JPH0613257Y2 - 横型気相成長装置 - Google Patents

横型気相成長装置

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JPH0613257Y2 JP14030488U JP14030488U JPH0613257Y2 JP H0613257 Y2 JPH0613257 Y2 JP H0613257Y2 JP 14030488 U JP14030488 U JP 14030488U JP 14030488 U JP14030488 U JP 14030488U JP H0613257 Y2 JPH0613257 Y2 JP H0613257Y2
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transfer device
vapor phase
phase growth
substrate transfer
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秀雄 関谷
博 木村
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日本酸素株式会社
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