JPH0617044Y2 - 振動ジャイロ - Google Patents
振動ジャイロInfo
- Publication number
- JPH0617044Y2 JPH0617044Y2 JP1985015835U JP1583585U JPH0617044Y2 JP H0617044 Y2 JPH0617044 Y2 JP H0617044Y2 JP 1985015835 U JP1985015835 U JP 1985015835U JP 1583585 U JP1583585 U JP 1583585U JP H0617044 Y2 JPH0617044 Y2 JP H0617044Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piezoelectric element
- groove
- longitudinal direction
- vibrating
- vibrating body
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Gyroscopes (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は振動ジャイロにかかり、特に、断面が方形であ
るビームの一面に圧電素子を貼付して形成した振動体に
屈曲振動を生じさせ、この振動体の長手方向の中心軸に
回りに与えた入力角速度によりコリオリの力を生じせし
め、この力を前記振動体を貼着した面と直交する一面に
貼着した他の圧電素子によって取り出し、前記入力角速
度を測定する振動ジャイロに関するものである。
るビームの一面に圧電素子を貼付して形成した振動体に
屈曲振動を生じさせ、この振動体の長手方向の中心軸に
回りに与えた入力角速度によりコリオリの力を生じせし
め、この力を前記振動体を貼着した面と直交する一面に
貼着した他の圧電素子によって取り出し、前記入力角速
度を測定する振動ジャイロに関するものである。
第３図及び第４図によってこの種の振動ジャイロの動作
原理及び従来における圧電素子の接合構造を説明する。
原理及び従来における圧電素子の接合構造を説明する。
第３図は振動ジャイロの斜視図であり、振動体１が断面
方形のビーム２と、ビーム２の一面に接着された圧電素
子３と、この一面と対向する他の面に接着された他の圧
電素子３′と、これらの面に直交する一面に接着された
圧電素子４と、この圧電素子４と対向する面に接着され
た他の圧電素子４′とから構成されている。なお、図で
は電源、電圧印加機構、発振器、増幅器等の付属部品は
省略している。
方形のビーム２と、ビーム２の一面に接着された圧電素
子３と、この一面と対向する他の面に接着された他の圧
電素子３′と、これらの面に直交する一面に接着された
圧電素子４と、この圧電素子４と対向する面に接着され
た他の圧電素子４′とから構成されている。なお、図で
は電源、電圧印加機構、発振器、増幅器等の付属部品は
省略している。
この様な振動体１の圧電素子３，３′に電圧を印加して
励振しビーム２を振動させると、ビーム２は支持ピン５
と連結される部分が節６になり、節６の中間の位置が平
面Ｐに沿ってＡ方向に振動する。圧電素子３，３′に生
ずる振動はビーム２を振動させるとき、補完的に動作す
るが、圧電素子３′に発生する信号を圧電素子３にフィ
ードバックして振幅制御を行うこともできる。ビーム２
が上記のように平面Ｐに沿って振動しているとき、ビー
ム２を中心線Ｏのまわりに回転Ｍさせると、ビーム２に
はその角速度に比例したコリオリの力が発生し、そのコ
リオリの力によって平面Ｐに直角な方向であるＢの方向
に振動が起り、平面Ｐに沿った振動方向に直角な面に貼
着してある圧電素子４，４′に出力が生ずる。このとき
圧電素子４は又は４′を使用してダンピングをかける場
合もある。上記の圧電素子４，４′に生ずる出力はコリ
オリの力に比例し、従って入力角速度に比例する。この
出力を測定することによって入力角速度を知ることがで
きる。
励振しビーム２を振動させると、ビーム２は支持ピン５
と連結される部分が節６になり、節６の中間の位置が平
面Ｐに沿ってＡ方向に振動する。圧電素子３，３′に生
ずる振動はビーム２を振動させるとき、補完的に動作す
るが、圧電素子３′に発生する信号を圧電素子３にフィ
ードバックして振幅制御を行うこともできる。ビーム２
が上記のように平面Ｐに沿って振動しているとき、ビー
ム２を中心線Ｏのまわりに回転Ｍさせると、ビーム２に
