JPH06191638A - 半導体装置の表裏反転装置及び表裏反転方法 - Google Patents
半導体装置の表裏反転装置及び表裏反転方法Info
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- JPH06191638A JPH06191638A JP34810392A JP34810392A JPH06191638A JP H06191638 A JPH06191638 A JP H06191638A JP 34810392 A JP34810392 A JP 34810392A JP 34810392 A JP34810392 A JP 34810392A JP H06191638 A JPH06191638 A JP H06191638A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 半導体装置のバーン・イン工程における表裏
反転工程において、消耗品である吸着パットを使用せず
半導体装置を表裏反転させ、吸着パットの購入費、交換
工数、管理工数をなくす。 【構成】 半導体装置８を吸着する真空配管３を前記半
導体装置８との接点附近を小径にすることにより真空圧
力を大きくし、半導体装置をプレート２に設けたポケッ
ト１に吸着、固定し、前記プレート２を１８０度回転さ
せ半導体装置８を表裏反転させる。
反転工程において、消耗品である吸着パットを使用せず
半導体装置を表裏反転させ、吸着パットの購入費、交換
工数、管理工数をなくす。 【構成】 半導体装置８を吸着する真空配管３を前記半
導体装置８との接点附近を小径にすることにより真空圧
力を大きくし、半導体装置をプレート２に設けたポケッ
ト１に吸着、固定し、前記プレート２を１８０度回転さ
せ半導体装置８を表裏反転させる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は半導体チップを樹脂で覆
った半導体装置の表裏反転装置及び表裏反転方法に関す
るものである。
った半導体装置の表裏反転装置及び表裏反転方法に関す
るものである。
【０００２】
【従来の技術】通常、半導体装置のバーン・イン工程で
ゼロインサーションタイプのソケットを使用する場合、
前記ソケットの仕様により半導体装置を表裏反転しソケ
ットに挿入しなければならない。
ゼロインサーションタイプのソケットを使用する場合、
前記ソケットの仕様により半導体装置を表裏反転しソケ
ットに挿入しなければならない。
【０００３】図７は従来の半導体装置の表裏反転装置の
断面図の一部分であり、図７（ａ）は半導体装置の表裏
反転前の図、図７（ｂ）は前記半導体装置の表裏反転後
の図である。
断面図の一部分であり、図７（ａ）は半導体装置の表裏
反転前の図、図７（ｂ）は前記半導体装置の表裏反転後
の図である。
【０００４】図７において３は真空配管、１４は半導体
装置の表裏反転装置本体、１５は半導体装置、１６は吸
着パットである。半導体装置１５の重量は１ｇ以下、真
空配管３の先端部の外径と真空配管３の先端部に取りつ
ける吸着パットの内径は２．５mm、真空圧は−６００mm
Hgである。
装置の表裏反転装置本体、１５は半導体装置、１６は吸
着パットである。半導体装置１５の重量は１ｇ以下、真
空配管３の先端部の外径と真空配管３の先端部に取りつ
ける吸着パットの内径は２．５mm、真空圧は−６００mm
Hgである。
【０００５】以上のように構成された半導体装置の表裏
反転装置の動作について説明する。まず、半導体装置の
表裏反転装置本体１４の上に置かれた半導体装置１５
は、真空配管３による真空によって吸着され、半導体装
置の表裏反転装置本体１４に固定される。半導体装置１
５と真空配管３の間の真空のリークを防止するため吸着
パット１６が設けられている。半導体装置１５を吸着し
た半導体装置の表裏反転装置本体１４が表裏反転するこ
とにより半導体装置１５を表裏反転させる。
反転装置の動作について説明する。まず、半導体装置の
表裏反転装置本体１４の上に置かれた半導体装置１５
は、真空配管３による真空によって吸着され、半導体装
置の表裏反転装置本体１４に固定される。半導体装置１
