JPH06162782A - 半導体集積回路装置 - Google Patents

半導体集積回路装置

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JPH06162782A
JPH06162782A JP4330933A JP33093392A JPH06162782A JP H06162782 A JPH06162782 A JP H06162782A JP 4330933 A JP4330933 A JP 4330933A JP 33093392 A JP33093392 A JP 33093392A JP H06162782 A JPH06162782 A JP H06162782A
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circuit
voltage
level
operating voltage
input buffer
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JP4330933A
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English (en)
Inventor
Nobuo Tanba
展雄 丹場
Masanori Odaka
雅則 小高
Toshiro Hiramoto
俊郎 平本
Masayuki Obayashi
正幸 大林
Kayoko Saito
佳代子 斉藤
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Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Publication date
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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L27/00Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
    • H01L27/02Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having at least one potential-jump barrier or surface barrier; including integrated passive circuit elements with at least one potential-jump barrier or surface barrier
    • H01L27/04Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having at least one potential-jump barrier or surface barrier; including integrated passive circuit elements with at least one potential-jump barrier or surface barrier the substrate being a semiconductor body
    • H01L27/10Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having at least one potential-jump barrier or surface barrier; including integrated passive circuit elements with at least one potential-jump barrier or surface barrier the substrate being a semiconductor body including a plurality of individual components in a repetitive configuration
    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03KPULSE TECHNIQUE
    • H03K19/00Logic circuits, i.e. having at least two inputs acting on one output; Inverting circuits
    • H03K19/0175Coupling arrangements; Interface arrangements
    • H03K19/017509Interface arrangements
    • H03K19/017518Interface arrangements using a combination of bipolar and field effect transistors [BIFET]
    • H03K19/017527Interface arrangements using a combination of bipolar and field effect transistors [BIFET] with at least one differential stage

Abstract

(57)【要約】 【目的】 簡単な構成により、動作の高速化と低消費電
力化を可能にした半導体集積回路装置を提供する。 【構成】 差動トランジスタが非飽和領域で動作するよ
うな範囲で出力信号レベルを増幅させる入力バッファを
用いてECLレベルの入力信号を受けて、上記入力バッ
ファの動作電圧より絶対値的に小さくされた動作電圧及
び回路の接地電位により動作させられるCMOS回路又
はBi−CMOS回路に供給する。 【効果】 入力バッファ及びその出力信号を受ける初段
のCMOS回路又はBi−CMOS回路が信号伝達とレ
ベル変換を兼ねるので、簡単な構成により動作の高速化
と低消費電力化が可能になる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、半導体集積回路装置
に関し、例えばECL(エミッタ・カップルド・ロジッ
ク)インターフェイス構成のBi−CMOS(バイポー
ラ型トランジスタとCMOS回路との複合回路)構成の
スタティック型RAM(ランダム・アクセス・メモリ)
に利用して有効な技術に関するものである。
【0002】
【従来の技術】メモリセルをCMOS回路により構成す
ることにより、高集積化と低消費電力化を図りつつ、入
出力回路にECL回路を用いたBi−CMOS構成のス
タティック型RAMがある。このようなBi−CMOS
構成のスタティック型RAMの例として、アイ・エス・
エス・シー・シー ダイジェスト オブ テクニカルペ
ーパーズ(ISSCC Digest of Technical Papers,pp.32-3
3;Feb.,1989)がある。このスタティック型RAMでは、
ECLレベルをCMOSレベルに変換するレベル変換回
路を必要とするものである。上記レベル変換回路を省略
して高速化を図ったものとして、特開平3−15279
8号公報がある。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】上記特開平3−152
798号公報のものでは、レベル変換回路を省略させる
ために、ECLレベルを受ける入力バッファの出力信号
の信号振幅を、ハイレベルHが−0.8Vに、ロウレベ
ルLを−2.8Vのように信号振幅を増幅させるもので
ある。このため、−0.8Vと−1.6VのようなEC
Lレベルを受ける差動回路では、参照電圧VBBが−
1.2Vのような中点電圧が用いられる。したがって、
上記差動トランジスタ回路により−2Vのようなロウレ
ベルの出力信号を形成する必要があり、オン状態にされ
るトランジスタが飽和領域で動作することとなって入力
バッファの動作が遅くなってしまう。
【0004】入力バッファを構成する差動トランジスタ
回路において、トランジスタの飽和を防止するために、
入力信号レベルをレベルシフトして低下させることが考
えられる。この場合、ECLレベルの入力信号を受ける
ミッタフォロワ回路を設けることにより、差動トランジ
スタ回路に入力される信号レベルが、−0.8V〜1.
