JPH06116024A - ビスマス層状化合物の製造方法 - Google Patents
ビスマス層状化合物の製造方法Info
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- JPH06116024A JPH06116024A JP4259954A JP25995492A JPH06116024A JP H06116024 A JPH06116024 A JP H06116024A JP 4259954 A JP4259954 A JP 4259954A JP 25995492 A JP25995492 A JP 25995492A JP H06116024 A JPH06116024 A JP H06116024A
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- Japan
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- sintering
- sintered
- bismuth
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Abstract
(57)【要約】
【目的】ホットプレスより簡単な方法で、ビスマス層状
化合物の分極容易軸の配向性を高める。 【構成】ビスマス層状化合物となる組成比で混合された
粉末原料から形成された一次成形体を仮焼結し、それを
粉砕して形成された仮焼結粉末を用い一軸加圧して二次
成形体を形成し、それを焼結することを特徴とする。粉
砕により仮焼結で成長した板状結晶がほぐれ、二次成形
により分極容易軸が加圧方向に対して直角方向に配向す
る。
化合物の分極容易軸の配向性を高める。 【構成】ビスマス層状化合物となる組成比で混合された
粉末原料から形成された一次成形体を仮焼結し、それを
粉砕して形成された仮焼結粉末を用い一軸加圧して二次
成形体を形成し、それを焼結することを特徴とする。粉
砕により仮焼結で成長した板状結晶がほぐれ、二次成形
により分極容易軸が加圧方向に対して直角方向に配向す
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は圧力センサ、高周波フィ
ルタなどとして利用可能な、圧電性を有するビスマス層
状化合物の製造方法に関する。
ルタなどとして利用可能な、圧電性を有するビスマス層
状化合物の製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】圧電性を有するセラミックスとしては、
チタン酸バリウム（ＢａＴｉＯ3 ）、チタン酸鉛（Ｐｂ
ＴｉＯ3 ）、チタン酸ジルコン酸鉛固溶体（ＰＺＴ）、
ビスマス層状化合物（ＳｒＢｉ4 Ｔｉ4 Ｏ15）などが知
られている。例えばＰＺＴは特に高い感度を有するた
め、圧電アクチュエータとして利用されている。またビ
スマス層状化合物は、感度はＰＺＴほど高くないが強度
が大きく、キュリー温度が５００〜８００℃と高く広い
温度範囲で使用できるため、圧力センサとしての利用が
期待されている。
チタン酸バリウム（ＢａＴｉＯ3 ）、チタン酸鉛（Ｐｂ
ＴｉＯ3 ）、チタン酸ジルコン酸鉛固溶体（ＰＺＴ）、
ビスマス層状化合物（ＳｒＢｉ4 Ｔｉ4 Ｏ15）などが知
られている。例えばＰＺＴは特に高い感度を有するた
め、圧電アクチュエータとして利用されている。またビ
スマス層状化合物は、感度はＰＺＴほど高くないが強度
が大きく、キュリー温度が５００〜８００℃と高く広い
温度範囲で使用できるため、圧力センサとしての利用が
期待されている。
【０００３】ビスマス層状化合物からなる圧力センサな
どは、酸化ビスマス（Ｂｉ2 Ｏ3 ）、酸化チタン（Ｔｉ
Ｏ2 ）、炭酸ストロンチウム（ＳｒＣＯ3 ）などの原料
粉末を所定比率で混合して粉末原料を調製し、この粉末
原料から所定形状の成形体を形成した後焼結して焼結体
とし、それを分極処理して製造されている。ところでビ
スマス層状化合物は、高キュリー温度で高温特性に優れ
た圧電素子であるが、結晶異方性が大きいのに結晶がラ
ンダムに配向した状態で焼結されるため、圧電性の感度
が小さいという欠点がある。そこで、特開昭５２−８６
１９８号公報には、ホットプレスなどを用い、焼結時に
