JPH0617009B2 - グリーンシート裁断吸着装置とグリーンシート裁断積層方法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、グリーンシートを所定の大きさに裁断し、吸
着する装置と、これを使用してグリーンシートを裁断
し、積層する方法に関する。

［従来の技術］ 積層セラミックコンデンサや多層配線基板の製造工程で
は、所定のパターンで電極や回路配線を印刷したグリー
ンシートを裁断し、積層する工程が実施される。この工
程の一例を第４図により説明する。

すなわち、ポリエチレンテレフタレートフィルム等から
なる長尺なキャリアテープ１上にグリーンシート２が形
成された二層のテープを供給ロール３から繰り出し、張
力調整用のテンションロール４を経て、分離ロール５で
上記キャリアテープ１からグリーンシート２を剥離す
る。その後、キャリアテープ１は、テンションロール６
を経て巻取りロール７に巻き取られる。キャリアテープ
１から分離されたグリーンシート２は、キャリアベルト
８の上に載せられ、ここで裁断吸着装置１１により、所
定の形状に裁断され、別の積層個所９に搬送されて積層
される。裁断された後のブランクシート２ａは、ブラン
ク容器１０に収納される。

第５図と第６図に、上記裁断吸着装置１１とこれによる
グリーンシートの裁断、積層工程の詳細が示してある。
この裁断吸着装置１１は、吸着チャック部１２を有し、
その先端面は、裁断したグリーンシート２を吸着する吸
着面１４となっていて、図示の易合は、多数の通孔１５
ａ、１５ａ…を有するノズル板１５と多孔質板１６との
張り合わせによる二層の隔壁により、上記吸着面１４が
形成されている。この吸着チャック部１２には、上記吸
着面１４の背面を負圧にするため、図示されてない真空
配管系に接続されたダクト１３が接続されている。さら
に、カッタ１７が上記吸着面１４を囲むように、吸着チ
ャック部１２の先端部からグリーンシート２を裁断する
形状に従って突設されている。

この裁断吸着装置１１は、第５図で示すように、キャリ
アベルト８の上から下降することにより、同ベルト８の
上に載ったグリーンシート２にカッタ１７の先端が当
り、グリーンシート２を所定の形状に切断する。その
後、吸着チャック部１２が負圧となり、吸着面１４に裁
断されたグリーンシート２が吸引、保持される。その
後、裁断吸着装置１１が別の積層個所９に移動し、その
定められた位置に下降し、そこで吸着チャック部１２の
負圧が解除されて、グリーンシート２が開放される。こ
れを繰り返すことによって、所定の形状に裁断された複
数枚のグリーンシート２、２…が順次積層される。

［発明が解決しようとする課題］ しかしながら、上記従来のグリーンシート裁断吸着装置
１１とこれを使用した積層方法では、次のような問題が
あった。

第一に、カッタ１７が吸着チャック部１２に固定されて
いるため、第５図で示すように、キャリアベルト８の上
に載ったグリーンシート２にカッタ１７の先端が当たっ
てグリーンシート２を裁断する時に、グリーンシート２
に吸着面１４を近接させるため、カッタ１７の刃先を或
る程度深く切り込ませる必要があり、この時カッタ１７
の先端がキャリアシート８から強い衝撃を受ける。この
ため、カッタ１７の刃先が損傷することが多々あり、カ
ッタ１７の刃先の寿命が平均的に短く、その信頼性が低
い。

第二に、第５図で示すように、キャリアベルト８の上に
載ったグリーンシート２がカッタ１７で裁断されたと
き、吸着チャック部１２の吸着面１４と裁断されたグリ
ーンシート２との間に或る程度の距離が残されるため、
吸着しにくく、吸着チャック部１２の負圧を高くして、
強力に吸着しようとすると、吸着面１４の特定の個所に
無理な圧力がかかって、グリーンシート２の延びや破損
が生じやすい。また逆に、吸着チャック部２の負圧を低
くすると、吸着ミスによる脱落等のトラブルを招くこと
がある。特に、今日の積層セラミックコンデンサの小型
化、大容量化、多層配線基板の小型化、高密度化に伴
い、グリーンシート２が極めて薄くなっており、こうし
たトラブルが頻繁に起こりやすい状況となっている。

第三に、第６図に示すように、裁断されたグリーンシー
ト２を既に積層されたグリーンシート２、２…の上にさ
らに積層するとき、第７図に拡大して示すように、上記
カッタ１７の刃先が既に積層された他のグリーンシート
２、２…の側辺に沿って差し込まれ、裁断吸着装置１１
の上昇時に、第８図で示すように、上記グリーンシート
２、２…の側辺に沿って抜けるように上昇する。これが
何度か繰り返されると、グリーンシート２、２…の側辺
がカッタ１７の摩擦を受けてささくれ立ち、さらに第８
図に示すように、側辺がめくれ上がる。このため、グリ
ーンシート２、２…の延びや側辺の破損、さらにはグリ
ーンシート２、２…の側辺部の間にグリーンシートの微
細な破片２ｂ，２ｂ…が挟まり込むといった事態が多々
生じる。また、カッタ１７の刃先が邪魔になって、グリ
ーンシート２を吸引を解除しても、その吸着状態の解除
が円滑になされないことがしばしばある。これらが、製
品の不良や特性の不安定等、様々なトラブルを招く原因
となる。

