JPH06229710A - 軸の撓み量検出装置 - Google Patents
軸の撓み量検出装置Info
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- JPH06229710A JPH06229710A JP5018879A JP1887993A JPH06229710A JP H06229710 A JPH06229710 A JP H06229710A JP 5018879 A JP5018879 A JP 5018879A JP 1887993 A JP1887993 A JP 1887993A JP H06229710 A JPH06229710 A JP H06229710A
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- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B49/00—Measuring or gauging equipment for controlling the feed movement of the grinding tool or work; Arrangements of indicating or measuring equipment, e.g. for indicating the start of the grinding operation
- B24B49/16—Measuring or gauging equipment for controlling the feed movement of the grinding tool or work; Arrangements of indicating or measuring equipment, e.g. for indicating the start of the grinding operation taking regard of the load
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- B24B49/00—Measuring or gauging equipment for controlling the feed movement of the grinding tool or work; Arrangements of indicating or measuring equipment, e.g. for indicating the start of the grinding operation
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B7/00—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
- G01B7/16—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring the deformation in a solid, e.g. by resistance strain gauge
- G01B7/24—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring the deformation in a solid, e.g. by resistance strain gauge using change in magnetic properties
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 軸の撓み量を高精度に検出することができ、
しかも、その軸の高速回転を可能とする。 【構成】 第１のコイル１は軸の外周面と対向するよう
に設置する一方、第２のコイル２は上記軸を介し第１の
コイル１と対向するように配設し、この両コイル１，２
は互いに直列に接続する。両コイル１，２のインダクタ
ンスに差を設けるために、第１のコイル１の巻数は第２
のコイル２の巻数より多くなるように設定する。これに
より、両コイル１，２の直列接続点Ａから得られる出力
信号Ｓ0 の特性を一方向にオフセットする、つまり、軸
の撓み量が極微小の範囲ａにあっても、出力信号Ｓ0 に
は常に一定の直線性が得られるように構成する。
しかも、その軸の高速回転を可能とする。 【構成】 第１のコイル１は軸の外周面と対向するよう
に設置する一方、第２のコイル２は上記軸を介し第１の
コイル１と対向するように配設し、この両コイル１，２
は互いに直列に接続する。両コイル１，２のインダクタ
