JPH0612272B2 - 混成分析検査機器 - Google Patents
混成分析検査機器Info
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- JPH0612272B2 JPH0612272B2 JP63500114A JP50011487A JPH0612272B2 JP H0612272 B2 JPH0612272 B2 JP H0612272B2 JP 63500114 A JP63500114 A JP 63500114A JP 50011487 A JP50011487 A JP 50011487A JP H0612272 B2 JPH0612272 B2 JP H0612272B2
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- eddy current
- magnetic induction
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/02—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance
- G01N27/023—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance where the material is placed in the field of a coil
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B7/00—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
- G01B7/02—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness
- G01B7/06—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness
- G01B7/10—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness using magnetic means, e.g. by measuring change of reluctance
- G01B7/105—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness using magnetic means, e.g. by measuring change of reluctance for measuring thickness of coating
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
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- G01N2291/02—Indexing codes associated with the analysed material
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- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
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Description
【発明の詳細な説明】 技術分野 本発明は、通常非破壊検査及び分析物質の混成分析検査
機器に関し、特に、改良されたグラファイト樹脂複合物
質の物理特性を分析し、厚さを計測する混成分析検査機
器に関する。このようなグラファイト樹脂複合物質が飛
行機のスキン（殻）及び他の副構成部品のような飛行機
成分の構造における応用に高頻度に使用されている。
機器に関し、特に、改良されたグラファイト樹脂複合物
質の物理特性を分析し、厚さを計測する混成分析検査機
