JPH06137289A - 真空ポンプ及び真空処理装置 - Google Patents
真空ポンプ及び真空処理装置Info
- Publication number
- JPH06137289A JPH06137289A JP29110692A JP29110692A JPH06137289A JP H06137289 A JPH06137289 A JP H06137289A JP 29110692 A JP29110692 A JP 29110692A JP 29110692 A JP29110692 A JP 29110692A JP H06137289 A JPH06137289 A JP H06137289A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vacuum
- pump
- sensor
- vacuum chamber
- chamber
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 真空装置で、真空室の真空排気時に、発生す
るゴミの巻き上げの低減を図る。 【構成】 この真空ポンプは、真空室用センサー１１、
真空排気配管のセンサー１２のようなセンサー部と、そ
れぞれの信号を処理し、ポンプ本体に制御信号を送るフ
ィードバック部１３、フィードバック制御されるポンプ
本体１４から構成されており、真空室１５を真空排気す
る。 【効果】 低真空では低回転、高真空になっていくのに
追従し、高回転へとポンプ本体１４が、運転されるた
め、真空室１５内の圧力変動は小さく、気流の巻き上げ
によるゴミは低減される。
るゴミの巻き上げの低減を図る。 【構成】 この真空ポンプは、真空室用センサー１１、
真空排気配管のセンサー１２のようなセンサー部と、そ
れぞれの信号を処理し、ポンプ本体に制御信号を送るフ
ィードバック部１３、フィードバック制御されるポンプ
本体１４から構成されており、真空室１５を真空排気す
る。 【効果】 低真空では低回転、高真空になっていくのに
追従し、高回転へとポンプ本体１４が、運転されるた
め、真空室１５内の圧力変動は小さく、気流の巻き上げ
によるゴミは低減される。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、真空排気する真空ポ
ンプに関する。
ンプに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、真空装置では、気流の動きによる
ゴミの巻き上げを防ぐ目的で、真空室（処理室）を大気
圧から、真空排気する場合、急激な圧力変動を低減する
「スロー排気機構」を有するものが用いられる。尚、従
来技術の例を図４に示す。従来の「スロー排気機構」で
は、ポンプ本体１４から運転開始時、まずスロー排気バ
ルブ４１が開き、真空室内を小径の配管で排気し、ある
時間、または、ある真空度に達した後、スロー排気バル
ブ４１が閉じ、メインバルブ２１が開き、大径の配管で
排気する方式がとられていた。
ゴミの巻き上げを防ぐ目的で、真空室（処理室）を大気
圧から、真空排気する場合、急激な圧力変動を低減する
「スロー排気機構」を有するものが用いられる。尚、従
来技術の例を図４に示す。従来の「スロー排気機構」で
は、ポンプ本体１４から運転開始時、まずスロー排気バ
ルブ４１が開き、真空室内を小径の配管で排気し、ある
時間、または、ある真空度に達した後、スロー排気バル
ブ４１が閉じ、メインバルブ２１が開き、大径の配管で
排気する方式がとられていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところで従来のスロー
排気機構では、段階的な真空引きが行われ、圧力も、そ
の段階で急激に変動し、真空室内では、反応による生成
物（ゴミ）が気流で巻き上げられることがある。
排気機構では、段階的な真空引きが行われ、圧力も、そ
の段階で急激に変動し、真空室内では、反応による生成
物（ゴミ）が気流で巻き上げられることがある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】この発明の真空ポンプ
は、真空室、または、真空排気配管、もしくは、その両
方での真空度を感知するセンサー部と、この信号を処理
してポンプ本体を制御するフィードバック部と、フィー
ドバック制御により回転を可変する真空ポンプ本体を有
する。
は、真空室、または、真空排気配管、もしくは、その両
方での真空度を感知するセンサー部と、この信号を処理
してポンプ本体を制御するフィードバック部と、フィー
ドバック制御により回転を可変する真空ポンプ本体を有
する。
【０００５】
【作用】上記の構成により、 （１）センサー部は、真空室、真空排気配管の真空度を
感知し、伝達する。
感知し、伝達する。
【０００６】（２）フィードバック部はセンサーからの
信号を処理し、真空ポンプ本体を最適な回転数で運転す
るように制御する。
信号を処理し、真空ポンプ本体を最適な回転数で運転す
るように制御する。
【０００７】（３）真空ポンプ本体では、フィードバッ
ク部により制御され、回転数が可変される。これによ
り、低真空では、低回転、高真空では、高回転というよ
うに運転される。
ク部により制御され、回転数が可変される。これによ
り、低真空では、低回転、高真空では、高回転というよ
うに運転される。
【０００８】（４）したがってゴミが気流で巻き上げら
れることを防止する。
れることを防止する。
【０００９】
【実施例】図１は、この発明の一例の真空ポンプであ
り、基本的な例である。１１は真空室用センサー、１２
は真空排気配管用センサーであり、それぞれ、真空室、
真空排気配管での真空度を感知し、信号に変換するもの
である。
り、基本的な例である。１１は真空室用センサー、１２
は真空排気配管用センサーであり、それぞれ、真空室、
真空排気配管での真空度を感知し、信号に変換するもの
である。
【００１０】また、センサー１１，１２での真空度に異
常な差があった場合、装置異常（例えば、配管でのリー
ク）の可能性があるので、アラームを発する。それぞれ
の信号はフィードバック部１３により処理され、ポンプ
本体１４へ制御信号を出し、制御する。ポンプ本体１４
は、連続的に回転は可変し、低真空から高真空へスムー
ズに運転される。これにより、真空室１５内でのゴミ巻
き上げは低減される。