ンスに差を設けるために、第１のコイル１の巻数は第２
のコイル２の巻数より多くなるように設定する。これに
より、両コイル１，２の直列接続点Ａから得られる出力
信号Ｓ0 の特性を一方向にオフセットする、つまり、軸
の撓み量が極微小の範囲ａにあっても、出力信号Ｓ0 に
は常に一定の直線性が得られるように構成する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は砥石軸等の軸の撓み量
を検出する装置に関し、特に、軸の撓み量を高精度に検
出することができるようにしたものである。
を検出する装置に関し、特に、軸の撓み量を高精度に検
出することができるようにしたものである。
【０００２】
【従来の技術】従来より、先端に砥石を取り付けた軸、
いわゆる砥石軸における研削抵抗等を求めるために、そ
の軸の撓み量を検出する装置は、軸の外周面に一体に取
り付けたターゲット、ならびに互いに直列接続された第
１及び第２のコイル等を有し、ターゲットは積層電磁鋼
板から形成されていると共に、第１のコイルは上記軸の
外周面側でターゲットと対向するように設置されている
一方、第２のコイルは上記ターゲット及び軸を介して第
１のコイルと対向するように配設されており、また、こ
の両コイルはともにインダクタンスが実質的に同一に形
成されている。
いわゆる砥石軸における研削抵抗等を求めるために、そ
の軸の撓み量を検出する装置は、軸の外周面に一体に取
り付けたターゲット、ならびに互いに直列接続された第
１及び第２のコイル等を有し、ターゲットは積層電磁鋼
板から形成されていると共に、第１のコイルは上記軸の
外周面側でターゲットと対向するように設置されている
一方、第２のコイルは上記ターゲット及び軸を介して第
１のコイルと対向するように配設されており、また、こ
の両コイルはともにインダクタンスが実質的に同一に形
成されている。
【０００３】即ち、この撓み量検出装置は、第１及び第
２のコイル間に高周波電圧が印加された状態で軸が撓む
と、上記両コイルの直列接続点からは軸の撓み量に対応
する絶対値の出力信号が得られ、その後、この出力信号
を検波し直流化すると、実際の軸の撓み量が検出できる
ように構成されている。
２のコイル間に高周波電圧が印加された状態で軸が撓む
と、上記両コイルの直列接続点からは軸の撓み量に対応
する絶対値の出力信号が得られ、その後、この出力信号
を検波し直流化すると、実際の軸の撓み量が検出できる
ように構成されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来の撓み量検出装置、即ち軸の撓み量を検出する
のに当り２つのコイルを用いる装置にあっては、上記の
如く軸と一体に積層電磁鋼板のターゲットを設けた場合
でも、ヒステリシス損や励磁用高周波電圧による渦電流
損等により、特に軸が撓んで両コイルの中心付近に位置
し、軸の撓み量が極微小の範囲にあるとき、コイルに残
留電圧が発生することは避けられず、この残留電圧を完
全に除去することは不可能であるため、図６（ａ）に示
す如く両コイルの直列接続点から得られる出力信号の特
性に直線性がなく、この出力信号を検波し直流化する
と、撓み量が極微小の範囲ａにおける検波済み出力信号
の特性は図６（ｂ）に示す如く撓み量の増減変化に比し
検波済み出力信号の増減変化の方が極めて小さくなる、
つまり、検波済み出力信号の精度が粗くなるので、高精
度に撓み量を検出することができず、しかも、軸に余分
に積層電磁鋼板のターゲットが取り付けられているの
で、遠心力によるターゲット材料の破壊を防ぐためや、
軸の付加重量増加による軸の曲げ共振周波数低下等によ
り、軸を高速で回転させることができない等の不具合も
生じる。
うな従来の撓み量検出装置、即ち軸の撓み量を検出する
のに当り２つのコイルを用いる装置にあっては、上記の
如く軸と一体に積層電磁鋼板のターゲットを設けた場合
でも、ヒステリシス損や励磁用高周波電圧による渦電流
損等により、特に軸が撓んで両コイルの中心付近に位置
し、軸の撓み量が極微小の範囲にあるとき、コイルに残
留電圧が発生することは避けられず、この残留電圧を完
全に除去することは不可能であるため、図６（ａ）に示
す如く両コイルの直列接続点から得られる出力信号の特
性に直線性がなく、この出力信号を検波し直流化する
と、撓み量が極微小の範囲ａにおける検波済み出力信号
の特性は図６（ｂ）に示す如く撓み量の増減変化に比し
検波済み出力信号の増減変化の方が極めて小さくなる、
つまり、検波済み出力信号の精度が粗くなるので、高精
度に撓み量を検出することができず、しかも、軸に余分
に積層電磁鋼板のターゲットが取り付けられているの