一方向に圧力を加えることにより、板状の結晶の結晶軸
を一方向に揃え、以て感度を向上させる製造方法が開示
されている。この製造方法によれば、ビスマス層状化合
物の板状結晶がプレス方向に直角な方向に配向した状態
で焼結され、分極容易軸がプレス方向に直角な方向に揃
うため、圧電性の感度が向上する。
どは、酸化ビスマス（Ｂｉ2 Ｏ3 ）、酸化チタン（Ｔｉ
Ｏ2 ）、炭酸ストロンチウム（ＳｒＣＯ3 ）などの原料
粉末を所定比率で混合して粉末原料を調製し、この粉末
原料から所定形状の成形体を形成した後焼結して焼結体
とし、それを分極処理して製造されている。ところでビ
スマス層状化合物は、高キュリー温度で高温特性に優れ
た圧電素子であるが、結晶異方性が大きいのに結晶がラ
ンダムに配向した状態で焼結されるため、圧電性の感度
が小さいという欠点がある。そこで、特開昭５２−８６
１９８号公報には、ホットプレスなどを用い、焼結時に
一方向に圧力を加えることにより、板状の結晶の結晶軸
を一方向に揃え、以て感度を向上させる製造方法が開示
されている。この製造方法によれば、ビスマス層状化合
物の板状結晶がプレス方向に直角な方向に配向した状態
で焼結され、分極容易軸がプレス方向に直角な方向に揃
うため、圧電性の感度が向上する。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところが上記公報に開
示されたホットプレス法では、装置自体が高価であるば
かりでなく、一度にプレス処理できる焼結体が通常は１
個であり、生産性が低いため製造コストも高いものにな
っていた。本発明はこのような事情に鑑みてなされたも
のであり、上記ホットプレス法より簡単な方法で、ビス
マス層状化合物の分極容易軸の配向性を高めることを目
的とする。
示されたホットプレス法では、装置自体が高価であるば
かりでなく、一度にプレス処理できる焼結体が通常は１
個であり、生産性が低いため製造コストも高いものにな
っていた。本発明はこのような事情に鑑みてなされたも
のであり、上記ホットプレス法より簡単な方法で、ビス
マス層状化合物の分極容易軸の配向性を高めることを目
的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決する第１
発明のビスマス層状化合物の製造方法は、ビスマス層状
化合物となる組成比で複数の原料を混合して粉末原料と
する混合工程と、粉末原料から一次成形体を形成する一
次成形工程と、一次成形体を仮焼結して仮焼結体とする
仮焼結工程と、仮焼結体を粉砕して仮焼結粉末とする粉
砕工程と、仮焼結粉末を用い一軸加圧して二次成形体を
形成する二次成形工程と、二次成形体を焼結する本焼結
工程と、からなることを特徴とする。
発明のビスマス層状化合物の製造方法は、ビスマス層状
化合物となる組成比で複数の原料を混合して粉末原料と
する混合工程と、粉末原料から一次成形体を形成する一
次成形工程と、一次成形体を仮焼結して仮焼結体とする
仮焼結工程と、仮焼結体を粉砕して仮焼結粉末とする粉
砕工程と、仮焼結粉末を用い一軸加圧して二次成形体を
形成する二次成形工程と、二次成形体を焼結する本焼結
工程と、からなることを特徴とする。
【０００６】また第２発明のビスマス層状化合物の製造
方法は、仮焼結粉末を作製するまでは第１発明と同様で
あるが、その後、仮焼結粉末を用いてグリーンシートを
作製し、グリーンシートを積層して積層体とする積層工
程と、積層体を焼結する本焼結工程と、を行うことを特
徴とする。混合工程及び一次成形工程は、従来の製造方
法と同様に行うことができる。またビスマス層状化合物
としては、一般式（Ｍx Ｂｉy ）Ｔｉ4 Ｏ15で表される
一般的なものを用いることができる。ここでＭは１〜５
価の金属元素であり、Ｓｒ，Ｂｅ，Ｍｇ，Ｃａ，Ｂａ，
Ｒａなどのアルカリ土類金属、Ｌｉ，Ｎａ，Ｋ，Ｒｂ，
Ｃｓなどのアルカリ金属あるいはＰｂなどから種々選択
できる。また、性能を損なわない範囲でＭｎ，Ｎｉ，Ｃ
ｒなどの金属元素を共存させてもよい。
方法は、仮焼結粉末を作製するまでは第１発明と同様で
あるが、その後、仮焼結粉末を用いてグリーンシートを
作製し、グリーンシートを積層して積層体とする積層工
程と、積層体を焼結する本焼結工程と、を行うことを特
徴とする。混合工程及び一次成形工程は、従来の製造方
