JPH06171716A - 基板製造装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【目的】本発明は基板の欠けや破損の発生を防止して基
板を取り扱うことができる部品保管装置と、基板を精度
良く位置決めして保持できる基板保持装置とを備えた基
板製造装置を提供することを目的とする。 【構成】複数の基板を載せて昇降される昇降体３７と、
この昇降体３７を駆動する駆動機構と、昇降体３７の昇
降通路を囲む面に夫々上下方向に配設され且つ連結され
た複数のベルト３９〜４１およびこれら各ベルト３９〜
４１が掛け渡されるプーリ４２〜４７とを具備する基板
保管装置３１と、基板を載せる受け体と、この受け体に
おける基板載置位置に対して接近離間する方向に移動可
能に設けられ受け体に載せられた基板の縁部を周囲から
押える複数の押え体と、押え体を基板載置位置に対して
接近離間する方向に駆動する駆動機構とを具備する基板
保持装置７１とを備えたことを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は基板に部品をマウントし
て配線基板を製造するラインに用いる基板製造装置に関
する。

【０００２】

【従来の技術】一般にセラミックスなどからなる基板に
電子部品や印刷回路用部品をマウントして配線基板を製
造するラインにおいては、製造に供する複数の基板を保
管しておく基板保管装置と、この基板保管装置で保管さ
れた基板を一枚ずつ取り出して搬送する搬送装置と、こ
の搬送装置で搬送されてきた基板を保持して自動組立て
装置まで移動する基板保持装置とが備えられている。従
来、この製造ラインに用いられる基板保管装置としては
図１１に示すものものがある。

【０００３】図１１（ａ）に示す装置はスティック式と
呼ばれるもので、基板の四隅部を押える柱１を持った容
器２の内部に多数の基板Ｗを積層して保管するものであ
る。各基板Ｗは最上段のものから例えば吸引装置で吸引
して取り出す。

【０００４】図１１（ｂ）に示す装置はマガジン式と呼
ばれるもので、一側面を開放した立て形の箱３において
対向する一対の内側面に夫々多数の水平溝４を上下に並
べて形成したものである。基板Ｗは箱３の対向する各水
平溝４に挿入して支持される。また、基板保持装置は基
板をＸ方向およびＹ方向から基板を押えるもので、図１
２（ａ）ないし（ｃ）に示す方式のものがある。

【０００５】図１２（ａ）に示す装置は、図示しない受
け体に載せられた基板ＷのＸ方向およびＹ方向の夫々の
一方に位置する縁を固定基準押え部材１１、１２で押
え、基板ＷのＸ方向およびＹ方向の夫々の他方に位置す
る縁部を移動押え部材１３、１４で押えて位置決めする
方式である。

【０００６】図１２（ｂ）に示す装置は、受け体１５上
に載せられた基板Ｗの縁部を、Ｘ方向およびＹ方向に設
けた移動押え部材１６、１７、１８、１９で押えて位置
決めする方式である。図１２（ｃ）に示す装置は、基板
Ｗに形成した位置決め孔２０に位置決めピン２１を挿入
して位置決めする方式である。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかし、従来の基板保
管装置には次に述べる問題がある。

【０００８】すなわち、図１１（ａ）に示す装置は、基
板Ｗを容器２に出入れする時に基板Ｗの隅部や縁部が容
器２の柱１に摺接し、また図１１（ｂ）に示す装置は基
板Ｗを箱３に対して出入れする時に基板Ｗの隅部や縁部
が水平溝４に摺接する。このため、いずれの装置共に基
板Ｗを出入れする時に基板Ｗの隅部や縁部が摩耗した
り、欠けたりする恐れが高い。

【０００９】この傾向は、基板Ｗが、脆くて衝撃により
欠けたり、摺接による摩耗の度合いが大きいという材
料、例えばセラミックスで形成されている場合に特に顕
著である。また、従来の基板保持装置には次に述べる問
題がある。

