JPH06186297A - プローブ移動方式基板検査装置 - Google Patents
プローブ移動方式基板検査装置Info
- Publication number
- JPH06186297A JPH06186297A JP4275033A JP27503392A JPH06186297A JP H06186297 A JPH06186297 A JP H06186297A JP 4275033 A JP4275033 A JP 4275033A JP 27503392 A JP27503392 A JP 27503392A JP H06186297 A JPH06186297 A JP H06186297A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- probe
- heads
- board
- contact
- axis
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 基板上の所望の接触点に対して位置ずれを起
こすことなく常に安定した接触を図ることのできるプロ
ーブ移動方式基板検査装置を提供する。 【構成】 基板と電機的に接触するプローブを先端に備
える４つのヘッドを同一の高さレベルに設け、各々のヘ
ッドがＸ−Ｙ軸に対して４５°の角度に配向して等角度
間隔に設けられる。各ヘッドはＸ軸及びＹ軸について独
立して移動することができ、予め設定された座標データ
に基づいて駆動制御され、その先端プローブを検査基板
上の任意の接触点と接触させる。
こすことなく常に安定した接触を図ることのできるプロ
ーブ移動方式基板検査装置を提供する。 【構成】 基板と電機的に接触するプローブを先端に備
える４つのヘッドを同一の高さレベルに設け、各々のヘ
ッドがＸ−Ｙ軸に対して４５°の角度に配向して等角度
間隔に設けられる。各ヘッドはＸ軸及びＹ軸について独
立して移動することができ、予め設定された座標データ
に基づいて駆動制御され、その先端プローブを検査基板
上の任意の接触点と接触させる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はプローブ移動方式基板検
査装置に関する。
査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】実装基板、ベアーボード、ハイブリッド
ＩＣ等を含む各種のプリント基板において、その配線状
態及び実装状態を検査するための検査装置として、近
年、プローブ移動方式による基板検査装置が開発されて
いる。
ＩＣ等を含む各種のプリント基板において、その配線状
態及び実装状態を検査するための検査装置として、近
年、プローブ移動方式による基板検査装置が開発されて
いる。
【０００３】このプローブ移動方式基板検査装置は、複
数本のプローブを、装置上のＸ−Ｙ軸に沿って移動可能
であると共に昇降可能に設け、検査すべきプリント基板
における点座標データに基づいて移動させることによ
り、プローブ先端を基板上の所望の接触点と電気的に接
触させて必要な検査を行うものである。
数本のプローブを、装置上のＸ−Ｙ軸に沿って移動可能
であると共に昇降可能に設け、検査すべきプリント基板
における点座標データに基づいて移動させることによ
り、プローブ先端を基板上の所望の接触点と電気的に接
触させて必要な検査を行うものである。
【０００４】このような構成のプローブ移動方式基板検
査装置は、これまで一般に用いられてきたインサーキッ
トテスターと異なり、検査すべき基板の機種ごとに治具
を作成する必要がないため、インサーキットテスターに
代わって急速に普及してきている。
査装置は、これまで一般に用いられてきたインサーキッ
トテスターと異なり、検査すべき基板の機種ごとに治具
を作成する必要がないため、インサーキットテスターに
代わって急速に普及してきている。
【０００５】現在実用化されているプローブ移動方式基
板検査装置の一例が図５及び図６に概略的に示されてい
る。この装置は、Ｘ−Ｙ軸に沿って各々独立して移動可
能な４つのプローブａ〜ｄを配したものであるが、それ
ぞれのプローブ同士の干渉を防ぎながら、プローブによ