器に関する。このようなグラファイト樹脂複合物質が飛
行機のスキン（殻）及び他の副構成部品のような飛行機
成分の構造における応用に高頻度に使用されている。
背景技術 グラファイト樹脂複合物質及び成分用のような改良した
繊維マトリックス物質の非破壊検査は、このような物質
及び成分の高レベルの品質の保証と、構造的一体性とを
提供するために開発されてきた。このような複合物質で
作られる個々の繊維及びマトリックス物質は、しばしば
不均一な品質であり、更に、異なって種々の模様で積層
されている。更に、製造者は、積層中において、積層枚
数及び積層間隔等のヒトによる偶発的誤差が発生するこ
とを予想している。勿論、固化周期及び加熱速度の僅か
な変化は、仕上り部品の外観に異常がなくとも、機械的
特性に主要な影響を持っている。通常、多重検査におけ
る複合物質のための特性の偏差は、確立された金属用の
技術に許容され考慮されたものより遥かに大きい。洗練
された改良非破壊検査装置及び方法は、鑑査下において
部品の正確な品質検査を高信頼性で確立できるように、
開発しなければならない。
繊維マトリックス物質の非破壊検査は、このような物質
及び成分の高レベルの品質の保証と、構造的一体性とを
提供するために開発されてきた。このような複合物質で
作られる個々の繊維及びマトリックス物質は、しばしば
不均一な品質であり、更に、異なって種々の模様で積層
されている。更に、製造者は、積層中において、積層枚
数及び積層間隔等のヒトによる偶発的誤差が発生するこ
とを予想している。勿論、固化周期及び加熱速度の僅か
な変化は、仕上り部品の外観に異常がなくとも、機械的
特性に主要な影響を持っている。通常、多重検査におけ
る複合物質のための特性の偏差は、確立された金属用の
技術に許容され考慮されたものより遥かに大きい。洗練
された改良非破壊検査装置及び方法は、鑑査下において
部品の正確な品質検査を高信頼性で確立できるように、
開発しなければならない。
多くの個別の点検、検査及び分析技術は、このような繊
維マトリックスの超音波検査、磁気誘導検査、電導検
査、液体侵入検査、熱赤外検査及び目視検査用に開発さ
れた。
維マトリックスの超音波検査、磁気誘導検査、電導検
査、液体侵入検査、熱赤外検査及び目視検査用に開発さ
れた。
発明の開示 本発明は、教示によれば、改良グラファイト樹脂複合物
質のような検査物質の物理特性を検査及び分析し、厚み
を計測する混成分析検査機器を提供している。この機器
は、検査物質の厚みを測定する磁気誘導回路と協働し、
この回路が検査物質の外面に近接配置された磁気誘導コ
イルを持つ磁気誘導プローブを含んでいる。この磁気誘
導コイルは、１ＭＨｚ以下のかなり低周波数で励起さ
れ、磁気誘導回路におけるコイルの結果のインピーダン
スが検査物質の厚みの測定値である。この磁気誘導回路
は、固化前の繊維樹脂物質の厚み、部分的固化（Ｂ段
階）繊維樹脂積層板の厚み及び固化後の積層構造の厚み
のような非破壊工程制御を提供している。勿論、機器
は、２種類の関連検査、即に検査物質の超音波速度の測
定と、超音波パルスが検査物質の外面から内面に伝達し
た時に、パルスが検知用に外面にエコーバックする領域
において、超音波パルスの相対振幅変化の測定を形成す
る超音波パルス残響（エコー）回路を含んでいる。この
回路は、第１のプローブが配置された場所と同一場所で
検査物質の外面に近接配置された音響プローブを含んで
いる。この音響プローブは、検査物質に導入される音響
パルスを発生し、その後残響の超音波パルスを検知す
る。最終的に、機器は検査物質の相対電導度を測定する
渦電流回路と協働する。この回路は、２個のプローブと
同一場所で検査物質の外面に近接配置された渦電流コイ
ルを持つ渦電流プローブを含んでいる。この渦電流コイ
ルは、その後１ＭＨｚ以上のかなり高周波数で励起され
て、コイルの回り及び内に交流磁界を発生する。この交
流磁界は、検査物質内に、渦電流及びこれと関連の交流
磁界を持つ交流電界を誘導する。この関連の磁界は、順
に渦電流回路内の渦電流コイルの結果のインピーダンス
