JPH06210250A - 除塵装置 - Google Patents

除塵装置

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JPH06210250A
JPH06210250A JP5026186A JP2618693A JPH06210250A JP H06210250 A JPH06210250 A JP H06210250A JP 5026186 A JP5026186 A JP 5026186A JP 2618693 A JP2618693 A JP 2618693A JP H06210250 A JPH06210250 A JP H06210250A
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 ワークの表面に付着した塵を完全に除去でき
るようにする。 【構成】 ワークWの搬送領域にはワークWの上面を転
動する除塵ロール21a、21bが設けられている。こ
れらの除塵ロール21の上方には剥離ベルト52が設け
られている。ワークWの上面に付着した塵は除塵ロール
21の除塵用粘着性表面26にその粘着力により移し取
られて除去される。除塵ロール21に移し取られた塵は
剥離ベルト52の剥離用粘着性表面55にその粘着力に
より移し取られて除去され、除塵ロール21の除塵能力
が維持される。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、プリント基板などのワ
ークの表面に付着した塵を除去する方法を改良した除塵
装置に関する。
【0002】
【従来の技術】例えば、プリント基板に印刷処理を施す
直前にそのプリント基板の表面に付着した塵を除去する
場合や、樹脂材に研磨処理を施す直前にその樹脂材の表
面に付着した塵を除去する場合のように、ワークの表面
に付着した塵を除去するための除塵装置としては、次の
ようなものが公知である。
【0003】これは、水平に並べられて回転する多数の
送りロールからなる搬送機構、または、ロール間に水平
に掛け渡した送材ベルトからなる搬送機構によって一方
向に搬送されるワークの通過領域に、回転ブラシを設け
ると共に、集塵ファン装置の吸引側に接続された吸塵ダ
クトを設け、回転ブラシでワークの表面を擦ることによ
りワークから塵を払い除けると共に、その払い除けた塵
を空気と一緒に吸塵ダクト内に吸引するのである。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述の
ようにして塵を排除しても、実際には、ワークの表面に
付着した塵を十分に除去することができないばかりでな
く、回転ブラシによってワークから排除された塵の一部
が吸塵ダクトに吸引されずに再びワークに付着する恐れ
があり、ワークの表面から塵を完全に取り除くことがで
きないというのが実情であった。
【0005】そこで、本発明の目的は、ワークの表面に
付着した塵を確実に除去できて後工程を能率的たらしめ
ることができる除塵装置を提供するところにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明にかかる除塵装置
は、搬送機構によって搬送されるワークが通過する領域
においてそのワークに外周の除塵用粘着性表面を接触さ
せて転動する除塵ロールと、除塵ロールの除塵用粘着性
表面に剥離用粘着性表面を接触させて走行する剥離ベル
トとを備えたところに特徴を有するものである。
【0007】
【作用】ワークが搬送機構によって一方向に搬送される
間に、ワークの表面には、転動する除塵ロールの外周の
除塵用粘着性表面が接触し、ワークの表面に付着してい
る塵はこの除塵用粘着性表面の粘着力により除塵ロール
に移し取られてワークから除去される。
【0008】また、除塵ロールの除塵用粘着性表面に
は、走行する剥離ベルトの剥離用粘着性表面が接触し、
ワーク表面から除塵用粘着性表面に移し取られた塵は、
剥離用粘着性表面の粘着力により剥離ベルトに移し取ら
れて除塵ロールから除去される。これによって、除塵ロ
ールの粘着能力が回復し、除塵性能が持続する。
【0009】
【発明の効果】このように、本発明の除塵装置によれ