で、遠心力によるターゲット材料の破壊を防ぐためや、
軸の付加重量増加による軸の曲げ共振周波数低下等によ
り、軸を高速で回転させることができない等の不具合も
生じる。
【０００５】また、軸を高速回転可能とするために、積
層電磁鋼板のターゲットを取り外した場合、つまり軸
（焼入れ鋼の一体材料）をターゲットとした場合には、
積層電磁鋼板のターゲットを有するときに比し、ヒステ
リシス損や励磁用高周波電圧による渦電流損が多く、上
記のような残留電圧が極めて大きくなるので、撓み量の
検出精度がより一層悪化する等の問題点がある。
層電磁鋼板のターゲットを取り外した場合、つまり軸
（焼入れ鋼の一体材料）をターゲットとした場合には、
積層電磁鋼板のターゲットを有するときに比し、ヒステ
リシス損や励磁用高周波電圧による渦電流損が多く、上
記のような残留電圧が極めて大きくなるので、撓み量の
検出精度がより一層悪化する等の問題点がある。
【０００６】この発明は上述の事情に鑑みてなされたも
ので、その目的とするところは、軸の撓み量を高精度に
検出することができ、しかも、その軸の高速回転を可能
とする撓み量検出装置を提供することにある。
ので、その目的とするところは、軸の撓み量を高精度に
検出することができ、しかも、その軸の高速回転を可能
とする撓み量検出装置を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、この発明は、軸の外周面側に設置された第１のコイ
ルと、上記軸を介して上記第１のコイルと対向するよう
に位置しかつその第１のコイルに直列接続された第２の
コイルと、上記両コイル間に高周波電圧を印加する電圧
印加手段と、上記両コイルの直列接続点からの出力信号
に基いて上記軸の撓み量を検出する撓み量検出部とを備
える軸の撓み量検出装置において、上記両コイルのイン
ダクタンスに差を設けたことを特徴とする。
に、この発明は、軸の外周面側に設置された第１のコイ
ルと、上記軸を介して上記第１のコイルと対向するよう
に位置しかつその第１のコイルに直列接続された第２の
コイルと、上記両コイル間に高周波電圧を印加する電圧
印加手段と、上記両コイルの直列接続点からの出力信号
に基いて上記軸の撓み量を検出する撓み量検出部とを備
える軸の撓み量検出装置において、上記両コイルのイン
ダクタンスに差を設けたことを特徴とする。
【０００８】
【作用】この発明によれば、両コイルのインダクタンス
に設けた差により、両コイルの直列接続点から得られる
出力信号が一方向にオフセットされる、つまり、軸の撓
み量が極微小の範囲にあっても上記出力信号の特性には
常に一定の直線性が得られる。
に設けた差により、両コイルの直列接続点から得られる
出力信号が一方向にオフセットされる、つまり、軸の撓
み量が極微小の範囲にあっても上記出力信号の特性には
常に一定の直線性が得られる。
【０００９】
【実施例】以下、この発明に係る撓み量検出装置の実施
例について図１ないし図６を用いて詳細に説明する。な
お、この実施例では、先端に砥石を取り付けた軸、いわ
ゆる砥石軸における研削抵抗等を求めるために、その軸
の撓み量を検出する例について示す。
例について図１ないし図６を用いて詳細に説明する。な
お、この実施例では、先端に砥石を取り付けた軸、いわ
ゆる砥石軸における研削抵抗等を求めるために、その軸
の撓み量を検出する例について示す。
【００１０】この撓み量検出装置は図１に示す如く第１
及び第２のコイル１，２を有し、その第１のコイル１は
図２及び図３に示す如く軸５０を支持する２組のベアリ
ング５１，５１と軸５０の先端に取り付けられた砥石５
２との間に位置しかつ軸５０の外周面と対向するように
設置されており、第２のコイル２は上記軸５０を介し第
１のコイル１と対向するように配設されていると共に、
これらの第１のコイル１と第２のコイル２は図１に示す
如く互いに直列に接続されている。
及び第２のコイル１，２を有し、その第１のコイル１は
図２及び図３に示す如く軸５０を支持する２組のベアリ
ング５１，５１と軸５０の先端に取り付けられた砥石５
２との間に位置しかつ軸５０の外周面と対向するように
設置されており、第２のコイル２は上記軸５０を介し第
１のコイル１と対向するように配設されていると共に、
これらの第１のコイル１と第２のコイル２は図１に示す
如く互いに直列に接続されている。
【００１１】また、上記第１のコイル１の巻数は第２の
コイル２の巻数より多くなるように設定されており、こ
れにより、上記両コイル１，２のインダクタンスには差
が設けられている。なお、この両コイル１，２について
は巻数が異なるだけで、その材質及び軸５０の中心線ま