る接触点の死角領域を極小化するために、対向するそれ
ぞれ一対のプローブａとｃ及びｂとｄが高さ位置を変え
て設けられ、且つ、平面的にも隣接するプローブ間に所
定の角度が配され、更に、高さ位置の異なるプローブの
傾斜角度が互いに異なるものとされている。
板検査装置の一例が図５及び図６に概略的に示されてい
る。この装置は、Ｘ−Ｙ軸に沿って各々独立して移動可
能な４つのプローブａ〜ｄを配したものであるが、それ
ぞれのプローブ同士の干渉を防ぎながら、プローブによ
る接触点の死角領域を極小化するために、対向するそれ
ぞれ一対のプローブａとｃ及びｂとｄが高さ位置を変え
て設けられ、且つ、平面的にも隣接するプローブ間に所
定の角度が配され、更に、高さ位置の異なるプローブの
傾斜角度が互いに異なるものとされている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】ところが、この従来技
術による場合、プローブｂ、ｄに比べてより高い位置に
プローブａ、ｃが設けられ、プローブの固定部と基板面
までの距離が長くなるため、これら高い位置のプローブ
ａ、ｃにおいて位置ずれを起こしやすかった。
術による場合、プローブｂ、ｄに比べてより高い位置に
プローブａ、ｃが設けられ、プローブの固定部と基板面
までの距離が長くなるため、これら高い位置のプローブ
ａ、ｃにおいて位置ずれを起こしやすかった。
【０００７】また、座標データとして入力設定される接
触点は基板面上における点であるが、プローブが実際に
接触する点は表面実装部品の周囲のハンダ上となるた
め、高さ位置に若干の相違がある。この高さずれは、プ
ローブの傾斜角度が垂直に近い場合には殆ど問題となら
ないが、上記従来技術では、低い位置に設けられるプロ
ーブｂ、ｄの傾斜角度はかなり大きく設定されているた
め、基板上の座標データを正確に入力設定しても、プロ
ーブが実際に接触する点が所望の接触点から大きくずれ
てしまうことがあり、これら低い位置のプローブｂ、ｄ
においても位置ずれを起こしやすいものであった。
触点は基板面上における点であるが、プローブが実際に
接触する点は表面実装部品の周囲のハンダ上となるた
め、高さ位置に若干の相違がある。この高さずれは、プ
ローブの傾斜角度が垂直に近い場合には殆ど問題となら
ないが、上記従来技術では、低い位置に設けられるプロ
ーブｂ、ｄの傾斜角度はかなり大きく設定されているた
め、基板上の座標データを正確に入力設定しても、プロ
ーブが実際に接触する点が所望の接触点から大きくずれ
てしまうことがあり、これら低い位置のプローブｂ、ｄ
においても位置ずれを起こしやすいものであった。
【０００８】更に、一般に基板上に部品を実装する場合
は横長状態（Ｘ軸と平行）に配置する場合と縦長状態
（Ｙ軸と平行）に配置する場合とがあるが、縦長状態に
配置された実装部品を検査する場合、上記従来技術では
平面的に見た各プローブの傾斜角度がＸ軸を中心として
わずかに傾斜しているだけであるため、図７に示すよう
にスリップしてしまい、正確な検査が困難となる欠点も
あった。
は横長状態（Ｘ軸と平行）に配置する場合と縦長状態
（Ｙ軸と平行）に配置する場合とがあるが、縦長状態に
配置された実装部品を検査する場合、上記従来技術では
平面的に見た各プローブの傾斜角度がＸ軸を中心として
わずかに傾斜しているだけであるため、図７に示すよう
にスリップしてしまい、正確な検査が困難となる欠点も
あった。
【０００９】このような位置ずれを伴う場合、その後の
位置修正作業が必要となり、検査効率を著しく低減させ
ていた。
位置修正作業が必要となり、検査効率を著しく低減させ
ていた。
【００１０】
【課題を解決するための手段】従って、本発明は、上記
従来技術の問題点を解消し、常に安定した接触を図るこ
とができ、位置ずれを起こすことのない新規な構成のプ
ローブ移動方式基板検査装置を提供することを目的とす
る。
従来技術の問題点を解消し、常に安定した接触を図るこ
とができ、位置ずれを起こすことのない新規な構成のプ
ローブ移動方式基板検査装置を提供することを目的とす
る。
【００１１】すなわち、本発明によるプローブ移動方式
基板検査装置は、検査基板との電気的接触を図るプロー