はその角速度に比例したコリオリの力が発生し、そのコ
リオリの力によって平面Ｐに直角な方向であるＢの方向
に振動が起り、平面Ｐに沿った振動方向に直角な面に貼
着してある圧電素子４，４′に出力が生ずる。このとき
圧電素子４は又は４′を使用してダンピングをかける場
合もある。上記の圧電素子４，４′に生ずる出力はコリ
オリの力に比例し、従って入力角速度に比例する。この
出力を測定することによって入力角速度を知ることがで
きる。
ところで上記従来の振動ジャイロにあっては、第４図に
示すように、圧電素子３，３′，４，４′は両面に電極
３ａ，３′ａ，４ａ，４′ａを有するため、導電性金属
からなるビーム２の面上において、接着剤７を介して接
合されるのであるが、ビーム２の長手方向及びビーム面
と平行な方向に圧電素子３，３′，４，４′を位置決め
するのはきわめて煩雑な作業である。
示すように、圧電素子３，３′，４，４′は両面に電極
３ａ，３′ａ，４ａ，４′ａを有するため、導電性金属
からなるビーム２の面上において、接着剤７を介して接
合されるのであるが、ビーム２の長手方向及びビーム面
と平行な方向に圧電素子３，３′，４，４′を位置決め
するのはきわめて煩雑な作業である。
例えば、駆動用の圧電素子３の長手方向がビーム２の長
手方向に対し傾いた状態で接合されていると、印加電圧
による振動体の励振はビームに対して捩り力を生ぜし
め、振動体は第３図Ｐ面上での基本振動をし難くなる。
従って、結果的には検出圧電素子からの検出信号の精度
は低下し、振動ジャイロの性能は低いものとなってしま
う。
手方向に対し傾いた状態で接合されていると、印加電圧
による振動体の励振はビームに対して捩り力を生ぜし
め、振動体は第３図Ｐ面上での基本振動をし難くなる。
従って、結果的には検出圧電素子からの検出信号の精度
は低下し、振動ジャイロの性能は低いものとなってしま
う。
よって本考案は、上述した従来の問題点に鑑み、圧電素
子をビーム面の長手方向に対して平行に正確にかつ簡単
に貼着できるようにして、検出信号の精度を向上して性
能の良い振動ジャイロを提供することを目的としてい
る。
子をビーム面の長手方向に対して平行に正確にかつ簡単
に貼着できるようにして、検出信号の精度を向上して性
能の良い振動ジャイロを提供することを目的としてい
る。
上記目的を達成するため本考案により成された振動ジャ
イロは、断面が方形であるビームの一面に貼着した圧電
素子により振動体に屈曲振動を生じさせ、この振動体の
長手方向の中心軸の回りに与えた入力角速度によりコリ
オリの力を生じせしめ、この力を前記一面と直交する面
に貼着した他の圧電素子によって取り出し、前記入力角
速度を測定する振動ジャイロにおいて、前記ビームの圧
電素子貼着面の中央に、一定の幅及び深さを有する溝を
ビームの長手方向と平行にビームの全長に亘って形成
し、該溝内に前記圧電素子を嵌合貼着して位置決め固定
したことを特徴としている。
イロは、断面が方形であるビームの一面に貼着した圧電
素子により振動体に屈曲振動を生じさせ、この振動体の
長手方向の中心軸の回りに与えた入力角速度によりコリ
オリの力を生じせしめ、この力を前記一面と直交する面
に貼着した他の圧電素子によって取り出し、前記入力角
速度を測定する振動ジャイロにおいて、前記ビームの圧
電素子貼着面の中央に、一定の幅及び深さを有する溝を
ビームの長手方向と平行にビームの全長に亘って形成
し、該溝内に前記圧電素子を嵌合貼着して位置決め固定
したことを特徴としている。
上記構成において、圧電素子の位置決め固定がビームの
圧電素子貼着面の中央にビームの長手方向と平行に形成
された溝に嵌合貼着して行われているので、圧電素子が
ビームの長手方向に対して常に平行に正確に位置決めさ
れるようになる。よって、ビームの長手方向に対して圧
電素子が傾斜して取り付けられ、これが原因でビームに
捩り力を生じさせることがなくなる。
圧電素子貼着面の中央にビームの長手方向と平行に形成
された溝に嵌合貼着して行われているので、圧電素子が
ビームの長手方向に対して常に平行に正確に位置決めさ
れるようになる。よって、ビームの長手方向に対して圧
電素子が傾斜して取り付けられ、これが原因でビームに
捩り力を生じさせることがなくなる。
また、溝は一定の幅及び深さでビームの全長に亘って形
成されているので、ビームの一端から他端へ圧電素子貼
着面を例えば切削することによって溝を簡単に形成する
ことができ、しかもこの溝の形成により小さくなるビー
