JPH06162763A - 半導体記憶装置 - Google Patents

半導体記憶装置

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JPH06162763A
JPH06162763A JP4307105A JP30710592A JPH06162763A JP H06162763 A JPH06162763 A JP H06162763A JP 4307105 A JP4307105 A JP 4307105A JP 30710592 A JP30710592 A JP 30710592A JP H06162763 A JPH06162763 A JP H06162763A
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Takashi Ogiwara
隆 荻原
Shinichiro Shiratake
慎一郎 白武
Takehiro Hasegawa
武裕 長谷川
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 複数のメモリセルを直列接続してメモリセル
ユニットを構成する方式で、消費電力の低減と共に高速
化をはかり得るDRAMを提供すること。 【構成】 メモリセルアレイ1と、データノードNが選
択的にビット線BLに接続されるセンスアンプ7と、セ
ンスアンプ7とメモリセルアレイ1の間に配置されてメ
モリセルデータを一時記憶するレジスタ4と、レジスタ
4の駆動タイミングを制御するレジスタ制御回路10
と、レジスタ4とビットBLの間に設けられたトランス
ファゲート3と、ビット線BLに読出されたデータをセ
ンスアンプ7よりレジスタ4に書込む際にトランスファ
ゲート3を制御するゲート制御回路8と、各部の基準ク
ロックを発生する内部クロック発生回路9とを備えたD
RAMにおいて、レジスタ制御回路10,ゲート制御回
路8及び内部クロック発生回路9の動作タイミングを、
リード及びリストアのサイクルにより変えることを特徴
とする。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体記憶装置に係わ
り、特にNAND構成のダイナミックRAM(DRA
M)に関する。
【0002】
【従来の技術】従来より、複数個のメモリセルを直列接
続してNAND型のメモリセルユニットを構成し、この
メモリセルユニットの複数個をビット線に接続してメモ
リセルアレイを構成する方式のDRAMが知られてい
る。このセルアレイ方式は、個々のメモリセルをそれぞ
れビット線に接続する方式に比べてビット線コンタクト
が少なくなるため、セル面積を小さくできる利点があ
る。
【0003】このNAND型セルアレイ方式では、メモ
リセルユニット内のビット線から遠い方のメモリセルデ
ータを読出す際には、それよりビット線側のセルデータ
を破壊しなければならない。そこで、メモリセルユニッ
ト内のデータを一時保持して再書込みを行うためのレジ
スタを必要とする(例えば、1991,IEEE ISSCC DIGESTOF
TECHNICAL PAPERS,VOL.34,p106, TAM6.2参照)。
【0004】この一時記憶用のレジスタのレイアウト法
として、複数のメモリセルアレイでレジスタを共有する
方式がある。そのためには、複数のメモリセルアレイに
またがるグローバルビット線を配設して、複数のセンス
アンプのノードをトランスファゲートを介してグローバ
ルビット線に接続するようにし、このグローバルビット
線の端部にレジスタを配置する。
【0005】しかしながらこの従来方式では、レジスタ
に一時記憶したデータを再書込みするためには、メモリ
セルアレイ内に配置されたビット線より容量の大きいグ
ローバルビット線の充放電を行うことが必要である。従
って、DRAMの消費電力が大きいものになるという問
題があった。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】以上のように、複数の
メモリセルを直列接続してNAND型メモリセルユニッ
トを構成する方式の従来のDRAMでは、データの再書
込みのためにグローバルビット線の充放電が必要であ
り、消費電力が大きくなるという問題があった。
【0007】本発明は、上記事情を考慮してなされたも
ので、その目的とするところは、複数のメモリセルを直
列接続してメモリセルユニットを構成する方式で消費電
力の低減をはかったDRAMを提供することにある。ま
た、本発明の他の目的は、一時記憶用レジスタとトラン
スファゲートのタイミング、及び内部クロックの周期の