が検査物質の電導度を形成するように、渦電流コイルの
交流磁界に影響する。
質のような検査物質の物理特性を検査及び分析し、厚み
を計測する混成分析検査機器を提供している。この機器
は、検査物質の厚みを測定する磁気誘導回路と協働し、
この回路が検査物質の外面に近接配置された磁気誘導コ
イルを持つ磁気誘導プローブを含んでいる。この磁気誘
導コイルは、１ＭＨｚ以下のかなり低周波数で励起さ
れ、磁気誘導回路におけるコイルの結果のインピーダン
スが検査物質の厚みの測定値である。この磁気誘導回路
は、固化前の繊維樹脂物質の厚み、部分的固化（Ｂ段
階）繊維樹脂積層板の厚み及び固化後の積層構造の厚み
のような非破壊工程制御を提供している。勿論、機器
は、２種類の関連検査、即に検査物質の超音波速度の測
定と、超音波パルスが検査物質の外面から内面に伝達し
た時に、パルスが検知用に外面にエコーバックする領域
において、超音波パルスの相対振幅変化の測定を形成す
る超音波パルス残響（エコー）回路を含んでいる。この
回路は、第１のプローブが配置された場所と同一場所で
検査物質の外面に近接配置された音響プローブを含んで
いる。この音響プローブは、検査物質に導入される音響
パルスを発生し、その後残響の超音波パルスを検知す
る。最終的に、機器は検査物質の相対電導度を測定する
渦電流回路と協働する。この回路は、２個のプローブと
同一場所で検査物質の外面に近接配置された渦電流コイ
ルを持つ渦電流プローブを含んでいる。この渦電流コイ
ルは、その後１ＭＨｚ以上のかなり高周波数で励起され
て、コイルの回り及び内に交流磁界を発生する。この交
流磁界は、検査物質内に、渦電流及びこれと関連の交流
磁界を持つ交流電界を誘導する。この関連の磁界は、順
に渦電流回路内の渦電流コイルの結果のインピーダンス
が検査物質の電導度を形成するように、渦電流コイルの
交流磁界に影響する。
詳述すると、磁気誘導回路、超音波パルス残響回路及び
渦電流回路は、全て外部デジタル信号処理を用いた単一
のマイクロプロセッサ基本ユニットに移植される。更
に、磁気誘導プローブ、音響プローブ及び渦電流プロー
ブは、各々が電気プラグ接続によって、ユニットのコン
ソールに着脱自在に取付られる。
渦電流回路は、全て外部デジタル信号処理を用いた単一
のマイクロプロセッサ基本ユニットに移植される。更
に、磁気誘導プローブ、音響プローブ及び渦電流プロー
ブは、各々が電気プラグ接続によって、ユニットのコン
ソールに着脱自在に取付られる。
実施された第１の測定は、物質の厚みに関し、この測定
が後に物質を通した超音波速度を決定するパルス残響回
路によって使用される。この物質の厚みは、磁気誘導回
路によって測定され、この回路を使用中において、均一
な透磁率の要素が検査物質の外面に配置された磁気誘導
プローブの反対側の内面に略接触して配置されている。
従って、その間に検査物質が配置されて、磁気誘導コイ
ルを有する磁気回路が形成される。磁気誘導回路は、そ
の後約５０ＫＨｚのかなり低周波数で磁気誘導コイルを
励起する。この配列において、検査物質が必須的にコイ
ル及び要素間のスペーサとして作用し、これらの間の距
離は、測定が検査物質の厚みを示すように、磁気回路の
インピーダンスを決定する。
が後に物質を通した超音波速度を決定するパルス残響回
路によって使用される。この物質の厚みは、磁気誘導回
路によって測定され、この回路を使用中において、均一
な透磁率の要素が検査物質の外面に配置された磁気誘導
プローブの反対側の内面に略接触して配置されている。
従って、その間に検査物質が配置されて、磁気誘導コイ
ルを有する磁気回路が形成される。磁気誘導回路は、そ
の後約５０ＫＨｚのかなり低周波数で磁気誘導コイルを
励起する。この配列において、検査物質が必須的にコイ
ル及び要素間のスペーサとして作用し、これらの間の距
離は、測定が検査物質の厚みを示すように、磁気回路の
インピーダンスを決定する。
測定された厚みは、その後、物質内の超音波速度を測定
するパルス残響回路に用いられ、図示の実施例におい
て、マイクロプロセッサを通して自動的に或は手動で入