ムの断面積はビームの長手方向で変わることなく任意の
位置で等しい。
成されているので、ビームの一端から他端へ圧電素子貼
着面を例えば切削することによって溝を簡単に形成する
ことができ、しかもこの溝の形成により小さくなるビー
ムの断面積はビームの長手方向で変わることなく任意の
位置で等しい。
以下、本考案の実施例を図面に基づいて説明する。
第１図及び第２図は本考案による振動ジャイロの一実施
例を示し、図中、振動体１、ビーム２、圧電素子３，
３′，４，４′等の基本構成は第３図，第４図に示す従
来例と同様であるので、その詳細な説明は省略する。
例を示し、図中、振動体１、ビーム２、圧電素子３，
３′，４，４′等の基本構成は第３図，第４図に示す従
来例と同様であるので、その詳細な説明は省略する。
本実施例では、ビーム２の４つの側面である圧電素子貼
着面にビーム２の長手方向全長に亘って圧電素子を位置
決めするための溝２ａを形成している。この溝２ａは図
に示すように一定の幅ｗ、一定の深さｄを有するビーム
２の長手方向と平行な断面コ字状の溝であって、幅ｗは
貼着される板状圧電素子３，３′，４，４′のそれぞれ
の幅と略同一であり、深さｄはそれぞれの圧電素子３，
３′，４，４′の厚さｄ′に比べて小さい。従ってこの
位置決め部２ａ内に圧電素子３，３′，４，４′を嵌合
貼着すると、第２図に示すように圧電素子３，３′，
４，４′はその表面がビーム面より幾分突出した状態に
て、ビーム２の長手方向と平行に、かつビーム面と平行
に位置決め固定される。勿論、圧電素子３，３′，４，
４′の下面と位置決め部２ａの面との間には接着剤７を
介在させる。
着面にビーム２の長手方向全長に亘って圧電素子を位置
決めするための溝２ａを形成している。この溝２ａは図
に示すように一定の幅ｗ、一定の深さｄを有するビーム
２の長手方向と平行な断面コ字状の溝であって、幅ｗは
貼着される板状圧電素子３，３′，４，４′のそれぞれ
の幅と略同一であり、深さｄはそれぞれの圧電素子３，
３′，４，４′の厚さｄ′に比べて小さい。従ってこの
位置決め部２ａ内に圧電素子３，３′，４，４′を嵌合
貼着すると、第２図に示すように圧電素子３，３′，
４，４′はその表面がビーム面より幾分突出した状態に
て、ビーム２の長手方向と平行に、かつビーム面と平行
に位置決め固定される。勿論、圧電素子３，３′，４，
４′の下面と位置決め部２ａの面との間には接着剤７を
介在させる。
一般に、振動ジャイロの感度を良くするには、駆動側の
振幅を大きくし、振幅速度を上げることや、コリオリの
力を受けた時に検出面がよく歪むことが必要であるが、
上述のように、圧電素子の位置決めのためにビーム２に
その全長に亘って溝２ａが形成されることによって、溝
のないものに比べてビームの断面積が小さくなるので、
断面２次モーメントが減少してより歪み易くなり、感度
の向上が図られるようになる。
振幅を大きくし、振幅速度を上げることや、コリオリの
力を受けた時に検出面がよく歪むことが必要であるが、
上述のように、圧電素子の位置決めのためにビーム２に
その全長に亘って溝２ａが形成されることによって、溝
のないものに比べてビームの断面積が小さくなるので、
断面２次モーメントが減少してより歪み易くなり、感度
の向上が図られるようになる。
因みに、ビーム２のヤング率を2.1×１０５〔Ｎ／m
m2〕、圧電素子のヤング率を５×１０-4〔Ｎ／mm2〕、
ビームの幅を２〔mm〕、高さを1.5〔mm〕、溝の深さ
（圧電素子の厚さ）を0.2〔mm〕としたとき、溝のある
もののビームのたわみ量はないものの1.０９倍になり、
約１０％たわみ量が増加するよいになる。
m2〕、圧電素子のヤング率を５×１０-4〔Ｎ／mm2〕、
ビームの幅を２〔mm〕、高さを1.5〔mm〕、溝の深さ
（圧電素子の厚さ）を0.2〔mm〕としたとき、溝のある
もののビームのたわみ量はないものの1.０９倍になり、
約１０％たわみ量が増加するよいになる。
以上説明したように本発明によれば、圧電素子がビーム
の長手方向に対して常に平行に正確に位置決めされ、ビ
ームの長手方向に対して傾斜して取り付けられてビーム
に捩り力を生じさせることがなくなるので、捩り力が原
因で検出信号の精度が低下して性能低下を招くことがな
く、性能の良い振動ジャイロが得られるようになる。
の長手方向に対して常に平行に正確に位置決めされ、ビ
ームの長手方向に対して傾斜して取り付けられてビーム
に捩り力を生じさせることがなくなるので、捩り力が原
因で検出信号の精度が低下して性能低下を招くことがな
