JPH06151265A - 試料の接着方法及び真空ホットプレス装置 - Google Patents
試料の接着方法及び真空ホットプレス装置Info
- Publication number
- JPH06151265A JPH06151265A JP30252492A JP30252492A JPH06151265A JP H06151265 A JPH06151265 A JP H06151265A JP 30252492 A JP30252492 A JP 30252492A JP 30252492 A JP30252492 A JP 30252492A JP H06151265 A JPH06151265 A JP H06151265A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pair
- sample
- vacuum
- samples
- heaters
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】
【目的】 試料接着良品率を向上させるとともに、冷却
時間の短縮を行う。 【構成】 試料１００の貼合面に塗布された接着剤中の
気泡を真空引きして脱泡する。次に脱泡処理された２枚
の試料１００，１００を重ね合せて、これらをスペーサ
１１０を介して上部ヒータ１４と下部ヒータ２１とによ
り加熱しつつ加圧して一体に接合する。 【効果】 接着剤中の気泡を脱泡して２枚の試料を接合
するため、試料接着良品率を向上できる。さらに各ヒー
タ１４，２１には、冷却用水路４１が接近して設けられ
ているため、その冷却効率を向上して冷却時間を短縮で
きる。
時間の短縮を行う。 【構成】 試料１００の貼合面に塗布された接着剤中の
気泡を真空引きして脱泡する。次に脱泡処理された２枚
の試料１００，１００を重ね合せて、これらをスペーサ
１１０を介して上部ヒータ１４と下部ヒータ２１とによ
り加熱しつつ加圧して一体に接合する。 【効果】 接着剤中の気泡を脱泡して２枚の試料を接合
するため、試料接着良品率を向上できる。さらに各ヒー
タ１４，２１には、冷却用水路４１が接近して設けられ
ているため、その冷却効率を向上して冷却時間を短縮で
きる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、試料の接着方法及び真
空ホットプレス装置に関するものである。
空ホットプレス装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】真空ホットプレス装置は、２枚の試料を
真空中で加熱・加圧を行って接着する装置である。従来
の装置は、図５のように、真空チャンバ外で一対の試料
１００の上下面に接着剤を塗布して仮接着を行い、その
後ホットプレス装置の下部ヒータ２１の上面に試料１０
０を手で載せて、試料１００に対をなす下部ヒータ２１
及び上部ヒータ１４により加熱・加圧を行っていた。
真空中で加熱・加圧を行って接着する装置である。従来
の装置は、図５のように、真空チャンバ外で一対の試料
１００の上下面に接着剤を塗布して仮接着を行い、その
後ホットプレス装置の下部ヒータ２１の上面に試料１０
０を手で載せて、試料１００に対をなす下部ヒータ２１
及び上部ヒータ１４により加熱・加圧を行っていた。
【０００３】さらに接合後の試料１００を冷却する方法
としては、上部ヒータ１４及び下部ヒータ２１に連結し
た上部ロッド３０及び下部ロッド３１内を水冷する方式
を用いていた。図６は、下部ロッド３１の水冷構造を示
しており、（ａ）は断面図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ’
線断面図、（ｃ）は（ａ）のＢ−Ｂ’線断面図である。
下部ロッド３１は、外周側面に段加工された円周型水路
３２が形成され、ヒータと反対側の水路には入口４２，
出口４３が設けられている。また上下ロッドは、その外
周寸法と同じ外形の薄板３３を溶接し水路を設けて冷却
していた。
としては、上部ヒータ１４及び下部ヒータ２１に連結し
た上部ロッド３０及び下部ロッド３１内を水冷する方式