力される。音響プローブは、まず超音波パルスを発生す
るためにパルスされ、その後、残響の超音波パルスの検
知用に監視される圧電変換器を備えることが好ましい。
超音波パルス回路は、約５ＭＨｚの周波数で圧電変換器
を励起することが好ましい。パルス残響回路は、２つの
分離した測定、検査物質を通した音響或は音速及び勿論
エコーバックとしてプローブに反射した検査物質を対抗
面から運行する各パルスの減衰測定を実施する。
するパルス残響回路に用いられ、図示の実施例におい
て、マイクロプロセッサを通して自動的に或は手動で入
力される。音響プローブは、まず超音波パルスを発生す
るためにパルスされ、その後、残響の超音波パルスの検
知用に監視される圧電変換器を備えることが好ましい。
超音波パルス回路は、約５ＭＨｚの周波数で圧電変換器
を励起することが好ましい。パルス残響回路は、２つの
分離した測定、検査物質を通した音響或は音速及び勿論
エコーバックとしてプローブに反射した検査物質を対抗
面から運行する各パルスの減衰測定を実施する。
最後の測定は、渦電流回路によるもので、この測定にと
って、渦電流プローブが前述の２つのプローブと同位置
に配置される。その後、渦電流回路は、１ＭＨｚ以上、
代表的に約５ＭＨｚの周波数で渦電流コイルを励起し、
この回路内の渦電流コイルのインピーダンスが検査物質
の電導度の測定を提供する。
って、渦電流プローブが前述の２つのプローブと同位置
に配置される。その後、渦電流回路は、１ＭＨｚ以上、
代表的に約５ＭＨｚの周波数で渦電流コイルを励起し、
この回路内の渦電流コイルのインピーダンスが検査物質
の電導度の測定を提供する。
図面の簡単な説明 本発明の目的及び利点は、添付図面を参照して以下に記
載した実施例によって容易に理解される。
載した実施例によって容易に理解される。
第１図は本発明の教示によって構成された混成分析検査
機器の第１実施例の斜視図、第２図は本発明の教示によ
る混成分析検査機器の第２の僅かに異なった実施例の前
面パネルの正面図である。
機器の第１実施例の斜視図、第２図は本発明の教示によ
る混成分析検査機器の第２の僅かに異なった実施例の前
面パネルの正面図である。
発明を実施するための最良の形態 図面を詳細に参照すると、第１図は改良グラファイト樹
脂複合体の厚さを計測し、その物理特性を非破壊分析す
る混成分析検査（ＣＡＴ）機器１０の第１実施例が示さ
れている。このＣＡＴ機器１０は、グラファイト樹脂複
合体で超音波、磁気及び電気（渦電流）の４種のモード
を形成でき、携帯キャビネット１２に一体となってい
る。全検査は、検査物質の特定の表面に位置合わせして
配置されるプローブ１４，１６及び１８によって導かれ
る。
脂複合体の厚さを計測し、その物理特性を非破壊分析す
る混成分析検査（ＣＡＴ）機器１０の第１実施例が示さ
れている。このＣＡＴ機器１０は、グラファイト樹脂複
合体で超音波、磁気及び電気（渦電流）の４種のモード
を形成でき、携帯キャビネット１２に一体となってい
る。全検査は、検査物質の特定の表面に位置合わせして
配置されるプローブ１４，１６及び１８によって導かれ
る。
このＣＡＴ機器１０は、次の４個の分析／計測回路シス
テムからなっている。
テムからなっている。
システム１：相対振幅 マイクロプロセッサ基本の超音波パルス残響回路モジュ
ール２０は、物質を通してエコーとして反射した回遊信
号を形成する超音波パルスの振幅変化を測定する。この
測定がプローブ１４で実施される。
ール２０は、物質を通してエコーとして反射した回遊信
号を形成する超音波パルスの振幅変化を測定する。この
測定がプローブ１４で実施される。
システム２：速度 マイクロプロセッサ基本の超音波パルス残響回路モジュ
ール２０は、システム１がエコー相対振幅を測定する一
方、プローブ１４を使用して物質の超音波速度を測定す
る。この超音波速度は、超音波パルスが物質内を往復
（すなわちエコーとして反射）するのに要した時間と、
磁気誘導回路モジュール２２により得られる物質の厚み
から測定または計算される。
ール２０は、システム１がエコー相対振幅を測定する一