く、性能の良い振動ジャイロが得られるようになる。
また、ビームの一端から他端へ圧電素子貼着面を例えば
切削することによって位置決め用の溝を簡単に形成する
ことができるので、溝の形成により大きなコストアップ
を招くことがなく、またビームの断面積はビームの長手
方向の任意の位置で等しいので溝の形成が振動ジャイロ
の特性に悪影響を及ぼすことがなく、むしろ断面積が小
さくなってたわみ易くなることにより感度が向上するよ
うになるという効果も得られるようになる。
切削することによって位置決め用の溝を簡単に形成する
ことができるので、溝の形成により大きなコストアップ
を招くことがなく、またビームの断面積はビームの長手
方向の任意の位置で等しいので溝の形成が振動ジャイロ
の特性に悪影響を及ぼすことがなく、むしろ断面積が小
さくなってたわみ易くなることにより感度が向上するよ
うになるという効果も得られるようになる。
第１図は本考案による振動ジャイロの実施例の要部を示
す斜視図、第２図は第１図の実施例の断面図、第３図は
振動ジャイロの基本原理を説明するための斜視図、第４
図は従来の要部の断面図である。 １…振動体、２…ビーム、２ａ…溝、３，３′，４，
４′…圧電素子、Ｏ…中心軸。
す斜視図、第２図は第１図の実施例の断面図、第３図は
振動ジャイロの基本原理を説明するための斜視図、第４
図は従来の要部の断面図である。 １…振動体、２…ビーム、２ａ…溝、３，３′，４，
４′…圧電素子、Ｏ…中心軸。
Claims (1)
- 【請求項１】断面が方形であるビームの一面に貼着した
圧電素子により振動体に屈曲振動を生じさせ、この振動
体の長手方向の中心軸の回りに与えた入力角速度により
コリオリの力を生じせしめ、この力を前記一面と直交す
る面に貼着した他の圧電素子によって取り出し、前記入
力角速度を測定する振動ジャイロにおいて、 前記ビームの圧電素子貼着面の中央に、一定の幅及び深
さを有する溝をビームの長手方向と平行にビームの全長
に亘って形成し、該溝内に前記圧電素子を嵌合貼着して
位置決め固定した ことを特徴とする振動ジャイロ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1985015835U JPH0617044Y2 (ja) | 1985-02-08 | 1985-02-08 | 振動ジャイロ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1985015835U JPH0617044Y2 (ja) | 1985-02-08 | 1985-02-08 | 振動ジャイロ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61132711U JPS61132711U (ja) | 1986-08-19 |
| JPH0617044Y2 true JPH0617044Y2 (ja) | 1994-05-02 |
Family
ID=30502042
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1985015835U Expired - Lifetime JPH0617044Y2 (ja) | 1985-02-08 | 1985-02-08 | 振動ジャイロ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0617044Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2016009012A (ja) * | 2014-06-23 | 2016-01-18 | オリンパス株式会社 | 光走査用アクチュエータ、光走査装置、及び光走査用アクチュエータの製造方法 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59115349U (ja) * | 1983-01-24 | 1984-08-03 | ジエコ−株式会社 | 角速度センサ |
-
1985
- 1985-02-08 JP JP1985015835U patent/JPH0617044Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61132711U (ja) | 1986-08-19 |
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