6Vから−1.6V〜−2.4Vのようなレベルにシフ
トさせる。これにより、参照電圧VBBも−2.0Vに
低くすることができる。しかし、この程度のレベルシフ
トでは、差動トランジスタのベースとコレクタとに順方
向電圧が印加されることとなり、トランジスタの飽和は
免れない。したがって、入力バッファにおいてECL回
路の高速化を維持するためには、2段のエミッタフォロ
ワ回路を用いる等していっそうのレベルシフトを行う必
要がある。
【0005】上記のように2段のエミッタフォロワ回路
を設けるものとしても、レベル変換回路が不要なる反
面、レベルシフト回路が必要になる。このため、レベル
シフト回路が増加する分、高速化が期待通りには行えな
いばかりか、消費電流も増加する。さらに、上記のよう
にELCレベルをレベルシフトすると、差動トランジス
タ回路において、−2.4Vの入力レベルに対して、差
動トランジスタのエミッタ電位は、−3.2V以下であ
る必要がある。したがって、ECL回路側でラッチ回路
を構成する等のために、差動トランジスタ回路をカスケ
ード接続する論理構成を採るものでは、下側の差動トラ
ンジスタのエミッタ電位が−4V程度であることが必要
となり、そこに接続される定電流源の動作電圧を考える
と、動作下限電圧が最低でも−4.5V程度必要とな
る。このため、ECL回路側での動作下限電圧が制限さ
れてしまうという問題が生じる。
【0006】前記公報の回路では、ワードドライバとし
てCMOS回路又はBi−CMOS回路の動作電圧とし
て、電源電圧VSSとVDDを用いるようにするもので
ある。この構成では、CMOS回路側において、Pチャ
ンネル型MOSFETが形成されるN型ウェル領域の電
位にVCCのような回路の接地電位を用いると、Pチャ
ンネル型MOSFETのソース電位が−0.8Vのよう
なVDDであるためにバックバイアスがかかり、基板効
果によりしきい値電圧が大きくなり、その分動作速度が
遅くなってしまう。この基板効果の影響を無くすため
に、N型ウェル領域に回路の基準電位VDDを供給する
と、VCCとの絶縁分離をうまくしないとラッチアップ
が生じてしまうというやっかいな問題が生じる。
【0007】この発明の目的は、簡単な構成により、動
作の高速化と低消費電力化を可能にした半導体集積回路
装置を提供することにある。この発明の前記ならびにそ
のほかの目的と新規な特徴は、本明細書の記述および添
付図面から明らかになるであろう。
【0008】
【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち代表的なものの概要を簡単に説明すれば、下
記の通りである。すなわち、差動トランジスタが非飽和
領域で動作するような範囲で出力信号レベルを増幅させ
る入力バッファを用いてECLレベルの入力信号を受け
て、上記入力バッファの動作電圧より絶対値的に小さく
された動作電圧及び回路の接地電位により動作させられ
るCMOS回路又はBi−CMOS回路に供給する。
【0009】
【作用】上記した手段によれば、入力バッファ及びその
出力信号を受ける初段のCMOS回路又はBi−CMO
S回路が信号伝達とレベル変換を兼ねるので、簡単な構
成により動作の高速化と低消費電力化が可能になる。
【0010】
【実施例】図1には、この発明が適用されたスタティッ
ク型RAM(ランダム・アクセス・メモリ)の一実施例
の概略ブロック図が示されている。この実施例では、1
つのメモリセルに着目した信号伝達経路の各回路が示さ
れている。同図の各回路ブロックは、公知のBi−CM
OS回路の製造技術により、単結晶シリコンのような1
個の半導体基板上において形成される。
【0011】ECLレベルのアドレス信号Aiと制御信
号Ciは、入力バッファに供給される。入力バッファ
は、ECLレベルの入力信号を取り込み、それを後述す
るように信号増幅して、アドレス信号はデコーダに供給
される。制御信号は、同図では省略されている制御回路
に供給され、書き込み動作/読み出し動作等の動作モー
ドの設定に用いられる。デコーダは、アドレス信号を解
読して、メモリセルの選択信号を形成する。
【0012】書き込みモードでは、選択されたメモリセ
ルに対して、データ端子Dから入力されたECLレベル
の書き込み信号が、データバッファを通して取り込ま
れ、ここでレベル増幅されてメモリセルに伝えられる。
読み出しモードでは、選択されたメモリセルからの読み
出し信号が、データバッファによりECLレベルに変換
されて、データ端子Dから出力される。それ故、データ
バッファは、書き込み回路を含むデータ入力回路とプリ
アンプやセンスアンプを含むデータ出力回路から構成さ
れる。
【0013】入力バッファは、回路の接地電位GNDと
ECL(エミッタ・カップルド・ロジック)回路の動作
電圧に対応した電源電圧VEEにより動作させられる。
これに対して、デコーダやメモリセルは、それより絶対
値的に小さくされた内部電圧VSS及びVEMにより動
作させられる。この内部電圧VSSやVEMは、入力バ
ッファの出力信号VOH/VOLから決められる。すな
わち、VSSは、絶対値的にVOL−Vth(VthはMO
SFETのしきい値電圧)より小さくされる。同様に、
VEMは、絶対値的にVSS〜VSS−Vth(VSS−
2Vth)より小さくされる。
【0014】図2には、上記各回路ブロックの信号レベ
ルの一実施例の波形図が示されている。ECLの入力レ
ベルは、ハイレベル/ロウレベルが−0.8V/−1.
6である。これに対して、入力バッファの出力信号のハ
イレベルVOHは、上記ECLのハイレベルと同様に−
0.8Vにされる。これに対して、ロウレベルVOL
は、−2.0Vまで絶対値的に大きくされる。この理由
は、上記ECLレベルの参照電圧VBBが−1.2Vで
あるので、上記入力バッファ内に設けられた差動トラン
ジスタのコレクタ電位が上記ベース電位と同電位となる
−1.2Vにし、上記差動トランジスタの非飽和領域で
の動作を確保する。上記差動トランジスタの出力信号を
エミッタフォロワ回路を通して出力させることより、−
2.0VのようなロウレベルVOLを得ることができ
る。
【0015】上記のようなロウレベルVOLに対応し
て、デコーダの動作電圧VSSは、特に制限されない
が、−2.5Vのような電圧に設定される。これより、
