JPH06215595A - 半導体記憶装置 - Google Patents

半導体記憶装置

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JPH06215595A
JPH06215595A JP679393A JP679393A JPH06215595A JP H06215595 A JPH06215595 A JP H06215595A JP 679393 A JP679393 A JP 679393A JP 679393 A JP679393 A JP 679393A JP H06215595 A JPH06215595 A JP H06215595A
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恒昭 工藤
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 大容量であっても高速な読出しが可能なRO
Mを提供することである。 【構成】 ビット線を分割して複数の分割マトリックス
を構成し、該各分割マトリックスは、それぞれ共通のワ
ード線選択信号に基づき前記ビット線の電位を変化させ
るようにされ、アドレス入力に基づいてカラム選択信号
を生成する信号生成部と、前記分割マトリックスに対応
して複数段で構成され、その初段目は前記各分割マトリ
ックスに対して、それぞれ共通のカラム制御信号に基づ
きカラム選択を行い、2段目以降は前段により選択され
たカラムの中から所定のカラムを前記カラム選択信号に
基づき選択するカラム選択回路とを備えたものである。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、高速動作を要する半導
体集積回路等に有効なリード・オンリー・メモリ(以
下、ROMという)に関する。
【0002】
【従来の技術】近年、マイクロプロセッサの高速化に伴
い、そのシステムプログラムや処理プログラム等を記憶
するROMの高速化、即ちアドレスを与えてから記憶デ
ータの読出しが可能となるまでのアクセスタイムの短縮
化が強く要求されている。
【0003】従来、この種のROMは、一般的に図7に
示すように、ワード線とビット線がマトリックス状に配
置されその各交差位置にメモリセルを有するマトリック
ス部101と、複数ビットのアドレス入力をデコードし
所定のワード線を選択するワード線デコーダ102と、
アドレス入力に基づき所定のビット線を選択するための
カラム制御信号を生成するカラムデコーダ103と、選
択されたワード線及びビット線に対応した前記メモリセ
ル中の記憶データを出力する出力バッファ104とを備
えている。
【0004】このように構成されるROMの各構成要素
の回路構成例が図8及び図9に示されている。
【0005】図8は従来のプリチャージ式ROM(NO
R型;nビット×32ワード)におけるマトリックス部
101と出力バッファ104の1ビット回路図である。
【0006】同図において、B0〜B3はビット線、W
0〜W7はワード線であり、それらの各交差位置にはN
チャントランジスタから成るメモリセルがそれぞれ配置
されている。そして、ビット線B0〜B3の各一端が、
クロックCLKでオン/オフするNチャントランジスタ
111〜114を介して電源VDDにそれぞれ接続され
ている。さらにビット線B0〜B3の各他端は、カラム
制御信号C3〜C0でオン/オフ制御されるカラム選択
用のNチャントランジスタ115〜118を介してデー
タ線119に接続されている。このデータ線119は、
クロックCLKの反転信号CLKバーによりオン/オフ
するPチャントランジスタ120を介して電源VDDに
接続されると共に、出力データOUTを出力するセンス
インバータ121の入力側に接続されている。
【0007】図9は、従来のワード線デコーダ102の
構成例を示す回路図である。
【0008】同図に示すが如く、このワード線デコーダ
は、4個のインバータ、8個の3入力NANDゲート、
及び8個の2入力NORゲートから構成されている。
【0009】また、本従来例のカラムデコーダ103は
後述する図3と同一である。
【0010】次に、読出し動作を説明する。
【0011】クロックCLKの立上がりに同期してNチ
ャントランジスタ111〜114がオンすると、全ての
ビット線B0〜B3がプリチャージされ、さらにこのク
ロックCLKの立上がり後において、アドレス入力A0
〜A4のアドレスが確定される。一方、クロックCLK
の“H”レベルの期間中においては、クロックCLKの
反転信号CLKバーは“L”レベルとなり、従ってPチ