長さを制御することで高速化をはかったDRAMを提供
することにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に本発明では、次のような構成を採用している。
【0009】即ち本発明は、NAND構成のDRAMに
おいて、複数のダイナミック型メモリセルが直列接続さ
れて構成されたメモリセルユニットが複数個ずつ第1の
ビット線に接続されて構成される複数のメモリセルアレ
イと、各メモリセルアレイに挟まれた領域に配置され
て、データノードが選択的に第1のビット線に接続され
るセンスアンプと、複数のメモリセルにまたがって配設
されて、各メモリセルアレイ内の第1のビット線が選択
的に接続される第2のビット線と、センスアンプとその
両側に配置されるメモリセルアレイの間に配置されて、
メモリセルユニットから読出されたメモリセルデータを
一時記憶するレジスタと、このレジスタの駆動タイミン
グを制御し、かつメモリセルからデータを読出すリード
サイクル及びメモリセルへデータを書込むリストアサイ
クルにより駆動タイミングを変えるレジスタ制御回路
と、レジスタと第1のビット線の間に設けられたトラン
スファゲートと、アドレスに応じて、第1のビット線に
読出されたデータをセンスアンプよりレジスタに書込む
際にセンスアンプのデータノードと第1のビット線との
間を切り離すべくトランスファゲートを制御し、かつリ
ードサイクル及びリストアサイクルにより制御タイミン
グを変えるゲート制御回路と、メモリセルアレイを駆動
する手段,センスアンプを駆動する手段,レジスタ制御
回路及びゲート制御回路の基準タイミングとなる内部ク
ロックを発生し、かつリードサイクル及びリストアサイ
クルによりクロックの周期を変える内部クロック発生回
路とを備えたことを特徴とする。
【0010】さらに、内部クロック発生回路は、リード
サイクルとリストアサイクルとでクロックの周期を変え
る以外に、リード及びリストアのサイクル中でもクロッ
クの周期を変えることを特徴としている。
【0011】
【作用】本発明によれば、レジスタと第1のビット線の
間に設けられたトランスファゲートを制御することによ
って、メモリセルデータを一時記憶するレジスタに再書
込みを行う際に第1のビット線を切り離した状態でセン
スアンプを動作させることができる。即ち、第1のビッ
ト線の充放電を行うことなく、レジスタへのデータ保存
動作が可能になり、NAND型のDRAMの消費電力を
低減することができる。
【0012】これに加え、メモリセルからデータを読出
すリードサイクル及びメモリセルへデータを再書込むリ
ストアサイクル及びどのビット線を通じてデータを読出
し書込みを行うかに応じてタイミングを変えることので
きるゲート制御回路、レジスタ制御回路及び複数個の長
さの周期を発生させることのできる内部クロック発生回
路等を備えたことにより、リード時とリストア時はそれ
ぞれ独立にタイミングを最適化することにより高速化を
実現することができる。
【0013】
【実施例】以下、図面を参照しながら本発明の実施例を
説明する。
【0014】図1は本発明の第1の実施例に係わるDR
AMの概略構成を示すブロック図、図2〜図4は図2を
分割して具体的に示す回路構成図である。ここでは、4
個のメモリセルMCを直列接続して一つのメモリセルユ
ニットを構成する例を示している。メモリセルユニット
の構成は、図5(a)に示す通りである。
【0015】このようなメモリセルユニットが複数個配
列されたメモリセルアレイ11 及び12 がセンスアンプ
7を挟んで配置されている。メモリセルアレイ11 ,1
2 の端部にはそれぞれダミーセルアレイ21 ,22 が設
けられている。メモリセルMC及びダミーセルDCは、
通常のDRAMに用いられる1トランジスタ/1キャパ
シタのセルである。
【0016】センスアンプ7は、nMOSトランジスタ
Q41,Q42とpMOSトランジスタQ43,Q44からなる
CMOSフリップフロップである。センスアンプ7には
隣接してイコライズ回路6が設けられている。イコライ
ズ回路6は、ブリチャージ用nMOSトランジスタQ3
1,Q32とイコライズ用nMOSトランジスタQ33によ
り構成されている。
【0017】センスアンプ7及びイコライズ回路6とメ
モリセルアレイ11 ,12 の間に、再書込み用のレジス
タ41 ,42 が配置されている。この実施例ではレジス
タ41 ,42 は、メモリセルアレイ11 ,12 に用いら
れるメモリセルMCと同じものを用いて、図5(b)に
示すように構成されている。ワード線WL0 〜WL3,
/WL0 〜/WL3 で選択される32個のメモリセルに
