JPH06131879A - 半導体記憶装置 - Google Patents

半導体記憶装置

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JPH06131879A
JPH06131879A JP28136892A JP28136892A JPH06131879A JP H06131879 A JPH06131879 A JP H06131879A JP 28136892 A JP28136892 A JP 28136892A JP 28136892 A JP28136892 A JP 28136892A JP H06131879 A JPH06131879 A JP H06131879A
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data
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eeprom
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JP28136892A
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English (en)
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Shunji Takekuma
俊次 武隈
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Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 組み立て後においてそのビット構成及び動作
モード等を容易に切り換えうるEEPROM等を実現す
る。これにより、EEPROM等の製造工程を簡素化
し、そのメーカにおける所要在庫量を削減する。 【構成】 プログラム可能な不揮発性メモリセルQDが
格子状に配置されてなるメモリアレイMARYを備える
EEPROM等に、これらのメモリセルQDと同一構造
のメモリセルQCを含みビット構成及び動作モード等に
関する制御情報を保持するための制御レジスタと、この
制御レジスタから読み出される制御情報C0〜C3に従
ってEEPROM等のビット構成及び動作モード等を選
択的に切り換えるためのモード切り換え回路とを設ける
とともに、データ入出力端子D3を介して上記制御レジ
スタを書き換えるための書き込みモードを設ける。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は半導体記憶装置に関
し、例えば、EEPROM(Electrically
Erasable and Programable
Read Only Memory)等のPROM
(Programable Read Only Me
mory)に利用して特に有効な技術に関するものであ
る。
【0002】
【従来の技術】プログラム可能な不揮発性メモリセルが
格子状に配置されてなるメモリアレイを備え、記憶デー
タを電気的に消去・書き換え可能なEEPROMがあ
る。
【0003】一方、EEPROM等の半導体記憶装置に
おいて、ビット構成や特に高速モードに関する動作モー
ド等をオプショナルに切り換えうることは、その営業活
動と品種展開等を優位に進める上での要点となる。従来
のEEPROM等において、ビット構成及び動作モード
等の切り換えは、例えば所定の配線工程において用いら
れるフォトマスクを部分的に変更し所定層の金属配線を
選択的に形成するいわゆるマスタースライスによって行
われる。言い換えるならば、マスタースライスされる部
分を除く製造工程は、ビット構成及び動作モード等が異
なる複数の品種において共通化され、これによって品種
展開の効率化が図られる。
【0004】マスタースライスについては、例えば、昭
和59年、産業図書出版社発行『MOSLSI設計入
門』の第174頁等に記載されている。
【0005】EEPROM等の多様化が進む中、上記マ
スタースライスによる従来の品種展開には次のような問
題点があることが本願発明者等によって明らかとなっ
た。すなわち、上記マスタースライスでは、品種ごとに
複数のフォトマスクが必要になるとともに、ビット構成
や動作モード等の切り換えが所定の金属配線を選択的に
形成することによって言わばハードウエア的に行われ、
組み立て後の仕様変更は不可能とされる。このため、E
EPROM等のメーカは、市場の需要動向を予測し品種
ごとに生産量を設定して、適正在庫の確保に躍起となっ
ている。このことは、その多様化が進むにしたがって、
EEPROM等の製造工程を複雑化させ、量産効果を低
下させるとともに、その在庫総量を増大させ、市場のニ
ーズが急変した場合には、大量の不良在庫を抱える原因
ともなる。
【0006】この発明の目的は、組み立て後においてそ
のビット構成及び動作モード等を容易に切り換えうるE
EPROM等の半導体記憶装置を提供することにある。
この発明の他の目的は、EPROM等の製造工程を簡素
化し、そのメーカにおける所要在庫量の削減を図ること
にある。
【0007】この発明の前記ならびにその他の目的と新
規な特徴は、この明細書の記述及び添付図面から明らか
になるであろう。
【0008】
【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち代表的なものの概要を簡単に説明すれば、次
の通りである。すなわち、プログラム可能な不揮発性メ
モリセルが格子状に配置されてなるメモリアレイを備え
るEEPROM等に、これらの不揮発性メモリセルと同