ブと、各プローブをそれぞれ昇降可能に保持するヘッド
と、各ヘッドをそれぞれＸ軸及びＹ軸について独立して
駆動する駆動手段と、各プローブが接触すべき検査基板
上の接触点の座標データに基づいて各駆動手段を制御す
る制御手段とからなるものにおいて、上記複数のヘッド
がすべて同一平面上を移動するように設けられ、しか
も、これらのヘッドがそれぞれ等角度間隔に設けられて
なることを特徴とする。
基板検査装置は、検査基板との電気的接触を図るプロー
ブと、各プローブをそれぞれ昇降可能に保持するヘッド
と、各ヘッドをそれぞれＸ軸及びＹ軸について独立して
駆動する駆動手段と、各プローブが接触すべき検査基板
上の接触点の座標データに基づいて各駆動手段を制御す
る制御手段とからなるものにおいて、上記複数のヘッド
がすべて同一平面上を移動するように設けられ、しか
も、これらのヘッドがそれぞれ等角度間隔に設けられて
なることを特徴とする。
【００１２】好ましくは、それぞれプローブを先端に備
える４つのヘッドがＸ−Ｙ軸に対して４５°の角度に配
向して設けられる。
える４つのヘッドがＸ−Ｙ軸に対して４５°の角度に配
向して設けられる。
【００１３】
【作用】各ヘッドが同一高さレベルに設けられ、しかも
等角度間隔に設けられるため、いずれのプローブも同一
条件で基板と接触する。
等角度間隔に設けられるため、いずれのプローブも同一
条件で基板と接触する。
【００１４】
【実施例】図１は本発明によるプローブ移動方式基板検
査装置の一実施例を示す平面図であり、検査すべき基板
を載置する基板載置台３０上において、４つのヘッド
１、２、３、４が、同一平面上をそれぞれＸ軸及びＹ軸
について独立して移動可能に、設けられている。
査装置の一実施例を示す平面図であり、検査すべき基板
を載置する基板載置台３０上において、４つのヘッド
１、２、３、４が、同一平面上をそれぞれＸ軸及びＹ軸
について独立して移動可能に、設けられている。
【００１５】モータ５、６、７、８はそれぞれヘッド
１、２、３、４をＸ軸方向に移動させるためのものであ
り、モータ９、１０、１１、１２はそれぞれヘッド１、
２、３、４をＹ軸方向に移動させるためのものである。
これらのヘッド移動機構は従来技術におけるものと同様
であり、本発明に固有のものでないので、その詳細の説
明は省略する。
１、２、３、４をＸ軸方向に移動させるためのものであ
り、モータ９、１０、１１、１２はそれぞれヘッド１、
２、３、４をＹ軸方向に移動させるためのものである。
これらのヘッド移動機構は従来技術におけるものと同様
であり、本発明に固有のものでないので、その詳細の説
明は省略する。
【００１６】各ヘッド１、２、３、４は、これらヘッド
移動機構により、他のヘッドを追い越さない限りにおい
て、自由にＸ−Ｙ方向に移動することができる。
移動機構により、他のヘッドを追い越さない限りにおい
て、自由にＸ−Ｙ方向に移動することができる。
【００１７】更に図２を参照して、各ヘッドは、Ｘ軸方
向に延長するアーム（ヘッド１についてのアーム１３及
びヘッド２についてのアーム１４のみが図示されてい
る）の先端に、４５°の配向角度をもって取り付けられ
ている。
向に延長するアーム（ヘッド１についてのアーム１３及
びヘッド２についてのアーム１４のみが図示されてい
る）の先端に、４５°の配向角度をもって取り付けられ
ている。
【００１８】各ヘッドには上下機構を有するプローブが
取り付けられる。図３はヘッド１に対するプローブ１５
の取付構造を示すが、他のヘッド２、３、４にも同様に
プローブが取り付けられている。
取り付けられる。図３はヘッド１に対するプローブ１５
の取付構造を示すが、他のヘッド２、３、４にも同様に
プローブが取り付けられている。
【００１９】アーム１３の先端に三角柱状の連結部材１
６が固着され、その先端に取付板１７が常時は鉛直方向
に対して１０°の傾斜をなすように枢支されている。取
付板１７には、モータ１８により上下方向に摺動可能な
プローブ取付体１９が取り付けられ、その先端のプロー
ブ取付棒２０に一対のベアリング２１、２１を介してプ
ローブ１５が保持されている。
６が固着され、その先端に取付板１７が常時は鉛直方向