対応して、レジスタ41 ,42 も各ビット線毎にレジス
タワード線RWL0 〜RWL7 ,RWL8 〜RWL15に
より選択される16個のメモリセルが配置される。
【0018】一方のメモリセルアレイ11 の4本のビッ
ト線BL0 〜BL3 (第1のビット線)はそれぞれ、n
MOSトランジスタQ11〜Q14からなるトランスファゲ
ート31 を介して一つにまとめられて、センスアンプ7
の一方のデータノードN1 に接続されている。他方のメ
モリセル12 の4本のビット線/BL0 〜/BL3 はそ
れぞれ、nMOSトランジスタQ51〜Q54からなるトラ
ンスファゲート32 を介して一つにまとめられて、セン
スアンプ7の他方のデータノードN2 に接続されてい
る。
【0019】センスアンプ7のデータノードN1 ,N2
はそれぞれ、nMOSトランジスタQ21,Q22からなる
トランスファゲート5を介してグローバルビット線GB
L,/GBL(第2のビット線)に接続されている。グ
ローバルビット線GBL,/GBLは、メモリセルアレ
イ11 ,12 にまたがって配設され、これが図示しない
データ入出力線に接続されることになる。
【0020】読出し/書込み用ゲート制御回路8は、ア
ドレスに応じて各トランスファゲート31 ,32 ,5を
制御するためのものである。このゲート制御回路8は基
本的に、メモリセルからビット線に読出されたデータの
うち注目するビット線のデータのみをセンスアンプ7の
データノードに転送し、これをレジスタ41 ,42 の中
の注目するデータノードにビット線を切り離した状態で
再書込みするように、トランスファゲート31 ,32
制御する。
【0021】図6から図11は、この実施例でのデータ
読出しとそのデータの再書込み用レジスタ41 ,42
書込み動作、及び再書込み用レジスタ41 ,42 からメ
モリセルへのデータの再書込みの具体的な波形を示して
いる。ここでは、ワード線WL0 により選択されるメモ
リセルユニットの最初の4ビット分に注目して説明す
る。全ての信号はクロック信号CKにより作られる。
【0022】まずデータ読出し前に、トランスファゲー
ト制御信号線φt0〜φt3は全て“H”レベルとされ、イ
コライズ制御信号線VBLEQが“H”レベルになってイコ
ライズ回路6によりビット線、レジスタ41 ,42 のノ
ード及びセンスアンプ7のノードが例えば(1/2)V
CCにプリチャージされる。プリチャージが終了するとφ
t0〜φt7までが全て“L”レベルとなる。次いで、クロ
ック信号の下がりを受けてφt0が“H”レベルとなる。
【0023】この状態でワード線が選択駆動される。い
まの場合メモリセルアレイ11 側のワード線WL0 が立
ち上がり、このワード線WL0 に沿ったメモリセルのデ
ータがビット線BL0 に読出される。同時にダミーセル
アレイ21 のダミーワード線DWL0 は立ち下がる。こ
れは、ワード線WL0 の立ち上がりによるビット線に対
するカップリングノイズを相殺するためである。
【0024】これらビット線BL0 ,/BL0 に読出さ
れたデータがセンスアンプ7のノードN1 ,N2 に転送
される。その後、制御信号線φt0,φt4がHレベルにな
ってビット線BL0 ,/BL0 に読出されたデータがセ
ンスアンプ7のノードN1 ,N2 に読出され、φt0,φ
t4が再びLレベルになってビット線BL0 ,/BL0と
切り離される。この状態でセンスアンプ7の増幅動作が
行われる。
【0025】センスアンプ7の増幅動作と共に、ビット
線BL0 から読出されたデータがレジスタ41 の中の所
定のメモリセルに書込まれる。いまの場合、レジスタ4
1 の制御信号線RWL0 〜RWL3 のうち、RWL0 が
“H”レベルとなることによって、選択されているメモ
リセルに再書込みがなされる。次いで、RWL0 を
“L”レベルにしてレジスタワード線を下げた後、B
L,/BLのイコライズを行う。
【0026】以下同様の動作を繰り返して、ワード線W
L0 により選択されてビット線BL0 ,BL1 ,BL2
,BL3 に読出されたデータが順次センスアンプ7に
転送され、レジスタ41 の制御信号線RWL0 〜RWL
3 で制御される4個のメモリセルに再書込みされる。こ
の動作が終了すると、φt0〜φt7まで全てのφt ゲート
を上げてBL0 〜BL3 ,/BL0 〜/BL3 を全てイ
コライズする。以下同様にWL0 を上げたままWL1 を
“H”レベルにすることで、奥にあるメモリセルのデー
タを読出していく。
【0027】次いで、再書込み用レジスタ41 ,42
らメモリセルへの再書込みは、再書込みを行うべきメモ