【００１０】図１２（ａ）に示す各装置は、硬い材料で
形成され外形寸法にバラツキがある基板、例えばセラミ
ックス基板を保持する場合には、各押え部材１１〜１４
で基板Ｗを押えても基板Ｗの外形寸法のばらつきを吸収
することが困難である。図１２（ｂ）に示す装置には、
移動押え部材１６〜１９の基板Ｗに接触する部分に摩耗
により位置決めが不正確になることがある。また、図１
２（ｃ）に示す装置は、基板Ｗの位置決め孔２０の正確
な加工が難しく、基板Ｗの位置決めが不正確になること
がある。

【００１１】本発明は前記事情に基づいてなされたもの
で、基板の欠けや破損の発生を防止して基板を取り扱う
ことができる部品保管装置と、基板を精度良く位置決め
して保持できる基板保持装置とを備え、特にセラミック
スからなる基板を用いた配線基板の製造に適した基板製
造装置を提供することを目的とする。

【００１２】

【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に本発明の基板製造装置は、複数の基板を載せて昇降さ
れる昇降体と、この昇降体を駆動する駆動機構と、前記
昇降体の昇降通路を囲む面に夫々上下方向に配設され且
つ前記連結された複数のベルトおよびこれら各ベルトが
掛け渡されるプーリとを具備する基板保管装置と、基板
を載せる受け体と、この受け体における基板載置位置に
対して接近離間する方向に移動可能に設けられ前記受け
体に載せられた前記基板の縁部を周囲から押える複数の
押え体と、この押え体に前記基板載置位置に接近する方
向に弾性力を与えるとともに前記押え体に前記押え体を
前記基板載置位置から離間する方向に駆動する駆動機構
とを具備する基板保持装置とを備えたことを特徴とす
る。

【００１３】

【作用】基板保管装置は次に述べる作用を行う。

【００１４】複数の基板を積層して昇降体に載置して保
管する。搬送装置が積層された基板の最上段のものを一
枚ずつ順次取出す。これに伴い昇降体が順次上昇して基
板を取出し位置に移動する。

【００１５】昇降体の昇降通路はベルトで囲まれて壁面
が形成されているので、昇降体に積層して載置された複
数の基板はベルトに押えられて落ちることがない。昇降
体の上昇時に各べルトも共同して上昇するので、基板は
ベルトに摺接することがない。このため、基板の隅部や
縁部に欠けや破損が発生することを防止できる。基板保
持装置は次に述べる作用を行う。

【００１６】各押え体は受け体における基板載置位置に
対して接近、離間する方向に移動可能であって、且つ基
板載置位置に向けて弾性力が加えられている。すなわ
ち、各押え体は基板の外形寸法に形態に応じて移動して
基板を保持する。従って、基板をその外形寸法のばらつ
きを吸収して高い精度で位置決めして保持することがで
きる。従って、本発明の装置は特にセラミックスからな
る基板を用いた配線基板の製造に適している。

【００１７】

【実施例】本発明の一実施例について図面を参照して説
明する。基板保管装置について図１ないし図４を参照し
て説明する。図中３１は基板保管装置である。

【００１８】３２は装置フレームで、後述する昇降体が
基板Ｗを載置して昇降するに必要な高さをもって直立し
て設けられている。３３は直立して設けられた送りねじ
で、上端と下端がフレーム３２に設けられた一対の軸受
３４に支持されている。３５は正逆転可能な電動機で、
減速機３６と組合されて送りねじ３３を図示しないタイ
ミングベルトを介して回転駆動するものである。

【００１９】３７は昇降体で、送りねじの３３の前側に
設けられて送りねじ３３に組合されている。送りねじ３
３と昇降体３７とはボールねじの構成で組合されてい
る。また、昇降体３７は装置フレーム３２に直立して設
けられたガイド３８に摺動自在に係合されている。

【００２０】これにより昇降体３７は送りねじ３３の回
転によりガイド３８に案内されて直線状に昇降されるこ
とになる。昇降体３７の昇降距離は送りねじ３３の長さ
によって規定されている。