５と真空配管３の間の真空のリークを防止するため吸着
パット１６が設けられている。半導体装置１５を吸着し
た半導体装置の表裏反転装置本体１４が表裏反転するこ
とにより半導体装置１５を表裏反転させる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら従来の構
成では、ゴム製である吸着パットが消耗品であるため、
吸着パットを定期的に購入し、交換しなければならず、
設備保守、保全費、設備保守工数、パーツ管理工数を必
要としていた。
成では、ゴム製である吸着パットが消耗品であるため、
吸着パットを定期的に購入し、交換しなければならず、
設備保守、保全費、設備保守工数、パーツ管理工数を必
要としていた。
【０００７】本発明は、従来の問題点を解決するもの
で、吸着パットに関する設備保守、保全費、設備保守工
数、パーツ管理工数をなくすことができる半導体装置の
表裏反転装置を提供することを目的とする。
で、吸着パットに関する設備保守、保全費、設備保守工
数、パーツ管理工数をなくすことができる半導体装置の
表裏反転装置を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に、本発明の半導体装置の表裏反転装置は、例えば先端
部分が直径１．５mmの真空配管を備え、反転前の半導体
装置を収納するポケットを有し、表裏反転機能を有する
回転プレートと、表裏反転後の半導体装置を収納するポ
ケットを有する固定プレートからなるか、または、表裏
反転前の半導体装置を収納するポケットと表裏反転機能
を有するプレートと、表裏反転後の半導体装置を収納す
るポケットと表裏反転機能を有するプレートとからな
る。
に、本発明の半導体装置の表裏反転装置は、例えば先端
部分が直径１．５mmの真空配管を備え、反転前の半導体
装置を収納するポケットを有し、表裏反転機能を有する
回転プレートと、表裏反転後の半導体装置を収納するポ
ケットを有する固定プレートからなるか、または、表裏
反転前の半導体装置を収納するポケットと表裏反転機能
を有するプレートと、表裏反転後の半導体装置を収納す
るポケットと表裏反転機能を有するプレートとからな
る。
【０００９】
【作用】これらの構成によって、表裏反転前の半導体装
置を吸着する真空圧が高くなるため、吸着パットを使用
せずに半導体装置を吸着することができる。また、表裏
反転前の半導体を収納するポケットを有するプレート
と、表裏反転後の半導体装置を収納するポケットを有す
るプレートに表裏反転機能をもたせることにより、真空
を使わず、吸着パットを使用せずに半導体装置を表裏反
転することが可能である。
置を吸着する真空圧が高くなるため、吸着パットを使用
せずに半導体装置を吸着することができる。また、表裏
反転前の半導体を収納するポケットを有するプレート
と、表裏反転後の半導体装置を収納するポケットを有す
るプレートに表裏反転機能をもたせることにより、真空
を使わず、吸着パットを使用せずに半導体装置を表裏反
転することが可能である。
【００１０】
【実施例】以下本発明の実施例について、図面を参照し
ながら説明する。
ながら説明する。
【００１１】図１は本発明の第一の実施例における半導
体装置の表裏反転装置の全体図である。
体装置の表裏反転装置の全体図である。
【００１２】図１において１は表裏反転前の半導体装置
を収納するポケット、２は表裏反転プレート、３は真空
配管、４は表裏反転後の半導体装置を収納するポケッ
ト、５は固定プレート、６は表裏反転プレートの回転
軸、７は表裏反転プレートの回転方向である。
を収納するポケット、２は表裏反転プレート、３は真空
配管、４は表裏反転後の半導体装置を収納するポケッ
ト、５は固定プレート、６は表裏反転プレートの回転
軸、７は表裏反転プレートの回転方向である。
【００１３】半導体装置の表裏反転装置は、表裏反転前
の半導体装置を収納するポケット１と真空配管３を有す
る表裏反転プレート２と、表裏反転後の半導体装置を収
納するポケット４を有する固定プレート５から構成され
る。表裏反転プレート２は、真空配管３によって表裏反
転前の半導体装置を収納するポケット１に供給された真