リセルが接続されたトランスファゲートを開いて、セン
スアンプ7を動作させればよい。このとき、読出した時
とは逆に奥の方のメモリセルからデータを書込んでい
く。
【0028】このように本実施例によれば、再書込み用
レジスタ41 ,42 とビット線BLの間に設けられたト
ランスファゲート31 ,32 を制御することによって、
メモリセルデータを一時記憶するレジスタ41 ,42
再書込みを行う際にビット線BLを切り離した状態でセ
ンスアンプ7を動作させることができる。即ち、ビット
線BLの充放電を行うことなく、レジスタ41 ,42
のデータ保存動作が可能になり、消費電力を低減するこ
とができる。
【0029】次に、図12から図18を参照しながら本
発明の第2の実施例を説明する。図12は第2の実施例
に係わるDRAMの概略構成を示すブロック図である。
各部の具体的構成は、前記図2〜図4に示すのと同様で
ある。
【0030】ここで、第1の実施例においては図6から
図11にあるように、リードサイクルとリストアサイク
ルにおいて等しい長さの周期のクロックを使っており、
また信号のタイミングはクロックCKの下がり(図中
(1) )を基準に作っていた。さらに、両サイクルにおい
て (2) :SAPの立ち上がり /SANの下がり (3) :RWL0 (4) :φt0の立ち上がり(イコライズ用) (5) :φt0の下がり (イコライズ用) のタイミングを等しくとっている。
【0031】従って、レジスタワード線RWL0 の下が
るタイミング(3) は、リードサイクルにおけるレジスタ
ワード線の立ち上げに要する時間(6) によって律速され
る。また、イコライズのためにφt0からφt7を上げるタ
イミング(4) は、リストアサイクルにおけるワード線を
下げるのに要する時間(7) に律速される。
【0032】以上より、第1の実施例においては、リー
ドサイクルとリストアサイクルは等しい長さのクロック
CKを使っているために、独立にサイクルの長さを短縮
することができず高速化の障害となっていると考えられ
る。
【0033】そこで第2の実施例においては、図12に
示すような内部クロック発生回路9を用い、リードサイ
クルとリストアサイクルでクロックの周期の長さを変え
ることができるようにしている。また、第1の実施例で
は読出し/書込み用ゲート制御回路8において、ノード
N1 ,N2 のイコライズのためにφt0からφt7までのφ
t ゲートを全て“H”レベルにするタイミングはリード
サイクルとリストアサイクルにおいて共通していたが、
第2の実施例におけるゲート制御制御回路8では、リー
ドサイクルとリストアサイクルでφt ゲートを立ち上げ
るタイミングと下げるタイミングを変えることができる
ようにしている。
【0034】さらに、第1の実施例においてはリードサ
イクルとリストアサイクルでレジスタワード線RWLを
“L”レベルにするタイミングが等しかったが、第2の
実施例ではレジスタワード線制御回路10を用いること
により、サイクルに応じてレジスタワード線RWLを
“L”レベルにするタイミングを変えることができるよ
うにしている。
【0035】図13から図18は、この第2の実施例で
のデータの読出しとそのデータの再書込み用レジスタ4
1 ,42 への書込み動作及び再書込み用レジスタからメ
モリセルへのデータの再書込みの具体的な波形を示して
いる。
【0036】本実施例では、リードサイクルにおいて
は、図15の(4)'と(5)'及び図8の(4) と(5) を比較し
て分かるように、イコライズのためのφt ゲートを上げ
るタイミングをリストアサイクルとは独立して早めてい
る。さらに、リストアサイクルにおいては、図16〜図
18の(3)'と図9〜図11の(3) を比較して分かるよう
に、リードサイクルとは独立にレジスタワード線を下げ
るタイミングを早めている。
【0037】このように本実施例によれば、第1の実施
例と同様に消費電力の低減をはかり得るのは勿論のこ
と、リードサイクルとリストアサイクルで、トランスフ
ァゲート3,レジスタ4の動作タイミング及びクロック
を変えることにより、第1の実施例と比べて高速化を達
成することができる。
【0038】次に、図19から図25を参照しながら本
発明の第3の実施例を説明する。図19は第3の実施例
に係わるDRAMの概略構成を示すブロック図である。
各部の具体的構成は、前記図2〜図4に示すのと同様で
ある。
【0039】ここで、第3の実施例が第2の実施例と異
なる点は、図20から図25と図13から図18を比較
して分かるように、第2の実施例においては内部クロッ
クの周期の長さはリードサイクルとリストアサイクルに
おいてのみ異なっているだけであったが、第3の実施例
においてはリードサイクル及びリストアサイクルの中で
も異なっているという点である。
【0040】第2の実施例では、まず第1にリードサイ
クルにおいては、図13〜図15を見て分かるように、
16ビットのメモリセルのデータを全て読出した後は、
図15にあるように全てのφt ゲートを開けてイコライ
ズを行う。このため、イコライズの必要がない段階、即
ち図13,図14のようにφt0,φt ,φt2を開けてデ
ータを読出す時のクロックの周期にもこの時間間隔が確
保してある必要があった。従って、イコライズの必要の
ない段階、即ち図13,図14のようにφt0,φt ,φ
t2を開けてデータを読出す時は、全てのφt ゲートを開
けてイコライズをするという時間分を省略することがで
きれば、その分だけ高速化することができる。
【0041】また、リストアサイクルにおいてもこれと
同様に図16,17のように全φtゲートを開けてイコ
ライズを行う必要がない時にもクロックの周期には図1
8にあるようなφt ゲートを開けている時間間隔が確保
してある。従って、図16,図17において全てのφt
ゲートを開けてイコライズするという時間分を省略する
ことができれば、その分だけ高速化することができる。
【0042】第3の実施例においては、図19に示すよ
うな内部クロック発生回路9により各サイクル(リー
ド,リストア)の中においても全φt ゲートを開けてイ
コライズを行う必要の有無に応じて内部クロックの周期
の長さを変える。即ち、リードサイクルにおいて、図2
0,図21の(8) と図22の(8)'を比較して分かるよう
に、全φt ゲートを上げてイコライズする必要のない時
はその分クロックの周期を短かくしてある。
【0043】また、リストアサイクルにおいては、図2
3,図24の(9) と図25の(9)'を比較して分かるよう
に、やはり全φt ゲートを上げてイコライズする必要の
ない時はその分クロックの周期を短かくしてある。これ
により本実施例は、第2の実施例以上に高速化を達成す
ることができる。なお、本発明は上述した各実施例に限
定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で、
種々変形して実施することができる。
【0044】
【発明の効果】以上詳述したように本発明によれば、N
AND型のメモリセルアレイの間に配置されるセンスア
ンプに隣接して一時記憶用のレジスタを配置して、メモ
リセルデータをこのレジスタに書込む際にトランスファ
ゲートの制御によってビット線及びグローバルビット線
を切り離した状態でセンスアンプを動作させることによ
り、ビット線の充放電を行うことなくレジスタへのデー
タの保存動作が可能となり、DRAMの消費電力を低減
することができる。さらに、一時記憶用レジスタとトラ
ンスファゲートのタイミング、及び内部クロックの周期
の長さを制御することにより、動作速度の高速化をはか
ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】第1の実施例のDRAMの概略構成を示すブロ
ック図。
【図2】第1の実施例のDRAMの要部を分割して示す
回路構成図。
【図3】第1の実施例のDRAMの要部を分割して示す
回路構成図。
【図4】第1の実施例のDRAMの要部を分割して示す
回路構成図。
【図5】メモリセル部の構成及びレジスタの構成を示す
図。
【図6】リードサイクルにおいてメモリセルMC0 のデ
ータを読出しレジスタセルRC0 に書込む際の各信号の
タイミングを示す図。
【図7】リードサイクルにおいてメモリセルMC1 又は
MC2 のデータを読出し、レジスタセルRC1 又はRC
2 に書込む際の各信号のタイミングを示す図。
【図8】リードサイクルにおいてメモリセルMC3 のデ
ータを読出し、レジスタセルRC3 に書込む際の各信号
のタイミングを示す図。
【図9】リストアサイクルにおいてレジスタセルRC15
のデータをメモリセルMC15に再書き込みする際の各信
号のタイミングを示す図。
【図10】リストアサイクルにおいてレジスタセルRC
14又はRC13のデータをメモリセルMC14又はMC13に
再書き込みする際の各信号のタイミングを示す図。
【図11】リストアサイクルにおいてレジスタセルRC
12のデータをメモリセルMC12に再書き込みする際の各
信号のタイミングを示す図。
【図12】第2の実施例のDRAMの概略構成を示すブ
ロック図。
【図13】リードサイクルにおいてメモリセルMC0 の
データを読出し、レジスタセルRC0 に書き込む際の各
信号のタイミングを示す図。