一構造のメモリセルからなりビット構成及び動作モード
等に関する制御情報を保持するための制御レジスタと、
この制御レジスタにより保持される制御情報に従ってE
EPROM等のビット構成及び動作モード等を選択的に
切り換えるためのモード切り換え回路とを設けるととも
に、外部から上記制御レジスタを書き換えるための書き
込みモードを設ける。
【0009】
【作用】上記手段によれば、共通のフォトマスクをもと
にEEPROM等の全品種に適応しうる基本製品を製造
できるとともに、組み立て終了後においてそのビット構
成や動作モード等を容易に設定し、効率的な品種展開を
図ることができる。この結果、EPROM等のフォトマ
スク数を削減し、その製造工程を簡素化できるととも
に、市場の需要変動に敏速に対応し、EEPROM等の
メーカにおける所要在庫量を削減することができる。
【0010】
【実施例】図1には、この発明が適用されたEEPRO
M(半導体記憶装置)の一実施例のブロック図が示され
ている。また、図2には、図1のEEPROMのデータ
入力バッファDIB及びライトアンプWAの一実施例の
ブロック図が示され、図3には、そのセンスアンプSA
及びデータ出力バッファDOBの一実施例のブロック図
が示されている。これらの図をもとに、この実施例のE
EPROMの構成及び動作の概要ならびにその特徴につ
いて説明する。なお、図1ないし図3の各回路素子なら
びに各ブロックを構成する回路素子は、公知の半導体集
積回路の製造技術により、単結晶シリコンのような1個
の半導体基板上に形成される。また、そのチャンネル
(バックゲート)部に矢印が付されるMOSFET(金
属酸化物半導体型電界効果トランジスタ。この明細書で
は、MOSFETをして絶縁ゲート型電界効果トランジ
スタの総称とする)はPチャンネル型であって、矢印の
付されないNチャンネルMOSFETと区別して示され
る。
【0011】図1において、この実施例のEEPROM
は、半導体基板面の大半を占めて配置されるメモリアレ
イMARYを備える。メモリアレイMARYは、特に制
限されないが、同一の列に配置されるm+1個のメモリ
セルQD(第1の不揮発性メモリセル)を直列結合すべ
く垂直方向に延長されるn+1本のビット線B0〜Bn
と、同一の行に配置されるn+1個のメモリセルQDの
ゲートを共通結合すべく水平方向に延長されるm+1本
のワード線W0〜Wmとを含む。ビット線B0〜Bnに
結合されるn+1個のメモリセルQDの一端は、Yスイ
ッチ回路YSの対応するNチャンネル型の選択MOSF
ETQSを介して共通データ線CD0〜CD3に4本ず
つ選択的に結合され、その他端は、対応するNチャンネ
ル型の駆動MOSFETQGを介して回路の接地電位に
結合される。Yスイッチ回路YSの選択MOSFETQ
Sのゲートは、4組ずつ順次共通結合され、Yアドレス
デコーダYDから対応するビット線選択信号Y0〜Yq
がそれぞれ共通に供給される。また、すべての駆動MO
SFETQSのゲートには、図示されないタイミング発
生回路から所定の内部制御信号SGが共通に供給され
る。
【0012】ここで、メモリセルQDは、いわゆるMN
OS(Metal NitrideOxide Sem
iconductor)等のプログラム可能な不揮発性
メモリセルによって構成され、データ保持のための記憶
素子となる。また、内部制御信号SGは、EEPROM
が消去モード又は読み出しモードとされるとき+5Vの
ようなロウレベルとされ、EEPROMがプログラムモ
ードとされるとき、回路の接地電位のようなハイレベル
とされる。さらに、ワード線W0〜Wmは、後述するよ
うに、Xアドレス信号AX0〜AXiに従って選択的に
かつ択一的に所定の選択レベルとされ、ビット線選択信
号Y0〜Yqは、Yアドレス信号AY0〜AYjに従っ
て選択的にかつ択一的に所定の選択レベルとされる。
【0013】メモリアレイMARYを構成するワード線
W0〜Wmは、XアドレスデコーダXDに結合され、所
定の条件で選択的に選択レベル又は非選択レベルとされ
る。XアドレスデコーダXDには、アドレス入力端子A
X0〜AXiを介してi+1ビットのXアドレス信号A
X0〜AXiが供給され、タイミング発生回路から図示
されないモード制御信号が供給される。一方、ビット線
選択信号線Y0〜Yqは、YアドレスデコーダYDに結
合され、所定の条件で選択的に選択レベル又は非選択レ
ベルとされる。YアドレスデコーダYDには、アドレス
入力端子AY2〜AYjを介してj−1ビットのYアド
レス信号AY2〜AYjが供給され、タイミング発生回
路から図示されないモード制御信号が供給される。な
お、Yアドレス信号AY2は、タイミング発生回路TG
にも供給される。
【0014】XアドレスデコーダXDは、上記Xアドレ
ス信号AX0〜AXiならびにモード制御信号をもと
に、メモリアレイMARYのワード線W0〜Wmを所定
の組み合わせで所定の選択レベル又は非選択レベルとす
る。また、YアドレスデコーダYDは、上記Yアドレス
信号AY2〜AYjならびにモード制御信号をもとに、
ビット線選択信号Y0〜Yqを所定の組み合わせで所定
の選択レベル又は非選択レベルとする。すなわち、EE
PROMが消去モードとされるとき、Xアドレスデコー
ダXDは、すべてのワード線W0〜Wmを+17Vのよ
うなハイレベルとし、YアドレスデコーダYDは、すべ
てのビット線選択信号Y0〜Yqを+17Vのようなハ
イレベルとする。このとき、共通データ線CD0〜CD
3は、ライトアンプWAの対応する単位回路によって回
路の接地電位のようなロウレベルとされ、内部制御信号
SGは+5Vのようなハイレベルとされる。このため、
Yスイッチ回路YSでは、すべての選択MOSFETQ