【００２１】図２および図３に示すように昇降体３７の
後側（送りねじ３３との連結側）、左側部および右側部
には夫々昇降体３７の昇降通路に沿ってベルト３９、４
０、４１が垂直に設けられている。すなわち、ベルト３
９〜４１はタイミングベルトをなすもので、両端間の長
さは昇降体３７の昇降距離に相当する大きさである。

【００２２】昇降体３７の後側に設けられるベルト３９
は装置フレーム３２の上端と下端に夫々回転自在に設け
られたプーリ４２、４３に巻き掛けされて垂直に設けら
れている。

【００２３】昇降体３７の左側に設けられるベルト４０
は装置フレーム３２の上端と下端に夫々位置するプーリ
４４、４５に巻き掛けされて垂直に設けられている。昇
降体３７の右側に設けられるベルト４１は装置フレーム
３２の上端と下端に夫々位置するプーリ４６、４７に巻
き掛けされて垂直に設けられている。

【００２４】これによりベルト３９〜４１は昇降体３７
の昇降通路の後面、左側面および右側面を形作ってい
る。図３に示すように各ベルト３９〜４１の外側には夫
々補強用の背板５６が重ねて取り付けられている。な
お、昇降体３７の昇降通路の前面側はベルトで覆われ
ず、基板Ｗを昇降体３７に対して出し入れすることがで
きる。

【００２５】４８は装置フレーム３２の上端に左右方向
に沿って水平に設けられたねじ軸で、装置フレーム３２
に左部と右部には相反する方向のねじ部が形成されてい
る。ねじ軸４８の各ねじ部にはプーリ４４を支持する部
材とプーリ４６を支持する部材が螺合されている。

【００２６】装置フレーム３２の下端にはねじ軸４８と
同じ構成のねじ軸４９が設けられ、各ねじ部にはプーリ
４５を支持する部材とプーリ４７を支持する部材が螺合
されている。

【００２７】なお、装置フレーム３２にはベルト４０、
４１の間隔を調整するつまみ５０が設けられている。こ
のつまみ５０の回転によりベルト５１、５２を介してね
じ軸４８、４９を回転すると、図２に示すようにプーリ
４４を支持する部材とプーリ４６を支持する部材、また
プーリ４５を支持する部材とプーリ４７を支持する部材
が互いに接近または離間するするように移動する。そし
て、ベルト４０とベルト４１が互いに接近または離間す
るように移動して、両ベルトの間の間隔が変化する。こ
の構成は昇降体３７に載せる基板Ｗの大きさに対応して
ベルト４０、４１の間隔を調整するためである。

【００２８】図２に示すように昇降体３７と各ベルト３
９〜４１とは一体に連結されている。図４は両者の連結
部の構成を拡大して示している。昇降体３７には水平に
リニアブッシュ５３が設けられ、このリニアブッシュ５
３にはボルト５４が支持されている。

【００２９】ボルト５４にはベルト３９〜４１とこのベ
ルトに組み合わされた背板５６とを貫通したボルト５４
が螺合され、ボルト５４の頭部とカラー５５とでベルト
３９〜４１と背板５６とを挟んでいる。図４では左側面
のベルト４０と右側面ベルト４１と昇降体３７との連結
部を示している。この連結により昇降体３７が上昇また
は下降すると、各ベルト３９〜４１も昇降体３７と一体
に且つ昇降体３７と同じ速度で上昇または下降する。

【００３０】このような構成をなす基板保管装置３１
は、基板Ｗを取り出すための装置の一例である吸引搬送
装置と組み合わせる。図５に示すように吸引搬送装置に
おける吸引口体５７は基板保管装置３１の上側に設け
る。

【００３１】本実施例の基板保管装置３１は、図２に示
すように昇降体３７に多数枚の基板Ｗを積層して保管す
る。昇降体３７は、積層された多数枚の基板Ｗの最上段
のものが吸引口体５７で吸引できる位置にくるように昇
降される。すなわち、吸引口体５７が最上段の基板Ｗを
吸引した後は、昇降体３７が基板１枚分上昇されて次の
吸引を待機する。