ャントランジスタ120がオンするので、データ線11
9も電位VDDまでプリチャージされる。
【0012】例えば、ワード線デコーダ101によりワ
ード線W2が選択されて、図8中のメモリセルZ1が選
択された場合は、このメモリセルZ1にはトランジスタ
が存在しないので、ビット線B2は放電されずカラム選
択用のトランジスタ117が選択され、センスインバー
タ121からは“0”の出力データOUTが出力され
る。もし、メモリセルZ1にトランジスタが存在してい
る場合は、ビット線B2が放電されて“0”となり、セ
ンスインバータ121からは“1”の出力データOUT
が出力される。
【0013】上述の説明で明らかなように、プリチャー
ジ式ROMにおいては、出力データとして“0”が出力
している場合はプリチャージされた値がそのまま出力さ
れるため、実質のディレイは零となる。すなわち、RO
Mを読み出す際にディレイが存在するケースは、ビット
線に接続されているメモリセルのトランジスタがオンに
なり、ビット線にチャージされていた電荷が放電される
ケースである。つまり、センスインバータ121が
“1”から“0”へ変化する場合だけである。
【0014】従って、高速動作が必要なROMでは、セ
ンスインバータ121の論理閾値を高めにとり、“1”
から“0”への変化を高速に感知することができるよう
にしている。
【0015】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
ROMでは、次のような問題点があった。
【0016】ビット線B0〜B3に接続されるメモリセ
ル用の各トランジスタは、そのゲートとビット線B0〜
B3との間にジャンクション(junction)容量
を有している。読出し時において、同一ビット線に接続
されるメモリセル用のトランジスタは一つしか選択され
ないため、そのビット線に接続された他のトランジスタ
の前記ジャンクション容量が大きくなり、その結果、デ
ータの読出し速度は低下する。
【0017】このような現象は、ビット線に接続される
メモリセル用のトランジスタを増加させて大容量化すれ
ば、より一層、顕著に現れ、高速でしかも大容量のRO
Mを実現する上で障害になっていた。
【0018】本発明は、上述の如き従来の問題点を解決
するためになされたもので、その目的は、大容量であっ
ても高速な読出しが可能なROMを提供することであ
る。
【0019】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の特徴は、マトリックス状に配設されたワー
ド線とビット線の交差位置に、該ワード線に供給される
ワード線選択信号によりオンしてビット線の電位を変化
させるトランジスタを有するマトリックス部と、所定の
アドレス入力をデコードして前記ワード線選択信号を生
成するワード線デコーダと、前記アドレス入力に基づい
てカラム制御信号を生成するカラムデコーダとを有し、
該カラム制御信号に基づき所定のビット線を選択するカ
ラム選択を行い、その選択されたビット線の電位に応じ
た出力データを出力する半導体記憶装置において、前記
ビット線を分割して複数の分割マトリックスを構成し、
該各分割マトリックスは、それぞれ共通の前記ワード線
選択信号に基づき前記ビット線の電位を変化させるよう
にされると共に、前記アドレス入力に基づいてカラム選
択信号を生成する信号生成部と、前記分割マトリックス
に対応して複数段で構成され、その初段目は前記各分割
マトリックスに対して、それぞれ共通の前記カラム制御
信号に基づき前記カラム選択を行い、2段目以降は前段
により選択されたカラムの中から所定のカラムを前記カ
ラム選択信号に基づき選択するカラム選択回路とを備え
たことである。
【0020】また、好ましくは前記2段目以降のカラム
選択回路がクロックドセンスインバータで構成されてい
る。
【0021】
【作用】上述の如き構成によれば、ビット線を分割して
カラム選択を複数段で行うようにしたので、従来回路に
比べ、その段数に応じてビット線に接続されるトランジ
スタの数が減少し、その分、ビット線と該トランジスタ
との間の接合容量が削減される。これにより、従来回路
よりもデータが高速に読み出される。
【0022】また、2段目以降のカラム選択回路をクロ
ックドセンスインバータで構成すれば、従来回路よりパ
ストランジスタが減少するので、読出し動作が一層高速
となる。
【0023】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明
する。図1は、本発明の第1実施例に係るプリチャージ