法と同様に行うことができる。またビスマス層状化合物
としては、一般式（Ｍx Ｂｉy ）Ｔｉ4 Ｏ15で表される
一般的なものを用いることができる。ここでＭは１〜５
価の金属元素であり、Ｓｒ，Ｂｅ，Ｍｇ，Ｃａ，Ｂａ，
Ｒａなどのアルカリ土類金属、Ｌｉ，Ｎａ，Ｋ，Ｒｂ，
Ｃｓなどのアルカリ金属あるいはＰｂなどから種々選択
できる。また、性能を損なわない範囲でＭｎ，Ｎｉ，Ｃ
ｒなどの金属元素を共存させてもよい。
【０００７】仮焼結工程は９００〜１０５０℃の温度で
行うのが望ましい。この温度が９００℃より低いと仮焼
結工程におけるビスマス層状化合物の生成が不十分とな
り、所望の効果を得にくい。また１０５０℃より高くな
ると焼結が進み過ぎて、本焼結工程時の焼結が不十分と
なり、本焼結体の強度などに不具合が生じる場合があ
る。
行うのが望ましい。この温度が９００℃より低いと仮焼
結工程におけるビスマス層状化合物の生成が不十分とな
り、所望の効果を得にくい。また１０５０℃より高くな
ると焼結が進み過ぎて、本焼結工程時の焼結が不十分と
なり、本焼結体の強度などに不具合が生じる場合があ
る。
【０００８】
【作用】ビスマス層状化合物は、その結晶構造から極め
て異方性の強い材料であり、分極容易方向が特定の方向
に限られる。また結晶の形状も板状であり、形状的にも
一方向に配向し易い。しかし通常の製造方法による成形
・焼結では、図２に示すように分極容易軸がランダムと
なってしまい、圧電特性の向上が望めない。
て異方性の強い材料であり、分極容易方向が特定の方向
に限られる。また結晶の形状も板状であり、形状的にも
一方向に配向し易い。しかし通常の製造方法による成形
・焼結では、図２に示すように分極容易軸がランダムと
なってしまい、圧電特性の向上が望めない。
【０００９】すなわち本発明においても、混合工程で得
られる粉末原料を成形し仮焼結することによって、ビス
マス層状化合物の板状結晶が成長する。しかしこの仮焼
結体中においては、ビスマス層状化合物の結晶軸はラン
ダムな方向となり、このままでは圧電性の感度の向上が
みられない。そこで本発明では、この仮焼結体を粉砕す
る粉砕工程を行う。これによりビスマス層状化合物の板
状結晶粒からなる仮焼結粉末が得られる。そしてこの仮
焼結粉末を一軸成形することにより、板状結晶粒の結晶
軸が加圧方向に対して直角方向に配向した成形体が得ら
れ、それを本焼結することで結晶軸の配向が揃ったビス
マス層状化合物が形成される。
られる粉末原料を成形し仮焼結することによって、ビス
マス層状化合物の板状結晶が成長する。しかしこの仮焼
結体中においては、ビスマス層状化合物の結晶軸はラン
ダムな方向となり、このままでは圧電性の感度の向上が
みられない。そこで本発明では、この仮焼結体を粉砕す
る粉砕工程を行う。これによりビスマス層状化合物の板
状結晶粒からなる仮焼結粉末が得られる。そしてこの仮
焼結粉末を一軸成形することにより、板状結晶粒の結晶
軸が加圧方向に対して直角方向に配向した成形体が得ら
れ、それを本焼結することで結晶軸の配向が揃ったビス
マス層状化合物が形成される。
【００１０】また、仮焼結粉末にバインダと溶媒を加え
てスラリーとし、それを所定厚さに塗布し、乾燥してグ
リーンシートとする。このとき板状結晶粒は、結晶軸が
グリーンシートの厚さ方向に対して直角方向に配向す
る。したがって、このグリーンシートを複数枚積層して
所定厚さの積層体とし、それを本焼結することで結晶軸
の配向が揃ったビスマス層状化合物が形成される。
てスラリーとし、それを所定厚さに塗布し、乾燥してグ
リーンシートとする。このとき板状結晶粒は、結晶軸が
グリーンシートの厚さ方向に対して直角方向に配向す
る。したがって、このグリーンシートを複数枚積層して
所定厚さの積層体とし、それを本焼結することで結晶軸
の配向が揃ったビスマス層状化合物が形成される。
【００１１】したがって本焼結体の分極容易軸は図３に
示すように加圧方向あるいは積層方向と直角方向に配向
し、圧電性の感度が向上する。
示すように加圧方向あるいは積層方向と直角方向に配向
し、圧電性の感度が向上する。
【００１２】
（１）混合工程 出発原料として、酸化ストロンチウム（ＳｒＣＯ3 ），
酸化ビスマス（Ｂｉ2Ｏ3 ），酸化チタン（ＴｉＯ2 ）
及び酸化マンガン（ＭｎＯ）を用い、それぞれの原料粉