方、プローブ１４を使用して物質の超音波速度を測定す
る。この超音波速度は、超音波パルスが物質内を往復
（すなわちエコーとして反射）するのに要した時間と、
磁気誘導回路モジュール２２により得られる物質の厚み
から測定または計算される。
システム３：厚さ 低周波数のマイクロプロセッサ基本の磁気誘導回路モジ
ュール２２は、複合体の特性変動或は特質に作用しない
で、グラファイト複合体の機械的厚さを測定する。均一
な透磁率の強磁性シートは複合体の対抗面に密接に接触
して堅く配置されて、この測定を実施する。この測定が
プローブ１６でなされる。
ュール２２は、複合体の特性変動或は特質に作用しない
で、グラファイト複合体の機械的厚さを測定する。均一
な透磁率の強磁性シートは複合体の対抗面に密接に接触
して堅く配置されて、この測定を実施する。この測定が
プローブ１６でなされる。
システム４：電導度 高周波数のマイクロプロセッサ基本の渦電流回路モジュ
ール２４は、グラファイト複合体の相対電導度或は相対
コンダクタンスを測定するようになっている。検査周波
数及び渦電流プローブ１８は、それら複合体のため、１
ＭＨｚ以上の周波数で作動して、予期される厚さ範囲よ
り薄い端部における「厚さ効果」を最小にするようにな
っており、これにより、相対的に薄い材料であっても正
確な作動が可能とされている。
ール２４は、グラファイト複合体の相対電導度或は相対
コンダクタンスを測定するようになっている。検査周波
数及び渦電流プローブ１８は、それら複合体のため、１
ＭＨｚ以上の周波数で作動して、予期される厚さ範囲よ
り薄い端部における「厚さ効果」を最小にするようにな
っており、これにより、相対的に薄い材料であっても正
確な作動が可能とされている。
磁気誘導プローブ１６は、コイルの中央長手軸線が物質
の表面に通常直交するように検査物質の外面に近接して
配置される磁気誘導コイル１７を含んでいる。この回路
を使用すると、均一な透磁率の要素が検査物質の外面上
で磁気誘導プローブ１６の位置と反対の内面に最も近接
して配置されて、検査物質を中間に配置して磁気誘導コ
イル１７を持つ磁気回路を完成している。この磁気誘導
回路は、その後約５０ＫＨｚのかなり低周波数で磁気誘
導コイルを励起する。この配列において、検査物質が必
須的にコイル及び要素間のスペーサとして作用し、これ
らの間の距離は、測定が検査物質の厚みを示すように、
磁気回路のインピーダンスを決定する。
の表面に通常直交するように検査物質の外面に近接して
配置される磁気誘導コイル１７を含んでいる。この回路
を使用すると、均一な透磁率の要素が検査物質の外面上
で磁気誘導プローブ１６の位置と反対の内面に最も近接
して配置されて、検査物質を中間に配置して磁気誘導コ
イル１７を持つ磁気回路を完成している。この磁気誘導
回路は、その後約５０ＫＨｚのかなり低周波数で磁気誘
導コイルを励起する。この配列において、検査物質が必
須的にコイル及び要素間のスペーサとして作用し、これ
らの間の距離は、測定が検査物質の厚みを示すように、
磁気回路のインピーダンスを決定する。
測定された厚みは、その後、検査物質内の超音波速度を
計測するためにパルス残響回路内に入力される。この入
力は手動で、あるいはマイクロプロセッサを通して自動
的に行われる。音響プローブ１４は、まず、超音波パル
スを発生するためにパルスされ、その後残響の超音波パ
ルスの検知用に監視される圧電変換器１５を備えること
が好ましい。超音波パルス回路は、約５ＭＨｚの周波数
で圧電変換器を励起することが好ましい。パルス残響回
路は、２つの独立した測定を実行する。すなわち、一つ
は検査物質を通した音速の測定であり、一つは検査物質
の外面から対抗面に入射され、そこからエコーバックと
してプローブに反射された各パルスの減衰度の測定であ
る。
計測するためにパルス残響回路内に入力される。この入
力は手動で、あるいはマイクロプロセッサを通して自動
的に行われる。音響プローブ１４は、まず、超音波パル
スを発生するためにパルスされ、その後残響の超音波パ
ルスの検知用に監視される圧電変換器１５を備えること