式ROM(NOR型;nビット×32ワード)における
マトリックス部と出力バッファの1ビット回路図、図2
は同実施例のワード線デコーダの回路図、及び図3は同
実施例のカラムデコーダの回路図である。
【0024】本実施例が従来回路と異なる点は、複数の
ビット線を2分割してカラム選択を2段構成にするよう
にした点であり、これによってビット線の負荷を1/2
に低減し、高速読出しを可能にしている。
【0025】以下、その構成を説明する。
【0026】図1に示すが如く、本実施例のROMのマ
トリックス部は、複数のビット線が1段目ビット線B1
−0〜B1−3と下部ビット線B2−0〜B2−3とに
分割され、上部、下部から成る分割マトリックスで構成
されている。即ち、上部ビット線B1−0〜B1−3及
び下部ビット線B2−0〜B2−3と、これらに共通な
ワード線W0〜W3とがそれぞれワード方向及びカラム
方向でマトリックス状に配設され、それらの各交差位置
にはNチャントランジスタ1(上部)または2(下部)
から成るメモリセルがそれぞれ配置されている。
【0027】上部の分割マトリックスの各Nチャントラ
ンジスタ1のゲートはワード線W0〜W3に、ドレイン
が一段目ビット線B1−0〜B1−3にぞれぞれ接続さ
れ、同様に下部の分割マトリックスの各Nチャントラン
ジスタ2のゲートがワード線W0〜W3に、ドレインが
下部ビット線B2−0〜B2−3にぞれぞれ接続される
と共に、各Nチャントランジスタ1,2のソースが接地
されている。
【0028】そして、上部ビット線B1−0〜B1−3
及び下部ビット線B2−0〜B2−3において、各1本
のビット線に接続されるNチャントランジスタ1または
2の数は、それぞれ4個となっており、図8に示す従来
回路に比べて1/2となっている。
【0029】このようなNチャントランジスタ1または
2から成るメモリセルには、予め“1”または“0”の
データが格納されているのであるが、それは例えば本実
施例のROMを製造する際のマスクパターンにより決定
される。即ち、ゲート部分の酸化膜の厚さを変える等を
行うことによりNチャントランジスタ1,2の有無(図
1中の1aの部分はトランジスタ無を示す)が決定さ
れ、例えばトランジスタ有のメモリセルには“1”のデ
ータ、トランジスタ無のメモリセルには“0”のデータ
がそれぞれ記憶されていることになる。こうしたパター
ンで記憶内容が決定されている。
【0030】さらに、上部ビット線B1−0〜B1−3
及び下部ビット線B2−0〜B2−3の各一端には、N
チャントランジスタ3a〜3d及びNチャントランジス
タ3e〜3hのソースがそれぞれ接続され、そのドレイ
ンが電源VDDに、ゲートがクロックCLK供給用の信
号線に接続されている。このNチャントランジスタ3a
〜3d,3e〜3hは、クロックCLKの立上がり時に
オン状態となってビット線B1−0〜B1−3,B2−
0〜B2−3をプリチャージする。
【0031】また、上部ビット線B1−0〜B1−3の
各他端が、それぞれカラム制御信号C3〜C0でオン/
オフ制御されるNチャントランジスタ4a〜4dを介し
てデータ線5に接続されている。カラム制御信号C3〜
C0は後述するカラムデコーダで生成される。このデー
タ線5の一端は、Pチャントランジスタ6のドレインに
接続され、そのソースが電源VDDに、ゲートがクロッ
クCLKの反転信号CLKバー供給用の信号線にそれそ
れ接続されている。このPチャントランジスタ6は、ク
ロックCLKの立下がり時にオン状態となってデータ線
5を電位VDDまでプリチャージする。
【0032】前記データ線5はNチャントランジスタ7
を介してセンスインバータ8の入力側に接続される。N
チャントランジスタ7は、本ROMに供給されるアドレ
ス入力A0〜A4(5ビット)の内、第2ビット目であ
るアドレスA2の反転信号A2バー(カラム選択信号)
によってオン/オフ制御される。この反転信号A2バー
は、後述するワード線デコーダにより生成される。
【0033】同様に、下部のビット線B2−0〜B2−
3の各他端が、前記カラム制御信号C3〜C0によって
オン/オフ制御されるNチャントランジスタ4e〜4h
を介してデータ線9に接続され、このデータ線9の一端
には前記Pチャントランジスタ6と同様の機能を有する
Pチャントランジスタ10が接続されている。そして該
データ線9はNチャントランジスタ11を介して前記イ
ンバータ8の入力側に接続され、Nチャントランジスタ
11は、前記アドレスA2(カラム選択信号)によって
オン/オフ制御される。なお、Nチャントランジスタ4
a〜4dで1段目のカラム選択回路が構成され、Nチャ