での距離等は略同一に形成されている。
コイル２の巻数より多くなるように設定されており、こ
れにより、上記両コイル１，２のインダクタンスには差
が設けられている。なお、この両コイル１，２について
は巻数が異なるだけで、その材質及び軸５０の中心線ま
での距離等は略同一に形成されている。
【００１２】さらに、両コイル１，２間には高周波発振
器３，３からの高周波電圧が印加されるように構成され
ている、つまり、上記高周波発振器３，３からの高周波
電圧が両コイル１，２間に印加された状態で軸５０が撓
むと、両コイル１，２の直列接続点Ａからは高周波発振
器３，３の高周波成分を有しかつ軸５０の撓み量に対応
する絶対値の出力信号Ｓ0 が得られると共に、このよう
にして得られる出力信号Ｓ0 の特性は、上記のような両
コイル１，２のインダクタンスの差により、図５（ａ）
に示す如く一方向にオフセットされる、つまり、軸５０
が撓んで両コイル１，２の中心付近に位置するとき、即
ち軸５０の撓み量が極微小の範囲ａにあっても、出力信
号Ｓ0 には常に一定の直線性が得られるように構成され
ている。
器３，３からの高周波電圧が印加されるように構成され
ている、つまり、上記高周波発振器３，３からの高周波
電圧が両コイル１，２間に印加された状態で軸５０が撓
むと、両コイル１，２の直列接続点Ａからは高周波発振
器３，３の高周波成分を有しかつ軸５０の撓み量に対応
する絶対値の出力信号Ｓ0 が得られると共に、このよう
にして得られる出力信号Ｓ0 の特性は、上記のような両
コイル１，２のインダクタンスの差により、図５（ａ）
に示す如く一方向にオフセットされる、つまり、軸５０
が撓んで両コイル１，２の中心付近に位置するとき、即
ち軸５０の撓み量が極微小の範囲ａにあっても、出力信
号Ｓ0 には常に一定の直線性が得られるように構成され
ている。
【００１３】また、上記両コイル１，２の直列接続点Ａ
は撓み量検出回路４に接続されていると共に、その撓み
量検出回路４には交流増幅器５、同期検波器６、ローパ
スフィルタ７、オフセット調節器８等が設けられてお
り、交流増幅器５は上記直列接続点Ａからの出力信号Ｓ
0 を増幅して同期検波器６へ出力するように構成されて
いる。
は撓み量検出回路４に接続されていると共に、その撓み
量検出回路４には交流増幅器５、同期検波器６、ローパ
スフィルタ７、オフセット調節器８等が設けられてお
り、交流増幅器５は上記直列接続点Ａからの出力信号Ｓ
0 を増幅して同期検波器６へ出力するように構成されて
いる。
【００１４】一方、上記同期検波器６は交流増幅器５か
らの増幅済み出力信号Ｓ1 を同期検波用信号発生器９か
らの同期信号に基き検波してローパスフィルタ７へ出力
すると共に、そのローパスフィルタ７は検波済み出力信
号Ｓ2 から上記高周波発振器３の高周波成分をカットす
るように構成されており、このローパスフィルタ７から
の高周波カット済み出力信号Ｓ3 の特性についても、図
５（ｂ）に示すように上記の如くオフセットされたまま
の状態で得られる、つまり、軸５０の撓み量が極微小の
範囲ａにあっても、高周波カット済み出力信号Ｓ3 には
常に一定の直線性が得られるように構成されている。
らの増幅済み出力信号Ｓ1 を同期検波用信号発生器９か
らの同期信号に基き検波してローパスフィルタ７へ出力
すると共に、そのローパスフィルタ７は検波済み出力信
号Ｓ2 から上記高周波発振器３の高周波成分をカットす
るように構成されており、このローパスフィルタ７から
の高周波カット済み出力信号Ｓ3 の特性についても、図
５（ｂ）に示すように上記の如くオフセットされたまま
の状態で得られる、つまり、軸５０の撓み量が極微小の
範囲ａにあっても、高周波カット済み出力信号Ｓ3 には
常に一定の直線性が得られるように構成されている。
【００１５】また、上記オフセット調節器８は上記高周
波カット済み出力信号Ｓ3 のレベルを調節するもので、
この調節により、軸５０の撓み量が“０”の場合には、
ローパスフィルタ７からの高周波カット済み出力信号Ｓ
3 の値を“０”に設定できるように構成されている。
波カット済み出力信号Ｓ3 のレベルを調節するもので、
この調節により、軸５０の撓み量が“０”の場合には、
ローパスフィルタ７からの高周波カット済み出力信号Ｓ
3 の値を“０”に設定できるように構成されている。
【００１６】ところで、上記第１及び第２のコイル１，
２、並びに撓み量検出回路４は軸５０のＹ軸線方向につ
いての撓み量を検出するものであるが、他の第１及び第
２のコイル１ａ，２ａ、並びに撓み量検出回路４ａは軸
５０のＸ軸線方向についての撓み量を検出するもので、
その具体的な構成は上記各部材１，２，４と同様なため