を用いていた。図６は、下部ロッド３１の水冷構造を示
しており、（ａ）は断面図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ’
線断面図、（ｃ）は（ａ）のＢ−Ｂ’線断面図である。
下部ロッド３１は、外周側面に段加工された円周型水路
３２が形成され、ヒータと反対側の水路には入口４２，
出口４３が設けられている。また上下ロッドは、その外
周寸法と同じ外形の薄板３３を溶接し水路を設けて冷却
していた。
【０００４】また従来の試料１００を真空ホットプレス
装置真空チャンバ内で加熱・加圧する場合、上下部ヒー
タ１４，２１表面の平面度が５μｍ以下に入っていない
と、試料１００に損傷が発生していた。
装置真空チャンバ内で加熱・加圧する場合、上下部ヒー
タ１４，２１表面の平面度が５μｍ以下に入っていない
と、試料１００に損傷が発生していた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】以上述べた真空ホット
プレス装置を用いた接着方法では、加熱・加圧後に一対
の試料貼り合せ面内の接着剤気泡が残留し、接着強度が
低かった。また、従来の冷却方法では、出口，入口付近
の冷却水は、循環し冷却されるが、ヒータ付近は冷却循
環が悪いため、冷却効率が悪かった。さらに従来の試料
の接着方法では、加熱・加圧後に亀裂や割れが生じて損
傷するため、良品率が低く作業能率が向上しなかった。
プレス装置を用いた接着方法では、加熱・加圧後に一対
の試料貼り合せ面内の接着剤気泡が残留し、接着強度が
低かった。また、従来の冷却方法では、出口，入口付近
の冷却水は、循環し冷却されるが、ヒータ付近は冷却循
環が悪いため、冷却効率が悪かった。さらに従来の試料
の接着方法では、加熱・加圧後に亀裂や割れが生じて損
傷するため、良品率が低く作業能率が向上しなかった。
【０００６】本発明の目的は、従来の問題点を解消し
て、試料の脱ガスと冷却機構を向上させた試料の接着方
法及び真空ホットプレス装置を提供することを目的とす
る。
て、試料の脱ガスと冷却機構を向上させた試料の接着方
法及び真空ホットプレス装置を提供することを目的とす
る。
【０００７】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、本発明に係る試料の接着方法は、脱泡工程と加熱・
加圧工程とを有し、貼合面に接着剤が塗布された一対の
試料を、真空中で加熱・加圧して一体に接合する試料の
接着方法であって、脱泡工程は、試料に塗布された接着
剤に含まれる気泡を真空吸引して脱泡する処理であり、
加熱・加圧工程は、脱泡処理された一対の試料を真空中
で重ね合せ、その試料をスペーサを介して対をなすヒー
タで加熱しつつ加圧して一体に接合する処理である。
め、本発明に係る試料の接着方法は、脱泡工程と加熱・
加圧工程とを有し、貼合面に接着剤が塗布された一対の
試料を、真空中で加熱・加圧して一体に接合する試料の
接着方法であって、脱泡工程は、試料に塗布された接着
剤に含まれる気泡を真空吸引して脱泡する処理であり、
加熱・加圧工程は、脱泡処理された一対の試料を真空中
で重ね合せ、その試料をスペーサを介して対をなすヒー
タで加熱しつつ加圧して一体に接合する処理である。
【０００８】また、本発明に係る試料の接着方法に用い
る真空ホットプレス装置は、真空チャンバと、ヒータの
対と、冷却機構と、中空保持機構とを有し、貼合面に接
着剤が塗布された一対の試料を、真空中で加熱・加圧し
て一体に接合する真空ホットプレス装置であって、真空
チャンバは、試料に塗布された接着剤の気泡を脱泡処理
する真空雰囲気を形成するものであり、ヒータの対は、
上部ヒータと下部ヒータとの対であり、両ヒータは、真
空チャンバ内に相対的に上下方向に変位可能に設けら
れ、一対の試料をスペーサを介して上下から加熱しつつ
加圧するものであり、冷却機構は、各ヒータに接近して
ヒータ支持用軸の軸端に設けられたパイプ状の水路であ
り、中空保持機構は、保持爪と解除ピンを有し、保持爪
は、下部ヒータの側面に上向き姿勢と、外側に押し拡げ
られた横向き姿勢とに反転可能に支持され、上向きに反
転した状態において、下部ヒータ上にスペーサを介して