空で表裏反転前の半導体装置を収納するポケット１に収
納された表裏反転前の半導体装置を吸着、固定し、表裏
反転プレートの回転軸６を軸として表裏反転プレートの
回転方向７の方向に回転する。
の半導体装置を収納するポケット１と真空配管３を有す
る表裏反転プレート２と、表裏反転後の半導体装置を収
納するポケット４を有する固定プレート５から構成され
る。表裏反転プレート２は、真空配管３によって表裏反
転前の半導体装置を収納するポケット１に供給された真
空で表裏反転前の半導体装置を収納するポケット１に収
納された表裏反転前の半導体装置を吸着、固定し、表裏
反転プレートの回転軸６を軸として表裏反転プレートの
回転方向７の方向に回転する。
【００１４】次に、半導体装置の表裏反転装置の動作に
ついて図面を用いて説明する。図２は、本発明の第一の
実施例における半導体装置の表裏反転装置の動作図であ
る。
ついて図面を用いて説明する。図２は、本発明の第一の
実施例における半導体装置の表裏反転装置の動作図であ
る。
【００１５】図２において１は表裏反転前の半導体装置
を収納するポケット、２は表裏反転プレート、５は固定
プレート、６は表裏反転プレートの回転軸、７は表裏反
転プレートの回転方向である。最初に、固定プレート２
と同一平面上にある表裏反転プレート２の表裏反転前の
半導体装置を収納するポケット１に反転前の半導体装置
を収納する。反転前の半導体装置を真空で吸着した後表
裏反転プレート２は表裏反転プレートの回転軸６を軸と
し、表裏反転プレートの回転方向７へ１８０度回転し
（図２ａ，ｂ，ｃ，ｄ）、図２ａの状態に戻る。
を収納するポケット、２は表裏反転プレート、５は固定
プレート、６は表裏反転プレートの回転軸、７は表裏反
転プレートの回転方向である。最初に、固定プレート２
と同一平面上にある表裏反転プレート２の表裏反転前の
半導体装置を収納するポケット１に反転前の半導体装置
を収納する。反転前の半導体装置を真空で吸着した後表
裏反転プレート２は表裏反転プレートの回転軸６を軸と
し、表裏反転プレートの回転方向７へ１８０度回転し
（図２ａ，ｂ，ｃ，ｄ）、図２ａの状態に戻る。
【００１６】次に半導体装置の表裏反転装置による半導
体装置の反転の様子について図面を用いて説明する。
体装置の反転の様子について図面を用いて説明する。
【００１７】図３は、本発明の第一の実施例における半
導体装置の表裏反転装置による半導体装置の反転の様子
を示す図である。
導体装置の表裏反転装置による半導体装置の反転の様子
を示す図である。
【００１８】図３において１は表裏反転前の半導体装置
を収納するポケット、２は表裏反転プレート、３は真空
配管、４は表裏反転後の半導体装置を収納するポケッ
ト、５は固定プレート、８は表裏反転前の半導体装置、
９は表裏反転後の半導体装置である。半導体装置８，９
の重量は１ｇ以下、真空配管３の直径は１．５mm、真空
圧は−６００mmHgである。
を収納するポケット、２は表裏反転プレート、３は真空
配管、４は表裏反転後の半導体装置を収納するポケッ
ト、５は固定プレート、８は表裏反転前の半導体装置、
９は表裏反転後の半導体装置である。半導体装置８，９
の重量は１ｇ以下、真空配管３の直径は１．５mm、真空
圧は−６００mmHgである。
【００１９】表裏反転前の半導体装置８は真空配管３で
供給されている真空で吸着され、表裏反転プレート２に
設けられている表裏反転前の半導体装置を収納するポケ
ット１内に固定される（図３ａ）。表裏反転プレート２
が１８０度回転し固定プレート５と重なった時、表裏反
転プレート２に設けられた表裏反転前の半導体装置を収
納するポケット１と固定プレート５に設けられた表裏反
転後の半導体装置を収納するポケット４が合致し、前記
真空を破壊することにより、表裏反転前の半導体装置を
収納するポケット１内に固定されている１８０度反転し
た表裏反転前の半導体装置８が固定プレート５に設けら
れた表裏反転後の半導体装置を収納するポケット４に落
下する（図３ｂ）。これにより、表裏反転前の半導体装
置８を吸着パットを使用せず表裏反転し、表裏反転後の
半導体装置を収納するポケット４の中に収納することが
できる。
供給されている真空で吸着され、表裏反転プレート２に
設けられている表裏反転前の半導体装置を収納するポケ
ット１内に固定される（図３ａ）。表裏反転プレート２
が１８０度回転し固定プレート５と重なった時、表裏反
転プレート２に設けられた表裏反転前の半導体装置を収
納するポケット１と固定プレート５に設けられた表裏反
転後の半導体装置を収納するポケット４が合致し、前記
真空を破壊することにより、表裏反転前の半導体装置を
収納するポケット１内に固定されている１８０度反転し
た表裏反転前の半導体装置８が固定プレート５に設けら
れた表裏反転後の半導体装置を収納するポケット４に落
下する（図３ｂ）。これにより、表裏反転前の半導体装
置８を吸着パットを使用せず表裏反転し、表裏反転後の
半導体装置を収納するポケット４の中に収納することが
できる。
【００２０】以下本発明の第二の実施例について図面を
参照しながら説明する。図４は、本発明の第二の実施例
における半導体装置の表裏反転装置の全体図である。
参照しながら説明する。図４は、本発明の第二の実施例
における半導体装置の表裏反転装置の全体図である。
【００２１】図４において、１は表裏反転前の半導体装
置を収納するポケット、１０は第１の回転プレートに相
当する投入側プレート、３は表裏反転後の半導体装置を
収納するポケット、４は第２の回転プレートに相当する
取出し側プレート、１２は投入側プレートと取出し側プ
レートの回転軸である。
置を収納するポケット、１０は第１の回転プレートに相
当する投入側プレート、３は表裏反転後の半導体装置を
収納するポケット、４は第２の回転プレートに相当する
取出し側プレート、１２は投入側プレートと取出し側プ
レートの回転軸である。
【００２２】半導体装置の表裏反転装置は、表裏反転前
の半導体装置を収納するポケット１を有する投入側プレ
ート１０と表裏反転後の半導体装置を収納するポケット
４を有する取出し側プレート１１から構成される。表裏
反転前の半導体装置は表裏反転前の半導体装置を収納す
るポケット１に収納され、取出し側プレート１１と投入
側プレート１０の投入側プレートと取出し側プレートの
回転軸１２を軸とする回転運動の組合せによって表裏反
転される。
の半導体装置を収納するポケット１を有する投入側プレ
ート１０と表裏反転後の半導体装置を収納するポケット
４を有する取出し側プレート１１から構成される。表裏
反転前の半導体装置は表裏反転前の半導体装置を収納す
るポケット１に収納され、取出し側プレート１１と投入
側プレート１０の投入側プレートと取出し側プレートの
回転軸１２を軸とする回転運動の組合せによって表裏反
転される。
【００２３】次に半導体装置の表裏反転装置の動作につ
いて図面を用いて説明する。図５は、本発明の第二の実
施例における半導体装置の表裏反転装置の動作図であ
る。
いて図面を用いて説明する。図５は、本発明の第二の実
施例における半導体装置の表裏反転装置の動作図であ
る。
【００２４】図５において１０は投入側プレート、１１
は取出し側プレート、１２は投入側プレートと取出し側
プレートの回転軸、１３は投入側プレートと取出し側プ
レートの回転方向である。最初に、取出し側プレート１
１と同一平面上にある投入側プレート１０の表裏反転前
の半導体装置を収納するポケット１に表裏反転前の半導
体装置を収納する。取出し側プレート１１が投入側プレ
ートと取出し側プレートの回転軸１２を軸として１８０
度回転し投入側プレート１０と重なる（図５ａ，ｂ，
ｃ，ｄ）。次に投入側プレート１０と取出し側プレート
１１が重なり合ったまま投入側プレートと取出し側プレ
ートの回転軸１２を軸として１８０度回転する（図５
ｃ，ｄ，ｅ）。次に投入側プレート１０が投入側プレー
トと取出し側プレートの回転軸１２を軸とし１８０度回
転する（図５ｅ，ｆ，ｇ）。
は取出し側プレート、１２は投入側プレートと取出し側
プレートの回転軸、１３は投入側プレートと取出し側プ
レートの回転方向である。最初に、取出し側プレート１
１と同一平面上にある投入側プレート１０の表裏反転前
の半導体装置を収納するポケット１に表裏反転前の半導
体装置を収納する。取出し側プレート１１が投入側プレ