ントランジスタ7,11で2段目のカラム選択回路が構
成される。
【0034】一方、本実施例のワード線デコーダは、図
2に示すが如く、アドレスA2を反転して前記反転信号
A2バー(カラム選択信号)を生成するインバータ21
(信号生成部)を有するほか、第3ビット目及び最上位
ビット目であるアドレスA3,A4に対応したワード線
を前記ワード線W0〜W3の中から1本だけ選択するた
めのワード線選択信号を出力するため、インバータ2
2,23,24と、2入力NANDゲート25,26,
27,28と、2入力NORゲート29,30,31,
32とを備えている。
【0035】すなわち、NANDゲート25の入力側に
はアドレスA3,A4、NANDゲート26の入力側に
はインバータ23によるアドレスA4の反転信号及びア
ドレスA3、NANDゲート27の入力側にはインバー
タ22によるアドレスA3の反転信号及びアドレスA
4、NANDゲート28の入力側には各インバータ2
2,23によるアドレスA3,A4の反転信号が、それ
ぞれ入力されるようになっている。さらに、NANDゲ
ート25〜28の各出力側がNORゲート29〜32の
一方の入力側にそれぞれ接続され、その各他方の入力側
にはクロックCLK反転用のインバータ24の出力端が
接続されている。そして、NORゲート29〜32の各
出力端が図1に示す前記ワード線W3,W2,W1,W
0にそれぞれ接続されている。
【0036】図3に示すが如く、本実施例のカラムデコ
ーダは、アドレス入力A0〜A4(5ビット)の内、最
下位ビット及び第1ビット目であるアドレスA0,A1
に対応したカラム制御信号を前記カラム制御信号C3〜
C0の中から1つだけ選択するため、入力側のインバー
タ41,42と、2入力NANDゲート43,44,4
5,46と、出力側のインバータ47,48,49,5
0とを備えている。
【0037】すなわち、NANDゲート43の入力側に
はアドレスA0,A1、NANDゲート44の入力側に
はインバータ41によるアドレスA0の反転信号及びア
ドレスA1、NANDゲート45の入力側にはインバー
タ42によるアドレスA1の反転信号及びアドレスA
0、NANDゲート46の入力側には各インバータ4
1,42によるアドレスA0,A1の反転信号が、それ
ぞれ入力されるようになっている。さらに、これらNA
NDゲート41〜46の各出力側からインバータ47〜
50を介して、前記カラム制御信号C3〜C0がそれぞ
れ出力されるようになっている。
【0038】次に、例えば“0,1,0,1,0”のア
ドレス入力A0〜A4が本実施例のROMに供給される
場合の読出し動作について図4のタイムチャートを参照
しつつ説明する。
【0039】時刻T1のクロックCLKの立上がりに同
期してNチャントランジスタ3a〜3hがオンすると、
全てのビット線B1−0〜B1−3,B2−0〜B2−
3は、VDD−Vth(Vth;Nチャントランジスタ
の閾値電圧)分だけプリチャージされる。さらに、クロ
ックCLKの“H”レベルの期間中においては、クロッ
クCLKの反転信号CLKバーは“L”レベルとなり、
従ってPチャントランジスタ6,10がオンする。その
結果、データ線5,9が電位VDDまでプリチャージさ
れる。また、このクロックCLKの立上がり後の時刻T
2において、アドレス入力A0〜A4が例えば“0,
1,0,1,0”として設定され、どこを読み出すかが
確定される(本実施例の場合は図1中のメモリセル1b
が指定される)。
【0040】一方、アドレス入力A0〜A4の内、第2
ビットであるアドレスA2(“0”)、第3ビットのア
ドレスA3(“1”)、及び最上位ビットのアドレスA
4(“0”)はワード線デコーダへ供給される。ワード
線デコーダ中のNANDゲート25の入力側には“0”
と“1”、NANDゲート26の入力側には“1”と
“1”、NANDゲート27の入力側には“0”と
“0”、NANDゲート28の入力側には“1”と
“0”が、それぞれ入力される。その結果、NANDゲ
ート25〜28の出力の内、NANDゲート26の出力
のみが“0”となり、他のNANDゲート25,27,
28の出力信号は“1”となって、これらがNORゲー
ト29〜32へそれぞれ供給される。
【0041】この時、クロックCLKの“H”レベルの
期間中には、NANDゲート25〜28の出力信号のレ
ベルに拘らず、NORゲート29〜32の出力信号は全
て“L”レベルとなるので、ワード線W0〜W3が全て
“L”レベルとなり、データの読出しは行われない。ク
ロックCLKが“L”レベルになると(時刻T3)、N
ORゲート30の出力信号のみが“H”レベル(ワード
線選択信号)となるため、ワード線W2のみが“H”レ
ベルとなり、ワード線W2が選択される。
【0042】その結果、指定された図1中のメモリセル
1b中のNチャントランジスタ1を含めて該ワード線W
2に接続されているNチャントランジスタ1,2が全て
オンし、上部ビット線B1−0,B1−1,B1−3及
び下部ビット線B2−0〜B1−3にチャージされてい
た電荷が該Nチャントランジスタ1,2を介して放電さ
れる。
【0043】一方、前記アドレス入力A0〜A4の内、
最下位ビットであるアドレスA0(“0”)及び第1ビ
ットであるアドレスA1(“1”)がカラム制御信号と
してカラムデコーダへ供給される。これによって、図3
のNANDゲート43の入力側には“0”と“1”、N
ANDゲート44の入力側には“1”と“1”、NAN
Dゲート45の入力側には“0”と“0”、NANDゲ
ート46の入力側には“1”と“0”が、それぞれ入力
される。その結果、カラム制御信号C0〜C3は、それ
ぞれ“0”,“1”,“0”,“0”となり、従ってカ
ラム制御信号C2が選択される。これによって、Nチャ
ントランジスタ4a〜4d,4e〜4hの内、Nチャン
トランジスタ4b,4fのみがオンする(1段目のカラ
ム選択)。従って、上部ビット線B1−1及び下部ビッ
ト線B2−1の“0”電位がデータ線5,9に出力され
る。
【0044】また、“0”のアドレスA2はインバータ
21で反転されて“1”のカラム選択信号A2バーとし
て出力され、該カラム選択信号A2バーはNチャントラ
ンジスタ7のゲートへ、アドレスA2(カラム選択信
号)はNチャントランジスタ11のゲートへそれぞれ供
給される。本実施例によれば、アドレスA2が“0”で
あるので、Nチャントランジスタ7がオンし、Nチャン
トランジスタ11はオフしている(2段目のカラム選
択)。従って、上部ビット線B1−1の“0”電位が選
択されてセンスインバータ8の入力端へ供給される。そ
のセンスインバータ8の入力端の電位がその論理閾値よ
り低下する時刻T4に至った時、センスインバータ8の
出力端から“1”のデータが出力される。
【0045】本実施例では、1本のビット線に接続され
るNチャントランジスタの数が図8に示す従来回路に比
べて1/2の4個となっているため、その分、指定され
たビット線B1−1とNチャントランジスタ1のゲート
との間に発生するジャンクション容量が減少し、ビット
線B1−1にチャージされた電荷を高速に放電すること
ができる。従って、センスインバータ8の出力端から
“1”データが高速に読み出される。これは、他のメモ
リセルを読み出す場合についても同様である。
【0046】このように、本実施例によれば、ROMを
読み出す際にディレイが存在する場合、つまりNチャン
トランシズタ1または2がオンし、ビット線にチャージ
されていた電荷が放電されて“1”データが読み出され
るときにおいて、そのディレイを大幅に減少させること
ができる。しかも、このような利点は、ビット線に接続
されたトランジスタの数が多ければ多いほど顕著とな
る。
【0047】図5は、本発明の第2実施例に係るプリチ
ャージ式ROM(NOR型;nビット×32ワード)に
おけるマトリクス部と出力バッファの1ビット回路図で
あり、図1と共通の要素には同一の符号が付されてい
る。
【0048】本実施例のROMが図1に示す前記第1実
施例と異なる点は、2段目のカラム選択回路をNチャン
トランジスタ7,11に代えてクロックドセンスインバ
ータ21,22で構成して、センスインバータ8を省略
した点であり、パストランジスタが1段減少することに
より更なる高速化を実現するものである。
【0049】例えばクロックドセンスインバータ22の
構成は、図6のように示すようにPチャントランジスタ
22a,22bとNチャントランジスタ22c,22d
で構成されている。入力データDがPチャントランジス
タ22a及びNチャントランジスタ22dのゲートに入
力され、アドレスA2及びその反転信号A2バーは、N
チャントランジスタ22d及びPチャントランジスタ2
2bのゲートにそれぞれ入力され、該グロックドセンス
インバータ22のコントロール信号である。また、クロ
ックドセンスインバータ21は、図5に示すようにアド
レスA2及びその反転信号A2バー(カラム選択信号)
が前記クロックドセンスインバータ22の場合と逆に入
力されるだけで他の構成は同一である。
【0050】従って、クロックドセンスインバータ21
と22は、同時にオンすることなく、クロックドセンス
インバータ21がオンしている時は、クロックドセンス