に対して１０°の傾斜をなすように枢支されている。取
付板１７には、モータ１８により上下方向に摺動可能な
プローブ取付体１９が取り付けられ、その先端のプロー
ブ取付棒２０に一対のベアリング２１、２１を介してプ
ローブ１５が保持されている。
【００２０】実際の使用に際しては、検査すべき基板上
のプローブとの接触点をカメラ等で確認しながら、その
座標データを定め、各接触点の座標データをプログラミ
ングして制御装置（図示せず）に入力設定し、この座標
データに基づいてヘッド移動機構（Ｘ軸モータ５、６、
７、８及びＹ軸モータ９、１０、１１、１２）を駆動し
てヘッド１、２、３、４を移動させ、所定位置に到達し
た後にモータ１８によりプローブ１５を下降させて基板
上の接触点に接触させることによって検査を行う。
のプローブとの接触点をカメラ等で確認しながら、その
座標データを定め、各接触点の座標データをプログラミ
ングして制御装置（図示せず）に入力設定し、この座標
データに基づいてヘッド移動機構（Ｘ軸モータ５、６、
７、８及びＹ軸モータ９、１０、１１、１２）を駆動し
てヘッド１、２、３、４を移動させ、所定位置に到達し
た後にモータ１８によりプローブ１５を下降させて基板
上の接触点に接触させることによって検査を行う。
【００２１】本実施例では、各ヘッドがＸ−Ｙ軸に対し
て４５°をなして配向し、その配向方向前方に更に１０
°傾斜してプローブが取り付けられているため、プロー
ブ同士の干渉が極力排除され、基板上の死角領域も殆ど
存在しない。
て４５°をなして配向し、その配向方向前方に更に１０
°傾斜してプローブが取り付けられているため、プロー
ブ同士の干渉が極力排除され、基板上の死角領域も殆ど
存在しない。
【００２２】このような構造の検査装置によれば、各ヘ
ッドの高さ位置が同一レベルであり、しかもＸ−Ｙ軸に
対して４５°の配向角度を持つため、どのプローブを用
いても同一条件の電気的接触を得ることができる。例え
ば、従来技術に関して図７を参照して既述した横長状態
の実装部品を検査する場合にも、図４に示されるように
スリップを生じさせない良好な接触を実現することがで
きる。
ッドの高さ位置が同一レベルであり、しかもＸ−Ｙ軸に
対して４５°の配向角度を持つため、どのプローブを用
いても同一条件の電気的接触を得ることができる。例え
ば、従来技術に関して図７を参照して既述した横長状態
の実装部品を検査する場合にも、図４に示されるように
スリップを生じさせない良好な接触を実現することがで
きる。
【００２３】
【発明の効果】本発明によれば、各ヘッドの配置条件が
全く同一であって、いずれのプローブを使用しても完全
に同一条件での電気的接触を得ることができる。
全く同一であって、いずれのプローブを使用しても完全
に同一条件での電気的接触を得ることができる。
【００２４】従って、いかなる実装部品に対しても均一
な条件の下に安定した接触が得られ、位置ずれを起こす
ことがないので、従来必要とされていた位置修正作業も
不要となり、検査効率を大幅に向上させることが可能で
ある。
な条件の下に安定した接触が得られ、位置ずれを起こす
ことがないので、従来必要とされていた位置修正作業も
不要となり、検査効率を大幅に向上させることが可能で
ある。
【図１】本発明によるプローブ移動方式基板検査装置の
一実施例を示す平面図である。
一実施例を示す平面図である。
【図２】図１の装置に設けられる４つのヘッドのうちの
隣接する２つのヘッドを拡大して示す平面図である。
隣接する２つのヘッドを拡大して示す平面図である。
【図３】ヘッドとプローブとの取付構造を示すIII−III
方向矢視図である。
方向矢視図である。
【図４】本発明によるプローブ移動方式基板検査装置を
用いた検査要領の一例を概念的に示す平面図である。
用いた検査要領の一例を概念的に示す平面図である。
【図５】プローブ移動方式基板検査装置の従来例を概念
的に示す正面図である。
的に示す正面図である。
【図６】図５の従来例を概念的に示す平面図である。
【図７】図５及び図６の従来例による検査要領の一例を
概念的に示す図４と同様の平面図である。
概念的に示す図４と同様の平面図である。