支持された対をなす一方の試料の位置規制を行い、かつ
対をなす他方の試料を上方に間隔をあけて保持するもの
であり、解除ピンは、保持爪に取付けられ、上部ヒータ
の解除爪に当接し保持爪を外方に押し出すものである。
る真空ホットプレス装置は、真空チャンバと、ヒータの
対と、冷却機構と、中空保持機構とを有し、貼合面に接
着剤が塗布された一対の試料を、真空中で加熱・加圧し
て一体に接合する真空ホットプレス装置であって、真空
チャンバは、試料に塗布された接着剤の気泡を脱泡処理
する真空雰囲気を形成するものであり、ヒータの対は、
上部ヒータと下部ヒータとの対であり、両ヒータは、真
空チャンバ内に相対的に上下方向に変位可能に設けら
れ、一対の試料をスペーサを介して上下から加熱しつつ
加圧するものであり、冷却機構は、各ヒータに接近して
ヒータ支持用軸の軸端に設けられたパイプ状の水路であ
り、中空保持機構は、保持爪と解除ピンを有し、保持爪
は、下部ヒータの側面に上向き姿勢と、外側に押し拡げ
られた横向き姿勢とに反転可能に支持され、上向きに反
転した状態において、下部ヒータ上にスペーサを介して
支持された対をなす一方の試料の位置規制を行い、かつ
対をなす他方の試料を上方に間隔をあけて保持するもの
であり、解除ピンは、保持爪に取付けられ、上部ヒータ
の解除爪に当接し保持爪を外方に押し出すものである。
【０００９】
【作用】試料に塗布した接着剤の気泡を真空中で脱泡す
ることにより、試料の接着強度が強くなる。また冷却水
路をパイプ形状にし冷却水をヒータ近傍まで流すことに
より、冷却効率が良くなる。さらにスペーサを介して試
料を加圧することにより試料の損傷が極めて少なくな
る。
ることにより、試料の接着強度が強くなる。また冷却水
路をパイプ形状にし冷却水をヒータ近傍まで流すことに
より、冷却効率が良くなる。さらにスペーサを介して試
料を加圧することにより試料の損傷が極めて少なくな
る。
【００１０】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図により説明す
る。図１は、本発明の一実施例を示す一部断面した構成
図、図２は、本発明の一実施例に係る中空保持機構を示
す図、図３（ａ）は冷却機構を示す断面図、（ｂ）は、
図３（ａ）のＡ−Ａ’線断面図、（ｃ）は図３（ａ）の
Ｂ−Ｂ’線断面図である。
る。図１は、本発明の一実施例を示す一部断面した構成
図、図２は、本発明の一実施例に係る中空保持機構を示
す図、図３（ａ）は冷却機構を示す断面図、（ｂ）は、
図３（ａ）のＡ−Ａ’線断面図、（ｃ）は図３（ａ）の
Ｂ−Ｂ’線断面図である。
【００１１】図において、装置本体１０の中央部に真空
チャンバ１１が設けられ、真空チャンバ１１には開閉用
の扉１２が設けられている。
チャンバ１１が設けられ、真空チャンバ１１には開閉用
の扉１２が設けられている。
【００１２】また、装置本体１０の上部には、ヒータ支
持用の上部軸１３が垂架され、上部軸１３の下端が真空
チャンバ１１内に差込まれている。
持用の上部軸１３が垂架され、上部軸１３の下端が真空
チャンバ１１内に差込まれている。
【００１３】また、装置本体１０の下部には、シリンダ
１９が設置され、シリンダ１９のシリンダ軸２０が真空
チャンバ１１内に上部軸１３と同軸上に差込まれてい
る。そして上部軸１３とシリンダ軸２０とは、シリンダ
１９により真空チャンバ１１内で上下方向に相対変位可
能に駆動される。
１９が設置され、シリンダ１９のシリンダ軸２０が真空
チャンバ１１内に上部軸１３と同軸上に差込まれてい
る。そして上部軸１３とシリンダ軸２０とは、シリンダ
１９により真空チャンバ１１内で上下方向に相対変位可
能に駆動される。
【００１４】さらに、真空チャンバ１１内に差込まれた
上部軸１３とシリンダ軸２０との軸端には、対をなす上
部ヒータ１４と下部ヒータ２１とがそれぞれ向き合せて
設けられている。
上部軸１３とシリンダ軸２０との軸端には、対をなす上
部ヒータ１４と下部ヒータ２１とがそれぞれ向き合せて
設けられている。
【００１５】さらに、シリンダ軸２０には、下部ヒータ
２１に接近した軸端にパイプ状の水路４１が設けられて