デコーダを構成するCMOS回路(相補型MOS回路)
において、Nチャンネル型MOSFETのしきい値電圧
が0.6Vのときでも、Nチャンネル型MOSFETを
オフ状態にすることができる。
【0016】上記テゴーダは、アドレス信号を解読して
メモリセルのワード線又はデータ線の選択信号を形成す
ることの他、同時に増幅動作を行うようにされる。すな
わち、上記デコーダの出力信号は、同図に示すように、
そのハイレベルが上記ECLレベルの入力信号や入力バ
ッファの信号信号のハイレベルと同様に−0.8Vであ
るが、そのロウレベルが−2.5Vのように絶対値的に
大きくされる。この理由は、後述するメモリセルの動作
電圧に対応させるものである。メモリセルの動作電圧V
EMを大きくすると、その分読み出し信号が大きくなっ
て高速読み出しが有利となる。
【0017】図3には、図2に示された上記入力バッフ
ァ、デコーダ及びメモリセルの一実施例の具体的回路図
が示されている。同図において、Pチャンネル型MOS
FETは、そのゲートに丸を付することにより、Nチャ
ンネル型MOSFETと区別される。以下の説明におい
て、図面が複雑化されるのを防ぐためにトランジスタや
MOSFET等の回路素子に付された記号が、他の図面
と一部重複しているが、それぞれは別個の回路機能を持
つものであると理解されたい。
【0018】入力信号ECL1〜ECL3は、ECLレ
ベルの入力信号である。特に制限されないが、この実施
例では、入力バッファに論理機能を合わせ持つようにさ
せるために、言い換えるならば、入力バッファにプリデ
コード機能が合わせ持たされる。上記入力信号ECL1
〜ECL3は、並列形態にされたNPN型のバイポーラ
トランジスタT1〜T3のベースに供給される。これら
並列形態のトランジスタT1〜T3に対して差動形態に
されたNPN型のバイポーラトランジスタT4が設けら
れる。このトランジスタT4のベースには、入力レベル
に対応した参照電圧VBBが供給される。
【0019】上記並列形態のトランジスタT1〜T3の
コレクタとトランジスタT4のコレクタには、負荷抵抗
R1,R2がそれぞれ設けられる。そして、上記のよう
な差動形態のトランジスタT1〜T4の共通化されたエ
ミッタには、定電流源ICSが設けられる。この実施例
の入力バッファは、ECL回路と同様な回路構成にされ
るが、定電流ICSと抵抗R1,R2により形成される
出力信号(ICS×R1)又は(ICS×R2)が、ト
ランジスタT4が飽和領域で動作しないことを条件にし
て、通常のECLレベルより大きく形成される。すなわ
ち、後述するようなCMOS回路を直接駆動できるよう
に比較的大きく設定される。なお、CMOS回路とは、
Pチャンネル型MOSFETのゲートとNチャンネル型
MOSFETのゲートとが結合され、上記Pチャンネル
型MOSFETとNチャンネル型MOSFETが共通結
合されたゲートに供給される入力信号に応答して、相補
的に動作する回路とされる。
【0020】したがって、前記のように−0.8V/−
1.6VのECLレベルに対応した参照電圧VBBが−
1.2Vに設定され、上記のようにトランジスタT4が
非飽和領域で動作を維持できる最大電圧となるように、
コレクタ電圧(ICS×R2)は−1.2Vにされる。
【0021】上記差動トランジスタT1〜T4を含む電
流スイッチ回路のコレクタ抵抗R1,R2により形成さ
れる出力信号のうち、トランジスタT4のコレクタ出力
信号がエミッタフォロワトランジスタT5と定電流源I
EFからなるエミッタフォロワ回路を通して出力され
る。これにより、入力バッファの出力信号VOH/VO
Lは、エミッタフォロワ回路でのレベルシフト動作によ
り、0V/−1.2Vから−0.8V/−2Vとなる。
上記の入力バッファは、低消費電力化のために低電圧化
された−3.6Vのような電源電圧VEEにより動作さ
せられる。
【0022】デコーダは、CMOS回路とバイポーラ型
トランジスタを出力素子としたBi−CMOS回路から
構成される。特に制限されないが、Pチャンネル型MO
SFETQ1〜Q3と、Nチャンネル型MOSFETQ
4〜Q6からなる3入力のCMOSナンドゲート回路の
1つの入力端子に上記入力バッファの出力信号が供給さ
れる。他の2つの入力端子にも、上記同様なプリデコー
ダを兼ねた入力バッファの出力信号が供給される。この
CMOSナンドゲート回路の出力信号は、ハイレベル側
の出力信号を形成するNPN型バイポーラ出力トランジ
スタT6のベースに供給される。このトランジスタT6
のエミッタ側には、上記入力バッファの出力信号をその
ゲートに受ける並列形態のNチャンネル型MOSFET
Q7〜Q9が設けられる。
【0023】上記デコーダは、入力バッファの電源電圧
VEEに比べて絶対値的に小さくされた内部電圧VSS
により動作させられる。この動作電圧VSSは、上記の
ような入力バッファからのロウレベルの出力信号VOL
により、Nチャンネル型MOSFETQ4〜Q9をオフ
状態にすることができる−2.5Vのような低電圧化さ
れた電圧にされる。すなわち、Nチャンネル型MOSF
ETのゲートに供給される入力バッファからのロウレベ
ルの出力信号VOLと、Nチャンネル型MOSFETの
ソースに供給される動作電圧VSSとの差電圧が、Nチ
ャンネル型MOSFETのきい値電圧以下にされる。こ
れにより、Nチャンネル型MOSFETQ4〜Q9が、
0.6Vのようなしきい値電圧を持つ場合でも、上記入
力バッファのロウレベルの出力信号VOLによりオフ状
態にできる。
【0024】これに対して、Pチャンネル型MOSFE
Tは上記−0.8Vのようなハイレベルにより、実質的
にオフ状態になるようにNチャンネル型MOSFETQ
4〜Q9に比べてしきい値電圧が大きくされる。しかし
ながら、デコーダの出力信号のハイレベルは、トランジ
スタT6を通して出力させるものであり、Pチャンネル
型MOSFETQ1〜Q3は、トランジスタT6のベー
ス電流を確保すればよい。したがって、Pチャンネル型
MOSFETのしきい値電圧を比較的大きくして、その
電流駆動能力が低くなっても実質的には問題ない。
【0025】デコーダは、バイポーラ型トランジスタT
6により出力ハイレベルを形成するので、−0.8Vの
ようなハイレベルと、動作電圧VSSに対応した−2.