【００３２】昇降体３７に積層載置された基板Ｗは昇降
通路の後面、左右両側面の３面を囲むベルト３９〜４１
によって覆われる。このため、基板を昇降体３７から落
下するなど事故の発生を阻止して安定して積層して保管
できる。

【００３３】また、昇降体３７が上昇および下降する時
に各ベルト３９〜４１が一体に上昇および下降する。こ
のため、昇降体３７に積層載置された基板Ｗが昇降体に
よって昇降する時に、基板Ｗの隅部や縁部がベルト３９
〜４１に摺接することがなく、従って隅部や縁部の破損
を防止することができる。

【００３４】ここで、基板保管装置３１において昇降体
３７が吸引口体５７に基板Ｗを供給し、吸引口体５７で
基板Ｗを吸引して取り出す動作を行う場合の制御につい
て図５を説明する。

【００３５】図中６１は光学式のリミットセンサであ
り、昇降体３７が最も上昇した位置を検出するものであ
る。リミットセンサ６１は装置フレーム３２の上端に上
下方向の位置（検出位置）を調節可能に設けられる。リ
ミットセンサ６１は昇降体３７に設けたドグ６２がリミ
ットセンサ６１から発せられる光線を遮ることにより検
出動作を行う。

【００３６】６３は光学式の基板検出センサで、昇降体
３７が最も上昇した時における昇降体３７に載置されて
いる基板Ｗの存在を検出する。基板検出センサ６３はリ
ミットセンサ６１に対して高い位置で装置フレーム３２
の上端に上下方向の位置（検出位置）を調節可能に設け
られる。なお、リミットセンサ６１と基板検出センサ６
２との間において昇降体３７に載置残留されている基板
Ｗの数をあらかじめ測定しておく。制御の方法について
説明する。

【００３７】多数枚の基板Ｗを昇降体３７に載せて上昇
させ、その基板Ｗの供給位置を検出センサ６３で検出す
る。この検出信号により昇降体３７の上昇を停止する。
その後、吸引口体５７で最上段の基板Ｗを吸着して取り
出す。基板Ｗの残量が一定量になると、昇降体３７に設
けられたドグ６２がリミットセンサ６１により検出され
る。この時、基板Ｗの残量の検出が可能となる。

【００３８】次にリミットセンサ６１の検出動作後に昇
降体３７を一時停止する。これとともに昇降体３７が最
上昇位置にあることを図示しない表示装置により表示す
る。この表示により作業者は、基板製造装置にある基板
Ｗの払い出しを実施する。払い出しの終了後には基板製
造装置の運転を停止し、次の入力を待つ。

【００３９】前記の基板Ｗの払い出しを実施しなかった
場合には、装置の運転を再開し、その後昇降体３７から
の基板供給量を計算し設定値と比較する。設定量に到達
しない場合には基板供給を継続し、設定量に達した場合
には装置が異常であることを表示して装置の運転を停止
して次の入力を待つ。

【００４０】この制御によれば、昇降体３７における基
板残量を検出して装置にフィードバックすることにより
効率良く基板を補給できる。このため、基板Ｗに揮発性
接着剤を用いる組み立て工程では接着剤が硬化するなど
の不具合の発生を防止できる。次に基板保持装置につい
て図６ないし図１０について説明する。

【００４１】基板保持装置は基板保管装置から吸引搬送
装置によって搬送されてきた基板Ｗを受けて、これを位
置決め保持し、所定の組み立て加工を行う装置に移動さ
せるものである。

【００４２】図中７１は基板保持装置である。図中７２
はサドルで、図８に示すように水平に設けられたレール
７３、７４に移動自在に支持されている。７５はサドル
７２の上側に水平に配置されたベースプレートで、サド
ル７２に設けられたボールブッシュ７６に垂直方向に移
動自在に支承された複数本の軸７７によって上下動可能
に支持されている。

【００４３】なお、サドル７２の下側にはサドル７２に
設けたストッパ７８に支持される板７９が配置され、こ
の板７９には各軸７７の下端が固定されている。板７９
にはサドル７２に設けられた圧縮コイルばね８０によっ
て下方向の力が加えられている。

【００４４】８１はベースプレート７５の上側に配置さ
れた基板受けプレートで、支持部材８２によってベース
プレート７５に固定されている。基板受けプレート８１
の上面中央に基板Ｗが載置される。ここで、基板Ｗは図
６に示すようにＸ方向およびＹ方向から玉軸受によって
保持される。Ｘ方向から基板Ｗを保持する構造について
述べる。

【００４５】基板受けプレート８１におけるＸ方向の両
側部の中央にはＸ方向に沿って案内溝８３、８４が夫々
形成され、ベースプレート７５の上面にはこれら案内溝
８３、８４の真下に位置してＸ方向に沿って案内レール
８５、８６が設置されている。これら案内レール８５、
８６にはスライド体８７、８８が移動自在に設けられて
いる。

【００４６】図８に示すようにサドル７２とベースプレ
ート７５との間には、基板受けプレート８１におけるＸ
方向の両側部の下側において夫々Ｙ方向に沿ってラック
８９、９０が配置され、これらラック８９、９０はベー
スプレート７５に取り付けられたラック受け９１に移動
自在に支持されている。

【００４７】図９に示すようにベースプレート７５にお
けるＹ方向の一方の側部には各ラック８９、９０に接近
した箇所に夫々玉軸受９２が設けられ、各玉軸受９２に
は回転軸９３が夫々垂直に挿通して支持されている。

【００４８】各回転軸９３におけるベースプレート７５
から下側に突出した端部にはラック８９、９０に噛合す
るピニオン９４、９５が取り付けられ、ベースプレート
７５から上側に突出した端部にはレバー９６、９７が取
り付けられている。

【００４９】これにより図７に示すようにラック８９、
９０が移動すると、ピニオン９４、９５および各回転軸
９３が回動され、各回転軸９３によってレバー９６、９
７が基板受けプレート８１の基板載置位置に対して接近
離間する方向に回動されることになる。なお、このレバ
ー９６、９７は先端が二又形状に形成されている。

【００５０】また、前述したスライド体８７、８８には
夫々ボルト９８が夫々上方向に直立して取り付けられ、
各ボルト９８には夫々レバー９６、９７の先端二又部に
係合される玉軸受９９と、基板受けプレート８１の案内
溝８３、８４に係合する玉軸受１００が保持されてい
る。

【００５１】これにより図７に示すようにレバー９６、
９７が各回転軸９３を中心として回動すると、各玉軸受
９９および各ボルト９８を介してスライド体８７、８８
が案内レール８５、８６に沿って直線移動され、各ボル
ト９８を介して各玉軸受１００が案内溝８３、８４に沿
ってＸ方向すなわち基板受けプレート８１に載置された
基板Ｗに対して接近、離間する方向に直線移動される。

【００５２】各ラック８９、９０に取り付けたプレート
１０１とラック受け９１との間にコイルばね（図示せ
ず）張設されており、各コイルばねによって各レバ−９
６、９７が基板受けプレート８１の基板載置位置に接近
する方向の力が常時各ラック８９、９０に与えられてい
る。このため、各スライド体８７、８８は基板Ｗに接近
する方向に移動されて各玉軸受１００も基板Ｗに接近す
る（保持する）方向に移動される。そして、図８に示す
ように各ラック８９、９０をばね１０２の力とは反対の
方向に押して移動する駆動部材１０３が設けられてい
る。

【００５３】駆動部材１０３によりラック８９、９０が
移動されると、ピニオン９４、９５および各回転軸９３
を介してレバー９６、９７が基板Ｗから離れる方向に回
動して各玉軸受１００が基板Ｗから離れる方向に強制的
に移動される。駆動部材１０３は図示しない駆動装置に
より駆動される。図７に示すようにＹ方向から基板Ｗを
保持する構造について述べる。

【００５４】基板受けプレート８１におけるＹ方向の両
側部の中央にはＹ方向に沿って案内溝１０４、１０５が
夫々形成され、ベースプレート７５の上面にはこれら案
内溝１０４、１０５の真下に位置してＹ方向に沿って案
内レール１０６、１０７が設置されている。これら案内
レール１０６、１０７にはスライド体１０８、１０９が
移動自在に設けられている。