いる。またシリンダ軸２０の周囲に取付けた円筒状の薄
板３３の内側には、上下方向に２本の水路４０が設けら
れ、２本の水路４０が水路４１の両端に連通し、一方の
水路４０には入口４２が設けられ、他方の水路４０には
出口４３が設けられている。
２１に接近した軸端にパイプ状の水路４１が設けられて
いる。またシリンダ軸２０の周囲に取付けた円筒状の薄
板３３の内側には、上下方向に２本の水路４０が設けら
れ、２本の水路４０が水路４１の両端に連通し、一方の
水路４０には入口４２が設けられ、他方の水路４０には
出口４３が設けられている。
【００１６】上述した冷却機構は、下部ヒータ２１と同
様に、上部ヒータ１４側の上部軸１３にも設けられてい
る。
様に、上部ヒータ１４側の上部軸１３にも設けられてい
る。
【００１７】さらに、下部ヒータ２１の周縁には、受板
２６が等間隔で設けられている。実施例では、受板２６
が周方向に１２０°の間隔をもって３個設けられてい
る。各受板２６には、保持爪２３がピン２４を介して上
向き姿勢と外側に押し拡げられた横向き姿勢とに反転可
能に支持されている。
２６が等間隔で設けられている。実施例では、受板２６
が周方向に１２０°の間隔をもって３個設けられてい
る。各受板２６には、保持爪２３がピン２４を介して上
向き姿勢と外側に押し拡げられた横向き姿勢とに反転可
能に支持されている。
【００１８】また、保持爪２３の側面には解除ピン２５
が横架されている。一方、解除爪１８は上部ヒータ１４
に取付けられている。解除爪１８は、テーパ部１８ａで
解除ピン２５を外方に押し出す作用をする。
が横架されている。一方、解除爪１８は上部ヒータ１４
に取付けられている。解除爪１８は、テーパ部１８ａで
解除ピン２５を外方に押し出す作用をする。
【００１９】実施例において、シリンダ１９のシリンダ
軸２０を下死点まで落ろす。そして、真空チャンバ１１
の扉１２を開けて、下部ヒータ２１の上面に、試料１０
０と同形のスペーサ１１０をセットし、その上に試料１
００をセットする（図４（ａ））。
軸２０を下死点まで落ろす。そして、真空チャンバ１１
の扉１２を開けて、下部ヒータ２１の上面に、試料１０
０と同形のスペーサ１１０をセットし、その上に試料１
００をセットする（図４（ａ））。
【００２０】次に図４（ａ）に示すように３個の保持爪
２３を手で起して垂直に起立させる。そして、保持爪２
３の上段爪２３ａ上に、接着剤が塗布された貼合面を下
向きにして試料１００の周縁をセットし、その上にスペ
ーサ１１０をセットする。
２３を手で起して垂直に起立させる。そして、保持爪２
３の上段爪２３ａ上に、接着剤が塗布された貼合面を下
向きにして試料１００の周縁をセットし、その上にスペ
ーサ１１０をセットする。
【００２１】次に真空チャンバ１１の扉１２を閉め、真
空チャンバ１１内を真空引きして、試料１００に塗布さ
れた接着剤の気泡を脱泡する。
空チャンバ１１内を真空引きして、試料１００に塗布さ
れた接着剤の気泡を脱泡する。
【００２２】その後、シリンダ１９でシリンダ軸２０を
上昇させる。シリンダ軸２０が上昇すると、上部ヒータ
１４の解除爪１８に保持爪２３の解除ピン２５が当接す
る。このため、３個の保持爪２３は外側に拡がり、試料
１００が保持爪２３から離れて下段の試料１００上に落
下する。
上昇させる。シリンダ軸２０が上昇すると、上部ヒータ
１４の解除爪１８に保持爪２３の解除ピン２５が当接す
る。このため、３個の保持爪２３は外側に拡がり、試料
１００が保持爪２３から離れて下段の試料１００上に落
下する。
【００２３】次に図４（ｂ）に示すように、重なり合っ
た試料１００，１００を上下からヒータ１４と２１の対
でスペーサ１１０を介して加熱しつつ加圧する。この加
熱・加圧により２枚の試料１００，１００が一体に接合
される。
た試料１００，１００を上下からヒータ１４と２１の対
でスペーサ１１０を介して加熱しつつ加圧する。この加
熱・加圧により２枚の試料１００，１００が一体に接合
される。
【００２４】加圧終了後、シリンダ１９でシリンダ軸２
０を下方に降ろし、真空引きを解除して真空チャンバ１
１の扉１２を開き、スペーサ１１０と試料１００とを取
り出す。