5Vのようなロウレベルからなるメモリセルの選択信号
(同図では、ワード線Wの選択信号)を形成することに
なる。
【0026】メモリセルは、Pチャンネル型MOSFE
TQ12,Q13とNチャンネル型MOSFETQ1
4,Q15からなる2つのCMOSインバータ回路の入
力と出力とが交差接続されたCMOSラッチ回路と、そ
の入出力ノードと相補データ線DT,DBとの間に設け
られたアドレス選択用のNチャンネル型伝送ゲートMO
SFETQ10,Q11から構成される。メモリセルは
回路の接地電位GNDと内部で形成された電圧VEMに
より動作させられる。この電圧VEMは、前記のデコー
ダと同じ電圧VSSか、その差がMOSFETのいきい
値電圧以下にされる。したがって、VEMは、前記のよ
うな電圧レベルに対応して、−2.5V〜−3V程度に
される。
【0027】この実施例のメモリセルは、完全CMOS
構成のメモリセルを用いるものであるが、Pチャンネル
型MOSFETQ12,Q13に代えて、多結晶シリコ
ン層等からなる高抵抗負荷を用いるものであってもよ
い。この高抵抗負荷は、Nチャンネル型MOSFETQ
14,Q15のゲートに蓄積された記憶レベルが、Q1
4,Q15のドレインリーク電流によって失われない程
度の微小な電流を流すような高抵抗値にされる。それ
故、高抵抗負荷は、通常のレシオ型インバータ回路にお
ける負荷とは随分意味が異なる。このような高抵抗負荷
を用いた場合には、メモリセルのサイズ(専有面積)を
大幅に低減できる。しかしながら、メモリセルのロウレ
ベル側の動作電圧VEMが−2.5V〜−3Vのような
値にされると、メモリセルの動作が不安定となる場合が
あるため、完全CMOS型のメモリセルの利用が好まし
い。
【0028】このような構成により、図2の波形図から
も理解されるように、ECLレベルの入力信号により、
CMOS構成のメモリセルの選択動作を、レベル変換な
しに、しかも極めて簡単な構成により行わせることがで
きる。これにより、入力バッファのようなECL回路側
においても、−3.6Vのような下限電圧付近に低電圧
で使用できる。これより、消費電流の大半を占めるEC
L回路側での大幅な低消費電力化を図ることができる。
【0029】図4には、上記入力バッファの他の一実施
例の回路図が示されている。この実施例においては、上
記差動トランジスタT1〜T4からなる電流スイッチ回
路としての差動トランジスタ回路の負荷抵抗R1,R2
により形成される反転の出力信号と非反転の出力信号か
らなる相補信号がNPN型のエミッタフォロワバイポー
ラトランジスタT5,T7のベースにそれぞれ供給され
る。これらのエミッタフォロワトランジスタT5,T7
のエミッタには、それぞれ負荷としての定電流源IEF
1,IEF2を構成するMOSFETQ2とQ4が設け
られる。上記差動トランジスタ回路の反転出力信号に対
応したエミッタフォロワ出力信号は、上記エミッタフォ
ロワ出力トランジスタT7と定電流源IEF2との間に
設けられたアクティブプルダウン用のNチャンネル型M
OSFETQ3のゲートに供給される。
【0030】この構成を採ることにより、入力バッファ
の出力信号の立ち上がりを速くすることができる。すな
わち、入力バッファの出力信号がロウレベルからハイレ
ベルに変化するとき、Nチャンネル型MOSFETQ3
がオフ状態にされるので、トランジスタT7のエミッタ
電流は、その全部を容量性負荷であるデコーダの入力レ
ベルをロウレベルからハイレベルにチャージアップさせ
るのに用いることができるからである。
【0031】図5には、上記入力バッファの更に他の一
実施例の回路図が示されている。差動トランジスタ回路
の相補出力信号を受ける一対のNPN型エミッタフォロ
ワバイポーラトランジスタT5,T6は、ベースに供給
される上記差動トランジスタ回路の相補出力信号に対応
した相補的な出力信号を形成する。このことに着目し、
回路の簡素化と消費電流の削減のために、差動のスイッ
チMOSFETQ3とQ4を設けて、2つのエミッタフ
ォワロトランジスタT5,T6に対して共通化された定
電流源IEF1を構成するMOSFETQ2を用いるよ
うにするものである。上記差動のスイッチMOSFET
Q3とQ4のゲートには、互いに他方のエミッタフォロ
ワトランジスタT6,T5のベースに供給される入力信
号が供給されることによって相補的にオン状態/オフ状
態にスイッチ制御される。
【0032】例えば、差動トランジスタ回路の反転出力
がハイレベルで、非反転出力がロウレベルなら、このロ
ウレベルの出力信号を受けるエミッタフォロワトランジ
スタT6のソースに設けられたスイッチMOSFETQ
3が、反転出力信号のハイレベルによってオン状態とな
り、上記MOSFETQ2により形成された定電流をト
ランジスタT6側に流してロウレベルの出力信号を形成
する。このとき、反転出力信号のハイレベルに対応した
エミッタフォロワトランジスタT5のエミッタに設けら
れたスイッチMOSFETQ4は、上記ロウレベルの非
反転出力信号によりオフ状態にされる。それ故、エミッ
タフォロワトランジスタT5のエミッタ電流の全部が、
出力トランジスタQ6のベース電流として流れるので、
ワード線Wの充電電流が大きくなってワード線の立ち下
がりを高速にすることができる。
【0033】逆に、差動トランジスタ回路の反転出力信
号がロウレベルで、非反転出力がハイレベルなら、上記
ロウレベルの出力信号を受けるエミッタフォロワトラン
ジスタT5のエミッタに設けられたスイッチMOSFE
TQ4が、非反転出力信号のハイレベルによってオン状
態となり、上記定電流IEF1をトランジスタT5側に
流してロウレベルの出力信号を形成する。すなわち、こ
の定電流IEF1により出力段のMOSFETQ6を高
速にオフ状態にし、Pチャンネル型MOSFETQ7を
オン状態にする。このとき、非反転出力信号のハイレベ
ルに対応したトランジスタT6のエミッタに設けられた
スイッチMOSFETQ3は、上記ロウレベルの反転出
力信号によりオフ状態にされる。
【0034】この結果、エミッタフォロワトランジスタ
T6のエミッタ電流の全部が、NPN型バイポーラ出力
トランジスタT7のベース電流として用いることができ
からワード線Wの立ち上がりを高速にすることができ
る。また、MOSFETQ7のオン状態により、トラン
ジスタT7のベース電位は、最終的には回路の接地電位
になるので、出力段が2段のエミッタフォロワ回路によ
り構成されているにもかかわらず、出力信号のハイレベ
ルVOHを−0.8Vにすることができる。また、出力
信号のロウレベルは、縦列形態にされた2つのエミッタ
フォロワ回路を通して出力されるので、−2.8Vのよ
うに低くされる。
【0035】上記のように電源電圧VEEを−3.6V
とし、入力バッファの出力信号のロウレベルを−2.8
Vにした場合でも、アクティブプルダウン用のMOSF
ETQ6及び定電流源を構成するMOSFETQ5の直
列回路に約0.8V程度の電圧がかけられるからスイッ
チMOSFETQ6と定電流源MOSFETQ5を動作
させることができる。
【0036】なお、MOSFETQ5は、複数のワード
線に対して共通に用いるようにするものであってもよ
い。すなわち、MOSFETQ5をメモリアレイにおけ
る複数のワード線に共通に用いるようにすることによ
り、上記ハイレベルからロウレベルに変化するワード線
に対応したMOSFETQ6と他の非選択状態に置かれ
るワード線に対応した同様なMOSFETとが差動構成
となり、ハイレベルからロウレベルに変化するワード線
に対応したNチャンネル型MOSFETQ6のみが実質
的にオン状態になり、共通定電流源としてのMOSFE
TQ5により形成された定電流によるワード線の高速引
き抜きが行われる。そして、上記ワード線が所定のロウ
レベルまで引き抜かれると、上記MOSFETQ5によ
り形成された定電流は非選択ワード線に対応した出力ト
ランジスタQ6において分散されて流れるようにされ
る。
【0037】図6には、デコーダ回路の他の一実施例の
回路図が示されている。この実施例では、みかけ上デコ
ーダ回路の動作電圧として入力バッファと同じ電圧VE
Eが供給される。このときの電源電圧VEEは、−3.