Sが一斉にオン状態となり、メモリアレイMARYで
は、すべての駆動MOSFETQGが一斉にオン状態と
なる。この結果、メモリアレイMARYを構成するすべ
てのメモリセルQDは、そのしきい値電圧が約2Vのよ
うな比較的小さな値とされていわゆるエンハンスドモー
ドとなり、すべての記憶データの消去が行われる。
【0015】次に、消去モードに引き続いてEEPRO
Mがプログラムモードとされると、Xアドレスデコーダ
XDは、Xアドレス信号AX0〜AXiをデコードして
対応するワード線とこのワード線より老番のワード線を
回路の接地電位のようなロウレベルとし、指定されたワ
ード線より若番のワード線を+22Vのようなハイレベ
ルとする。また、YアドレスデコーダYDは、Yアドレ
ス信号AY2〜AYjをデコードして対応するビット線
選択信号Y0〜Yqを択一的に+22Vのようなハイレ
ベルとし、その他のビット線選択信号を回路の接地電位
のようなロウレベルとする。このとき、共通データ線C
D0〜CD3には、ライトアンプWAからデータ入力バ
ッファDIBを介して入力される書き込みデータが論理
“1”であると+22Vのようなハイレベルが、また論
理“0”であると+11Vのようなロウレベルがそれぞ
れ出力される。内部制御信号SGは、回路の接地電位の
ようなロウレベルとされる。これにより、Yスイッチ回
路YSでは、対応する4個の選択MOSFETQSが選
択的にオン状態となり、メモリアレイMARYではすべ
ての駆動MOSFETQSが一斉にオフ状態とされる。
この結果、メモリアレイMARYの指定された4個のメ
モリセルQDは、対応する書き込みデータが論理“1”
である場合に約−3Vのしきい値電圧を持つデプレッシ
ョンモードとされ、対応する書き込みデータが論理
“0”であると約2Vのしきい値電圧を持つエンハンス
ドモードのままとされる。
【0016】一方、EEPROMが読み出しモードとさ
れるとき、XアドレスデコーダXDは、Xアドレス信号
AX0〜AXiによって指定される1本のワード線W0
〜Wmを択一的に回路の接地電位のようなロウレベルと
し、その他のワード線を+5Vのようなハイレベルとす
る。また、YアドレスデコーダYDは、Yアドレス信号
によって指定される1本のビット線選択信号線Y0〜Y
qを択一的に+5Vのようなハイレベルとし、その他の
ビット線選択信号線を回路の接地電位のようなロウレベ
ルとする。このとき、内部制御信号SGは、+5Vのよ
うなハイレベルとされる。これにより、Yスイッチ回路
YSでは、対応する選択MOSFETQSが択一的にオ
ン状態となり、メモリアレイMARYでは、すべての駆
動MOSFETQGが一斉にオン状態となる。この結
果、対応する4本のビット線B0〜Bnには、メモリア
レイMARYの選択された4個のメモリセルQDの保持
データが論理“1”であるとき、言い換えるならばメモ
リアレイMARYの指定されたメモリセルQDが約−3
Vのしきい値電圧を持つデプレッションモードとされる
ことを条件に、約20μA程度の微小な読み出し電流が
選択的に得られ、相当する電圧信号が共通データ線CD
0〜CD3に出力される。指定されたメモリセルQDの
保持データが論理“0”であるとき、言い換えるならば
指定されたメモリセルQCが約2Vのしきい値電圧を持
つエンハンスドモードとされるとき、対応するビット線
B0〜Bnには読み出し電流が流されない。
【0017】共通データ線CD0〜CD3は、ライトア
ンプWAの対応する単位ライトアンプUWA0〜UWA
3の出力端子に結合されるとともに、センスアンプSA
の対応する単位センスアンプUSA0〜USA3の入力
端子に結合される。ライトアンプWAの単位ライトアン
プUWA0〜UWA3の入力端子は、データ入力バッフ
ァDIBの対応する出力端子に結合され、センスアンプ
SAの単位センスアンプUSA0〜USA3の出力端子
は、データ出力バッファDOBの対応する入力端子に結
合される。データ入力バッファDIBの各入力端子は、
対応するデータ入出力端子D0〜D3あるいはデータ入
力端子Dinに結合され、データ出力バッファDOBの
各出力端子は、対応するデータ入出力端子D0〜D3あ
るいはデータ出力端子Doutに結合される。データ入
出力端子D3すなわちデータ入力端子Dinは、後述す
る制御情報用のライトアンプWACにも結合される。ラ
イトアンプWAには、アドレス入力端子AY0及びAY
1を介してYアドレス信号AY0及びAY1が供給され
るとともに、タイミング発生回路TGから内部制御信号
WPが供給され、制御情報用のセンスアンプSACから
第1ビットの制御情報C0(ビット構成設定情報)が供
給される。データ入力バッファDIBには、制御情報C
0が供給され、データ出力バッファDOBには、Yアド
レス信号AY0及びAY1ならびに制御情報C0が供給
される。Yアドレス信号AY0及びAY1は、後述する
制御情報用のライトアンプWACにも供給される。
【0018】ここで、内部制御信号WPは、EEPRO
Mがデータ書き込みのためのプログラムモードとされる
とき、所定のタイミングで選択的にハイレベルとされ
る。また、制御情報C0は、特に制限されないが、EE
PROMがいわゆる×1ビット構成とされるとき回路の
接地電位のようなロウレベルとされ、×4ビット構成と
されるとき+5Vのようなハイレベルとされる。
【0019】データ入力バッファDIBは、図2に示さ
れるように、データ入出力端子D0〜D3に対応して設
けられる4個の単位入力バッファUIB0〜UIB3
と、これらの単位入力バッファに対応して2個ずつ設け
られる合計8個の相補スイッチS1〜S4ならびにS5
〜S8とを備える。このうち、単位入力バッファUIB
0〜UIB3の入力端子は、対応するデータ入出力端子
D0〜D3に結合され、その出力端子は、対応する相補
スイッチS5〜S8を介してデータ入力バッファDIB
の対応する出力端子すなわちライトアンプWAの対応す
る単位ライトアンプUWA0〜UWA3の入力端子に結
合される。この実施例において、単位入力バッファUI
B3の出力端子は、さらに相補スイッチS1〜S4を介
して、単位ライトアンプUWA0〜UWA3の入力端子
に共通結合される。
【0020】相補スイッチS1〜S4を構成するPチャ
ンネルMOSFETならびに相補スイッチS5〜S8を
構成するNチャンネルMOSFETのゲートには、上記
制御情報C0が共通に供給され、相補スイッチS1〜S
4を構成するNチャンネルMOSFETならびに相補ス
イッチS5〜S8を構成するPチャンネルMOSFET
のゲートには、そのインバータN1による反転信号が共
通に供給される。これにより、相補スイッチS1〜S4
は、ともに制御情報C0がロウレベルとされることで選
択的にオン状態とされ、相補スイッチS5〜S8は、と
もに制御情報C0がハイレベルとされることで選択的に
オン状態とされる。
【0021】一方、ライトアンプWAは、図2に示され
るように、共通データ線CD0〜CD3に対応して設け
られる4個の単位ライトアンプUWA0〜UWA3と、
これらの単位ライトアンプに共通に設けられるライトア
ンプデコーダWPDCとを備える。このうち、単位ライ
トアンプUWA0〜UWA3の入力端子は、データ入力
バッファDIBの第1ないし第4の出力端子にそれぞれ
結合され、その出力端子は、対応する共通データ線CD
0〜CD3に結合される。また、ライトアンプデコーダ
WPDCには、上記Yアドレス信号AY0及びAY1な
らびに内部制御信号WP及び制御情報C0が供給され、
その出力信号P0〜P3は、対応する単位ライトアンプ
UWA0〜UWA3に供給される。
【0022】ライトアンプWAのライトアンプデコーダ
WPDCは、内部制御信号WPがハイレベルとされEE
PROMがプログラムモードとされるとき、制御情報C
0に従って選択的にYアドレス信号AY0及びAY1を
デコードし、対応する出力信号P0〜P3を選択的にか
つ択一的にハイレベルとする。すなわち、ライトアンプ
デコーダWPDCは、制御情報C0がロウレベルとされ
るとき、Yアドレス信号AY0及びAY1をデコード
し、対応する出力信号P0〜P3を択一的にハイレベル
とするが、制御情報C0がハイレベルとされると、その
出力信号P0〜P3をYアドレス信号AY0〜AY1に
関係なく一斉にハイレベルとする。単位ライトアンプU
WA0〜UWA3は、ライトアンプデコーダWPDCの
対応する出力信号P0〜P3がハイレベルとされること
で選択的に動作状態とされ、データ入力バッファDIB
から供給される書き込みデータに従った前記所定の書き
込み信号を形成し、対応する共通データ線CD0〜CD
3に出力する。
【0023】制御情報C0がロウレベルとされるとき、
データ入力バッファDIBでは、前述のように、4個の
相補スイッチS1〜S4が一斉にオン状態とされ、残り
4個の相補スイッチS5〜S8はともにオフ状態とされ
る。このため、単位入力バッファUIB3の出力端子
は、相補スイッチS1〜S4を介してライトアンプWA
の単位ライトアンプUWA0〜UWA3の入力端子に共
通結合され、単位入力バッファUIB0〜UIB2の出
力端子は開放状態とされる。このとき、ライトアンプW
Aでは、前述のように、ライトアンプデコーダWPDC
の出力信号P0〜P3がYアドレス信号AY0及びAY
1に従って択一的にハイレベルとされ、対応する単位ラ
イトアンプUWA0〜UWA3が択一的に動作状態とさ
れる。この結果、EEPROMはいわゆる×1ビット構
成とされ、データ入出力端子D3つまりはデータ入力端
子Dinを介して1ビット単位で供給される書き込みデ
ータは、ライトアンプWAの動作状態とされる1個の単
位ライトアンプUWA0〜UWA3と対応する共通デー
タ線CD0〜CD3とを介してメモリアレイMARYの
選択された4個のメモリセルQDのうちの1個に書き込
まれる。
【0024】一方、制御情報C0がハイレベルとされる
とき、データ入力バッファDIBでは、4個の相補スイ
ッチS5〜S8が一斉にオン状態とされ、残り4個の相
補スイッチS1〜S4はともにオフ状態とされる。この
ため、単位入力バッファUIB0〜UIB3の出力端子
は、対応する相補スイッチS5〜S8を介してライトア
ンプWAの対応する単位ライトアンプUWA0〜UWA
3の入力端子にそれぞれ結合される。このとき、ライト
アンプWAでは、ライトアンプデコーダWPDCの出力
信号P0〜P3が一斉にハイレベルとされ、単位ライト
アンプUWA0〜UWA3が一斉に動作状態とされる。
この結果、EEPROMはいわゆる×4ビット構成とさ
れ、データ入出力端子D0〜D3を介して4ビット単位
で供給される書き込みデータは、ライトアンプWAの対
応する単位ライトアンプUWA0〜UWA3ならびに対
応する共通データ線CD0〜CD3を介してメモリアレ
イMARYの選択された4個のメモリセルQDに書き込
まれる。
【0025】このように、データ入力バッファDIBに
含まれる相補スイッチS1〜S4ならびにS5〜S8と
ライトアンプWAに含まれるライトアンプデコーダWP
DCは、実質的ないわゆるモード切り換え回路を構成
し、制御レジスタから出力される第1ビットの制御情報
C0に従ってEEPROMの書き込み動作時におけるビ
ット構成を選択的に切り換えるべく作用する。
【0026】次に、センスアンプSAは、図3に示され
るように、共通データ線CD0〜CD3に対応して設け
られる4個の単位センスアンプUSA0〜USA3を含