【００５５】一方のスライド体１０８の上側には移動部
材１１０が水平に取り付けられている。この移動部材１
１０の内側の端部に形成された二又に分岐して形成され
た各部分には図１０（ｂ）に示すように夫々ボルト１１
１が取り付けられ、各ボルト１１１には基板受けプレー
ト８１に形成された一方の案内溝１０４に組み合わさる
玉軸受１１２が夫々保持されている。

【００５６】図８に示すように他方のスライド体１０９
に取り付けられたボルト１１３には他方の案内溝１０５
に組み合わさる玉軸受１１４と後述するリンク１２０に
組み合わさる玉軸受１１５が夫々保持されている。

【００５７】また、図８に示すように基板受けプレート
８１の中央部に設けられた玉軸受１１６には回転軸１１
７が垂直に通して回転自在に支持され、この回転軸１１
６の基板受けプレート８から突出する上端部には円板１
１８が取り付けられている。この円板１１８にはリンク
１１９、１２０を介してスライド体１０８、１０９に連
結されている。

【００５８】各リンク１１９、１２０の一端は夫々円板
１１８において中心を挟んで互いに対向する位置で、ボ
ルト１２１に支持された玉軸受１２２により回転自在に
支持されている。

【００５９】リンク１１９の他端は、一方のスライド体
１０８に取り付けたボルト１２３に支持された玉軸受１
２４により回転自在に組み合わされている。リンク１２
０の他端は他方のスライド体１０９に設けられたボルト
１１３に支持された玉軸受１１５に回転自在に組み合わ
されている。

【００６０】これにより図７に示すように移動部材１１
０がすなわちＹ方向に移動すると、スライド体１０８が
案内レール１０６に沿って直線移動され、玉軸受１１２
が案内溝１０４に沿ってＹ方向すなわち基板受けプレー
ト８１に載置された基板Ｗに対して接近、離間する方向
に直線移動される。

【００６１】スライド体１０８の直線移動はリンク１１
９を介して円板１１８に伝達され、円板１１８が回転軸
１１７を中心としてＰ方向、Ｑ方向に回転される。円板
１１８の回転はリンク１２０を介して他方のスライド体
１０９に伝達される。

【００６２】スライド体１０９が案内レール１０７に沿
って直線移動される。そして、玉軸受１１５が案内溝１
０５に沿ってＹ方向すなわち基板受けプレート８１に載
置された基板Ｗに対して接近、離間する方向に直線移動
される。

【００６３】回転軸１１７の下端とベースプレート７５
に取り付けたボルト１２５との間に引っ張りコイルばね
１２６が張設されており、このばね１２６によって回転
軸１１７および円板１１８に対して各リンク１１９、１
２０が基板載置位置に接近する方向の力が常時与えられ
ている。このため、各スライド体１０８、１０９が基板
Ｗに接近する方向に移動されて各玉軸受１１２、１１５
が基板載置位置に接近する方向に移動される。

【００６４】そして、図７に示すように移動部材１１０
を基板Ｗから離間する方向に移動する駆動部材１２７が
設けられている。駆動部材１２７により移動部材１１０
が移動されると、スライド体１０８が同じ方向に移動さ
れ、さらにリンク１１９、１２０および円板１１８を介
してスライド体１０９が基板Ｗから離間する方向に移動
される。これにより各玉軸受１１２および玉軸受１１５
が基板Ｗから離間する方向に強制的に移動される。駆動
部材１２７は図示しない駆動装置により駆動される。

【００６５】このように構成された基板保持装置におい
て、基板受けプレート８１に基板Ｗを載せる場合には、
前述したように各玉軸受１００と玉軸受１１２、１１５
が基板載置位置から離れる方向に強制的に移動する。こ
の状態で基板受けプレート８１の基板載置位置に基板Ｗ
を載置する。

【００６６】次いで、強制力を解除すると各玉軸受１０
０と玉軸受１１２、１１５は各ばね１０２、１２６によ
り基板載置位置に接近する方向に移動する。これにより
各玉軸受１００と玉軸受１１２、１１５が基板Ｗの各縁
部をＸ方向およびＹ方向から押えて保持する。