インバータ22はオフであり、その逆にクロックドセン
スインバータ21がオフしている時は、クロックドセン
スインバータ22はオンし、互いに相補的なオン/オフ
動作を行う。なお、クロックドセンスインバータ21,
22は、高速に動作させるため、論理閾値を高めに設定
することにより、入力データDの値が“1”から“0”
への変化を高速に感知できるようにしている。
【0051】上記実施例ではプリチャージ方式のROM
について説明したが、本発明はディスチャージ方式のR
OMにも適用可能である。また、カラム選択の段数は2
段以上であってもよいことは言うまでもない。
【0052】
【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明で
は、ビット線を分割して複数の分割マトリックスを構成
し、該各分割マトリックスは、それぞれ共通のワード線
選択信号に基づき前記ビット線の電位を変化させるよう
にされ、アドレス入力に基づいてカラム選択信号を生成
する信号生成部と、前記分割マトリックスに対応して複
数段で構成され、その初段目は前記各分割マトリックス
に対して、それぞれ共通のカラム制御信号に基づきカラ
ム選択を行い、2段目以降は前段により選択されたカラ
ムの中から所定のカラムを前記カラム選択信号に基づき
選択するカラム選択回路とを備えたので、従来回路に比
べ、ほぼ同一の面積でありながら、高速読出しが可能と
なる。
【0053】前記2段目以降のカラム選択回路をクロッ
クドセンスインバータで構成すれば、より一層の高速読
出しが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施例に係るプリチャージ式RO
Mにおけるマトリックス部と出力バッファの1ビット回
路図である。
【図2】前記第1実施例のワード線デコーダの回路図で
ある。
【図3】前記実施例のカラムデコーダの回路図である。
【図4】前記第1実施例の動作を説明するためのタイム
チャートである。
【図5】本発明の第2実施例に係るプリチャージ式RO
Mにおけるマトリクス部と出力バッファの1ビット回路
図である。
【図6】前記第2実施例のクロックドセンスインバータ
の回路図である。
【図7】ROMの全体構成を示すブロック図である。
【図8】従来のプリチャージ式ROMにおけるマトリッ
クス部と出力バッファの1ビット回路図である。
【図9】従来のワード線デコーダの構成例を示す回路図
である。
【符号の説明】
B1−0〜B1−3 上部ビット線 B2−0〜B2−3 下部ビット線 W0〜W3 ワード線 1,2,7,11 Nチャントランジスタ C3〜C0 カラム制御信号 A0〜A4 アドレス入力 21,22 クロックドセンスインバータ 101 マトリックス部 102 ワード線デコーダ 103 カラムデコーダ 104 出力バッファ

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】マトリックス状に配設されたワード線とビ
    ット線の交差位置に、該ワード線に供給されるワード線
    選択信号によりオンしてビット線の電位を変化させるト
    ランジスタを有するマトリックス部と、所定のアドレス
    入力をデコードして前記ワード線選択信号を生成するワ
    ード線デコーダと、前記アドレス入力に基づいてカラム
    制御信号を生成するカラムデコーダとを有し、該カラム
    制御信号に基づき所定のビット線を選択するカラム選択
    を行い、その選択されたビット線の電位に応じた出力デ
    ータを出力する半導体記憶装置において、 前記ビット線を分割して複数の分割マトリックスを構成
    し、その各分割マトリックスは、それぞれ共通の前記ワ
    ード線選択信号に基づき前記ビット線の電位を変化させ
    るようにされると共に、 前記アドレス入力に基づいてカラム選択信号を生成する
    信号生成部と、 前記分割マトリックスに対応して複数段で構成され、そ
    の初段目は前記各分割マトリックスに対して、それぞれ
    共通の前記カラム制御信号に基づき前記カラム選択を行
    い、2段目以降は前段により選択されたカラムの中から
    所定のカラムを前記カラム選択信号に基づき選択するカ
    ラム選択回路と、 を備えたことを特徴とする半導体記憶装置。
  2. 【請求項2】 前記2段目以降のカラム選択回路は、ク
    ロックドセンスインバータで構成したことを特徴とする
    請求項1記載の半導体記憶装置。
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