ば、ワークの表面の塵は、擦り払われて空気と共に吸引
されるのではなく、粘着力によって直に除塵ロールに移
し取られるようにして除去され、しかも、除塵ロールに
移し取られた塵を剥離ベルトで除去することによって除
塵ロールの粘着能力を回復させるようになっているか
ら、ワーク表面の塵を完全に排除し、且つ、その除塵性
能を長期間に渡って継続することができるという優れた
効果を奏する。
【0010】
【実施例】以下、本発明を具体化した一実施例について
図面を参照して説明する。
【0011】全体的構成は図1に示すように、ハウジン
グ100内においてワークWの搬送機構10の上方に除
塵機構20を設けると共に除塵機構20の上方に剥離機
構50を設けた構造になっている。
【0012】<搬送機構10>まず、搬送機構10につ
いて述べる。ハウジング100の内部には、複数本の送
りロール11が平行に並べて支持されると共に、各送り
ロール11の一端に設けたスプロケット12にチェーン
13が掛け渡され(図2)、図示しないモータにより全
ての送りロール11が同速度で回転し、これらの送りロ
ール11に載せられたワークWが図1の矢線方向に搬送
される。本実施例の場合、その搬送速度は5〜15m/
分である。
【0013】かかる搬送機構10におけるワークWの搬
送経路の途中には、搬送方向に間隔を空けた2つの受け
ロール15、15が設けられ、これらの受けロール15
は、図示しないモータにより送りロール11と同じ周速
度で回転駆動されることによって送りロール11と共に
ワークWの搬送面を構成する。
【0014】各受けロール15の一端には駆動ギヤ16
が取り付けられている。この駆動ギヤ16は後述する除
塵ロール21を回転駆動させるためのものである。
【0015】<除塵機構20>次に、除塵機構20につ
いて述べる。前記搬送機構10の2つの受けロール1
5、15の真上には、搬送方向における下流側に位置す
る第一除塵ロール21aと上流側に位置する第二除塵ロ
ール21bが設けられている。これらの除塵ロール21
は、図4に示すように、円筒支持体22の両端部にそれ
ぞれボス23を嵌着すると共にこのボス23に軸受23
aを介して枢軸24を取付け、円筒支持体22の外周面
に例えばウレタンゴム板25を巻回して構成されてお
り、本実施例の場合、その外径は150mmである。
【0016】ウレタンゴム板25は化学構造としてはポ
リウレタンとして表されるもので比重は1.00〜1.
30である。ウレタンゴム板25の表面は粘着性を有し
ており、塵の粘着除去という観点からは、ウレタンゴム
板25の硬度は10〜30°であることが好ましく、本
実施例では硬度30°のものを使用している。このウレ
タンゴム板25の粘着性能により除塵ロール21の外周
面は除塵用粘着性表面26となっている。
【0017】次に、除塵ロール21の支持構造について
述べる。除塵ロール21の枢軸24の両端部には昇降ブ
ロック27が固着されており、図5に示すようにこれら
の昇降ブロック27は、その両側面の突条28をハウジ
ング100に固定した2つの昇降案内体29の案内溝3
0に嵌めた状態で昇降自由に案内されている。
【0018】両昇降案内体29、29の間にはエアシリ
ンダ31が設けられ、その上向きに突出するロッド32
が昇降ブロック27の底面に対応している。ロッド32
が進出すると、昇降ブロック27が押し上げられ除塵ロ
ール21が上昇して前記搬送機構10の受けロール15
上のワークWから離間するようになっていると共に、ロ
ッド32が後退すると、除塵ロール21がその自重によ
り受けロール15との間でワークWを挟み付ける位置ま
で下降するようになっている。
【0019】図3に示すように、除塵ロール21の一端
には従動ギヤ33が取り付けられており、除塵ロール2
1が上昇して受けロール15上のワークWから離間する
と従動ギヤ33が受けロール15の駆動ギヤ16から外
れ、除塵ロール21が受けロール15との間でワークW
を挟む位置まで下降すると、従動ギヤ33が駆動ギヤ1
6と噛み合う。そして、従動ギヤ33が駆動ギヤ16と
噛み合った状態においては、除塵ロール21が搬送機構
10の搬送速度と同じ周速度で回転駆動される。
【0020】<剥離機構50>剥離機構50は、除塵機
構20においてワークWから除塵ロール21に移し取ら
れた塵を除塵ロール21から除去するものであり、後述
する複数のロールに無端状の剥離ベルト52を掛け回し
た構成になる。
【0021】剥離ベルト52は、図7に示すように伸び
防止用のベルト状基材53の外周側表面に特殊粘着エラ
ストマーからなるベルト状粘着材54を貼り付けた構造
であり、かかる剥離ベルト52の外周面は剥離用粘着性
表面55となっている。この剥離用粘着性表面55の粘
着力は除塵ロール21の除塵用粘着性表面26よりも強
く、両粘着性表面26、55が密着すると除塵用粘着性
表面26上の付着物が剥離用粘着性表面55に移し取ら
れるようになっている。また、剥離用粘着性表面55上
の付着物は水で擦り洗いすることによって容易に除去す
ることができ、これによって、剥離用粘着性表面55の
粘着性能が保たれるようになっている。
【0022】次に、剥離ベルト52が掛け回されている
ロールについて述べる。第一と第二の両除塵ロール21
a、21bの真上にはそれぞれ第一押えロール56aと
第二押えロール56bが設けられている。これらの押え
ロール56は、図6に示すように、その枢軸57の両端
がエアシリンダ58の下向きに突出したロッド59に固
着されることによって支持されている。剥離ベルト52
はその基材53を両押えロール56a、56bの下面に
接触させつつ第二押えロール56b側から第一押えロー
ル56a側へ向かって走行するようになっている。
【0023】両押えロール56は、除塵ロール21が上
昇した状態において押えロール56との間で剥離ベルト
52を挟んでその剥離用粘着性表面55に接触し、且
つ、除塵ロール21が下降した状態において剥離ベルト
52から離間する高さに設定されている。
【0024】第一押えロール56aの側方には、枢軸6
1をエアシリンダ62の上向きのロッド63によって支
持されたテンションロール60が設けられており、テン
ションロール60の高さはエアシリンダ62の作動によ
って押えロール56よりも高い所定の位置に設定されて
いる。
【0025】剥離ベルト52はその剥離用粘着性表面5
5をテンションロール60に接触させつつ掛け回された
状態で走行するが、テンションロール60の外周には例
えばシリコンゴム板64が巻回されていてこのシリコン
ゴム板64に剥離用粘着性表面55が密着しても粘着し
ないようになっている。
【0026】テンションロール60のさらに側方には水
洗装置70が設けられている。水洗装置70はテンショ
ンロール60よりも低い高さに支持された水洗用ロール
71を備えている。剥離ベルト52はその基材53を水
洗用ロール71に接触させつつ掛け回されて転向した後
上へ向かって走行する。
【0027】この水洗用ロール71の下側には昇降装置
72によって支持された水洗用タンク73が設けられて
おり、水洗用タンク73内においては、図示しない注水
口から例えば5リットル/分の流量で注水される状態で
洗浄水74が一定量貯留されるようになっていると共
に、図示しないモータにより駆動される例えばナイロン
製の洗浄用回転ブラシ75が洗浄水74内に漬かる状態
で支持されている。
【0028】水洗用タンク73の高さは、洗浄水74中
において剥離ベルト52の水洗用ロール71に掛け回さ
れている部分の剥離用粘着性表面55に洗浄用回転ブラ
シ75が接触するように設定されている。
【0029】なお、水洗用タンク73から流出する洗浄
水74の排水経路にはフィルターを設け、洗浄水74を
濾過して洗浄水74中の異物が垂れ流しになることを防
止するようにすることが望ましい。
【0030】水洗用ロール71の上方には水切り装置8
0が設けられている。水切り装置80は、水切り用下部
押えロール81aと水切り用下部受けロール82aとを
同じ高さに並べて設けると共に、その上方に水切り用上
部押えロール81bと水切り用上部受けロール82bと
を同じ高さに並べて設けた構成である。
【0031】これらの各ロール81、82は、図8に示
すように、芯筒83の外周に筒形のスポンジ84を装着
したものであり、スポンジ84は、親水性高分子である
ポリビニルアルコールを原料とし、極微細な連続気孔に
より優れた吸水及び保水能力を有すると共に柔軟性及び
耐摩耗性を備えた材料からなっている。なお、スポンジ
84の目は、下部の水切り用ロール81a、82aが粗
く、上部の水切り用ロール81b、82bが細かくなっ
ている。
【0032】また、上下の両水切り用押えロール81
a、81bは、エアシリンダ85の水平方向に突出した
ロッド86にブラケット87を介して支持されていると
共に、上下の両水切り用受けロール82a、82bはハ
ウジング100に固定して支持されており、エアシリン
ダ85の作動によって水切り用押えロール81a、81
bが水切り用受けロール82a、82bとの間で上向き
に走行する剥離ベルト52を挟み付ける状態となってい
る。
【0033】かかる水切り装置80の上方には箱状の乾
燥炉91からなる乾燥装置90が設けられている。乾燥
炉91の一端の下面には剥離ベルト52が通過するため
の入口孔92が形成され、乾燥炉91の他端側面には剥
離ベルト52が通過するための出口孔93が形成されて
いる。
【0034】また、乾燥炉91の内部には第一転向ロー
ル94が支持されていると共に、乾燥炉91の外部の出
口孔93の近傍位置には第二転向ロール95が支持され
ており、剥離ベルト52は、入口孔92を通過した後に
基材53を第一転向ロール94に接触させて掛け回され
ることにより転向して水平に走行し、出口孔93を通過
して乾燥炉91から出た後に基材53を第二転向ロール
95に接触させて掛け回されることにより転向し、前記
第二押えロール56bに向けて下向きに走行するように
なっている。
【0035】乾燥炉91内には、乾燥炉91内を走行す
る剥離ベルト52の基材53の表面及び剥離用粘着性表
面55に向けて上下両側から例えば60〜80℃の熱風
を吹きつける2つのブロア96が設けられている。
【0036】そして、図示しないモータによって回転駆
動される第二転向ロール95の回転力、及び、図示しな
いスプロケット間に掛け渡した図示しないチェーンを介
して第二転向ロール95と連動回転する第一転向ロール
94の回転力により、剥離ベルト52が上述の経路で循
環走行するようになっている。この剥離ベルト52の走
行速度は搬送機構10の搬送速度よりも遅く、本実施例
では0.5m/分である。
【0037】次に本実施例の作用について述べる。
【0038】まず、搬送機構10を作動させて上面に塵
の付着したワークWを搬送し、第一除塵ロール21aを
下降させてその従動ギヤ33を受けロール15の駆動ギ
ヤ16に噛み合わせることにより回転させると共に、第
二除塵ロール21bを上昇させてその除塵用粘着性表面
26を剥離ベルト52の剥離用粘着性表面55に密着さ
せ、さらに、その剥離ベルト52を走行させる。
【0039】すると、ワークWが受けロール15と第一
除塵ロール21aとの間を通過する間に、第一除塵ロー
ル21aがその除塵用粘着性表面26を密着させつつワ
ークWの上面を転動し、ワークW上面の塵は除塵用粘着
性表面26に粘着し第一除塵ロール21aへ移し取られ
ることによって除去される。塵を除去されたワークWは
第二除塵ロール21bの下方を接触することなく通過し
ていく。
【0040】なお、除塵ロール21がワークWの上面を
転動する際には、昇降ブロック27の底面からエアシリ
ンダ31のロッド32が離間していて除塵ロール21が
その自重によって常に下降しようとするため、ワークW
の厚さが多少変動しても、それに追従して密着するよう
になる。
【0041】そして、ワークWの搬送数、ワークWに付
着する塵の見積り量、ワークWの搬送速度即ち除塵ロー
ル21の転動周速度、除塵用粘着性表面26の面積等の
諸条件に応じて予め切換時間を設定しておいた図示しな
いタイマーの作動により、第一除塵ロール21aの粘着
力が大きく低下するより前に、第一除塵ロール21aが
上昇すると同時に第二除塵ロール21bが下降する。
【0042】下降した第二除塵ロール21bはその従動
ギヤ33を送りロール15の駆動ギヤ16に噛み合わせ
ることにより回転駆動され、上記した第一除塵ロール2
1aと同様に、ワークWの上面に付着した塵が第二除塵
ロール21bの除塵用粘着性表面26に移し取られる。
【0043】この間に、上昇した第一除塵ロール21a
は走行する剥離ベルト52の剥離用粘着性表面55に密
着しながら転動し、第一除塵ロール21aの除塵用粘着
性表面26上の塵は剥離用粘着性表面55の強い粘着力
によって剥離ベルト52に移し取られ、第一除塵ロール
21aの徐塵能力が回復する。
【0044】第一除塵ロール21aから塵を移し取った
剥離ベルト52は、まず、水洗装置70を通過する。水
洗装置70においては、洗浄水74中で剥離用粘着性表
面55が洗浄用回転ブラシ75で擦られて剥離ベルト5
2の塵が除去される。
【0045】こうして塵が除去された後、剥離ベルト5
2は水切り装置80を通過する。水切り装置80におい
ては、下部の両水切り用ロール81a、82aの間と上
部の両水切り用ロール81b、82bの間を順に挟まれ
て通過することにより、水洗装置70において付着した
水分が各水切りロール81、82に吸収されて殆ど除去
される。
【0046】水分が殆ど除去された後、剥離ベルト52
は乾燥装置90を通過する。乾燥装置90においては、
2つのブロア96、96から吹きつけられる熱風により
剥離ベルト52に残っていた水分が蒸発して完全に除去
される。このようにして乾燥された後、剥離ベルト52
は再び第一除塵ロール21aに付着している塵の除去を
行う。
【0047】そして、前記図示しないタイマーの作動に
より、第一除塵ロール21aが粘着力を完全に回復した
状態で下降して再びワークWの塵の除去を行うと共に、
第二除塵ロール21bがその粘着力を大きく低下させる
前に上昇してワークWから移し取った塵を剥離ベルト5
2に移し取られることとなる。
【0048】上述のようにして、第一除塵ロール21a
と第二除塵ロール21bが一定時間毎に交互に上下動す
る動作が繰り返されることにより、ワークWからの塵の
除去を長時間に渡って連続して行い続けることができ
る。
【0049】このように本実施例によれば、ワークWの
上面を除塵ロール21が転動するから、その除塵用粘着
性表面26の粘着力によつてワークW上面の塵を完全に
除去することができる。しかも、除塵ロール21に移し
取られた塵は剥離ベルト52によって除去されるから、
除塵ロール21の粘着能力が維持され、除塵ロール21
の交換は不要である。
【0050】なお、本発明は上記し且つ図面に示す実施
例に限定されるものではなく、例えば次のような変形が
可能である。
【0051】(1)除塵ロールの除塵用粘着性表面を構
成する材料としては、ウレタンゴムに限らず、他の粘着
性材料であってもよい。なお、ウレタンゴムとする場合
には、ワークに付着する塵の材質や大きさ等に応じて適
宜選択することができる。
【0052】(2)上記実施例では、除塵ロール21を
円筒支持体22の表面にウレタンゴム板25を貼り付け
て構成したが、これに限らず、例えばシャフトに形成し
た径部の外周に直接にウレタンゴムを設けた構成であっ
てもよい。
【0053】(3)上記実施例では、2つの除塵ロール
21a、21bを設けて交互に上下動させることにより
ワークWからの塵の除去を連続的に行わせるようにした
が、1つの除塵ロールを用いてワークの塵を除去する動
作と除塵ロールの塵を剥離ベルトで除去する動作を同時
に行わせる構成であってもよい。
【0054】(4)上記実施例では、無端状の剥離ベル
ト52を用いて循環走行させることにより除塵ロール2
1に付着した塵を除去して再生使用するようにしたが、
例えば2つのドラムの間に巻き渡した1本の長い剥離ベ
ルトを一方のドラム側から他方のドラム側へ片道走行さ
せ、または、水洗しながら両ドラムの間を往復走行させ
る構成であってもよい。
【0055】その他、本発明は上記し且つ図面に示す実
施例に限定されるもものではなく、例えば、除塵ロール
をワークの搬送方向に添って3段以上に渡って設ける
等、要旨を逸脱しない範囲内で種々変更して実施するこ
とができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例を一部断面にして示す正面図
【図2】搬送機構の平面図
【図3】要部の側面図
【図4】除塵機構及び剥離機構の一部の断面図
【図5】除塵機構及び剥離機構の一部の正面図
【図6】除塵機構及び剥離機構の全体正面図