末を、組成比がＳｒＢｉ4 Ｔｉ4 Ｏ15となるように、か
つＭｎＯをＭｎ重量換算で０．１重量％含むように秤量
して、エタノールとともにポットミル中で４８時間湿式
混合した。
酸化ビスマス（Ｂｉ2Ｏ3 ），酸化チタン（ＴｉＯ2 ）
及び酸化マンガン（ＭｎＯ）を用い、それぞれの原料粉
末を、組成比がＳｒＢｉ4 Ｔｉ4 Ｏ15となるように、か
つＭｎＯをＭｎ重量換算で０．１重量％含むように秤量
して、エタノールとともにポットミル中で４８時間湿式
混合した。
【００１３】混合粉末を脱エタノール乾燥し、８００℃
で２時間仮焼した。この仮焼粉末を再びポットミル中で
４８時間湿式混合し、脱エタノール乾燥して粉末原料と
した。 （２）一次成形工程 この粉末原料にポリビニルアルコール（ＰＶＡ）を約３
重量％加えて造粒し、それを直径１８ｍｍの円柱状キャ
ビティをもつ金型中に供給して、１ｔ／ｃｍ2の圧力で
成形した。 （３）仮焼結工程 得られた一次成形体を９００℃〜１０５０℃で２〜１０
時間加熱して仮焼結した。 （４）粉砕工程 仮焼結体をグラインダーで１〜１０μｍに粉砕し、仮焼
結粉末とした。 （５）二次成形工程 この仮焼結粉末に再びポリビニルアルコール（ＰＶＡ）
を約３重量％加えて造粒し、それを金型中に供給して一
軸加圧しながら１辺１０ｍｍの立方体形状の二次成形体
を形成した。 （６）本焼結工程 二次成形体をＺｒＯ2 製パッド材の上に置き、それをア
ルミナ製容器内に収納しアルミナ製の蓋をして炉内に配
置し、昇降温速度２００℃／ｈ、温度保持は１１００〜
１３００℃で２時間大気中で加熱保持して焼結した。 （７）分極工程 得られた本焼結体１を、図１に示すように二次成形時の
加圧軸と平行な切り出し面１０で厚さ１ｍｍの板状に切
り出し、正方形形状の両表面に銀ペーストを塗布し、焼
き付けて銀電極を形成した。そして２００℃に加熱され
たシリコンオイル中で、８ｋＶ／ｍｍの電圧を１０分間
印加してそれぞれ分極処理を行った。
で２時間仮焼した。この仮焼粉末を再びポットミル中で
４８時間湿式混合し、脱エタノール乾燥して粉末原料と
した。 （２）一次成形工程 この粉末原料にポリビニルアルコール（ＰＶＡ）を約３
重量％加えて造粒し、それを直径１８ｍｍの円柱状キャ
ビティをもつ金型中に供給して、１ｔ／ｃｍ2の圧力で
成形した。 （３）仮焼結工程 得られた一次成形体を９００℃〜１０５０℃で２〜１０
時間加熱して仮焼結した。 （４）粉砕工程 仮焼結体をグラインダーで１〜１０μｍに粉砕し、仮焼
結粉末とした。 （５）二次成形工程 この仮焼結粉末に再びポリビニルアルコール（ＰＶＡ）
を約３重量％加えて造粒し、それを金型中に供給して一
軸加圧しながら１辺１０ｍｍの立方体形状の二次成形体
を形成した。 （６）本焼結工程 二次成形体をＺｒＯ2 製パッド材の上に置き、それをア
ルミナ製容器内に収納しアルミナ製の蓋をして炉内に配
置し、昇降温速度２００℃／ｈ、温度保持は１１００〜
１３００℃で２時間大気中で加熱保持して焼結した。 （７）分極工程 得られた本焼結体１を、図１に示すように二次成形時の
加圧軸と平行な切り出し面１０で厚さ１ｍｍの板状に切
り出し、正方形形状の両表面に銀ペーストを塗布し、焼
き付けて銀電極を形成した。そして２００℃に加熱され
たシリコンオイル中で、８ｋＶ／ｍｍの電圧を１０分間
印加してそれぞれ分極処理を行った。
【００１４】本焼結体では分極容易軸は加圧方向と垂直
に配向しているので、この切り取られたビスマス層状化
合物では分極容易軸は厚さ方向に平行に配向しているこ
ととなる。 〔実施例２〕粉砕工程までは実施例１と同様である。 （５）積層工程 得られた仮焼結粉末にＰＶＢ（ポリビニルブチラール）
を添加し、これをエタノール中に分散させてスラリーと
した。次に、一般の積層セラミックコンデンサの製造に
用いられるキャスティング製膜装置を用い、このスラリ
ーをマイラフィルム上に１００μｍの厚さで塗布した。
そしてエタノールを乾燥させてグリーンシートを得た。
に配向しているので、この切り取られたビスマス層状化
合物では分極容易軸は厚さ方向に平行に配向しているこ
ととなる。 〔実施例２〕粉砕工程までは実施例１と同様である。 （５）積層工程 得られた仮焼結粉末にＰＶＢ（ポリビニルブチラール）
を添加し、これをエタノール中に分散させてスラリーと