常な差があった場合、装置異常（例えば、配管でのリー
ク）の可能性があるので、アラームを発する。それぞれ
の信号はフィードバック部１３により処理され、ポンプ
本体１４へ制御信号を出し、制御する。ポンプ本体１４
は、連続的に回転は可変し、低真空から高真空へスムー
ズに運転される。これにより、真空室１５内でのゴミ巻
き上げは低減される。
【００１１】
【実施例２】図２は、第２の実施例である。これは簡易
的な真空装置の例で、真空排気を開始するとメインバル
ブ２１が開き、真空室用センサー１１からの信号に応
じ、フィードバック部１３により制御され、ポンプ本体
１４は運転される。処理用のガスは反応ガス導入部２２
より導入される。この場合も、実施例１と同様、真空室
１５内でのゴミは低減される。
的な真空装置の例で、真空排気を開始するとメインバル
ブ２１が開き、真空室用センサー１１からの信号に応
じ、フィードバック部１３により制御され、ポンプ本体
１４は運転される。処理用のガスは反応ガス導入部２２
より導入される。この場合も、実施例１と同様、真空室
１５内でのゴミは低減される。
【００１２】
【実施例３】図３は、枚葉式プラズマエッチング装置の
例である。この例では、真空中の真空室１５に上部電極
３２、下部電極３３があり、反応ガス導入部２２より反
応ガスが供給された後、ＲＦ発振器３５より、ＲＦ（高
周波）が発振され、ＲＦ印加部３４に印加される。これ
により、下部電極３３に置かれたウェーハはエッチング
処理される。この例の特徴は、高真空を得るため、真空
室用センサー１１と真空排気配管用センサー１２からの
信号をフィード・バック部１３で、処理し、低真空か高
真空に推移するに応じ、ポンプ本体１４に加えて、高真
空補助ポンプ３１が、スタートし、短時間で、安定した
真空状態をつくり出すことである。
例である。この例では、真空中の真空室１５に上部電極
３２、下部電極３３があり、反応ガス導入部２２より反
応ガスが供給された後、ＲＦ発振器３５より、ＲＦ（高
周波）が発振され、ＲＦ印加部３４に印加される。これ
により、下部電極３３に置かれたウェーハはエッチング
処理される。この例の特徴は、高真空を得るため、真空
室用センサー１１と真空排気配管用センサー１２からの
信号をフィード・バック部１３で、処理し、低真空か高
真空に推移するに応じ、ポンプ本体１４に加えて、高真
空補助ポンプ３１が、スタートし、短時間で、安定した
真空状態をつくり出すことである。
【００１３】また、実施例１と同様にセンサー１１と１
２での真空度に異常な差があった場合、装置異常（例え
ば、配管のリーク）の可能性があるのでアラームを発す
ることができる。
２での真空度に異常な差があった場合、装置異常（例え
ば、配管のリーク）の可能性があるのでアラームを発す
ることができる。
【００１４】
【発明の効果】以上説明のように、この発明は、真空度
は、真空度をフィード・バック制御し、かつ回転数を連
続的に可変運転する真空ポンプで、ゴミの巻き上げの低
減ができる効果がある。
は、真空度をフィード・バック制御し、かつ回転数を連
続的に可変運転する真空ポンプで、ゴミの巻き上げの低
減ができる効果がある。
【図１】 この発明の一実施例の真空ポンプ
【図２】 この発明の第２の実施例の簡易的な真空装置
での真空ポンプ
での真空ポンプ
【図３】 この発明の第３の実施例の枚葉式プラズマエ
ッチング装置での真空ポンプ
ッチング装置での真空ポンプ
【図４】 従来の真空装置での真空ポンプの例
１１ 真空室センサー １２ 真空排気配管用センサー １３ フィードバック部 １４ ポンプ本体 １５ 真空室 １６ 真空排気配管 ２１ メインバルブ ２２ 反応ガス導入部 ３１ 高真空補助ポンプ ３２ 上部電極 ３３ 下部電極 ３４ ＲＦ印加部 ３５ ＲＦ発振器 ４１ スロー排気バルブ
Claims (3)
- 【請求項１】真空度に追従し、回転数が可変することを
特徴とする真空ポンプ。 - 【請求項２】真空度センサーを真空室または、真空排気
配管、もしくは、その両方に設け、真空度をフィード・
バックすることを特徴とする請求項１記載の真空ポン
プ。 - 【請求項３】真空に引かれる処理室と、処理室もしくは
その排気管もしくはその双方に配置した真空度センサー
と、 前記真空度センサーの信号に応じて回転速度を可変する
真空ポンプを備えた真空処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29110692A JPH06137289A (ja) | 1992-10-29 | 1992-10-29 | 真空ポンプ及び真空処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29110692A JPH06137289A (ja) | 1992-10-29 | 1992-10-29 | 真空ポンプ及び真空処理装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06137289A true JPH06137289A (ja) | 1994-05-17 |
Family
ID=17764534
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29110692A Pending JPH06137289A (ja) | 1992-10-29 | 1992-10-29 | 真空ポンプ及び真空処理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06137289A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104541061A (zh) * | 2012-07-19 | 2015-04-22 | 阿迪克森真空产品公司 | 用于泵浦加工室的方法和设备 |
-
1992
- 1992-10-29 JP JP29110692A patent/JPH06137289A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104541061A (zh) * | 2012-07-19 | 2015-04-22 | 阿迪克森真空产品公司 | 用于泵浦加工室的方法和设备 |
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