【００６７】ここで、押え体である玉軸受は基板の外形
寸法に形態に応じて移動して基板を保持する。従って、
基板をその外形寸法のばらつきを吸収して高い精度で位
置決めして保持することができる。この実施例では基板
Ｗを押える押え体が玉軸受であるから従来のように爪の
場合に比較して基板Ｗを傷めることがなく、また部材自
信の摩耗も少ない。また、この実施例では、基板受けプ
レート８１に載置した基板Ｗの保持を解除した時に、仮
止めとして基板Ｗを吸引して固定できるようにしてあ
る。

【００６８】すなわち、図７および図１０（ａ）に示す
ように基板受けプレート８１の下側に吸引カバー１２８
が設けれ、基板受けプレート８１には吸引カバー１２８
に対応して吸引孔１２９が形成されている。吸引カバー
１２８はホース１３０を介して図示しない吸引装置に接
続されている。吸引装置で吸引カバー１２８を介して吸
引孔１２から空気を引くことにより、基板受けプレート
８１にある基板Ｗを吸引して固定する。このように基板
Ｗを保持した基板保持装置は案内レール７３、７４に沿
って所定の組み立て装置に移動される。

【００６９】なお、本発明は前述した実施例に限定され
ずに種々実施することができる。例えば基板保持装置に
おいて基板を押える押え体はローラ形であることが好ま
しいが、これに限定されるものではない。また、基板保
持装置において押え体が基板を押える方向は、Ｘ方向お
よびＹ方向に限定されない。

【００７０】

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、基
板の欠けや破損の発生を防止して基板を取り扱うことが
できる部品保管装置と、基板を精度良く位置決めして保
持できる基板保持装置とを備え、特にセラミックスから
なる基板を用いた配線基板の製造に適している基板製造
装置を得ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例における部品保管装置を示す
斜視図。

【図２】部品保管装置の構成を概略的に示す正面図。

【図３】部品保管装置の構成を概略的に示す平面図。

【図４】部品保管装置における昇降体とベルトとの連結
部を拡大して示す断面図。

【図５】部品保管装置における基板の取出し動作を説明
する図。

【図６】本発明の一実施例における部品保持装置を示す
斜視図。

【図７】図６のＡ矢視方向から見た部品保持装置を示す
図。

【図８】図６のＢ矢視方向から見た部品保持装置を示す
図。

【図９】図６のＣ矢視方向から見た部品保持装置を示す
図。

【図１０】（ａ）は図７ＤーＤ線に沿って破断して示す
断面図。（ｂ）は図７ＥーＥ線に沿って破断して示す断
面図。

【図１１】（ａ）は従来の基板保管装置の例を示す図。
（ｂ）は従来の基板保管装置の例を示す図。

【図１２】（ａ）は従来の基板保管装置の例を示す図。
（ｂ）は従来の基板保管装置の例を示す図。（ｃ）は従
来の基板保持装置の例を示す図。

【符号の説明】

３１…基板保管装置、３７…昇降体、３９〜４１…ベル
ト、４２〜４７…プーリー、７１…基板保持装置、１０
０，１１２，１１５…玉軸受。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 複数の基板を載せて昇降される昇降体
   と、この昇降体を駆動する駆動機構と、前記昇降体の昇
   降通路を囲む面に夫々上下方向に配設され且つ前記連結
   された複数のベルトおよびこれら各ベルトが掛け渡され
   るプーリとを具備する基板保管装置と、基板を載せる受
   け体と、この受け体における基板載置位置に対して接近
   離間する方向に移動可能に設けられ前記受け体に載せら
   れた前記基板の縁部を周囲から押える複数の押え体と、
   この押え体に対して前記基板載置位置に接近する方向に
   弾性力を与えるとともに前記押え体を前記基板載置位置
   から離間する方向に強制駆動する駆動機構とを具備する
   基板保持装置とを備えたことを特徴とする基板製造装
   置。