１〜４ ヘッド ５〜８ Ｘ軸駆動モータ ９〜１２ Ｙ軸駆動モータ １３〜１４ アーム １５ プローブ １６ 連結部材 １７ 取付板 １８ モータ １９ プローブ取付体 ２０ プローブ取付棒 ２１ ベアリング ３０ 基板載置台
Claims (2)
- 【請求項１】 検査基板との電気的接触を図るプロー
ブと、各プローブをそれぞれ昇降可能に保持するヘッド
と、各ヘッドをそれぞれＸ軸及びＹ軸について独立して
駆動する駆動手段と、各プローブが接触すべき検査基板
上の接触点の座標データに基づいて各駆動手段を制御す
る制御手段とからなるものにおいて、上記複数のヘッド
がすべて同一平面上を移動するように設けられ、しか
も、これらのヘッドがそれぞれ等角度間隔に設けられて
なることを特徴とするプローブ移動方式基板検査装置。 - 【請求項２】 それぞれプローブを先端に備える４つ
のヘッドがＸ−Ｙ軸に対して４５°の角度に配向して設
けられることを特徴とする請求項１のプローブ移動方式
基板検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4275033A JPH0823572B2 (ja) | 1992-09-18 | 1992-09-18 | プローブ移動方式基板検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4275033A JPH0823572B2 (ja) | 1992-09-18 | 1992-09-18 | プローブ移動方式基板検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06186297A true JPH06186297A (ja) | 1994-07-08 |
| JPH0823572B2 JPH0823572B2 (ja) | 1996-03-06 |
Family
ID=17549939
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4275033A Expired - Fee Related JPH0823572B2 (ja) | 1992-09-18 | 1992-09-18 | プローブ移動方式基板検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0823572B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008309601A (ja) * | 2007-06-14 | 2008-12-25 | Yamaha Fine Technologies Co Ltd | プリント基板の検査装置および検査方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04143677A (ja) * | 1990-10-04 | 1992-05-18 | Hioki Ee Corp | 複数のｘ―ｙユニットを備えた装置のｘ―ｙ座標整合装置並びにそのｘ―ｙ座標整合装置用専用基板 |
-
1992
- 1992-09-18 JP JP4275033A patent/JPH0823572B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04143677A (ja) * | 1990-10-04 | 1992-05-18 | Hioki Ee Corp | 複数のｘ―ｙユニットを備えた装置のｘ―ｙ座標整合装置並びにそのｘ―ｙ座標整合装置用専用基板 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008309601A (ja) * | 2007-06-14 | 2008-12-25 | Yamaha Fine Technologies Co Ltd | プリント基板の検査装置および検査方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0823572B2 (ja) | 1996-03-06 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |