JPH06180823A - 複合型薄膜磁気ヘッド - Google Patents

複合型薄膜磁気ヘッド

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JPH06180823A
JPH06180823A JP35374592A JP35374592A JPH06180823A JP H06180823 A JPH06180823 A JP H06180823A JP 35374592 A JP35374592 A JP 35374592A JP 35374592 A JP35374592 A JP 35374592A JP H06180823 A JPH06180823 A JP H06180823A
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Abstract

(57)【要約】 (修正有) 【目的】 MRヘッド部の消費電力と熱雑音を低減でき
第1のMR用リード及びMR膜の誘導磁気変換作用の抑
制可能な複合型薄膜磁気ヘッドを提供する。 【構成】 MRヘッド部は、MR膜10と、一端がこの
MR膜に接続された第1のリード導体12a、12b
と、一端がこの第1のリード導体の他端にスルーホール
導体13a、13bを介して接続された第2のリード導
体14a、14bと、それらの他端に接続された外部接
続用端子15a、15bとを有する。インダクティブヘ
ッド部は、インダクティブコイル11、61と、一端が
これらに接続されたリード導体16a、16bと、これ
ら他端に接続の外部接続用端子17a、17bとを有す
る。MRヘッド部の第1のリード導体12a、12bの
全長にインダクティブヘッド部のリード導体16a、1
6bよりMR膜側に配置した。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、磁気ディスク等の磁気
媒体への記録を行うインダクティブヘッドとその磁気媒
体から再生を行う磁気抵抗効果ヘッド(Magneto
Resistive head、以下MRヘッドと称
する)とを組み合わせてなる複合型薄膜磁気ヘッドに関
する。
【0002】
【従来の技術】近年、磁気ディスク等の磁気媒体用の薄
膜磁気ヘッドとして、磁気抵抗効果を利用したMRヘッ
ドが実用化され始めている。
【0003】MRヘッドは、磁気媒体との相対速度に依
存せず大きい再生出力を得ることができるという利点が
あるが、再生専用であるため記録/再生ヘッドとして用
いるためには記録ヘッドと組み合わせた構成とする必要
がある。
【0004】図7は、従来の複合型薄膜磁気ヘッドにお
けるリード及び外部接続用端子の部分を、後端面側(磁
気媒体に対する磁気ヘッドの相対的な走行方向に関して
の後端側)から概略的に表したものである。
【0005】同図において、70はMRヘッド部のMR
膜(磁気抵抗効果膜)、71はこのMRヘッド部の上に
積層されたインダクティブヘッド部のインダクティブコ
イルをそれぞれ示している。
【0006】MR膜70には第1のMR用リード72a
及び72bの一端が接続されており、これら第1のMR
用リード72a及び72bの他端はスルーホール導体7
3a及び73bをそれぞれ介して第2のMR用リード7
4a及び74bの一端にそれぞれ接続されている。第2
のMR用リード74a及び74bの他端は外部接続用端
子(バンプ)75a及び75bにそれぞれ接続されてい
る。インダクティブコイル71にはインダクティブ用リ
ード76a及び76bの一端が接続されており、これら
インダクティブ用リード76a及び76bの他端は外部
接続用端子(バンプ)77a及び77bにそれぞれ接続
されている。
【0007】図からも明らかのように、第1のMR用リ
ード72a及び72bはインダクティブ用リード76a
及び76bを越えてMR膜から遠ざかる方向に伸長して
スルーホール導体73a及び73bにそれぞれ接続され
るように構成されている。
【0008】また、図示されていないが、MRヘッド部
には、MR膜70及び第1のMR用リード72a及び7
2bの一部を絶縁体を介して上下方向から挟む下部磁気