ートと取出し側プレートの回転軸１２を軸として１８０
度回転し投入側プレート１０と重なる（図５ａ，ｂ，
ｃ，ｄ）。次に投入側プレート１０と取出し側プレート
１１が重なり合ったまま投入側プレートと取出し側プレ
ートの回転軸１２を軸として１８０度回転する（図５
ｃ，ｄ，ｅ）。次に投入側プレート１０が投入側プレー
トと取出し側プレートの回転軸１２を軸とし１８０度回
転する（図５ｅ，ｆ，ｇ）。
【００２５】次に半導体装置の表裏反転装置による半導
体装置の表裏反転の様子について図面を用いて説明す
る。
体装置の表裏反転の様子について図面を用いて説明す
る。
【００２６】図６は、本発明の第二の実施例における半
導体装置の表裏反転装置による半導体装置の表裏反転の
様子を示す図である。
導体装置の表裏反転装置による半導体装置の表裏反転の
様子を示す図である。
【００２７】図６において１は表裏反転前の半導体装置
を収納するポケット、４は表裏反転後の半導体装置を収
納するポケット、８は表裏反転前の半導体装置、９は表
裏反転後の半導体装置、１０は投入側プレート、１１は
取出し側プレートである。
を収納するポケット、４は表裏反転後の半導体装置を収
納するポケット、８は表裏反転前の半導体装置、９は表
裏反転後の半導体装置、１０は投入側プレート、１１は
取出し側プレートである。
【００２８】投入側プレート１０に設けられた表裏反転
前の半導体装置を収納するポケット１に表裏反転前の半
導体装置８を収納する（図６ａ）。取出し側プレート１
１が１８０度回転し投入側プレート１０と重なったと
き、表裏反転前の半導体装置を収納するポケット１と表
裏反転後の半導体装置を収納するポケット４の位置は合
致する（図６ｂ）。投入側プレート１０と取出し側プレ
ート１１が重なったまま１８０度回転し、表裏反転前の
半導体装置を収納するポケット１内の半導体装置は表裏
反転後の半導体装置を収納するポケット４の中へ落下す
る（図６ｃ）。取出し側プレート１１が１８０度回転
し、表裏反転後の半導体装置を収納するポケット４の中
に表裏反転後の半導体装置３が残る。これにより表裏反
転前の半導体装置８を真空を使用せずに表裏反転し、表
裏反転後の半導体装置を収納するポケット４に収納する
ことができる。
前の半導体装置を収納するポケット１に表裏反転前の半
導体装置８を収納する（図６ａ）。取出し側プレート１
１が１８０度回転し投入側プレート１０と重なったと
き、表裏反転前の半導体装置を収納するポケット１と表
裏反転後の半導体装置を収納するポケット４の位置は合
致する（図６ｂ）。投入側プレート１０と取出し側プレ
ート１１が重なったまま１８０度回転し、表裏反転前の
半導体装置を収納するポケット１内の半導体装置は表裏
反転後の半導体装置を収納するポケット４の中へ落下す
る（図６ｃ）。取出し側プレート１１が１８０度回転
し、表裏反転後の半導体装置を収納するポケット４の中
に表裏反転後の半導体装置３が残る。これにより表裏反
転前の半導体装置８を真空を使用せずに表裏反転し、表
裏反転後の半導体装置を収納するポケット４に収納する
ことができる。
【００２９】
【発明の効果】以上のように本発明は、半導体装置を収
納するポケットを有するプレート２枚のうち１枚を回転
させ、前記半導体装置を吸着する真空の配管を前記半導
体装置との接点附近で径を細くし真空圧力を大きくする
か、または、上記半導体装置を収納するポケットを有す
るプレート２枚を重ね合せて回転させることにより、吸
着パットを使用せず前記半導体装置を表裏反転すること
ができる優れた半導体装置の表裏反転装置及び表裏反転
方法を実現できるものである。
納するポケットを有するプレート２枚のうち１枚を回転
させ、前記半導体装置を吸着する真空の配管を前記半導
体装置との接点附近で径を細くし真空圧力を大きくする
か、または、上記半導体装置を収納するポケットを有す
るプレート２枚を重ね合せて回転させることにより、吸
着パットを使用せず前記半導体装置を表裏反転すること
ができる優れた半導体装置の表裏反転装置及び表裏反転
方法を実現できるものである。
【図１】本発明の第一の実施例における半導体装置の表
裏反転装置の全体図
裏反転装置の全体図