した。次に、一般の積層セラミックコンデンサの製造に
用いられるキャスティング製膜装置を用い、このスラリ
ーをマイラフィルム上に１００μｍの厚さで塗布した。
そしてエタノールを乾燥させてグリーンシートを得た。
【００１５】このグリーンシートを１００枚積層して圧
着し、１辺１０ｍｍの立方体形状となるように切断し
た。 （６）本焼結工程 得られた積層体をＺｒＯ2 製パッド材の上に置き、それ
をアルミナ製容器内に収納しアルミナ製の蓋をして炉内
に配置し、昇降温速度２００℃／ｈ、温度保持は１１０
０〜１３００℃で２時間大気中で加熱保持して焼結し
た。 （７）分極工程 得られた本焼結体１を、図１に示すように積層時の積層
方向と平行な切り出し面１０で厚さ１ｍｍの板状に切り
出し、正方形形状の両表面に銀ペーストを塗布し、焼き
付けて銀電極を形成した。そして２００℃に加熱された
シリコンオイル中で、８ｋＶ／ｍｍの電圧を１０分間印
加してそれぞれ分極処理を行った。
着し、１辺１０ｍｍの立方体形状となるように切断し
た。 （６）本焼結工程 得られた積層体をＺｒＯ2 製パッド材の上に置き、それ
をアルミナ製容器内に収納しアルミナ製の蓋をして炉内
に配置し、昇降温速度２００℃／ｈ、温度保持は１１０
０〜１３００℃で２時間大気中で加熱保持して焼結し
た。 （７）分極工程 得られた本焼結体１を、図１に示すように積層時の積層
方向と平行な切り出し面１０で厚さ１ｍｍの板状に切り
出し、正方形形状の両表面に銀ペーストを塗布し、焼き
付けて銀電極を形成した。そして２００℃に加熱された
シリコンオイル中で、８ｋＶ／ｍｍの電圧を１０分間印
加してそれぞれ分極処理を行った。
【００１６】本焼結体では分極容易軸は積層方向と垂直
に配向しているので、この切り取られたビスマス層状化
合物では分極容易軸は厚さ方向に平行に配向しているこ
ととなる。 〔比較例〕仮焼結工程、粉砕工程及び二次成形工程を行
わず、一次成形体をいきなり本焼結した。そして本焼結
体を厚さ１ｍｍとなるまで研磨し、それについて分極工
程を行ったこと以外は実施例１と同様である。 （評価）得られたそれぞれの素子について、それぞれ圧
電性の感度を測定した。結果を表１に示す。ここで圧電
性の感度とは、図５に示すように、試料に力Ｆを加えた
場合に発生する電荷の量をＥとしたときに、単位力当た
りの電荷（Ｅ／Ｆ，単位ｐＣ／Ｎ）をいう。
に配向しているので、この切り取られたビスマス層状化
合物では分極容易軸は厚さ方向に平行に配向しているこ
ととなる。 〔比較例〕仮焼結工程、粉砕工程及び二次成形工程を行
わず、一次成形体をいきなり本焼結した。そして本焼結
体を厚さ１ｍｍとなるまで研磨し、それについて分極工
程を行ったこと以外は実施例１と同様である。 （評価）得られたそれぞれの素子について、それぞれ圧
電性の感度を測定した。結果を表１に示す。ここで圧電
性の感度とは、図５に示すように、試料に力Ｆを加えた
場合に発生する電荷の量をＥとしたときに、単位力当た
りの電荷（Ｅ／Ｆ，単位ｐＣ／Ｎ）をいう。
【００１７】
【表１】 表１より、本発明の製造方法により得られた圧電素子
は、従来の製造方法である比較例で得られたものに比べ
て感度が約６０％も向上している。これは、仮焼結体を
粉砕し、それを結晶軸が配向するように成形あるいは積
層して本焼結したことによる効果であることが明らかで
ある。
は、従来の製造方法である比較例で得られたものに比べ
て感度が約６０％も向上している。これは、仮焼結体を
粉砕し、それを結晶軸が配向するように成形あるいは積
層して本焼結したことによる効果であることが明らかで
ある。
【００１８】
【発明の効果】すなわち本発明の製造方法によれば、ホ
ットプレス法と同様に分極容易軸が一方向に配向したビ
スマス層状化合物を容易に製造することができる。そし
て成形工程で一軸加圧するだけでよいので、一度に多数
の成形体を処理することができ、生産性に優れているた
め、ホットプレス法に比べて生産コストを低減すること
ができる。
ットプレス法と同様に分極容易軸が一方向に配向したビ
スマス層状化合物を容易に製造することができる。そし
て成形工程で一軸加圧するだけでよいので、一度に多数
の成形体を処理することができ、生産性に優れているた
め、ホットプレス法に比べて生産コストを低減すること
ができる。
【００１９】そして本発明により製造されたビスマス層