が好ましい。超音波パルス回路は、約５ＭＨｚの周波数
で圧電変換器を励起することが好ましい。パルス残響回
路は、２つの独立した測定を実行する。すなわち、一つ
は検査物質を通した音速の測定であり、一つは検査物質
の外面から対抗面に入射され、そこからエコーバックと
してプローブに反射された各パルスの減衰度の測定であ
る。
最後の測定は、渦電流回路によるもので、この測定用
に、渦電流プローブ１８が前述の２つのプローブと同位
置に配置される。渦電流プローブ１８は、渦電流コイル
１９の中央長手軸線が検査物質の表面に通常直交するよ
うに、検査物質の外面に近接して配置される渦電流コイ
ル１９を含んでいる。その後、このコイル１９は、約１
ＭＨｚ以上、代表的に約５ＭＨｚの周波数で励起され
て、渦電流を有する検査物質内に交流電界を誘導する交
流磁界、これと協働する交流磁界、これと協働する協働
磁界とを発生して、この協働磁界が渦電流コイルの交流
磁界に影響して、渦電流回路において、渦電流コイルの
インピーダンスが検査物質の電導度の測定を提供してい
る。
に、渦電流プローブ１８が前述の２つのプローブと同位
置に配置される。渦電流プローブ１８は、渦電流コイル
１９の中央長手軸線が検査物質の表面に通常直交するよ
うに、検査物質の外面に近接して配置される渦電流コイ
ル１９を含んでいる。その後、このコイル１９は、約１
ＭＨｚ以上、代表的に約５ＭＨｚの周波数で励起され
て、渦電流を有する検査物質内に交流電界を誘導する交
流磁界、これと協働する交流磁界、これと協働する協働
磁界とを発生して、この協働磁界が渦電流コイルの交流
磁界に影響して、渦電流回路において、渦電流コイルの
インピーダンスが検査物質の電導度の測定を提供してい
る。
第２図は、システム１用の表示器２６、システム２用の
表示器２８、システム３用の表示器３０、システム４用
の表示器３２、表示器３０の厚さの読み（リーディン
グ）をシステム２用の速度測定回路に手動で入力するた
めの回転式入力スイッチ３４、全システムの電源スイッ
チ３６、個別のシステム電源スイッチ３８、プローブジ
ャック４０及びゼロ、校正、同期、ビデオ及びゲートを
設定用の機器調整を持つＣＡＴ機器の前面パネルの僅か
変形した配列を示している。
表示器２８、システム３用の表示器３０、システム４用
の表示器３２、表示器３０の厚さの読み（リーディン
グ）をシステム２用の速度測定回路に手動で入力するた
めの回転式入力スイッチ３４、全システムの電源スイッ
チ３６、個別のシステム電源スイッチ３８、プローブジ
ャック４０及びゼロ、校正、同期、ビデオ及びゲートを
設定用の機器調整を持つＣＡＴ機器の前面パネルの僅か
変形した配列を示している。
第２図の実施例の操作において、グラファイト樹脂複合
物質の機械的厚さは、まず、プローブ１６を使用して磁
気誘導システム２２によって測定される。システム３用
の表示器３０上の結果のデジタル値は、その後、前記回
転式入力スイッチ３４によって超音波検査モジュール２
０内に入力されるか、または超音波「速度」システムの
厚さ入力デジタルスイッチ内にプログラムされる。「速
度」システム用のプローブ１４は、その後機械的厚さが
計測された同じ位置に配置されて、相対超音波振幅及び
相対速度値が各システムの表示器２６，２８にデジタル
表示される。相対電気特性（電導度／コンダクタンス）
は、その後、３つの測定と同位置でプローブ１８を配置
して測定される。従って、４つの全測定（厚さ、速度、
相対振幅及び相対電導度）は、本発明のＣＡＴ機器によ
って迅速に計測できる。
物質の機械的厚さは、まず、プローブ１６を使用して磁
気誘導システム２２によって測定される。システム３用
の表示器３０上の結果のデジタル値は、その後、前記回
転式入力スイッチ３４によって超音波検査モジュール２
０内に入力されるか、または超音波「速度」システムの
厚さ入力デジタルスイッチ内にプログラムされる。「速
度」システム用のプローブ１４は、その後機械的厚さが
計測された同じ位置に配置されて、相対超音波振幅及び
相対速度値が各システムの表示器２６，２８にデジタル
