JPH06170720A - 定盤のドレッシング装置 - Google Patents
定盤のドレッシング装置Info
- Publication number
- JPH06170720A JPH06170720A JP34983892A JP34983892A JPH06170720A JP H06170720 A JPH06170720 A JP H06170720A JP 34983892 A JP34983892 A JP 34983892A JP 34983892 A JP34983892 A JP 34983892A JP H06170720 A JPH06170720 A JP H06170720A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- surface plate
- cutting
- blade
- dressing device
- flat
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Grinding-Machine Dressing And Accessory Apparatuses (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 定盤の加工面を刃物で切削する方式のドレッ
シング装置において、該加工面に細くて深い切削溝が形
成されないようにすること。 【構成】 平面研磨装置における定盤１０，１１の加工
面を切削する刃物１７，１８と、該刃物を定盤の半径方
向及び上下方向に移動させるための移動手段と、切削深
さを設定するための設定手段とを備え、上記刃物を、フ
ラットで水平な刃先１７ａ，１８ａを有し、該刃先を定
盤の回転方向に向けて配設した。
シング装置において、該加工面に細くて深い切削溝が形
成されないようにすること。 【構成】 平面研磨装置における定盤１０，１１の加工
面を切削する刃物１７，１８と、該刃物を定盤の半径方
向及び上下方向に移動させるための移動手段と、切削深
さを設定するための設定手段とを備え、上記刃物を、フ
ラットで水平な刃先１７ａ，１８ａを有し、該刃先を定
盤の回転方向に向けて配設した。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、平面研磨装置における
定盤の平坦度を修正するためのドレッシング装置に関す
るものである。
定盤の平坦度を修正するためのドレッシング装置に関す
るものである。
【０００２】
【従来の技術】平面研磨装置においては一般に、ワーク
を研磨加工することにより定盤の加工面が偏摩耗し、徐
々に平坦度が悪くなっていく。このため、必要に応じて
加工面の平坦度を修正しなければならない。
を研磨加工することにより定盤の加工面が偏摩耗し、徐
々に平坦度が悪くなっていく。このため、必要に応じて
加工面の平坦度を修正しなければならない。
【０００３】定盤の平坦度を修正するためのドレッシン
グ装置として、従来、実開昭６１−１６９５２１号公報
に記載されたものが公知である。これは、回転する定盤
の加工面に刃物を当て、該刃物を定盤の半径方向に少し
づつ移動させながら加工面を切削するものであるが、図
４に示すように、刃先１ａが山形に尖った刃物１を使用
し、その尖った刃先１ａを定盤２に押し当てて切削する
ようにしていたため、修正された定盤表面を拡大して見
ると、図５に示すように、刃先による細くて深い切削溝
４がスパイラル状に形成されており、これが研磨加工時
にワークに転写されて研磨精度を低下させるという欠点
があった。
グ装置として、従来、実開昭６１−１６９５２１号公報
に記載されたものが公知である。これは、回転する定盤
の加工面に刃物を当て、該刃物を定盤の半径方向に少し
づつ移動させながら加工面を切削するものであるが、図
４に示すように、刃先１ａが山形に尖った刃物１を使用
し、その尖った刃先１ａを定盤２に押し当てて切削する
ようにしていたため、修正された定盤表面を拡大して見
ると、図５に示すように、刃先による細くて深い切削溝
４がスパイラル状に形成されており、これが研磨加工時
にワークに転写されて研磨精度を低下させるという欠点
があった。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、定盤
の加工面を刃物で切削する方式のドレッシング装置にお
いて、刃物による細くて深い切削溝が加工面に形成され
ないようにすることにある。
の加工面を刃物で切削する方式のドレッシング装置にお
いて、刃物による細くて深い切削溝が加工面に形成され
ないようにすることにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明のドレッシング装置は、平面研磨装置におけ
る定盤の加工面を切削する刃物と、該刃物を定盤の半径
方向及び加工面に垂直な方向に移動させるための移動手
段と、切削深さを設定するための設定手段とを備え、上
記刃物がフラットで水平な刃先を有し、該刃先を定盤の
回転方向に向けて配設されている。両面研磨装置におけ
る上定盤と下定盤とをドレッシングする装置において
は、上記刃物が上向き及び下向きの両方向に取り付ける
られることが望ましい。
め、本発明のドレッシング装置は、平面研磨装置におけ
る定盤の加工面を切削する刃物と、該刃物を定盤の半径
方向及び加工面に垂直な方向に移動させるための移動手
段と、切削深さを設定するための設定手段とを備え、上
記刃物がフラットで水平な刃先を有し、該刃先を定盤の
回転方向に向けて配設されている。両面研磨装置におけ
る上定盤と下定盤とをドレッシングする装置において
は、上記刃物が上向き及び下向きの両方向に取り付ける
られることが望ましい。
【０００６】
【作用】定盤の加工面を修正するときは、刃物による切
削深さを設定したあと、該定盤を回転させると共に、刃
物を該定盤の加工面外周部にあてがい、該刃物を所定の
速度で少しづつ定盤の半径方向に送り込むことにより該
加工面を切削する。このとき、刃物の刃先がフラットで
水平をなし、しかも定盤の回転方向に向いているため、
加工面はこのフラットな刃先で平に削られていき、細く
て深い切削溝が形成されることがない。
削深さを設定したあと、該定盤を回転させると共に、刃
物を該定盤の加工面外周部にあてがい、該刃物を所定の
速度で少しづつ定盤の半径方向に送り込むことにより該
加工面を切削する。このとき、刃物の刃先がフラットで
水平をなし、しかも定盤の回転方向に向いているため、
加工面はこのフラットな刃先で平に削られていき、細く
て深い切削溝が形成されることがない。
【０００７】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面を参照しながら
詳細に説明する。図１において、１０は平面研磨装置に
おける上定盤、１１は同下定盤、１２はこれらの定盤１
０，１１の加工面をドレッシングするためのドレッシン
グ装置を示している。
詳細に説明する。図１において、１０は平面研磨装置に
おける上定盤、１１は同下定盤、１２はこれらの定盤１
０，１１の加工面をドレッシングするためのドレッシン
グ装置を示している。
【０００８】上記平面研磨装置は、一般に良く知られて
いるように、同軸状に配設された太陽歯車と内歯歯車と
に複数のキャリヤを噛合させ、該キャリヤを両歯車によ
り遊星運動させながら、該キャリヤの保持穴に保持され
たワークを上下の定盤１０，１１により両側から挾んで
研磨加工するものである。また、上下の定盤１０，１１
は、金属円板に砥石を貼り付けることにより構成されて
いる。
いるように、同軸状に配設された太陽歯車と内歯歯車と
に複数のキャリヤを噛合させ、該キャリヤを両歯車によ
り遊星運動させながら、該キャリヤの保持穴に保持され
たワークを上下の定盤１０，１１により両側から挾んで
研磨加工するものである。また、上下の定盤１０，１１
は、金属円板に砥石を貼り付けることにより構成されて
いる。
【０００９】一方、上記ドレッシング装置１２は、機体
１４に前後動自在且つ上下動自在に支持されたアーム１
５の先端に、上下の定盤１０，１１の加工面を切削する
ための二つの刃物１７，１８を上下方向に向けて取り付
けたもので、機体１４には、アーム１５を前後方向即ち
定盤の半径方向に移動させるための横移動手段と、アー
ム１５を上下方向即ち定盤の加工面に垂直な方向に移動
させるための縦移動手段と、刃物１７，１８による切削
深さを設定するための設定手段とが備えられている。
１４に前後動自在且つ上下動自在に支持されたアーム１
５の先端に、上下の定盤１０，１１の加工面を切削する
ための二つの刃物１７，１８を上下方向に向けて取り付
けたもので、機体１４には、アーム１５を前後方向即ち
定盤の半径方向に移動させるための横移動手段と、アー
ム１５を上下方向即ち定盤の加工面に垂直な方向に移動
させるための縦移動手段と、刃物１７，１８による切削
深さを設定するための設定手段とが備えられている。
【００１０】上記刃物１７，１８は、図２及び図３に示
すように、平剣バイトの如くフラットで水平な刃先１７
ａ，１８ａを有し、該刃先を定盤１０，１１の回転方向
に向けて配設されている。ここで、上下の刃物１７，１
８の向きが互いに逆になっているのは、上定盤１０と下