シールド膜及び上部磁気シールド膜が設けられている。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】従来の複合型薄膜磁気
ヘッドにおいては、第1のMR用リード72a及び72
bの全長がかなり長くなる構成であるため、以下の問題
が生じる。
【0010】即ち、MR膜70に接続される第1のMR
用リード72a及び72bは、ABS面に露出してお
り、従ってその材質として、腐食し易い銅(Cu)や延
びて短絡を起し易い金(Au)を用いることができず、
タングステン(W)等の耐摩耗性の高い導電材を用いる
必要がある。しかしながら、Wは比抵抗が非常に大きい
ため、MR用リード72a及び72bの全長が長くなる
と、MR素子以外の抵抗が非常に大きくなり、定電流で
動作するMRヘッドではその消費電力がかなり大きくな
ってしまう。また、抵抗が大きくなることから、熱雑音
も大きくなる。
【0011】一般に、この種の複合型薄膜磁気ヘッド
は、MR膜及びその両端部に接続された2つの第1のM
R用リードを含む電流回路と、これらを上下方向から挟
む下部磁気シールド膜及び上部磁気シールド膜とを有し
ている。従来の複合型薄膜磁気ヘッドでは、2つの第1
のMR用リード間の間隙がかなり広いため、次のごとき
問題をも生じる。
【0012】即ち、磁気媒体の記録磁界によって生じた
磁束が下部磁気シールド膜及び上部磁気シールド膜間に
挟まれて位置する2つの第1のMR用リード間の間隙を
通過する際に、これら2つの第1のMR用リード及びM
R膜で構成される1ターンのコイルと鎖交し、このコイ
ルに起電力を生じさせる。これら2つの第1のMR用リ
ード間の間隙がかなり広いと、磁束の通過する鎖交面積
が大きくなり鎖交磁束数が増えるので起電力も大きくな
る。この起電力が、MRヘッドから得られる本来の読み
出し信号電圧に重畳されるので、読み出し信号が変動し
てしまう。
【0013】従って本発明は、従来技術の上述した問題
点を解消するものであり、MRヘッド部における消費電
力を低減すると共に熱雑音も低減できしかも第1のMR
用リード及びMR膜における誘導磁気変換作用を抑制可
能な複合型薄膜磁気ヘッドを提供するものである。
【0014】
【課題を解決するための手段】本発明の複合型薄膜磁気
ヘッドは、再生用のMRヘッド部と、このMRヘッド部
上に積層して形成された記録用のインダクティブヘッド
部とを有している。MRヘッド部は、MR膜と、一端が
このMR膜に接続された第1のリード導体と、一端がこ
の第1のリード導体の他端にスルーホール導体を介して
接続された第2のリード導体と、この第2のリード導体
の他端に接続された外部接続用端子と、MR膜及び第1
のリード導体を上下方向から挟んで配置された下部磁気
シールド膜及び上部磁気シールド膜とを有している。イ
ンダクティブヘッド部は、インダクティブコイルと、一
端がこのインダクティブコイルに接続されたリード導体
と、このリード導体の他端に接続された外部接続用端子
とを有している。本複合型薄膜磁気ヘッドにおいては、
MRヘッド部の第1のリード導体が、その全長に渡って
インダクティブヘッド部のリード導体よりMR膜側に配
置されており、かつ下部磁気シールド膜及び上部磁気シ
ールド膜に挟まれた部分の第1のリード導体の間隔が1
0μm以下に設定されている。
【0015】
【作用】MRヘッド部の第1のリード導体が、その全長
に渡ってインダクティブヘッド部のリード導体よりMR
膜側に配置された構成としているので、比抵抗が大きく
耐摩耗性の高い導電材で形成せざるを得ないこのリード
導体の全長が短くなる。従って、リード部の抵抗がその
分小さくなり、その結果、消費電力の低減化が図れかつ
熱雑音も低減できる。しかもその場合に、下部磁気シー
ルド膜及び上部磁気シールド膜に挟まれた部分の第1の
リード導体の間隔が10μm以下に設定されているの
で、下部磁気シールド膜及び上部磁気シールド膜間に挟
まれて位置する2つの第1のMR用リード間の間隙によ
る面積が小さくなり、磁気媒体の記録磁界に基づいて発
生した磁束の通過する鎖交面積が小さくなる。その結
果、2つの第1のMR用リード及びMR膜で構成される
1ターンのコイルの鎖交磁束数が最小となり、そのコイ
ルの起電力が無視できるほど小さくなる。従って、MR
ヘッドから得られる本来の読み出し信号電圧の変動が最
小となる。
【0016】
【実施例】以下実施例により本発明を詳細に説明する。
【0017】図2は、本発明の一実施例として、複合型
薄膜磁気ヘッドを備えた浮上型磁気ヘッドユニットの概
略構成を示す斜視図である。
【0018】同図に示すように、本実施例の浮上型磁気
ヘッドユニットにおいては、スライダ20の浮上面(A
BS面)側の中央部に磁気媒体に対する磁気ヘッドの相
対的な走行方向に沿って伸長する単一のレール部21が
突設されており、このレール部21の後端面(磁気媒体
に対する磁気ヘッドの相対的な走行方向に関しての後
端)22にはMRヘッド部及びインダクティブヘッド部
が設けられている。
【0019】図1は、図2の複合型薄膜磁気ヘッドにお
けるリード及び外部接続用端子の部分を、同じく後端面
側から概略的に表したものである。
【0020】これらの図において、10はMRヘッド部
のMR膜、11はこのMRヘッド部の上に積層されたイ
ンダクティブヘッド部のインダクティブコイルをそれぞ
れ示している。
【0021】パーマロイ等によって形成されたMR膜1
0の両端部には、W等の耐摩耗性を有する導電材からな
る第1のMR用リード12a及び12bの一端がそれぞ
れ接続されている。これら第1のMR用リード12a及
び12bの他端は、例えばパーマロイ又はCuなどによ
るスルーホール導体13a及び13bをそれぞれ介して
Cu等の良導体による第2のMR用リード14a及び1
4bの一端にそれぞれ接続されている。第2のMR用リ
ード14a及び14bの他端は外部接続用端子(バン
プ)15a及び15bにそれぞれ接続されている。Cu
等の良導体によるインダクティブコイル11には同じく
Cu等の良導体によるインダクティブ用リード16a及
び16bの一端がそれぞれ接続されており、これらイン
ダクティブ用リード16a及び16bの他端は外部接続
用端子(バンプ)17a及び17bにそれぞれ接続され
ている。バンプ15a及び15bとバンプ17a及び1
7bとは、本実施例においては、Cu層の上にAuが被
覆されて形成されている。
【0022】図1からも明らかのように、MRヘッド部
用のバンプ15a及び15bはインダクティブヘッド部
用のバンプ17a及び17bよりそれぞれ内側に設けら
れている。また、第1のMR用リード12a及び12b
はインダクティブ用リード16a及び16bよりMR膜
側にその全長がそれぞれ位置している。換言すれば、こ
の第1のMR用リード12a及び12bの他端に接続さ
れるスルーホール導体13a及び13bが、インダクテ
ィブ用リード16a及び16bよりMR膜側に存在して
おり、MR膜10により近い位置に配置されている。
【0023】このように構成することにより、第1のM
R用リード12a及び12bの全長が従来技術のものに
比して大幅に短くなり、そのリードに沿った全抵抗が大
幅に小さくなる。その結果、MRヘッドの消費電力の低
減化が図れると共に熱雑音の発生を少なくすることがで
きる。
【0024】図3は、本実施例におけるMRヘッド部の
ABS面に近い部分の構成をモデル化して表した平面図
であり、図4は、図3のIV−IV線断面図である。
【0025】これらの図に示すように、MR膜10に近
い部分の第1のMR用リード12a及び12bは、レー
ル部21の後端面22とほぼ平行に互いに横並びに配置
されており、MR膜10とこのMR膜10に近い部分の
第1のMR用リード12a及び12bとは、電気絶縁膜
30及び31をそれぞれ介して上部磁気シールド膜32
及び下部磁気シールド膜33によって上下方向に挟まれ
ている。
【0026】第1のMR用リード12a及び12bのM
R膜10との接続部における間隔TWは、ABS面側に
位置してトラック幅を規定している。これら第1のMR
用リード12a及び12bの間隔TWより後方側(AB
S面から離れる方向)における間隔Dは10μm以下に
設定されている。間隔Dの下限値は、MR用リード12
a及び12bの間の電気的絶縁性の確保や、フォトリソ
グラフィのパターン形成の容易性等によって定まり、実
際的には3μm以上となる。なお、図示の例では、間隔
Dが間隔TWより大きくなっており、これが一般的であ
るが、間隔Dが間隔TWに等しくなることもあり得る。
【0027】このように、第1のMR用リード12a及
び12bの間隔Dを10μm以下に設定することによ
り、下部磁気シールド膜33及び上部磁気シールド膜3
2間に挟まれて位置する2つの第1のMR用リード12
a及び12b間の間隙による面積が小さくなり、磁気媒
体の記録磁界に基づいて発生した磁束φの通過する鎖交
面積が小さくなる。その結果、2つの第1のMR用リー
ド12a及び12b及びMR膜10で構成される1ター
ンのコイルの鎖交磁束数が最小となり、そのコイルの起
電力が無視できるほど小さくなる。従って、MRヘッド
から得られる本来の読み出し信号電圧の変動が最小とな
る。
【0028】図5は、本発明の他の実施例における複合
型薄膜磁気ヘッドを備えた浮上型磁気ヘッドユニットの
概略構成を示す斜視図である。
【0029】同図に示すように、本実施例の浮上型磁気
ヘッドユニットにおいては、スライダ50のABS面側
に磁気媒体に対する磁気ヘッドの相対的な走行方向に沿
って互いに平行に伸長する2つのレール部51及び52
が突設されており、その一方のレール部51の後端面5
3にはMRヘッド部及びインダクティブヘッド部が設け
られている。
【0030】図6は、図5の複合型薄膜磁気ヘッドにお
けるリード及び外部接続用端子の部分を、同じく後端面
側から概略的に表したものである。
【0031】これらの図において、60はMRヘッド部
のMR膜、61はこのMRヘッド部の上に積層されたイ
ンダクティブヘッド部のインダクティブコイルをそれぞ
れ示している。
【0032】パーマロイ等によって形成されたMR膜6
0の両端部には、W等の耐摩耗性を有する導電材からな
る第1のMR用リード62a及び62bの一端がそれぞ
れ接続されている。この第1のMR用リード62a及び
62bの他端は、例えばパーマロイ又はCuなどによる
スルーホール導体63a及び63bをそれぞれ介してC
u等の良導体による第2のMR用リード64a及び64
bの一端にそれぞれ接続されている。第2のMR用リー
ド64a及び64bの他端はバンプ65a及び65bに
それぞれ接続されている。Cu等の良導体によるインダ
クティブコイル61には同じくCu等の良導体によるイ
ンダクティブ用リード66a及び66bの一端がそれぞ
れ接続されており、このインダクティブ用リード66a
及び66bの他端はバンプ67a及び67bにそれぞれ
接続されている。バンプ65a及び65bとバンプ67
a及び67bとは、本実施例においては、Cu層の上に
Auが被覆されて形成されている。
【0033】図からも明らかのように、第1のMR用リ
ード62a及び62bはインダクティブ用リード66a
及び66bよりMR膜側にその全長がそれぞれ位置して
いる。換言すれば、この第1のMR用リード62a及び
62bの他端に接続されるスルーホール導体63a及び
63bが、インダクティブ用リード66a及び66bよ
りMR膜側にそれぞれ存在しており、MR膜60により
近い位置に配置されている。
【0034】従って、図1の実施例の場合と同様に、第
1のMR用リード62a及び62bの全長が従来技術の
ものに比して大幅に短くなり、そのリードに沿った全抵
抗が大幅に小さくなる。その結果、MRヘッドの消費電
力の低減化が図れると共に熱雑音の発生を少なくするこ
とができる。
【0035】また、本実施例におけるMRヘッド部のA
BS面に近い部分の構成も、図1の実施例の場合と全く
同様であり、第1のMR用リード62a及び62bのM
R膜60との接続部のトラック幅を規定する間隔TWよ
り後方側(ABS面から離れる方向)における間隔Dは
10μm以下に設定されている。間隔Dの下限値は、M
R用リード62a及び62bの間の電気的絶縁性の確保
や、フォトリソグラフィのパターン形成の容易性等によ
って定まり、実際的には3μm以上となる。なお、図示
の例では、間隔Dが間隔TWより大きくなっており、こ
れが一般的であるが、間隔Dが間隔TWに等しくなるこ
ともあり得る。
【0036】このように、第1のMR用リード62a及
び62bの間隔Dを10μm以下に設定することによ
り、図1の実施例の場合と同様に、2つの第1のMR用
リード62a及び62b及びMR膜60で構成される1
ターンのコイルの鎖交磁束数が最小となり、そのコイル
の起電力が無視できるほど小さくなる。従って、MRヘ
ッドから得られる本来の読み出し信号電圧の変動が最小
となる。
【0037】
【発明の効果】以上詳細に説明したように本発明によれ
ば、MRヘッド部の第1のリード導体が、その全長に渡
ってインダクティブヘッド部のリード導体よりMR膜側
に配置されており、しかもその場合に、下部磁気シール
ド膜及び上部磁気シールド膜に挟まれた部分の第1のリ
ード導体の間隔が10μm以下に設定されている。この
ため、比抵抗が大きく耐摩耗性の高い導電材で形成せざ
るを得ないこのリード導体の全長が短くなってリード部
の抵抗がその分小さくなり、消費電力の低減化が図れし
かも熱雑音を低減化できる。しかも、下部磁気シールド
膜及び上部磁気シールド膜間に挟まれて位置する2つの
第1のMR用リード間の間隙による面積が小さくなり、
磁気媒体の記録磁界に基づいて発生した磁束の通過する
鎖交面積が小さくなるので、2つの第1のMR用リード
及びMR膜で構成される1ターンのコイルの鎖交磁束数
が最小となり、そのコイルの起電力が無視できるほど小
さくなる。従って、MRヘッドから得られる本来の読み
出し信号電圧の変動が最小となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】図2の実施例の複合型薄膜磁気ヘッドにおける
リード及び外部接続用端子の部分を後端面側から概略的
に表した図である。
【図2】本発明の一実施例として複合型薄膜磁気ヘッド
を備えた浮上型磁気ヘッドユニットを示す斜視図であ
る。
【図3】図2の実施例におけるMRヘッド部のABS面
に近い部分の構成をモデル化して表した平面図である。
【図4】図3のIV−IV線断面図である。
【図5】本発明の他の実施例として複合型薄膜磁気ヘッ
ドを備えた浮上型磁気ヘッドユニットを示す斜視図であ
る。
【図6】図5の実施例の複合型薄膜磁気ヘッドにおける
リード及び外部接続用端子の部分を後端面側から概略的
に表した図である。
【図7】従来の複合型薄膜磁気ヘッドにおけるリード及
び外部接続用端子の部分を後端面側から概略的に表した
図である。
【符号の説明】
10、60 MRヘッド部 11、61 インダクティブヘッド部 12a、12b、62a、62b 第1のMR用リード 13a、13b、63a、63b スルーホール導体 14a、14b、64a、64b 第2のMR用リード 15a、15b、17a、17b、65a、65b、6
7a、67b 外部接続用端子(バンプ) 16a、16b、66a、66b インダクティブ用リ
ード 30、31 電気的絶縁層 32 上部磁気シールド膜 33 下部磁気シールド膜

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 再生用の磁気抵抗効果ヘッド部と該磁気
    抵抗効果ヘッド部上に積層して形成された記録用のイン
    ダクティブヘッド部とを有しており、前記磁気抵抗効果
    ヘッド部が、磁気抵抗効果膜と一端が該磁気抵抗効果膜
    に接続された第1のリード導体と一端が該第1のリード
    導体の他端にスルーホール導体を介して接続された第2
    のリード導体と該第2のリード導体の他端に接続された
    外部接続用端子と前記磁気抵抗効果膜及び前記第1のリ
    ード導体を上下方向から挟んで配置された下部磁気シー
    ルド膜及び上部磁気シールド膜とを有し、かつ前記イン
    ダクティブヘッド部が、インダクティブコイルと一端が
    該インダクティブコイルに接続されたリード導体と該リ
    ード導体の他端に接続された外部接続用端子とを有する
    複合型薄膜磁気ヘッドであって、前記磁気抵抗効果ヘッ
    ド部の前記第1のリード導体がその全長に渡って前記イ
    ンダクティブヘッド部の前記リード導体より磁気抵抗効
    果膜側に配置されており、かつ前記下部磁気シールド膜
    及び前記上部磁気シールド膜に挟まれた部分の前記第1
    のリード導体の間隔が10μm以下に設定されているこ
    とを特徴とする複合型薄膜磁気ヘッド。
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