む。これらの単位センスアンプの入力端子は、対応する
共通データ線CD0〜CD3に結合され、その出力端子
は、データ出力バッファDOBの第1ないし第4の入力
端子に結合される。センスアンプSAの単位センスアン
プUSA0〜USA3は、EEPROMが読み出しモー
ドで選択状態とされるとき、メモリアレイMARYの選
択された4個のメモリセルから対応する共通データ線C
D0〜CD3を介して出力される読み出し信号を増幅し
て、データ出力バッファDOBの対応する単位出力バッ
ファUOB0〜UOB3に伝達する。
【0027】一方、データ出力バッファDOBは、図3
に示されるように、データ入出力端子D0〜D3に対応
して設けられる4個の単位出力バッファUOB0〜UO
B3と、これらの単位出力バッファに共通に設けられる
1個の出力バッファデコーダOBDCと、単位出力バッ
ファUOB0〜UOB3に対応して2個ずつ設けられる
合計8個の相補スイッチS9〜S12ならびにS13〜
S16とを備える。このうち、出力バッファデコーダO
BDCには、Yアドレス信号AY0及びAY1ならびに
制御情報C0が供給されるとともに、タイミング発生回
路TGから内部制御信号DOCが供給される。また、出
力バッファデコーダOBDCの出力信号O0〜O3は、
対応する単位出力バッファUOB0〜UOB3に供給さ
れ、その出力信号G0〜G3は、対応する相補スイッチ
S9〜S12に供給される。単位出力バッファUOB0
〜UOB3の出力端子は、対応するデータ入出力端子D
0〜D3に結合され、その入力端子は、対応する相補ス
イッチS13〜S16を介して、センスアンプSAの対
応する単位センスアンプUSA0〜USA3の出力端子
に結合される。この実施例において、単位出力バッファ
UOB0の出力端子は、さらに相補スイッチS9〜S1
2を介して、センスアンプSAの単位センスアンプUS
A0〜USA3の出力端子に共通結合される。
【0028】データ出力バッファDOBの出力バッファ
デコーダOBDCは、EEPROMが読み出しモードで
選択状態とされ内部制御信号DOCがハイレベルとされ
ることで、選択的に動作状態とされる。この動作状態に
おいて、出力バッファデコーダOBDCは、Yアドレス
信号AY0及びAY1をデコードし、制御情報C0に従
ってその出力信号O0〜O3ならびにG0〜G3を選択
的にかつ択一的にハイレベルとする。すなわち、出力バ
ッファデコーダOBDCは、制御情報C0がロウレベル
とされるとき、その出力信号O0をハイレベルとし、そ
の他の出力信号O1〜O3をロウレベルとするととも
に、その出力信号G0〜G3を、Yアドレス信号AY0
及びAY1に従って択一的にハイレベルとする。また、
制御情報C0がハイレベルとされるとき、その出力信号
O0〜O3を一斉にハイレベルとするとともに、その出
力信号G0〜G3をすべてロウレベルとする。
【0029】データ出力バッファDOBの相補スイッチ
S9〜S12を構成するNチャンネルMOSFETのゲ
ートには、出力バッファデコーダOBDCの対応する出
力信号O0〜O3が供給され、これらの相補スイッチを
構成するPチャンネルMOSFETのゲートには、対応
する出力信号O0〜O3のの反転信号が供給される。ま
た、相補スイッチS13〜S16を構成するNチャンネ
ルMOSFETのゲートには、制御情報C0が共通に供
給され、これらの相補スイッチを構成するPチャンネル
MOSFETのゲートには、そのインバータN2による
反転信号が共通に供給される。これにより、相補スイッ
チS9〜S12は、出力バッファデコーダOBDCの対
応する出力信号O0〜O3がハイレベルとされることで
選択的に動作状態とされ、相補スイッチS13〜S16
は、ともに制御情報C0がハイレベルとされることで選
択的にオン状態とされる。
【0030】データ出力バッファDOBの単位出力バッ
ファUOB0〜UOB3は、出力バッファデコーダOB
DCの対応する出力信号O0〜O3がハイレベルとされ
ることで、選択的に動作状態とされる。この動作状態に
おいて、単位出力バッファUOB0〜UOB3は、セン
スアンプSAの対応する単位センスアンプUSA0〜U
SA3から供給される読み出し信号をさらに増幅し、対
応するデータ入出力端子D0〜D3あるいはデータ出力
端子Doutを介してEEPROMの外部に送出する。
出力バッファデコーダOBDCの出力信号O0〜O3が
ロウレベルとされるとき、対応する単位出力バッファU
OB0〜UOB3の出力端子はいわゆるハイインピーダ
ンス状態とされる。
【0031】制御情報C0がロウレベルとされるとき、
データ出力バッファDOBでは、前述のように、出力バ
ッファデコーダOBDCの出力信号O0が択一的にハイ
レベルとされ、出力信号G0〜G3は、Yアドレス信号
AY0及びAY1に従って択一的にハイレベルとされ
る。このため、単位出力バッファUOB0が、出力バッ
ファデコーダOBDCの出力信号O0のハイレベルを受
けて択一的に動作状態とされる。また、相補スイッチS
9〜S12が、対応する出力信号G0〜G3のハイレベ
ルを受けて択一的にオン状態とされ、相補スイッチS1
3〜S16は、制御情報C0のロウレベルを受けて一斉
にオフ状態とされる。これにより、センスアンプSAの
単位センスアンプUSA0〜USA3から出力される読
み出し信号は、オン状態とされる相補スイッチS9〜S
12を介して択一的にデータ出力バッファDOBの単位
出力バッファUOB0に伝達される。この結果、EEP
ROMはいわゆる×1ビット構成とされ、メモリアレイ
MARYの選択された4個のメモリセルQDから読み出
されセンスアンプSAの対応する単位センスアンプUS
A0〜USA3によって増幅された読み出し信号は、単