【図２】本発明の第一の実施例における半導体装置の表
裏反転装置の動作図
裏反転装置の動作図
【図３】本発明の第一の実施例における半導体装置の表
裏反転装置による半導体装置の表裏反転の様子を示す図
裏反転装置による半導体装置の表裏反転の様子を示す図
【図４】本発明の第二の実施例における半導体装置の表
裏反転装置の全体図
裏反転装置の全体図
【図５】本発明の第二の実施例における半導体装置の表
裏反転装置の動作図
裏反転装置の動作図
【図６】本発明の第二の実施例における半導体装置の表
裏反転装置による半導体装置の表裏反転の様子を示す図
裏反転装置による半導体装置の表裏反転の様子を示す図
【図７】従来の半導体装置の表裏反転装置の一例を示す
断面図
断面図
１ 表裏反転前の半導体装置を収納するポケット ２ 表裏反転プレート ３ 真空配管 ４ 表裏反転後の半導体装置を収納するポケット ５ 固定プレート ６ 表裏反転プレートの回転軸 １０ 投入側プレート １１ 取出し側プレート １２ 投入側プレート，取出し側プレートの回転軸
フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０１Ｌ 21/68 Ａ 8418−4Ｍ
Claims (2)
- 【請求項１】表裏反転機能を有する回転プレートと、前
記回転プレートと対になる固定プレートから構成され、 前記回転プレートは表裏反転前の半導体装置を収納する
ポケットと、前記ポケット内に小径の吸着口を有する真
空配管を備え、 前記固定プレートは表裏反転後の半導体装置を収納する
ポケットを有し、前記真空配管が吸着パットなしで半導
体装置を吸着することを特徴とする半導体装置の表裏反
転装置。 - 【請求項２】ポケットのみを有する第１の回転プレート
の前記ポケットに半導体装置を収納する工程と、 前記第１の回転プレートと対になる第２の回転プレート
を回転し、 前記第１の回転プレートのポケットを上方から前記第２
の回転プレートによって閉じる工程と、 前記第１及び第２の回転プレートを閉じた状態で表裏反
転し、前記半導体装置を前記第２の回転プレートのポケ
ット内に収納する工程からなる半導体装置の表裏反転方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34810392A JPH06191638A (ja) | 1992-12-28 | 1992-12-28 | 半導体装置の表裏反転装置及び表裏反転方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34810392A JPH06191638A (ja) | 1992-12-28 | 1992-12-28 | 半導体装置の表裏反転装置及び表裏反転方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06191638A true JPH06191638A (ja) | 1994-07-12 |
Family
ID=18394759
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP34810392A Pending JPH06191638A (ja) | 1992-12-28 | 1992-12-28 | 半導体装置の表裏反転装置及び表裏反転方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06191638A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5503724B1 (ja) * | 2012-12-28 | 2014-05-28 | 株式会社ナガオカ製作所 | 部品反転ユニット |
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1992
- 1992-12-28 JP JP34810392A patent/JPH06191638A/ja active Pending
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