6Vのような電圧にされる。これに対して、デコーダの
出力信号を−0.8V/−2.8Vにするために、NP
N型バイポーラ出力トランジスタT6のベース側に設け
られるCMOS回路のうち、出力端子と並列形態のNチ
ャンネル型MOSFETQ4〜Q6のドレインとの間
に、レベルシフト用のダイオードD1が設けられる。同
様に、出力トランジスタT6のエミッタとロウレベルの
出力信号を形成する並列形態のNチャンネル型MOSF
ETQ7〜Q9のドレインとの間にも、レベルシフト用
のダイオードD2が設けられる。
【0038】上記のような構成を採ることにより、後述
するような格別の電源回路を設けることなく、デコーダ
回路を動作させることができる。すなわち、上記のよう
なダイオードD1とD2の挿入によって、出力トランジ
スタT6のベースに入力されるロウレベルの入力信号及
び、出力MOSFETQ7〜Q9のオン状態によって形
成されるロウレベルの出力信号が、電源電圧VEEから
ダイオードD1,D2の順方向電圧に対応した0.8V
だけレベルアップされるので、出力信号のロウレベルV
OLを−2.8Vにすることができる。上記ダイオード
D1,D2は、PN接合ダイオードの他、NPN型バイ
ポーラトランジスタのベースとコレクタとを接続したも
のを用いるものであってもよい。
【0039】図7には、デコーダ回路の他の一実施例の
回路図が示されている。この実施例においても、みかけ
上デコーダ回路の動作電圧として入力バッファと同じ電
圧VEEが供給される。このときの電源電圧VEEは、
−3.6Vのような電圧にされる。これに対して、デコ
ーダの出力信号を−0.8V/−2.8Vにするため
に、NPN型バイポーラ出力トランジスタT6のエミッ
タ側には、NPN型バイポーラトランジスタT7がカス
ケード接続される。このトランジスタT7のベースとコ
レクタ間には、入力端子IN1〜IN3にゲートが接続
された並列形態のNチャンネル型MOSFETQ7〜Q
9が設けられる。トランジスタT7のベースとエミッタ
間には、出力信号がゲートに供給されるNチャンネル型
MOSFETQ10が設けられる。このような出力トラ
ンジスタT7を用いてロウレベルの出力信号を形成する
ようにすることによって、電源電圧VEEからベース,
エミッタ間電圧に対応した0.8Vだけレベルアップさ
れるので、出力信号のロウレベルVOLを−2.8Vに
することができる。この構成では、出力回路がトランジ
スタにより構成できるので、出力信号のハイレベル/ロ
ウレベルの立ち上がりを高速にすることができる。
【0040】図8には、デコーダ回路の他の一実施例の
回路図が示されている。この実施例においても、みかけ
上デコーダ回路の動作電圧として入力バッファと同じ電
圧VEEが供給される。このときの電源電圧VEEは、
−3.6Vのような電圧にされる。これに対して、デコ
ーダの出力信号を−0.8V/−2.8Vにするため
に、NPN型バイポーラ出力トランジスタT6を駆動す
るCMOS回路のNチャンネルMOSFETQ4〜Q6
のソースと電源電圧VEEとの間、ロウレベルの出力信
号を形成する並列形態のNチャンネル型MOSFETQ
7〜Q9のソースと電源電圧VEEとの間にダイオード
D1,D2が設けられる。
【0041】図9には、デコーダ回路の更に他の一実施
例の回路図が示されている。この実施例においても、み
かけ上デコーダ回路の動作電圧として入力バッファと同
じ電圧VEEが供給される。このときの電源電圧VEE
は、−3.6Vのような電圧にされる。これに対して、
デコーダはCMOS回路から構成され、Pチャンネル側
回路にはダイオードD1を介して回路の接地電位が与え
られ、Nチャンネル側の回路にはダイオードD2を介し
て電源電圧VEEが供給される。これにより、CMOS
回路の出力信号を−0.8V/−2.8Vにすることが
できる。
【0042】図10には、図3のメモリセルを含むメモ
リアレイ部とその周辺回路の一実施例の回路図が示され
ている。同図には、1本のワード線W、1つのワード線
選択回路、1つのメモリセル、一対の相補データ線D
T,DB、及びその負荷回路、ライトリカバリ回路、プ
リアンプ、センスアンプ、出力回路OB、及びカラムス
イッチ回路とデータ入力回路IB及び書込回路が例示的
に示されている。
【0043】メモリセルは、図3に示されたように、P
チャンネル型MOSFETとNチャンネル型MOSFE
Tからなる2つのCMOSインバータ回路の入力と出力
とが交差接続されたCMOSラッチ回路と、その入出力
ノードと相補データ線DT,DBとの間に設けられたア
ドレス選択用の伝送ゲートMOSFETから構成され
る。メモリセルのハイレベル側の動作電圧は回路の接地
電位とされ、ロウレベル側の動作電圧は電源電圧VEE
に対して絶対値的に小さくされた定電圧VEMが用いら
れる。メモリセルのロウレベル側の動作電圧VEMが−
3V程度にされるので同図のような完全CMOS型のメ
モリセルが用いられる。
【0044】メモリセルの伝送ゲートMOSFETのゲ
ートは、対応するワード線に接続される。このワード線
Wは、前記図3ないし図9等により構成されたデコーダ
により構成されたワード線選択回路NOR1により駆動
される。前記3入力のプリデコード機能を有する入力バ
ッファにより8通りの出力信号を形成し、それを3入力
のデコーダ回路を用いることにより、64本のワード線
の中から1つのワード線を選択するような回路構成が実
現できる。
【0045】相補データ線DT,DBには、Pチャンネ
ル型MOSFETQP1,QP2からなるデータ線負荷
手段が設けられる。これらのMOSFETQP1,QP
2は、そのコンダクタンスが書き込み特性を考慮して比
較的小さく形成され、そのゲートには定電圧VEMが定
常的に供給される。これらのMOSFETQP1,QP
2のソース,ドレインパスには、比較的大きなコンダク