位出力バッファUOB0によってさらに増幅された後、
データ入出力端子D0つまりはデータ出力端子Dout
を介して1ビット単位で送出される。
【0032】一方、制御情報C0がハイレベルとされる
とき、データ出力バッファDOBでは、出力バッファデ
コーダOBDCの出力信号O0〜O3が一斉にハイレベ
ルとされ、出力信号G0〜G3は、すべてロウレベルと
される。このため、単位出力バッファUOB0〜UOB
3が、出力バッファデコーダOBDCの出力信号O0〜
O3のハイレベルを受けて一斉に動作状態とされ、相補
スイッチS13〜S16が、制御情報C0のハイレベル
を受けて一斉にオン状態とされる。このとき、相補スイ
ッチS9〜S12は、出力バッファデコーダOBDCの
出力信号G0〜G3のロウレベルを受けてともにオフ状
態とされる。これにより、センスアンプSAの単位セン
スアンプUSA0〜USA3から出力される読み出し信
号は、対応する相補スイッチS13〜S16を介してデ
ータ出力バッファDOBの対応する単位出力バッファU
OB0〜UOB3に伝達される。この結果、EEPRO
Mはいわゆる×4ビット構成とされ、メモリアレイMA
RYの選択された4個のメモリセルQDから読み出され
センスアンプSAの対応する単位センスアンプUSA0
〜USA3によって増幅された読み出し信号は、対応す
る単位出力バッファUOB0〜UOB3によってさらに
増幅された後、対応するデータ入出力端子D0〜D3を
介して4ビット単位で送出される。
【0033】このように、データ出力バッファDOBに
含まれる相補スイッチS9〜S12ならびにS13〜S
16と出力バッファデコーダOBDCは、実質的なモー
ド切り換え回路を構成し、第1ビットの制御情報C0に
従ってEEPROMの読み出し動作時におけるビット構
成を選択的に切り換えるべく作用する。
【0034】ところで、この実施例のEEPROMのメ
モリアレイMARYは、図1に示されるように、さら
に、メモリセルQDと同一構造の不揮発性メモリセルか
らなる4個のメモリセルQC(第2の不揮発性メモリセ
ル)を含む。これらのメモリセルQCは、EEPROM
のビット構成や動作モード等の制御情報を保持するため
の制御レジスタを構成し、そのドレインは、制御情報用
のビット線Q0〜Q3を介して制御情報用のライトアン
プWACの対応する単位回路の出力端子に結合されると
ともに、制御情報用のセンスアンプSACの対応する単
位回路の入力端子に結合される。また、メモリセルQC
のソースは、対応するNチャンネル型の駆動MOSFE
TQGCを介して回路の接地電位に結合され、そのゲー
トは、XアドレスデコーダXDCの出力端子すなわちワ
ード線WCに共通結合される。駆動MOSFETQGC
のゲートには、タイミング発生回路TGから内部制御信
号SGCが共通に供給される。なお、ワード線WCは、
EEPROMが読み出しモードとされるとき定常的に所
定のロウレベルとされ、EEPROMが制御情報書き込
みのための所定の書き込みモードとされるとき選択的に
所定のハイレベルとされる。また、内部制御信号SGC
は、通常+5Vのようなハイレベルとされ、EEPRO
Mが制御情報書き込みのための所定の書き込みモードと
されるとき選択的に回路の接地電位のようなロウレベル
とされる。
【0035】XアドレスデコーダXDCには、タイミン
グ発生回路TGから内部制御信号WPCが供給される。
また、ライトアンプWACには、この内部制御信号WP
Cと前記Yアドレス信号AY0及びAY1が供給される
とともに、データ入出力端子D3つまりはデータ入力端
子Dinを介して制御情報書き込みデータが供給され
る。センスアンプSACの第1ビットの出力信号は、前
述のように、制御情報C0つまりビット構成設定情報と
してライトアンプWA及びデータ入力バッファDIBな
らびにデータ出力バッファDOBに供給され、EEPR
OMのビット構成の切り換えに供される。また、その第
2ないし第4の出力信号は、制御情報C1〜C3つまり
動作モード設定情報としてタイミング発生回路TGに供
給され、EEPROMの動作モード等の切り換えに供さ
れる。
【0036】ここで、内部制御信号WPCは、EEPR
OMが制御情報書き込みのための所定の書き込みモード
とされるとき、所定のタイミングで選択的にハイレベル
とされる。この実施例において、制御情報書き込みのた
めの書き込みモードは、チップイネーブル信号CEB及
びライトイネーブル信号WEBがともにロウレベルとさ
れかつアドレス入力端子AY2に所定の高電圧が供給さ
れることで選択的に指定される。なお、タイミング発生
回路TGは、制御情報C1〜C3に従ってEEPROM
の動作モードを選択的に切り換えるための切り換え回路
を備えるが、その基本的な構成は、前記データ入力バッ
ファDIB及びライトアンプWAならびにデータ入力バ
ッファDIBに含まれるビット構成の切り換え回路を踏
襲するものであるため、その詳細な説明については割愛
する。
【0037】XアドレスデコーダXDCは、内部制御信
号WPCがロウレベルとされEEPROMが通常の動作
モードとされるとき、その出力信号すなわちワード線W
Cを定常的に回路の接地電位のようなロウレベルとす
る。このとき、内部制御信号SGCは、+5Vのような
ハイレベルとされる。これにより、制御情報用のビット
線Q0〜Q3には、メモリアレイMARYの制御レジス
タを構成するメモリセルQCの保持データが論理“1”
であること、言い換えるならば対応するメモリセルQC
が約−3Vのしきい値電圧を持つデプレッションモード
とされることを条件に、約20μA程度の微小な読み出
し電流が選択的に得られ、センスアンプSACの対応す
る入力端子には、相応した電圧信号が得られる。指定さ