詳細説明を省略する。
２、並びに撓み量検出回路４は軸５０のＹ軸線方向につ
いての撓み量を検出するものであるが、他の第１及び第
２のコイル１ａ，２ａ、並びに撓み量検出回路４ａは軸
５０のＸ軸線方向についての撓み量を検出するもので、
その具体的な構成は上記各部材１，２，４と同様なため
詳細説明を省略する。
【００１７】次に、上記の如く構成された撓み量検出装
置の動作について図１ないし図３、及び図５を用いて詳
細に説明する。
置の動作について図１ないし図３、及び図５を用いて詳
細に説明する。
【００１８】この撓み量検出装置によれば、高周波発振
器３からの高周波電圧が両コイル１，２間に印加された
状態で、砥石５２による工作物Ｗの研削が行われ、その
研削により軸５０が撓むと、両コイル１，２の直列接続
点Ａからは軸５０の撓み量に対応する絶対値の出力信号
Ｓ0 が撓み量検出回路４に出力される。この際、その出
力信号Ｓ0 の特性は上記両コイル１，２の巻数の差、即
ちインダクタンスの差により図５（ａ）に示す如く一方
向にオフセットされる、つまり、軸５０の撓み量が極微
小の範囲ａにあっても出力信号Ｓ0 の特性には常に一定
の直線性が得られる。
器３からの高周波電圧が両コイル１，２間に印加された
状態で、砥石５２による工作物Ｗの研削が行われ、その
研削により軸５０が撓むと、両コイル１，２の直列接続
点Ａからは軸５０の撓み量に対応する絶対値の出力信号
Ｓ0 が撓み量検出回路４に出力される。この際、その出
力信号Ｓ0 の特性は上記両コイル１，２の巻数の差、即
ちインダクタンスの差により図５（ａ）に示す如く一方
向にオフセットされる、つまり、軸５０の撓み量が極微
小の範囲ａにあっても出力信号Ｓ0 の特性には常に一定
の直線性が得られる。
【００１９】一方、撓み量検出回路４に出力された出力
信号Ｓ0 は、その振幅が交流増幅器５において増幅され
た後、同期検波器６において同期検波用信号発生器９か
らの同期信号に基き検波されてから、ローパスフィルタ
７に出力され、その後、ローパスフィルタ７において高
周波発振器３の高周波成分がカットされる。この際、そ
の高周波カット済み出力信号Ｓ3 の特性は図５（ｂ）に
示すように上記の如くオフセットされたままの状態で得
られる、つまり、軸５０の撓み量が極微小の範囲ａにあ
っても高周波カット済み出力信号Ｓ3 には常に一定の直
線性が得られるので、軸５０が極微小に撓んだ場合にお
いても、その撓み量を上記高周波カット済み出力信号Ｓ
3 から高精度に検出することができる。
信号Ｓ0 は、その振幅が交流増幅器５において増幅され
た後、同期検波器６において同期検波用信号発生器９か
らの同期信号に基き検波されてから、ローパスフィルタ
７に出力され、その後、ローパスフィルタ７において高
周波発振器３の高周波成分がカットされる。この際、そ
の高周波カット済み出力信号Ｓ3 の特性は図５（ｂ）に
示すように上記の如くオフセットされたままの状態で得
られる、つまり、軸５０の撓み量が極微小の範囲ａにあ
っても高周波カット済み出力信号Ｓ3 には常に一定の直
線性が得られるので、軸５０が極微小に撓んだ場合にお
いても、その撓み量を上記高周波カット済み出力信号Ｓ
3 から高精度に検出することができる。
【００２０】なお、オフセット調整器８は上記高周波カ
ット済みの出力信号Ｓ3 のレベルを調整するもので、こ
の調整により軸５０の撓み量が“０”の場合には上記出
力信号Ｓ3 の値を“０”に設定できる。
ット済みの出力信号Ｓ3 のレベルを調整するもので、こ
の調整により軸５０の撓み量が“０”の場合には上記出
力信号Ｓ3 の値を“０”に設定できる。
【００２１】したがって、上記実施例の撓み量検出装置
によれば、第１及び第２のコイルの巻数に差を設けた、
即ち両コイルのインダクタンスに差を設けたため、上記
両コイルの直列接続点から得られる出力信号が一方向に
オフセットされる、つまり、軸の撓み量が極微小の範囲
にあっても上記出力信号の特性には常に一定の直線性が
得られるので、その出力信号に基いて軸の撓み量を高精
度に検出することができる。
によれば、第１及び第２のコイルの巻数に差を設けた、
即ち両コイルのインダクタンスに差を設けたため、上記
両コイルの直列接続点から得られる出力信号が一方向に
オフセットされる、つまり、軸の撓み量が極微小の範囲
にあっても上記出力信号の特性には常に一定の直線性が
得られるので、その出力信号に基いて軸の撓み量を高精
度に検出することができる。
【００２２】なお、軸の撓み量は最大数μｍであるた
め、上記第１及び第２のコイルのインダクタンス差をあ
る程度大きく設けておけば、逆方向の撓みでも常に一定
の直線性が得られる。
