JPH06110554A - サーボ制御装置 - Google Patents
サーボ制御装置Info
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- JPH06110554A JPH06110554A JP4280979A JP28097992A JPH06110554A JP H06110554 A JPH06110554 A JP H06110554A JP 4280979 A JP4280979 A JP 4280979A JP 28097992 A JP28097992 A JP 28097992A JP H06110554 A JPH06110554 A JP H06110554A
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- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P70/00—Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
- Y02P70/10—Greenhouse gas [GHG] capture, material saving, heat recovery or other energy efficient measures, e.g. motor control, characterised by manufacturing processes, e.g. for rolling metal or metal working
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- Control Of Position Or Direction (AREA)
- Control Of Voltage And Current In General (AREA)
- Automatic Control Of Machine Tools (AREA)
- Numerical Control (AREA)
- Feedback Control In General (AREA)
- Control Of Electric Motors In General (AREA)
- Control Of Ac Motors In General (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 移動体の慣性による位置決め誤差を低下させ
ること。 【構成】 速度成分のフィードフォワードを行なったサ
ーボ制御装置において、目標位置の時間変動から各時刻
における加速度を求め、加速度に応じて各時刻における
補正値を求め（Ａ２）、各時刻における補正値の中から
現在時刻に対して所定遅延時間前における補正値を遅延
補正値として求め（Ａ３）、遅延補正値を現在時刻にお
ける目標速度から減算する補正を行う。工作物のプロフ
ィルにおいて２次微分が大きくなる位置では指令速度が
低下するため、砥石台が目標位置を越えることが抑制さ
れ、カム研削の加工精度が向上する。
ること。 【構成】 速度成分のフィードフォワードを行なったサ
ーボ制御装置において、目標位置の時間変動から各時刻
における加速度を求め、加速度に応じて各時刻における
補正値を求め（Ａ２）、各時刻における補正値の中から
現在時刻に対して所定遅延時間前における補正値を遅延
補正値として求め（Ａ３）、遅延補正値を現在時刻にお
ける目標速度から減算する補正を行う。工作物のプロフ
ィルにおいて２次微分が大きくなる位置では指令速度が
低下するため、砥石台が目標位置を越えることが抑制さ
れ、カム研削の加工精度が向上する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、フィードフォワード機
能を有するサーボ制御装置に関する。
能を有するサーボ制御装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、サーボ制御装置において、アナロ
グ式及びディジタル式のフィードフォワード機能を有す
る装置が知られている。このようなサーボ制御装置は、
例えば、数値制御工作機械の送り軸、主軸等を回転させ
るサーボモータを制御するために使用される。
グ式及びディジタル式のフィードフォワード機能を有す
る装置が知られている。このようなサーボ制御装置は、
例えば、数値制御工作機械の送り軸、主軸等を回転させ
るサーボモータを制御するために使用される。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところが、数値制御カ
ム研削盤においては、質量の大きな砥石台を主軸回転に
同期させて高速で繰り返して前進後退させる必要があ
る。この場合に、指令された目標位置の時間変動におい
て、加速度が大きいところでは、砥石台に大きな力が作
用するが、砥石台の慣性のために、砥石台の現実の位置
は指令された目標位置に対して行き過ぎる。このこと
が、カム研削における加工精度の低下の原因となってい
た。
ム研削盤においては、質量の大きな砥石台を主軸回転に
同期させて高速で繰り返して前進後退させる必要があ
る。この場合に、指令された目標位置の時間変動におい
て、加速度が大きいところでは、砥石台に大きな力が作
用するが、砥石台の慣性のために、砥石台の現実の位置
は指令された目標位置に対して行き過ぎる。このこと
が、カム研削における加工精度の低下の原因となってい
た。
【０００４】例えば、図８に示す指令されたプロフィル
ａのカム研削において、現実に研削された工作物のプロ