【図7】剥離ベルトの断面図
【図8】水切りロールの断面図
【符号の説明】
10…搬送機構 21a…第一除塵ロール 21b…第二除塵ロール 26…除塵用粘着性表面 52…剥離ベルト 55…剥離用粘着性表面

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 搬送機構によって搬送されるワークが通
    過する領域においてそのワークに外周の除塵用粘着性表
    面を接触させて転動する除塵ロールと、前記除塵ロール
    の前記除塵用粘着性表面に剥離用粘着性表面を接触させ
    て走行する剥離ベルトとを備えたことを特徴とする除塵
    装置。
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2005092525A1 (ja) * 2004-03-25 2005-10-06 Baldwin-Japan Ltd. 印刷用又は加工用シート材の除塵装置
CN102523695A (zh) * 2011-12-29 2012-06-27 湖南万容科技股份有限公司 板材清洗装置以及板材清洗方法
CN106733917A (zh) * 2016-12-30 2017-05-31 常州亿晶光电科技有限公司 硅片自动清洗装置
CN107161690A (zh) * 2017-06-29 2017-09-15 广州市泰立机电设备有限公司 机器人智能上下印刷线路板系统及线路板移载方法

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01136748A (ja) * 1987-11-25 1989-05-30 Mitsubishi Heavy Ind Ltd 印刷機の紙粉除去装置
JPH0299996U (ja) * 1989-01-25 1990-08-09
JPH03165902A (ja) * 1989-11-24 1991-07-17 Kawasaki Steel Corp 搬送ロールの付着塵埃除去方法
JPH0448978A (ja) * 1990-06-15 1992-02-18 Kawasaki Steel Corp 帯状物表面の異物除去装置

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01136748A (ja) * 1987-11-25 1989-05-30 Mitsubishi Heavy Ind Ltd 印刷機の紙粉除去装置
JPH0299996U (ja) * 1989-01-25 1990-08-09
JPH03165902A (ja) * 1989-11-24 1991-07-17 Kawasaki Steel Corp 搬送ロールの付着塵埃除去方法
JPH0448978A (ja) * 1990-06-15 1992-02-18 Kawasaki Steel Corp 帯状物表面の異物除去装置

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2005092525A1 (ja) * 2004-03-25 2005-10-06 Baldwin-Japan Ltd. 印刷用又は加工用シート材の除塵装置
CN102523695A (zh) * 2011-12-29 2012-06-27 湖南万容科技股份有限公司 板材清洗装置以及板材清洗方法
CN106733917A (zh) * 2016-12-30 2017-05-31 常州亿晶光电科技有限公司 硅片自动清洗装置
CN106733917B (zh) * 2016-12-30 2022-09-20 常州亿晶光电科技有限公司 硅片自动清洗装置
CN107161690A (zh) * 2017-06-29 2017-09-15 广州市泰立机电设备有限公司 机器人智能上下印刷线路板系统及线路板移载方法

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JP2996270B2 (ja) 1999-12-27

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