状化合物は、一方向に分極容易軸が配向しているので、
圧力−電荷出力のヒステリシスが小さくなり極めて優れ
た圧電特性をもつようになる。
状化合物は、一方向に分極容易軸が配向しているので、
圧力−電荷出力のヒステリシスが小さくなり極めて優れ
た圧電特性をもつようになる。
【図１】本発明の実施例における本焼結体からの試験片
の切り出し位置を示す説明図である。
の切り出し位置を示す説明図である。
【図２】従来の製造方法で得られた焼結体の結晶構造の
説明図である。
説明図である。
【図３】本発明の製造方法で得られる本焼結体の結晶構
造の説明図である。
造の説明図である。
【図４】力と電荷出力の関係を示し、圧電性の感度の定
義を示す説明図である。
義を示す説明図である。
１：本焼結体 １０：切り出し面
Claims (2)
- 【請求項１】 ビスマス層状化合物となる組成比で複数
の原料を混合して粉末原料とする混合工程と、 該粉末原料から一次成形体を形成する一次成形工程と、 該一次成形体を仮焼結して仮焼結体とする仮焼結工程
と、 該仮焼結体を粉砕して仮焼結粉末とする粉砕工程と、 該仮焼結粉末を用い一軸加圧して二次成形体を形成する
二次成形工程と、 該二次成形体を焼結する本焼結工程と、からなることを
特徴とするビスマス層状化合物の製造方法。 - 【請求項２】 ビスマス層状化合物となる組成比で複数
の原料を混合して粉末原料とする混合工程と、 該粉末原料から一次成形体を形成する一次成形工程と、 該一次成形体を仮焼結して仮焼結体とする焼結工程と、 該仮焼結体を粉砕して仮焼結粉末とする粉砕工程と、 該仮焼結粉末を用いてグリーンシートを作製し、該グリ
ーンシートを積層して積層体とする積層工程と、 該積層体を焼結する本焼結工程と、からなることを特徴
とするビスマス層状化合物の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4259954A JPH06116024A (ja) | 1992-09-29 | 1992-09-29 | ビスマス層状化合物の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4259954A JPH06116024A (ja) | 1992-09-29 | 1992-09-29 | ビスマス層状化合物の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06116024A true JPH06116024A (ja) | 1994-04-26 |
Family
ID=17341230
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4259954A Pending JPH06116024A (ja) | 1992-09-29 | 1992-09-29 | ビスマス層状化合物の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06116024A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH1160333A (ja) * | 1997-08-21 | 1999-03-02 | Toyota Central Res & Dev Lab Inc | 圧電セラミックス |
| KR100394348B1 (ko) * | 1999-08-16 | 2003-08-09 | 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 | 압전 세라믹 제조 방법 |
| JP2006083016A (ja) * | 2004-09-16 | 2006-03-30 | Science Univ Of Tokyo | 強誘電体材料の製造方法（放電プラズマ焼結による一軸配向性強誘電体セラミックスの合成） |
-
1992
- 1992-09-29 JP JP4259954A patent/JPH06116024A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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