タンスを持つようにされたPチャンネル型MOSFET
QP3,QP4のソース,ドレインパスが並列形態に設
けられる。
【0046】これらのMOSFETQP3,QP4のゲ
ートには、書き込み制御信号WE1が供給されることに
より、書き込み動作以外のときにオン状態にされる。言
い換えるならば、上記MOSFETQP3,QP4は、
MOSFETQP1,QP2とともに読み出し動作のと
きのデータ線負荷を構成する。読み出し動作のときに
は、相補データ線の信号振幅を制限して高速読み出しを
実現する。これに対して、書き込み動作のときには、制
御信号WE1により上記比較的大きなコンダクタンスを
持つMOSFETQP3,QP4がオフ状態にされ、相
補データ線DT,DBに対する負荷が小さなコンダクタ
ンスしか持たないMOSFETQP1,QP2で構成さ
れるようにすることにより相補データ線に伝えられる書
き込みデータの信号振幅を大きくして高速書き込みを行
うようにするものである。
【0047】上記負荷回路には、ダイオード接続された
NPN型バイポーラトランジスタT3,T4によりレベ
ルシフトされたバイアス電圧が与えられる。すなわち、
相補データ線DT,DBの信号振幅のハイレベルは、−
2VBE(VBEは、トランジスタのベース,エミッタ
間電圧)のような低い電位にされる。これにより、書き
込み動作のときの相補データ線DT,DBの信号振幅が
小さく制限されるから、高速書き込みが可能になる。メ
モリセルの書き込みは、相補データ線DT又はDBに伝
えられるロウレベルにより支配的に行われるから、この
実施例のようにハイレベルを−2VBEのように低くし
ても問題ない。すなわち、メモリセルのオン状態にされ
た記憶MOSFETのゲート電位は、伝送ゲートMOS
FETを介してロウレベルにされた相補データ線の電位
によって引き抜かれてオフ状態に切り換えられ、その結
果としてオフ状態にあった記憶MOSFETがオン状態
なって情報の反転書き込みが行われるからである。
【0048】相補データ線DT,DBは、書込回路とし
てのナンド回路NAND1,NAND2の出力端子に接
続される。上記ナンド回路NAN1,NAND2の入力
には、前記同様なデコーダ回路により構成されたYデコ
ーダNOR2により形成されたカラム選択信号Yが供給
される。上記書込回路としてのこれらのナンド回路NA
ND1,NAND2の他の入力には、データ入力回路I
Bを通して伝えられた相補書込み信号DiTとDiB及
び書込みパルスWPが供給される。このデータ入力回路
IBの具体的構成は、図3〜図5に示された前記入力バ
ッファと同様な回路が用いられる。
【0049】相補データ線DT,DBには、プリアンプ
を構成するNPN型差動バイポーラトランジスタT5,
T6のベースに接続される。すなわち、このメモリはカ
ラムセンス方式とされる。これらの差動トランジスタT
5,T6の共通エミッタには、カラム選択信号Yを受け
るNチャンネルスイッチMOSFETQN1を介してN
チャンネル型定電流MOSFETQN2に接続される。
この定電流MOSFETQN2のゲートには、定電圧V
IEが供給されて定電流を形成する。この定電流MOS
FETQN2は、カラムアドレスに対応したプリアンプ
用の複数のスイッチMOSFETに対して共通に設けら
れる。
【0050】上記差動トランジスタT5,T6のコレク
タは、センスアンプを構成する電流/電圧変換回路に入
力される。すなわち、上記トランジスタT5,T6のコ
レクタは、定電圧VIEを受けるNチャンネル型MOS
FETQN6により形成された定電流が流れるところの
抵抗R2で形成されたバイアス電圧をそのベースに受け
るNPN型バイポーラトランジスタT7,T8のエミッ
タに接続される。これらのトランジスタT7,T8のエ
ミッタには、定電圧VIEを受けるNチャンネル型定電
流MOSFETQN5,QN7が設けられ、コレクタに
は電流/電圧変換用の抵抗R1,R3が設けられる。
【0051】相補データ線DT,DBには、選択された
メモリセルの記憶情報に対応したハイレベル/ロウレベ
ルが出力される。このハイレベル/ロウレベルを受けて
プリアンプを構成する差動トランジスタT5,T6がオ
ン/オフ状態にされる。そして、カラム選択信号Yによ
りオン状態にされたMOSFETQN1等を介して定電
流が上記差動トランジスタのオン/オフ状態に対応して
上記抵抗R1又はR3に流れる。これら抵抗R1とR3
により電圧信号に変換された読み出し信号は、NPN型
バイポーラトランジスタT9,T10及びエミッタ抵抗
R4,R5からなるエミッタフォロワ回路を介して出力
回路OBに入力される。この出力回路OBは、ECL回
路から構成されECLレベルの出力信号Doを出力す
る。
【0052】NPN型バイポーラトランジスタT1とT
2は、ライトリカバリ回路を構成し、書き込み終了後に
発生されるリカバリ信号WRCによりオン状態にされ、
書き込み信号が伝えられることにより、比較的大きなレ
ベル差を持つようにされた相補データ線DT,DBのリ
セットを高速に行う。上記リカバリ信号WRCは、エミ
ッタフォロワ出力トランジスタを介して出力される。そ
れ故、相補データ線DT,DBは、トランジスタT1,
T2が、上記リカバリ信号WRCを形成する出力トラン
ジスタとダーリントン形態に接続されるため、前記バイ
アス回路(トランジスタT3,T4)回路に対応したバ
イアスレベル−2VBEと等しいレベルにされる。
【0053】図11には、図10に示された書込回路
(NAND1,NAND2)の一実施例の回路図が示さ
れている。同図の回路は、前記図8に示したようなデコ
ーダ回路とほぼ同様なBi−CMOS回路が用いられ
る。図8との差は、ダイオードD3がNPN型出力バイ
ポーラトランジスタT6のエミッタと出力端子OUTと
の間に接続される点である。そのため、書込回路の出力
信号のハイレベル/ロウレベルは、−1.6V/−2.