め、上記第１及び第２のコイルのインダクタンス差をあ
る程度大きく設けておけば、逆方向の撓みでも常に一定
の直線性が得られる。
【００２３】しかも、この実施例の撓み量検出装置によ
ると、軸に余分なターゲットを取り付けることなく、単
に両コイルのインダクタンスに差を設けるだけで、軸の
撓み量を高精度に検出することができるので、軸の高速
回転も可能となる。
ると、軸に余分なターゲットを取り付けることなく、単
に両コイルのインダクタンスに差を設けるだけで、軸の
撓み量を高精度に検出することができるので、軸の高速
回転も可能となる。
【００２４】なお、上記実施例では、両コイル１，２の
インダクタンスに差を設ける手段として、両コイル１，
２の巻数に差を設けるように構成したが、両コイル１，
２のインダクタンスに差を設けることについては、それ
に限定されることはなく、例えば、図４に示す如く、両
コイル１，２の巻数を同一とし、かつ両コイル１，２の
設置位置だけをずらし、第２のコイル２より第１のコイ
ル１の方が軸５０の中心線までの距離が短くなるよう構
成して、第１のコイルのインダクタンスを第２のコイル
のインダクタンスより大きくしたり、あるいは、両コイ
ル１，２の鉄心の材質だけを適宜選択して、第１のコイ
ルと第２のコイルのインダクタンスを異ならせるように
構成してもよいことは勿論である。
インダクタンスに差を設ける手段として、両コイル１，
２の巻数に差を設けるように構成したが、両コイル１，
２のインダクタンスに差を設けることについては、それ
に限定されることはなく、例えば、図４に示す如く、両
コイル１，２の巻数を同一とし、かつ両コイル１，２の
設置位置だけをずらし、第２のコイル２より第１のコイ
ル１の方が軸５０の中心線までの距離が短くなるよう構
成して、第１のコイルのインダクタンスを第２のコイル
のインダクタンスより大きくしたり、あるいは、両コイ
ル１，２の鉄心の材質だけを適宜選択して、第１のコイ
ルと第２のコイルのインダクタンスを異ならせるように
構成してもよいことは勿論である。
【００２５】また、上記実施例ではこの発明を砥石軸に
適用した例について説明したが、これに限定されること
はなく、この発明は工作物側の主軸等に適用しても良
い。
適用した例について説明したが、これに限定されること
はなく、この発明は工作物側の主軸等に適用しても良
い。
【００２６】
【発明の効果】この発明に係る撓み量検出装置にあって
は、上記の如く第１及び第２のコイルのインダクタンス
に差を設けたため、上記両コイルの直列接続点から得ら
れる出力信号が一方向にオフセットされる、つまり、軸
の撓み量が極微小の範囲にあっても上記出力信号の特性
には常に一定の直線性が得られるので、その出力信号に
基いて軸の撓み量を高精度に検出することができる。
は、上記の如く第１及び第２のコイルのインダクタンス
に差を設けたため、上記両コイルの直列接続点から得ら
れる出力信号が一方向にオフセットされる、つまり、軸
の撓み量が極微小の範囲にあっても上記出力信号の特性
には常に一定の直線性が得られるので、その出力信号に
基いて軸の撓み量を高精度に検出することができる。
【００２７】しかも、この撓み量検出装置によれば、軸
に余分なターゲットを取り付けることなく、単に第１及
び第２のコイルのインダクタンスに差を設けるだけで、
軸の撓み量を高精度に検出することができるので、軸の
高速回転も可能となる等の効果を有する。
に余分なターゲットを取り付けることなく、単に第１及
び第２のコイルのインダクタンスに差を設けるだけで、
軸の撓み量を高精度に検出することができるので、軸の
高速回転も可能となる等の効果を有する。
【図１】この発明に係る撓み量検出装置の一実施例を説
明するブロック図。
明するブロック図。
【図２】図１に示す撓み量検出装置を砥石軸に装着した
実施例の断面図。
実施例の断面図。
【図３】図２に示す III−III 線断面図。
【図４】この発明に係る撓み量検出装置の他の実施例を
説明する説明図。
説明する説明図。
【図５】この発明に係る撓み量検出装置における出力信
号の特性を説明する説明図。
号の特性を説明する説明図。
【図６】従来の撓み量検出装置における出力信号の特性
を説明する説明図。
を説明する説明図。
１ 第１のコイル ２ 第２のコイル ３ 高周波発振器（電圧印加手段） ４ 撓み量検出回路
Claims (1)
- 【請求項１】 軸の外周面側に設置された第１のコイル
と、上記軸を介して上記第１のコイルと対向するように
位置しかつその第１のコイルに直列接続された第２のコ
イルと、上記両コイル間に高周波電圧を印加する電圧印
加手段と、上記両コイルの直列接続点からの出力信号に
