して基体１５の角速度を求めるようになっている。
【００１５】
【発明の効果】本発明の効果を説明する。円筒状の圧電
材料からなる振動子と、電源と電気的に導通する駆動用
電極と、振動子の主要面に付着され出力電圧から角速度
を演算する演算手段と電気的に導通する出力用電極とを
備えた角速度センサの振動子において、基体に固定され
振動子を固定支持する支持部材を備えたことを特徴とす
る角速度センサの振動子であって、基体に固定され振動
子を固定支持する支持部材を備えたことによって、振動
子の振動部以外の部分を支持部材により構成するため
に、コスト低減に繋がる。
材料からなる振動子と、電源と電気的に導通する駆動用
電極と、振動子の主要面に付着され出力電圧から角速度
を演算する演算手段と電気的に導通する出力用電極とを
備えた角速度センサの振動子において、基体に固定され
振動子を固定支持する支持部材を備えたことを特徴とす
る角速度センサの振動子であって、基体に固定され振動
子を固定支持する支持部材を備えたことによって、振動
子の振動部以外の部分を支持部材により構成するため
に、コスト低減に繋がる。
【００１６】更に、振動部全体を圧電素子により構成す
るために、接着剤等により振動に悪影響を与えることが
ないので、センサ精度の低下を招くことはない。
るために、接着剤等により振動に悪影響を与えることが
ないので、センサ精度の低下を招くことはない。
【図１】本発明に係る角速度センサの断面図である。
【図２】図１の角速度センサの上方視図である。
【図３】角速度センサの振動子の振動の様子を示すモデ
ル図である。
ル図である。
１１・・・振動子 １２・・・駆動用電極 １３・・・出力用電極 １４・・・支持部材 １４ａ・・・支持部材の皿部 １４ｂ・・・支持部材の支持棒 １５・・・基体
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 水 元 克 芳 愛知県刈谷市朝日町２丁目１番地 アイシ ン精機株式会社内 (72)発明者 梶 野 浩 司 愛知県刈谷市朝日町２丁目１番地 アイシ ン精機株式会社内 (72)発明者 倉 知 秀 哉 愛知県刈谷市朝日町２丁目１番地 アイシ ン精機株式会社内
Claims (1)
- 【請求項１】 円筒状の圧電材料からなる振動子と、電
源と電気的に導通する駆動用電極と、前記振動子の主要
面に付着され出力電圧から角速度を演算する演算手段と
電気的に導通する出力用電極とを備えた角速度センサの
振動子において、 基体に固定され前記振動子を固定支持する支持部材を備
えたことを特徴とする角速度センサの振動子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5018875A JPH06229766A (ja) | 1993-02-05 | 1993-02-05 | 角速度センサの振動子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5018875A JPH06229766A (ja) | 1993-02-05 | 1993-02-05 | 角速度センサの振動子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06229766A true JPH06229766A (ja) | 1994-08-19 |
Family
ID=11983729
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5018875A Pending JPH06229766A (ja) | 1993-02-05 | 1993-02-05 | 角速度センサの振動子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06229766A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19609107A1 (de) * | 1995-03-09 | 1996-09-12 | Toshiba Ceramics Co | Siliciumwafer mit gesteuerter BMD-Konzentration im Innern und mit guter DZ-Schicht sowie Verfahren zu seiner Herstellung |
-
1993
- 1993-02-05 JP JP5018875A patent/JPH06229766A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19609107A1 (de) * | 1995-03-09 | 1996-09-12 | Toshiba Ceramics Co | Siliciumwafer mit gesteuerter BMD-Konzentration im Innern und mit guter DZ-Schicht sowie Verfahren zu seiner Herstellung |
| DE19609107B4 (de) * | 1995-03-09 | 2006-07-27 | Toshiba Ceramics Co., Ltd. | Verfahren zum Herstellen von Siliziumwafern |
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