【図14】リードサイクルにおいてメモリセルMC1 又
はMC2 のデータを読出し、レジスタセルRC1 又はR
C2 に書込む際の各信号のタイミングを示す図。
【図15】リードサイクルにおいてメモリセルMC3 の
データを読出し、レジスタセルRC3 に書込む際の各信
号のタイミングを示す図。
【図16】リストアサイクルにおいてレジスタセルRC
15のデータをメモリセルMC15に再書き込みする際の各
信号のタイミングを示す図。
【図17】リストアサイクルにおいてレジスタセルRC
14又はRC13のデータをメモリセルMC14又はMC13に
再書き込みする際の各信号のタイミングを示す図。
【図18】リストアサイクルにおいてレジスタセルRC
12のデータをメモリセルMC12に再書き込みする際の各
信号のタイミングを示す図。
【図19】第3の実施例のDRAMの概略構成を示すブ
ロック図。
【図20】リードサイクルにおいてメモリセルMC0 の
データを読出し、レジスタセルRC0 に書き込む際の各
信号のタイミングを示す図。
【図21】リードサイクルにおいてメモリセルMC1 又
はMC2 のデータを読出し、レジスタセルRC1 又はR
C2 に書込む際の各信号のタイミングを示す図。
【図22】リードサイクルにおいてメモリセルMC3 の
データを読出し、レジスタセルRC3 に書込む際の各信
号のタイミングを示す図。
【図23】リストアサイクルにおいてレジスタセルRC
15のデータをメモリセルMC15に再書き込みする際の各
信号のタイミングを示す図。
【図24】リストアサイクルにおいてレジスタセルRC
14又はRC13のデータをメモリセルMC14又はMC13に
再書き込みする際の各信号のタイミングを示す図。
【図25】リストアサイクルにおいてレジスタセルRC
12のデータをメモリセルMC12に再書き込みする際の各
信号のタイミングを示す図。
【符号の説明】
1…メモリセルアレイ、 2…ダミーセルアレイ、 3…トランスファゲート、 4…再書込み用のレジスタ、 5…トランスファゲート、 6…イコライズ回路、 7…センスアンプ、 8…ゲート制御回路、 9…内部クロック発生回路、 10…レジスタワード線制御回路、 BL…ビット線(第1のビット線)、 GBL…グローバルビット線(第2のビット線)、 WL…ワード線、 DWL…ダミーワード線、 RWL…レジスタワード線、 φ…トランスファゲート制御信号線。

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】複数のダイナミック型メモリセルが直列接
    続されて構成されたメモリセルユニットが複数個ずつ第
    1のビット線に接続されて構成される複数のメモリセル
    アレイと、 各メモリセルアレイに挟まれた領域に配置されて、デー
    タノードが選択的に第1のビット線に接続されるセンス
    アンプと、 前記複数のメモリセルにまたがって配設されて、各メモ
    リセルアレイ内の第1のビット線が選択的に接続される
    第2のビット線と、 前記センスアンプとその両側に配置される前記メモリセ
    ルアレイの間に配置されて、前記メモリセルユニットか
    ら読出されたメモリセルデータを一時記憶するレジスタ
    と、 このレジスタの駆動タイミングを制御し、かつメモリセ
    ルからデータを読出すリードサイクル及びメモリセルへ
    データを書込むリストアサイクルにより駆動タイミング
    を変えるレジスタ制御回路と、 前記レジスタと第1のビット線の間に設けられたトラン
    スファゲートと、 アドレスに応じて、第1のビット線に読出されたデータ
    を前記センスアンプより前記レジスタに書込む際に前記
    センスアンプのデータノードと第1のビット線との間を
    切り離すべく前記トランスファゲートを制御し、かつリ
    ードサイクル及びリストアサイクルにより制御タイミン
    グを変えるゲート制御回路と、 前記メモリセルアレイを駆動する手段,前記センスアン
    プを駆動する手段,前記レジスタ制御回路及びゲート制
    御回路の基準タイミングとなる内部クロックを発生し、
    かつリードサイクル及びリストアサイクルによりクロッ
    クの周期を変える内部クロック発生回路と、を備えたこ
    とを特徴とする半導体記憶装置。
  2. 【請求項2】前記内部クロック発生回路は、リード及び
    リストアの各サイクル中でもクロックの周期を変えるこ
    とができるものである請求項1記載の半導体記憶装置。
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