０を下方に降ろし、真空引きを解除して真空チャンバ１
１の扉１２を開き、スペーサ１１０と試料１００とを取
り出す。
【００２５】一方、ヒータ１４，２１の水路４１には、
冷媒を入口４２から水路４１を介して流入させ、他方の
水路４１及び出口４３から流出させて循環させ、各ヒー
タ４１，２１を冷却する。
冷媒を入口４２から水路４１を介して流入させ、他方の
水路４１及び出口４３から流出させて循環させ、各ヒー
タ４１，２１を冷却する。
【００２６】本発明において、水路４１内での冷媒を流
量２ ｌ／ｍｉｎとし、真空中で加熱・加圧したときの
温度が４００℃とした場合に、冷媒時間は約２時間であ
り、非常に冷却時間が短縮された。また、接着剤中の気
泡を脱泡した後に接着しており、かつスペーサを介して
加熱・加圧しているため、試料接着良品率は向上した。
量２ ｌ／ｍｉｎとし、真空中で加熱・加圧したときの
温度が４００℃とした場合に、冷媒時間は約２時間であ
り、非常に冷却時間が短縮された。また、接着剤中の気
泡を脱泡した後に接着しており、かつスペーサを介して
加熱・加圧しているため、試料接着良品率は向上した。
【００２７】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、接
着剤中の気泡を脱泡した後に接着剤により２枚の試料を
接着したので、試料接着良品率を著しく向上できる。
着剤中の気泡を脱泡した後に接着剤により２枚の試料を
接着したので、試料接着良品率を著しく向上できる。
【００２８】さらに、ヒータに接近させて冷媒用の水路
を設けたため、冷却効率を向上させて冷却時間を短縮す
ることができる。
を設けたため、冷却効率を向上させて冷却時間を短縮す
ることができる。
【００２９】さらにスペーサを用いることにより良品率
が向上する極めて有効な製造方法である。
が向上する極めて有効な製造方法である。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例に係る真空ホットプレス装置
を示す部分断面図である。
を示す部分断面図である。
【図２】保持機構部と解除爪との関係を示す図である。
【図３】（ａ）は水冷機構部を示す断面図、（ｂ）は同
機構部のＡ−Ａ’線断面図、（ｃ）は同機構部のＢ−
Ｂ’線断面図である。
機構部のＡ−Ａ’線断面図、（ｃ）は同機構部のＢ−
Ｂ’線断面図である。
【図４】（ａ）はスペーサを用いた接着方法の詳細図、
（ｂ）は接着状態を示す断面図である。
（ｂ）は接着状態を示す断面図である。
【図５】従来の接着方法を示す正面図である。
【図６】（ａ）は従来の下部水冷機構部を示す断面図、
（ｂ）は同機構部のＡ−Ａ’線断面図、（ｃ）は同機構
部のＢ−Ｂ’線断面図である。
（ｂ）は同機構部のＡ−Ａ’線断面図、（ｃ）は同機構
部のＢ−Ｂ’線断面図である。
１０ 装置本体 １１ 真空チャンバ １２ 扉 １３ 上部軸 １４ 上部ヒータ １８ 解除爪 １９ シリンダ ２０ シリンダ軸 ２１ 下部ヒータ ２３ 保持爪 ２４ ピン ２５ 解除ピン ２６ 受板 ３０ 上部ロッド ３１ 下部ロッド ３２ 円周型水路 ３３ 薄板 ３４ ヒータ部 ４０ 水路 ４１ パイプ穴 ４２ 入口 ４３ 出口 １００ 試料 １１０ スペーサ
Claims (2)
- 【請求項１】 脱泡工程と加熱・加圧工程とを有し、貼
合面に接着剤が塗布された一対の試料を、真空中で加熱
・加圧して一体に接合する試料の接着方法であって、 脱泡工程は、試料に塗布された接着剤に含まれる気泡を
真空吸引して脱泡する処理であり、 加熱・加圧工程は、脱泡処理された一対の試料を真空中
で重ね合せ、その試料をスペーサを介して対をなすヒー
タで加熱しつつ加圧して一体に接合する処理であること
を特徴とする試料の接着方法。 - 【請求項２】 真空チャンバと、ヒータの対と、冷却機
構と、中空保持機構とを有し、貼合面に接着剤が塗布さ
れた一対の試料を、真空中で加熱・加圧して一体に接合
する真空ホットプレス装置であって、 真空チャンバは、試料に塗布された接着剤の気泡を脱泡
処理する真空雰囲気を形成するものであり、 ヒータの対は、上部ヒータと下部ヒータとの対であり、
両ヒータは、真空チャンバ内に相対的に上下方向に変位