定盤１１とを図１に示すように研磨時と同じ方向、即ち
互いに逆方向に回転させて研削するためである。なお、
上下の定盤を同方向に回転させて切削する場合には、上
下の刃物を同じ向きに取り付ければ良い。
すように、平剣バイトの如くフラットで水平な刃先１７
ａ，１８ａを有し、該刃先を定盤１０，１１の回転方向
に向けて配設されている。ここで、上下の刃物１７，１
８の向きが互いに逆になっているのは、上定盤１０と下
定盤１１とを図１に示すように研磨時と同じ方向、即ち
互いに逆方向に回転させて研削するためである。なお、
上下の定盤を同方向に回転させて切削する場合には、上
下の刃物を同じ向きに取り付ければ良い。
【００１１】上記ドレッシング装置１２は、平面研磨装
置の一部として組み付けられるか、又は、平面研磨装置
とは別の装置として移動自在に構成され、必要に応じて
平面研磨装置の近くに運ばれて加工面の修正に使用され
る。
置の一部として組み付けられるか、又は、平面研磨装置
とは別の装置として移動自在に構成され、必要に応じて
平面研磨装置の近くに運ばれて加工面の修正に使用され
る。
【００１２】上記構成を有するドレッシング装置１２に
よる定盤の修正は次のようにして行われる。即ち、上定
盤１０の加工面を修正するときは、先ず、該上定盤１０
を所定の高さまで上昇させたあと、それに合わせてアー
ム１５即ち刃物１７を所要の高さまで上昇させることに
より切削深さを設定する。次に、上定盤１０を回転させ
ると共に、アーム１５を前進させて上部の刃物１７を定
盤１０の加工面外周部にあてがい、該刃物１７を所定の
速度で少しづつ定盤１０の半径方向に送り込むことによ
り加工面を切削する。そして、刃物１７が定盤１０の中
心に達したところで修正が終了し、アーム１５は初めの
位置まで後退する。これにより、定盤の加工面の平坦度
が修正され、同時に目詰まりも除去される。また、下定
盤１１を修正するときは、下部の刃物１８で同様にして
加工面を切削する。
よる定盤の修正は次のようにして行われる。即ち、上定
盤１０の加工面を修正するときは、先ず、該上定盤１０
を所定の高さまで上昇させたあと、それに合わせてアー
ム１５即ち刃物１７を所要の高さまで上昇させることに
より切削深さを設定する。次に、上定盤１０を回転させ
ると共に、アーム１５を前進させて上部の刃物１７を定
盤１０の加工面外周部にあてがい、該刃物１７を所定の
速度で少しづつ定盤１０の半径方向に送り込むことによ
り加工面を切削する。そして、刃物１７が定盤１０の中
心に達したところで修正が終了し、アーム１５は初めの
位置まで後退する。これにより、定盤の加工面の平坦度
が修正され、同時に目詰まりも除去される。また、下定
盤１１を修正するときは、下部の刃物１８で同様にして
加工面を切削する。
【００１３】このとき、刃物１７，１８の刃先１７ａ，
１８ａがフラットで水平をなしており、しかも定盤１
０，１１の回転方向に向いているため、このフラットな
刃先により加工面は平に削られ、刃先が山形に尖った従
来の刃物を使用して切削する場合のような、細くて深い
切削溝が形成されることがない。
１８ａがフラットで水平をなしており、しかも定盤１
０，１１の回転方向に向いているため、このフラットな
刃先により加工面は平に削られ、刃先が山形に尖った従
来の刃物を使用して切削する場合のような、細くて深い
切削溝が形成されることがない。
【００１４】なお、上記上定盤及び下定盤の修正は、コ
ンピュータにより所定のプログラムに従って自動的に行
われる。
ンピュータにより所定のプログラムに従って自動的に行
われる。
【００１５】上記実施例では、二つの刃物１７，１８を
上下別々に設けているが、上下いずれか一つだけとし、
該刃物を上下反転させて両定盤を研削するように構成す
ることも可能である。また、片面研磨装置の定盤を修正
するドレッシング装置の場合には、アームの下部だけに
一つの刃物を有するものとして構成することもできる。
上下別々に設けているが、上下いずれか一つだけとし、
該刃物を上下反転させて両定盤を研削するように構成す
ることも可能である。また、片面研磨装置の定盤を修正
するドレッシング装置の場合には、アームの下部だけに
一つの刃物を有するものとして構成することもできる。
【００１６】
【発明の効果】このように本発明のドレッシング装置に
よれば、フラットで水平な刃先を有する刃物を使用し、
その刃先を定盤の回転方向に向けて配設したので、定盤
の加工面に細くて深い切削溝をつけることなくその修正
を行うことができる。
よれば、フラットで水平な刃先を有する刃物を使用し、
その刃先を定盤の回転方向に向けて配設したので、定盤