8Vとされる。また、入力信号としては、データ入力回
路IBからの相補的な書込信号DiT(DiB)と、選
択信号Y及び書込みパルスWPが供給される。このよう
な書込み回路は、相補データ線DTとDBに対応した一
対の回路から構成される。同図には、そのうちの1回路
分が代表として示されている。
【0054】図12には、定電圧VIE、内部回路の動
作電圧VSS及びVEMの電圧発生回路の一実施例が示
されている。定電圧VIEは前記のような定電流源とし
て動作するMOSFETのゲートに供給される定電圧で
あり、定電圧VSSとVEMはデコーダ回路やメモリア
レイのようなBi−CMOS回路、CMOS回路の動作
電源電圧とされる。
【0055】ECL回路における定電圧VCSを受ける
トランジスタT1のエミッタに抵抗を接続して、抵抗に
所定の定電流が流れるようにされる。この定電流は電流
ミラー形態のPチャンネル型MOSFETQ1,Q2に
より共にダイオード形態のトランジスタT2とNチャン
ネル型MOSFETQ3からなる直列回路に流れるよう
にされる。上記ダイオード形態のトランジスタT2は、
レベルシフト回路を構成し、MOSFETTQ3のしき
い値電圧に対応した定電圧Vthがエミッタフォロワ出力
トランジスタT3を通して上記定電圧VIEとして出力
される。
【0056】ダイオード形態のMOSFETQ4は、上
記エミッタフォロワ出力トランジスタT3の負荷とされ
る。この構成では、定電圧VIEが上記MOSFETQ
1のしきい値電圧Vthに対応しているから、この定電圧
VIEを受けるNチャンネル型MOSFETQ5〜Q1
0等には、上記抵抗R1により形成された定電流に従っ
た定電流が形成される。例えば、Pチャンネル型MOS
FETQ1とQ2の素子サイズを等しく設定し、抵抗R
1により形成された同じ定電流をNチャンネル型MOS
FETQ3に流すようにした場合、このMOSFETQ
3とQ5〜Q10等のサイズを等しくすると、これらの
MOSFETQ5〜Q10には上記MOSFETQ3と
同じ定電流、言い換えるならば、抵抗R1に流れる定電
流が流れるようにされる。
【0057】同図のMOSFETQ5等のサイズを、M
OSFETQ3のサイズに比べて若干大きくして、その
サイズ比により大きな電流を形成して入力バッファのロ
ウレベルVOL(−2.0V)により絶対値的に大きく
された−2.5〜2.8V程度の動作電圧VEMを形成
することができる。同様に、MOSFETQ8のMOS
FETQ3のサイズに比べて若干大きくして、そのサイ
ズ比により大きな電流を形成して入力バッファのロウレ
ベルVOL(−2.0V)により絶対値的に大きくされ
た−2.5〜2.8V程度の動作電圧VSSを得ること
ができる。
【0058】図13には、前記図8又は図11のように
ダイオードを介して動作電圧を与える場合のCMOS回
路の一実施例の素子構造断面図が示されている。前記図
8や図11のように、Nチャンネル型MOSFETのソ
ースに対して、レベルシフト用のダイオードを介して動
作電圧を与える場合、基板にVEEのような電源電圧を
供給すると、基板効果によってNチャンネル型MOSF
ETのしきい値電圧が大きくされてまう。
【0059】この実施例では、Pチャンネル型MOSF
ETとNチャンネル型MOSFETが形成されるNウェ
ルとPウェルとが、絶縁物(SiO2 )を用いて分離さ
れる。このような分離方法を採ることにより、Nチャン
ネル型MOSFETのソースと基板であるPウェルに
は、ダイオードを介して与えられる電源電圧VEE’が
供給される。これにより、Nチャンネル型MOSFET
においては基板効果が生じない。なお、図13のCMO
S回路の素子構造断面図は、図10のメモリセルを半導
体基板上に形成する場合にも適用可能である。この場
合、VEE’がVIEに変更される。
【0060】図9のように、Pチャンネル型MOSFE
Tにおいても、レベルシフト用のダイオードを通して回
路の接地電位が与えられるときには、基板効果の影響を
受けないようにするために、NウェルとPチャンネル型
MOSFETのソースとを共通接続して、ダイオードに
接続するようにすればよい。
【0061】上記の実施例から得られる作用効果は、下
記の通りである。 (1) 差動トランジスタが非飽和領域で動作するよう
な範囲で出力信号レベルを増幅させる入力バッファを用
いてECLレベルの入力信号を受け、その出力信号を上
記入力バッファの動作電圧より絶対値的に小さくされた
動作電圧及び回路の接地電位により動作させられるCM
OS回路又はBi−CMOS回路に供給することによ
り、入力バッファ及びその出力信号を受ける初段のCM
OS回路又はBi−CMOS回路が信号伝達とレベル変
換を兼ねるので、簡単な構成により動作の高速化と低消
費電力化が可能になるという効果が得られる。
【0062】(2) 上記(1)により、ECL回路に
おいては、ECLレベルの信号をそのまま受け取るもの
であるから、入力バッファでの動作下限電圧を小さくす
ることができ、入力バッファ等のようなECLインター
ファイス部での低消費電力化を図ることができるという
効果が得られる。
【0063】(3) スタティック型RAMに適用する
ことにより、入力バッファとデコーダ又は入力バッファ
と書込回路とで信号レベルを段階的に大きくできるか
ら、メモリセル側の動作電圧を比較的大きくでき、デー
タ保持動作の安定化と高速読み出しを維持することがで
きるという効果が得られる。
【0064】(4) 電源電圧をECL回路の下限電圧
に対応した−3.6V程度に設定し、内部回路の動作電