そこで、本発明は、上記従来のグリーンシート裁断吸着
装置とこれを用いた裁断積層方法の上記問題を解消する
ことを目的とする。

［課題を解決するための手段］ すなわち、本発明では、上記目的を達成するため、下面
がグリーンシート２を吸着保持する吸着面１４となった
吸着チャック部１２及びその周囲から下方に突設された
グリーンシート２を裁断するカッタ１７からなるグリー
ンシート裁断吸着装置において、上記カッタ１７が吸着
チャック部１２に対して上下動自在に取り付けられると
共に、同カッタ１７に下方への弾力を付勢されたグリー
ンシート裁断吸着装置を提供する。

さらに同様にして、下面がグリーンシートを吸着保持す
る吸着面１４となった吸着チャック部１２の周囲から下
方に突設されたカッタ１７を上記グリーンシート２に当
てて、同シートから所定の形状のグリーンシート２を切
り出し、この切り出されたグリーンシート２を上記吸着
チャック部の下面に吸着保持して、所定の積層個所９ま
で搬送し、そこで吸着状態を開放して置くことを繰り返
し、複数枚のグリーンシート２、２…を順次積層するグ
リーンシート裁断積層方法において、上記カッタ１７が
吸着チャック部１２に対して上下動自在に取り付けられ
ると共に、同カッタ１７に下方への弾力が付勢された裁
断吸着装置１１を用いて裁断し、裁断したグリーンシー
ト２を吸着、搬送して積層する際に、その積層個所９の
周囲に設けたストッパ１８で、上記カッタ１７の下動を
停止して、その刃先を既に積層されたグリーンシート
２、２…より上に退避させるグリーンシート裁断積層方
法を提供する。

［作 用］ 本発明の上記セラミックシート裁断吸着装置と、これを
使用した裁断方法によれば、カッタ１７が吸着チャック
部１２に対して上下動自在に取り付けられ、かつ、これ
に下方の弾力が付勢されているため、第１図で示すよう
に、キャリアベルト８の上のグリーンシート２にカッタ
１７の刃先に当たったとき、このカッタ１７に付勢され
た弾力がキャリアベルト８から受ける反力を吸収し、第
２図で示すように、チャック部１２のみが上記弾力に抗
して押し下げられる。この結果、吸着チャック部１２の
吸着面１４が上記カッタ１７により切り取られたグリー
ンシート２にほぼ接する状態となる。これにより、上記
吸着面１４にグリーンシート２を、低い負圧で無理な
く、確実に吸引、保持できる。

さらに、本発明の上記セラミックシート裁断方法によれ
ば、上記のようにして吸着チャック部１２の吸着面１４
に吸着保持したグリーンシート２を、その積層個所９に
搬送し、積層する際、ストッパ１８により、カッタ１７
のみがそれに付勢された弾力に抗して停止され、その刃
先が既に積層されたグリーンシート２、２…の上方に退
避される。このため、カッタ１７の刃先が既に積層され
たグリーンシート２、２…の側辺に接触せず、これを摩
擦したり、めくれ上げたりしない。

［実 施 例］ 次に、本考案の実施例について具体的に説明する。

まず、第１図〜第３図により、グリーンシート裁断吸着
装置の構成について説明すると、これらの図面におい
て、第５図と第６図に示した従来のグリーンシート裁断
吸着装置と同じ部分については、同じ符号を示してい
る。よって、以下には、第５図と第６図に示した従来例
と異なる点を中心として説明する。

この実施例では、吸着チャック部１２を囲むようにカッ
タ１７をスライド自在に保持するガイドホルダ１９、１
９を有し、これらガイドホルダ１９、１９にカッタ１
７、１７が図に於て上下動自在に装着されている。な
お、このカッタ１７、１７の刃先が、吸着チャック部１
２の吸着面１４を囲むように配置されていることは、従
来のものと同じである。

このカッタ１７、１７には、上記ガイドホルダ１９、１
９内に収納された圧縮性のバネ２１、２１により、図に
おいて下方へ弾力が付勢されていると共に、各々ストッ
パ２０、２０が付設している。この構造により、カッタ
１７、１７が自由な状態にあるとき、上記バネ２１、２
１の弾力に押されたカッタ１７、１７が、上記ストッパ
２０、２０により停止されて、その刃先が吸着チャック
部１２の吸着面１４から僅かに突設している。また、こ
のカッタ１７、１７は、これを押し上げると、その刃先
が上記吸着面１４により僅かに退避するところまで、上
記バネ２１、２１の弾力に抗してスライドさせることが
できる。