の加工面に細くて深い切削溝をつけることなくその修正
を行うことができる。
【図１】本発明に係るドレッシング装置の一実施例を示
す要部側面図である。
す要部側面図である。
【図２】図１における切削状態での要部拡大図である。
【図３】図２におけるＡ−Ａ線での断面図である。
【図４】従来の刃物による切削状態を示す要部正面図で
ある。
ある。
【図５】従来の刃物により定盤の加工面に形成された切
削溝を示す断面図である。
削溝を示す断面図である。
１０ 上定盤 １１ 下定盤 １７，１８ 刃物 １７ａ，１８ａ 刃
先
先
Claims (2)
- 【請求項１】 平面研磨装置における定盤の加工面を切
削する刃物、該刃物を定盤の半径方向及び加工面に垂直
な方向に移動させるための移動手段、上記刃物による切
削深さを設定するための設定手段を備えてなり、 上記刃物がフラットで水平な刃先を有し、該刃先を定盤
の回転方向に向けて配設されていることを特徴とする定
盤のドレッシング装置。 - 【請求項２】 刃物が上下両方向に向けて取り付けられ
ていることを特徴とする請求項１に記載の定盤のドレッ
シング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34983892A JPH06170720A (ja) | 1992-12-02 | 1992-12-02 | 定盤のドレッシング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34983892A JPH06170720A (ja) | 1992-12-02 | 1992-12-02 | 定盤のドレッシング装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06170720A true JPH06170720A (ja) | 1994-06-21 |
Family
ID=18406459
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP34983892A Pending JPH06170720A (ja) | 1992-12-02 | 1992-12-02 | 定盤のドレッシング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06170720A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100820012B1 (ko) * | 2000-07-12 | 2008-04-07 | 닛산 가가쿠 고교 가부시키 가이샤 | 리소그래피용 갭-필재 형성 조성물 |
| JP2009090379A (ja) * | 2007-10-03 | 2009-04-30 | Nakamura Tome Precision Ind Co Ltd | ドレス装置を備えた硬質脆性板の面取装置 |
| KR101242276B1 (ko) * | 2011-02-14 | 2013-03-11 | 주식회사 엘지실트론 | 패드 처리 장치 |
| CN105636743A (zh) * | 2013-10-04 | 2016-06-01 | 福吉米株式会社 | 研磨装置、研磨构件的加工方法、研磨构件的修正方法、形状加工用切削工具以及表面修正用工具 |
-
1992
- 1992-12-02 JP JP34983892A patent/JPH06170720A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100820012B1 (ko) * | 2000-07-12 | 2008-04-07 | 닛산 가가쿠 고교 가부시키 가이샤 | 리소그래피용 갭-필재 형성 조성물 |
| JP2009090379A (ja) * | 2007-10-03 | 2009-04-30 | Nakamura Tome Precision Ind Co Ltd | ドレス装置を備えた硬質脆性板の面取装置 |
| KR101242276B1 (ko) * | 2011-02-14 | 2013-03-11 | 주식회사 엘지실트론 | 패드 처리 장치 |
| CN105636743A (zh) * | 2013-10-04 | 2016-06-01 | 福吉米株式会社 | 研磨装置、研磨构件的加工方法、研磨构件的修正方法、形状加工用切削工具以及表面修正用工具 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20011211 |