表示される。相対電気特性（電導度／コンダクタンス）
は、その後、３つの測定と同位置でプローブ１８を配置
して測定される。従って、４つの全測定（厚さ、速度、
相対振幅及び相対電導度）は、本発明のＣＡＴ機器によ
って迅速に計測できる。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭54−158284（ＪＰ，Ａ) 米国特許3886793（ＵＳ，Ａ) 米国特許4418574（ＵＳ，Ａ) 米国特許3244971（ＵＳ，Ａ) 米国特許4196629（ＵＳ，Ａ)
Claims (9)
- 【請求項１】ａ．検査物質の厚さを測定すると共に、該
検査物質の外面に近接配置されて、１ＭＨｚ以下のかな
り低周波数で励起される磁気誘導コイル（１７）を有す
る磁気誘導プローブ（１６）を含み、前記誘導コイル
（１７）の結果のインピーダンスが該検査物質の厚さの
測定値である磁気誘導回路と、 ｂ．該検査物質内に導入される超音波パルスを発生しか
つエコーバックされた超音波パルスを検知し、前記エコ
ーバックされた超音波パルスの伝搬時間を測定するため
に前記検査物質の外面に近接配置され、前記厚さを測定
した後ににおいて、検知されるべき前記検査物質の超音
波速度の測定を可能とする音響プローブ（１４）を含
み、前記検査物質の前記厚さの測定値を用いて前記検査
物質の超音波速度を測定すると共に、該検査物質の外面
から内面に伝搬して検知用に前記外面に向かってエコー
バックされる超音波パルスの相対振幅変化を測定するた
めの超音波パルス残響回路と、 ｃ．前記検査物質の相対電導度を測定すると共に、該検
査物質の外面に近接配置され、１ＭＨｚ以上のかなり高
周波で励起され、渦電流を有する検査物質内に交流電界
を誘導する交流磁界、これと協働する交流磁界、これと
協働する協働磁界とを発生して、この協働磁界が渦電流
コイル（１９）の交流磁界に影響して、渦電流回路にお
いて、渦電流コイル（１９）のインピーダンスが検査物
質の電導度の測定を提供する渦電流コイル（１９）を有
する渦電流プローブ（１８）を含む渦電流回路とを備え
た、 検査物質の厚さを測定し、その物理特性を非破壊検査及
び分析する混成分析検査機器（１０）。 - 【請求項２】前記磁気誘導回路、前記超音波パルス残響
回路及び前記渦電流回路は、デジタル信号処理を用いた
マイクロプロセッサ基本ユニットであり、前記磁気誘導
プローブが各々前記プラグ接続により着脱自在に前記ユ
ニットに取付けられる請求の範囲第１項記載の混成分析
検査機器。 - 【請求項３】前記磁気誘導回路の使用において、前記検
査物質の外面上の前記磁気誘導プローブ（１６）の位置
の反対側には、該検査物質の内面に接触して均一な透磁
率の要素が配置されて、この検査物質を挟んで磁気誘導
コイル（１７）を持つ磁気回路を完成させている請求の
範囲第１項記載の混成分析検査機器。 - 【請求項４】前記磁気誘導回路は、前記磁気誘導コイル
（１７）を約５０ＫＨｚの周波数で励起する請求の範囲
第３項記載の混成分析検査機器。 - 【請求項５】前記音響プローブ（１４）は、超音波パル
スを発生するためにパルス化され、その後、エコーの超
音波パルスの検知用に監視される圧電変圧器（１５）を
含む請求の範囲第１項記載の混成分析検査機器。 - 【請求項６】前記超音波パルス回路は、前記圧電変換器
（１５）を約５ＭＨｚの周波数で励起する請求の範囲第
５項記載の構成分析機器。 - 【請求項７】前記渦電流回路は、該渦電流コイル（１
９）を約５ＭＨｚの周波数で励起する請求の範囲第１項
記載の混成分析検査機器。 - 【請求項８】前記磁気誘導回路はまず前記検査物質の厚
さを測定するために使用され、前記超音波パルス残響回
路は測定された厚さ使用して前記検査物質の超音波速度
を測定する請求の範囲第１項記載の混成分析検査機器。 - 【請求項９】前記検査物質はグラファイト樹脂複合物質
を備えた請求の範囲第１項記載の混成分析検査機器。
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