圧を2.8V程度に設定するとき、トランジスタ又はM
OSFETのしきい値電圧を利用して電源電圧をレベル
シフトして内部回路の動作電圧に用いることにより、電
源回路の簡素化ができるという効果が得られる。
【0065】以上本発明者よりなされた発明を実施例に
基づき具体的に説明したが、本願発明は前記実施例に限
定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種
々変更可能であることはいうまでもない。例えば、信号
レベルは、前記のように入力バッファを構成する差動ト
ランジスタが非飽和領域で動作することを条件とし、内
部回路を構成するCMOS回路又はBi−CMOS回路
の下限動作電圧との関連で種々に設定することができ
る。内部回路は、CMOS回路又はBi−CMOS回路
による論理回路であってもよい。この発明は、ECLイ
ンターファイスを持ち、内部回路がCMOS又はBi−
CMOS回路により構成される各種の半導体集積回路装
置に広く利用できるものである。
【0066】
【発明の効果】本願において開示される発明のうち代表
的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、下
記の通りである。すなわち、差動トランジスタが非飽和
領域で動作するような範囲で出力信号レベルを増幅させ
る入力バッファを用いてECLレベルの入力信号を受
け、その出力信号を上記入力バッファの動作電圧より絶
対値的に小さくされた動作電圧及び回路の接地電位によ
り動作させられるCMOS回路又はBi−CMOS回路
に供給することにより、入力バッファ及びその出力信号
を受ける初段のCMOS回路又はBi−CMOS回路が
信号伝達とレベル変換を兼ねるので、簡単な構成により
動作の高速化と低消費電力化が可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明が適用されたスタティック型RAMの
一実施例を示す概略ブロック図である。
【図2】上記図1の各回路ブロックの信号レベルの一実
施例を示す波形図である。
【図3】上記入力バッファ、デコーダ及びメモリセルの
一実施例を示す具体的回路図である。
【図4】上記入力バッファの他の一実施例を示す回路図
である。
【図5】上記入力バッファの更に他の一実施例を示す回
路図である。
【図6】上記デコーダの他の一実施例を示す回路図であ
る。
【図7】上記デコーダの他の一実施例を示す回路図であ
る。
【図8】上記デコーダの他の一実施例を示す回路図であ
る。
【図9】上記デコーダの更に他の一実施例を示す回路図
である。
【図10】この発明が適用されたスタティック型RAM
のメモリアレイ部とその周辺回路の一実施例を示す回路
図である。
【図11】図10の書込回路の一実施例を示す回路図で
ある。
【図12】内部回路の動作電圧を形成する内部電圧発生
回路の一実施例を示す回路図である。
【図13】上記図8又は図11のようにダイオードを介
して動作電圧が与えられる場合のCMOS回路の一実施
例を示す素子構造断面図である。
【符号の説明】 T1〜T10…トランジスタ、Q1〜Q15,QP1〜
QP4,QN1〜QN7…MOSFET、D1,D2…
ダイオード、R1〜R5…抵抗、OB…出力回路、IB
…入力回路。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 8941−5J H03K 19/00 101 A (72)発明者 大林 正幸 東京都青梅市今井2326番地 株式会社日立 製作所デバイス開発センタ内 (72)発明者 斉藤 佳代子 東京都青梅市今井2326番地 株式会社日立 製作所デバイス開発センタ内

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 ECLレベルの入力信号を受け、出力ロ
    ウレベルを差動トランジスタが非飽和領域で動作する範
    囲でレベル増幅させる入力バッファと、この入力バッフ
    ァ回路で増幅された出力信号を受け、上記入力バッファ
    の動作電圧より絶対値的に小さくされた動作電圧及び回
    路の接地電位が与えられて動作するCMOS回路又はB
    i−CMOS回路とを備えてなることを特徴とする半導
    体集積回路装置。
  2. 【請求項2】 上記CMOS回路又はBi−CMOS回
    路は、CMOS構成のスタティック型メモリセルの選択
    動作を行うデコーダ回路と、データ書き込み回路である
    ことを特徴とする請求項1の半導体集積回路装置。
  3. 【請求項3】 上記デコーダ回路又はデータ書き込み回
    路の動作電圧と、メモリセルの動作電圧との差は、MO
    SFETのしきい値電圧以下に設定されるものであるこ
    とを特徴とする請求項2の半導体集積回路装置。
  4. 【請求項4】 上記入力バッファの動作電圧は、ECL
    回路が動作可能な下限電圧に対応した−3.6V程度の
    低電圧であり、内部回路の動作電圧は、−2〜2.8V
    程度に設定されるものであることを特徴とする請求項
    1、請求項2又は請求項3の半導体集積回路装置。
  5. 【請求項5】 上記内部回路の動作電圧は、上記入力バ
    ッファの動作電圧がトランジスタ又はMOSFETのし
    きい値電圧を利用したレベルシフト手段により形成され
    るものであることを特徴とする請求項3の半導体集積回
    路装置。
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