次に、既に述べたような第４図に示すグリーンシート２
の裁断積層工程において、上記裁断吸着装置１１を使用
してグリーンシート２を裁断し、積層する方法の具体的
な実施例について述べる。

この方法を実施する場合には、第３図で示すように、グ
リーンシート２、２…の積層個所９の周囲に、上記カッ
タ１７、１７のストッパ受２２、２２の位置に対応する
よう、ストッパ１８、１８を突設しておく。このストッ
パ１８、１８は、グリーンシート２の最も上の層を積層
するとき、その下の層のグリーンシート２にカッタ１
７、１７の刃先が達しないようカッタ１７、１７を停止
できるだけの高さとする。

まず、第１図で示すように、キャリアベルト８の上から
この裁断吸着装置を下降させると、同ベルト８の上に載
ったグリーンシート２にカッタ１７の先端が当り、グリ
ーンシート２を所定の形状に切断する。このとき、バネ
２１の弾力がキャリアベルト８から受ける反力を吸収
し、第２図で示すように、チャック部１２のみが上記弾
力に抗して押し下げられる。この結果、吸着チャック部
１２の吸着面１４が上記カッタ１７により切り取られた
グリーンシート２にほぼ接する。そして、吸着チャック
部１２を負圧とすることにより、裁断されたグリーンシ
ート２が吸着面１４に吸引、保持される。

その後、裁断吸着装置１１が別の積層個所９に移動し、
その定められた位置に下降し、そこでストッパ１８によ
り、カッタ１７のみがバネ２１の弾力に抗して停止さ
れ、吸着チャック部１２の吸着面１４の上方に残され
る。このため、カッタ１７の刃先が既に積層されたグリ
ーンシート２、２…の側辺と接触するのが避けられる。
そして、吸着チャック部１２の負圧が解除されて、グリ
ーンシート２が開放され、そこに置かれる。

以上を何度か繰り返すことによって、所定の形状に裁断
された複数枚のグリーンシート２、２…が順次積層され
る。

［発明の効果］ 以上説明した通り、本発明のグリーンシート裁断吸着装
置とこれを使用したグリーンシート裁断積層方法によれ
ば、グリーンシートの確実な裁断、吸着、とその解除が
可能であり、円滑な工程の実施と製品の品質の向上を図
ることができる。さらに、本発明のグリーンシート裁断
積層方法によれば、上記の効果に加え、特に積層体の周
辺部の品質低下を防止することにより、積層体の歩留り
と品質の向上が図れる効果が得られる。

【図面の簡単な説明】 第１図〜第３図は、本発明の実施例を工程順に示したグ
リーンシート裁断吸着装置の縦断面図、第４図は、グリ
ーンシートの裁断積層工程を示す説明図、第５図と第６
図は、従来例を工程順に示したグリーンシート裁断吸着
装置の縦断面図、第７図と第８図は、同従来例の要部拡
大縦断面図である。 ２……グリーンシート、９……積層個所、１２……吸着
チャック部、１４……吸着面、１７……カッタ、１８…
…ストッパ

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】下面がグリーンシート２を吸着保持する吸
   着面１４となった吸着チャック部１２及びその周囲から
   下方に突設されたグリーンシート２を裁断するカッタ１
   ７からなるグリーンシート裁断吸着装置において、上記
   カッタ１７が吸着チャック部１２に対して上下動自在に
   取り付けられると共に、同カッタ１７に下方への弾力が
   付勢されていることを特徴とするグリーンシート裁断吸
   着装置。
2. 【請求項２】下面がグリーンシートを吸着保持する吸着
   面１４となった吸着チャック部１２の周囲から下方に突
   設されたカッタ１７を上記グリーンシート２に当てて、
   同シートから所定の形状のグリーンシート２を切り出
   し、この切り出されたグリーンシート２を上記吸着チャ
   ック部の下面に吸着保持して、所定の積層個所９まで搬
   送し、そこで吸着状態を開放して置くことを繰り返し、
   複数枚のグリーンシート２、２…を順次積層するグリー
   ンシート裁断積層方法において、上記カッタ１７が吸着
   チャック部１２に対して上下動自在に取り付けられると
   共に、同カッタ１７に下方への弾力が付勢されたグリー
   ンシート裁断吸着装置１１を用いて裁断し、裁断したグ
   リーンシート２を吸着して搬送し、積層する際に、その
   積層個所９の周囲に設けたストッパ１８で、上記カッタ
   １７の下動を停止して、その刃先を既に積層されたグリ
   ーンシート２、２…より上に退避させることを特徴とす
   るグリーンシート裁断積層方法。