可能に設けられ、一対の試料をスペーサを介して上下か
ら加熱しつつ加圧するものであり、 冷却機構は、各ヒータに接近してヒータ支持用軸の軸端
に設けられたパイプ状の水路であり、 中空保持機構は、保持爪と解除ピンを有し、 保持爪は、下部ヒータの側面に上向き姿勢と、外側に押
し拡げられた横向き姿勢とに反転可能に支持され、上向
きに反転した状態において、下部ヒータ上にスペーサを
介して支持された対をなす一方の試料の位置規制を行
い、かつ対をなす他方の試料を上方に間隔をあけて保持
するものであり、 解除ピンは、保持爪に取付けられ、上部ヒータの解除爪
に当接し保持爪を外方に押し出すものであることを特徴
とする真空ホットプレス装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30252492A JPH06151265A (ja) | 1992-11-12 | 1992-11-12 | 試料の接着方法及び真空ホットプレス装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30252492A JPH06151265A (ja) | 1992-11-12 | 1992-11-12 | 試料の接着方法及び真空ホットプレス装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06151265A true JPH06151265A (ja) | 1994-05-31 |
Family
ID=17910005
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30252492A Pending JPH06151265A (ja) | 1992-11-12 | 1992-11-12 | 試料の接着方法及び真空ホットプレス装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06151265A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003318372A (ja) * | 2002-04-25 | 2003-11-07 | Seiko Epson Corp | 電子装置の製造方法及び製造装置 |
| JP2005109219A (ja) * | 2003-09-30 | 2005-04-21 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | 半導体貼り合わせ装置 |
| US7419885B2 (en) | 2004-11-16 | 2008-09-02 | Tdk Corporation | Method for cutting a wafer using a protection sheet |
| US7645685B2 (en) | 2006-03-17 | 2010-01-12 | Tdk Corporation | Method for producing a thin IC chip using negative pressure |
| CN108127242A (zh) * | 2017-12-23 | 2018-06-08 | 玉林市玉州区万通华信科技服务部 | 一种装饰用的复合板热合机 |
| CN112563166A (zh) * | 2020-12-01 | 2021-03-26 | 中国计量大学 | 一种真空脱泡装置及方法 |
-
1992
- 1992-11-12 JP JP30252492A patent/JPH06151265A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003318372A (ja) * | 2002-04-25 | 2003-11-07 | Seiko Epson Corp | 電子装置の製造方法及び製造装置 |
| US7526858B2 (en) | 2002-04-25 | 2009-05-05 | Seiko Epson Corporation | Apparatus for making electronic devices |