基いて上記軸の撓み量を検出する撓み量検出部とを備え
る軸の撓み量検出装置において、 上記両コイルのインダクタンスに差を設けたことを特徴
とする軸の撓み量検出装置。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5018879A JP2739539B2 (ja) | 1993-02-05 | 1993-02-05 | 軸の撓み量検出装置 |
| EP94100653A EP0610687B1 (en) | 1993-02-05 | 1994-01-18 | Device for detecting the bending magnitude of a shaft |
| DE69409416T DE69409416T2 (de) | 1993-02-05 | 1994-01-18 | Vorrichtung zum Messen der Biegegrösse einer Welle |
| US08/188,077 US5585718A (en) | 1993-02-05 | 1994-01-27 | Device for detecting the bending magnitude of a shaft |
| KR1019940001640A KR940019408A (ko) | 1993-02-05 | 1994-01-29 | 샤프트의 벤딩 크기 검출장치 |
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5018879A JP2739539B2 (ja) | 1993-02-05 | 1993-02-05 | 軸の撓み量検出装置 |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
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| JP2739539B2 JP2739539B2 (ja) | 1998-04-15 |
Family
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Family Applications (1)
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|---|---|
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| EP (1) | EP0610687B1 (ja) |
| JP (1) | JP2739539B2 (ja) |
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Family Cites Families (12)
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| DE3437379A1 (de) * | 1983-10-12 | 1985-04-25 | Bently Nevada Corp., Minden, Nev. | Vorrichtung zum messen der auf eine welle ausgeuebten dreh- oder biegekraft |
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| WO1991011723A1 (en) * | 1990-01-31 | 1991-08-08 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Device for measuring acceleration and the like |
-
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- 1994-01-18 EP EP94100653A patent/EP0610687B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1994-01-27 US US08/188,077 patent/US5585718A/en not_active Expired - Fee Related
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| US5585718A (en) | 1996-12-17 |
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