れたメモリセルQDの保持データが論理“0”であると
き、言い換えるならば指定されたメモリセルQCが約2
Vのしきい値電圧を持つエンハンスドモードとされると
き、対応するビット線Q0〜Q3には読み出し電流が流
されない。センスアンプSACの各入力端子において得
られる電圧信号は、センスアンプSAの対応する単位セ
ンスアンプによって増幅され、制御情報C0〜C3とな
る。
【0038】一方、XアドレスデコーダXDCは、内部
制御信号WPCがハイレベルとされEEPROMが制御
情報書き込みのための書き込みモードとされるとき、そ
の出力信号すなわちワード線WCを+5Vのようなハイ
レベルとする。このとき、内部制御信号SGCは、回路
の接地電位のようなロウレベルとされる。また、ライト
アンプWACでは、Yアドレス信号AY0及びAY1に
よって指定される1個の単位ライトアンプが択一的に動
作状態とされ、その出力端子すなわち制御情報用のビッ
ト線Q0〜Q3には、データ入出力端子D3つまりはデ
ータ入力端子Dinを介して供給される制御情報書き込
みデータに従って+22Vのようなハイレベルあるいは
+11Vのようなロウレベルが選択的に供給される。こ
の結果、制御レジスタを構成する4個のメモリセルQC
には、データ入出力端子D3を介して供給される制御情
報書き込みデータがYアドレス信号AY0及びAY1に
従って択一的に書き込まれるものとなる。
【0039】以上のように、この実施例のEEPROM
は、通常の記憶データを保持するためのプログラム可能
な第1の不揮発性メモリセルQDが格子状に配置されて
なるメモリアレイMARYを備え、このメモリアレイM
ARYは、さらに、第1の不揮発性メモリセルQDと同
一構造とされる第2の不揮発性メモリセルQCを含みE
EPROMのビット構成や動作モードを設定するための
制御情報C0〜C3を保持する制御レジスタを含む。制
御レジスタによって保持される制御情報は、EEPRO
Mが通常の動作モードとされるとき定常的に読み出さ
れ、EEPROMが制御情報書き込みのための書き込み
モードとされるとき、データ入出力端子D3つまりはデ
ータ入力端子Dinを介して選択的に書き換えられる。
また、データ入力バッファDIB及びライトアンプWA
ならびにデータ出力バッファDOBは、制御レジスタか
ら出力される制御情報C0に従ってEEPROMのビッ
ト構成を×1ビット又は×4ビットに切り換えるための
モード切り換え回路を含み、タイミング発生回路TG
は、同じく制御レジスタから出力される制御情報C1〜
C3に従ってEEPROMの動作モードを切り換えるた
めの同様なモード切り換え回路を含む。これにより、こ
の実施例のEEPROMでは、共通のフォトマスクをも
とに複数の品種に対応しうる基本製品を製造できるとと
もに、組み立て終了後において制御レジスタによって保
持される制御情報を書き換え、そのビット構成や動作モ
ードを容易に切り換えて、効率的な品種展開を図ること
ができる。この結果、EEPROMのフォトマスク数を
削減できるとともに、市場の需要変動に敏速に対応し、
メーカの所要在庫量を削減できるものである。なお、制
御レジスタを構成するメモリセルQCは、データ保持の
ための記憶素子となるメモリセルQDと同一構造とされ
るため、このメモリセルQCが設けられることによって
EEPROMの製造工程が追加されることはない。
【0040】以上の実施例に示されるように、この発明
をEEPROM等の半導体記憶装置に適用することで、
次のような作用効果が得られる。すなわち、 (1)プログラム可能な不揮発性メモリセルが格子状に
配置されてなるメモリアレイを備えるEEPROM等
に、これらの不揮発性メモリセルと同一構造のメモリセ
ルからなりビット構成及び動作モード等に関する制御情
報を保持するための制御レジスタと、この制御レジスタ
により保持される制御情報に従ってEEPROM等のビ
ット構成及び動作モード等を選択的に切り換えるための
モード切り換え回路とを設けるとともに、外部から上記
制御レジスタを書き換えるための書き込みモードを設け
ることで、共通のフォトマスクをもとにEEPROM等
の全品種に適応しうる基本製品を製造できるとともに、
組み立て終了後において制御レジスタによって保持され
る制御情報を書き換え、そのビット構成や動作モード等
を容易に切り換えることができるという効果が得られ
る。 (2)上記(1)項により、EEPROM等の効率的な
品種展開を図ることができるという効果が得られる。 (3)上記(1)項及び(2)項により、EPROM等
のフォトマスク数を削減し、その製造工程を簡素化でき
るという効果が得られる。 (4)上記(1)項〜(3)項により、市場の需要変動
に敏速に対応し、メーカにおける所要在庫量を削減でき
るという効果が得られる。
【0041】以上、本発明者によってなされた発明を実
施例に基づき具体的に説明したが、この発明は、上記実
施例に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない
範囲で種々変更可能であることは言うまでもない。例え
ば、図1において、EEPROMのメモリアレイMAR
Yを構成するメモリセルQDは、直列形態とされた所定
数のメモリセルを単位として組み合わせることができる
し、MNOS以外によって構成されるものであってもよ
い。メモリアレイMARYは、同様な複数のメモリマッ
ト又はサブメモリアレイに分割することができる。EE
PROMのビット構成は、×8ビット又は×16ビット
等のように任意のビット構成を採りうるし、そのブロッ
ク構成やワード線及びビット線選択信号ならびに各内部
制御信号等の論理レベルならびにその絶対値は、この実