| JP2005109219A (ja) * | 2003-09-30 | 2005-04-21 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | 半導体貼り合わせ装置 |
| JP4549648B2 (ja) * | 2003-09-30 | 2010-09-22 | 信越半導体株式会社 | 半導体貼り合わせ装置 |
| US7419885B2 (en) | 2004-11-16 | 2008-09-02 | Tdk Corporation | Method for cutting a wafer using a protection sheet |
| US7645685B2 (en) | 2006-03-17 | 2010-01-12 | Tdk Corporation | Method for producing a thin IC chip using negative pressure |
| CN108127242A (zh) * | 2017-12-23 | 2018-06-08 | 玉林市玉州区万通华信科技服务部 | 一种装饰用的复合板热合机 |
| CN112563166A (zh) * | 2020-12-01 | 2021-03-26 | 中国计量大学 | 一种真空脱泡装置及方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| TW201030890A (en) | Bonding apparatus and bonding method | |
| JPH06151265A (ja) | 試料の接着方法及び真空ホットプレス装置 | |
| US20060011290A1 (en) | Method and device for fabricating a hollow body containing at least one insert | |
| CN100353504C (zh) | 基片接合方法和设备 | |
| JP2013173654A (ja) | ガラス基板もしくは水晶基板からなるワークの貼り合わせ方法および装置 | |
| JP4679890B2 (ja) | サポートプレートの貼り付け装置 | |
| JPS5817684A (ja) | 太陽電池の封止方法 | |
| JPH07169660A (ja) | ウェハ対を接合する装置及び方法 | |
| CN205571834U (zh) | 一种电池盖板滤气片热封机器人 | |
| JPH081898B2 (ja) | ウエハ貼付装置 | |
| JP2001518829A (ja) | フィルタアセンブリの製造方法及びこれにより製造されるフィルタアセンブリ | |
| CN113758769A (zh) | 胶接结构缺陷试块的制造方法 | |
| JPS61108482A (ja) | 管板と伝熱管との接合方法 | |
| CN107498972A (zh) | 一种高真空自重贴合设备及其贴合方法 | |
| CN211467772U (zh) | 一种热压装置及由其组成的热压设备 | |
| JPH06115123A (ja) | 熱転写方法 | |
| JPH0346253A (ja) | ウェハ拡張装置 | |
| CN206245123U (zh) | 一种编织带粘合机 | |
| WO2018205538A1 (zh) | 一种高体分SiCp/Al与铋酸盐玻璃复合材料及其制备方法 | |
| CN219017602U (zh) | 一种改进型晶圆设备 | |
| KR100783610B1 (ko) | 진공패드를 이용한 무늬지가 합지토록 되는 유리판의제조방법 및 장치 | |
| JP2872287B2 (ja) | 合わせガラスの接着方法並びにその装置 | |
| JPS62183818A (ja) | フイルタエレメントの端面接着装置 | |
| CN114889302A (zh) | 一种适用于电子秤中玻璃/陶瓷与金属片的贴合方法 | |
| JPS63210046A (ja) | 合せガラス製造方法 |