施例による制約を受けない。メモリアレイMARYは、
冗長ワード線及び冗長ビット線等の冗長素子を含むこと
ができる。また、制御レジスタを構成するメモリセルQ
Cの個数は、任意に設定できるし、その各ビットの用途
も、例えばテストモードや診断モード等、種々のモード
切り換えに用いることができる。
【0042】制御レジスタの書き込みモードを指定する
ための起動制御信号及びアドレス信号の組み合わせは、
この実施例による制約を受けない。また、×4ビット構
成時におけるデータ入出力端子D0〜D3と×1ビット
構成時におけるデータ入力端子Din及びデータ出力端
子Doutとの組み合わせも、任意に設定できる。さら
に、図2に示されるデータ入力バッファDIB及びライ
トアンプWAならびに図3に示されるセンスアンプSA
及びデータ出力バッファDOBの具体的な構成や電源電
圧の極性及び絶対値等は、種々の実施形態を採りうる。
【0043】以上の説明では、主として本発明者によっ
てなされた発明をその背景となった利用分野であるEE
PROMに適用した場合について説明したが、それに限
定されるものではなく、例えば、EPROM(UV E
rasable and Programable R
ead Only Memory)等やこれらのEEP
ROM及びEPROMを内蔵するシングルチップマイク
ロコンピュータ等にも適用できる。この発明は、少なく
ともプログラム可能な不揮発性メモリセルが格子状に配
置されてなるメモリアレイを具備ししかもオプショナル
に指定される複数のビット構成及び/又は動作モード等
を有する半導体記憶装置ならびにこのような半導体記憶
装置を内蔵するシステム等に広く適用できる。
【0044】
【発明の効果】本願において開示される発明のうち代表
的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、下
記の通りである。すなわち、プログラム可能な不揮発性
メモリセルが格子状に配置されてなるメモリアレイを備
えるEEPROM等に、これらの不揮発性メモリセルと
同一構造のメモリセルからなりビット構成及び動作モー
ド等に関する制御情報を保持するための制御レジスタ
と、この制御レジスタにより保持される制御情報に従っ
てEEPROM等のビット構成及び動作モード等を選択
的に切り換えるためのモード切り換え回路とを設けると
ともに、外部から上記制御レジスタを書き換えるための
書き込みモードを設けることで、共通のフォトマスクを
もとにEEPROM等の全品種に対応しうる基本製品を
製造できるとともに、組み立て終了後においてそのビッ
ト構成や動作モード等を容易に切り換え、効率的な品種
展開を行うことができる。この結果、EPROM等のフ
ォトマスク数を削減し、その製造工程を簡素化できると
ともに、市場の需要変動に敏速に対応し、メーカの所要
在庫量を削減することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明が適用されたEEPROMの一実施例
を示すブロック図である。
【図2】図1のEEPROMに含まれるデータ入力バッ
ファ及びライトアンプの一実施例を示すブロック図であ
る。
【図3】図1のEEPROMに含まれるセンスアンプ及
びデータ出力バッファの一実施例を示すブロック図であ
る。
【符号の説明】
MARY・・・メモリアレイ、YS・・・Yスイッチ、
XD,XDC・・・Xアドレスデコーダ、YD・・・Y
アドレスデコーダ、WA,WAC・・・ライトアンプ、
SA,SAC・・・センスアンプ、DIB・・・データ
入力バッファ、DOB・・・データ出力バッファ、TG
・・・タイミング発生回路。QD・・・データ保持用メ
モリセル、QC・・・制御情報保持用メモリセル、QS
・・・駆動MOSFET。UIB0〜UIB3・・・単
位入力バッファ、UWA0〜UWA3・・・単位ライト
アンプ、WPDC・・・ライトアンプデコーダ。USA
0〜USA3・・・単位センスアンプ、UOB0〜UO
B3・・・単位出力バッファ、OBDC・・・出力バッ
ファデコーダ。S1〜S16・・・相補スイッチ、N1
〜N2・・・インバータ。

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 プログラム可能な第1の不揮発性メモリ
    セルが格子状に配置されてなるメモリアレイと、上記第
    1の不揮発性メモリセルと同一構造の第2の不揮発性メ
    モリセルを含み所定の制御情報を保持する制御レジスタ
    とを具備することを特徴とする半導体記憶装置。
  2. 【請求項2】 上記制御情報は、ビット構成設定情報及
    び/又は動作モード設定情報を含むものであって、上記
    半導体記憶装置は、上記ビット構成設定情報及び/又は
    動作モード設定情報に従ってそのビット構成及び/又は
    動作モードをそれぞれ設定するためのモード切り換え回
    路を具備するものであることを特徴とする請求項1の半
    導体記憶装置。
  3. 【請求項3】 上記制御レジスタは、所定の書き込みモ
    ードにおいて上記半導体記憶装置の外部から書き換え可
    能なものとされることを特徴とする請求項1又は請求項
    2の半導体記憶装置。
  4. 【請求項4】 上記半導体記憶装置は、EEPROMで
    あって、上記書き込みモードは、所定の起動制御信号及
    びアドレス信号が所定の組み合わせとされることによっ
    て選択的に指定されるものであることを特徴とする請求
    項1,請求項2又は請求項3の半導体記憶装置。
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