フィルは、曲線ｂに示すようになり、誤差は曲線ｃのよ
うになる。図８は、位相誤差を零に補償した状態にて表
されている。図８から明かなように、指令されたプロフ
ィルａの２次微分、即ち、加速度成分ｄが大きいところ
で、誤差が大きくなっている。これは、砥石台に大きな
加速度が付与された後、砥石台の大きな慣性のために、
砥石台が指令位置を通り越してしまうためである。
ａのカム研削において、現実に研削された工作物のプロ
フィルは、曲線ｂに示すようになり、誤差は曲線ｃのよ
うになる。図８は、位相誤差を零に補償した状態にて表
されている。図８から明かなように、指令されたプロフ
ィルａの２次微分、即ち、加速度成分ｄが大きいところ
で、誤差が大きくなっている。これは、砥石台に大きな
加速度が付与された後、砥石台の大きな慣性のために、
砥石台が指令位置を通り越してしまうためである。
【０００５】本発明は、上記の課題を解決するために成
されたものであり、その目的とするところは、指令され
た目標位置に対する偏差を減少させて、加工精度を向上
させることである。
されたものであり、その目的とするところは、指令され
た目標位置に対する偏差を減少させて、加工精度を向上
させることである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
の発明の構成は、現在時刻において指令された目標位置
と現在時刻において測定された現在位置との偏差に応じ
て速度フィードバックループへの現在時刻における目標
速度を与えると共に目標位置の時間変動から演算される
速度に応じた値を目標速度に加算することによりフィー
ドフォワード制御を行うようにしたサーボ制御装置にお
いて、目標位置の時間変動から各時刻における加速度を
求める加速度演算手段と、加速度に応じて各時刻におけ
る補正値を求める補正値演算手段と、各時刻における補
正値の中から現在時刻に対して所定遅延時間前における
補正値を遅延補正値として求める遅延補正値演算手段
と、遅延補正値を現在時刻における目標速度から減算す
る補正を行う目標速度補正手段とを設けたことである。
の発明の構成は、現在時刻において指令された目標位置
と現在時刻において測定された現在位置との偏差に応じ
て速度フィードバックループへの現在時刻における目標
速度を与えると共に目標位置の時間変動から演算される
速度に応じた値を目標速度に加算することによりフィー
ドフォワード制御を行うようにしたサーボ制御装置にお
いて、目標位置の時間変動から各時刻における加速度を
求める加速度演算手段と、加速度に応じて各時刻におけ
る補正値を求める補正値演算手段と、各時刻における補
正値の中から現在時刻に対して所定遅延時間前における
補正値を遅延補正値として求める遅延補正値演算手段
と、遅延補正値を現在時刻における目標速度から減算す
る補正を行う目標速度補正手段とを設けたことである。
【０００７】
【作用】まず、フィードフォワード制御により、位置偏
差に応じて与えられる目標速度に指令された目標位置の
時間変動から演算される速度に応じた値が加算される。
さらに、次の加速度による補正が行われる。指令された
目標位置の時間変動から加速度が演算され、その加速度
から各時刻における補正値が演算される。その補正値の
中から現在時刻に対して所定遅延時間前における補正値
が遅延補正値として求められる。速度フィードバックル
ープへの目標速度からこの遅延補正値が減算される。よ
って、速度フィードバックループに与えられる現在時刻
での目標速度は、次のように与えられる。 現在時刻での目標速度＝位置偏差によって決定される目
標速度＋フィードフォワードによる補正値−所定遅延時
間前の加速度による補正値
差に応じて与えられる目標速度に指令された目標位置の
時間変動から演算される速度に応じた値が加算される。
さらに、次の加速度による補正が行われる。指令された
目標位置の時間変動から加速度が演算され、その加速度
から各時刻における補正値が演算される。その補正値の
中から現在時刻に対して所定遅延時間前における補正値
が遅延補正値として求められる。速度フィードバックル
ープへの目標速度からこの遅延補正値が減算される。よ
って、速度フィードバックループに与えられる現在時刻
での目標速度は、次のように与えられる。 現在時刻での目標速度＝位置偏差によって決定される目
標速度＋フィードフォワードによる補正値−所定遅延時
間前の加速度による補正値
【０００８】
【発明の効果】本発明は、指令された速度成分に応じて
フィードフォワード制御するようにしたサーボ制御装置
において、指令された加速度成分と制御系の遅延時間と
から決定される遅延補正値により、速度フィードバック
ループへ与えられる目標速度を減少補正するようにして
いる。従って、補正をしない制御の場合に、移動体が大
きな加速度を有するタイミングで目標速度がその加速度
に応じて減少補正されることから、移動体へ付加される
加速度が減少され、移動体が目標位置を通り越すことが
防止される。この結果、カム研削等の加工精度が向上す
る。
フィードフォワード制御するようにしたサーボ制御装置
において、指令された加速度成分と制御系の遅延時間と
から決定される遅延補正値により、速度フィードバック
ループへ与えられる目標速度を減少補正するようにして
いる。従って、補正をしない制御の場合に、移動体が大
きな加速度を有するタイミングで目標速度がその加速度
に応じて減少補正されることから、移動体へ付加される
加速度が減少され、移動体が目標位置を通り越すことが
防止される。この結果、カム研削等の加工精度が向上す
る。
【０００９】
【実施例】以下、本発明を具体的な実施例に基づいて説
明する。図２は、本実施例にかかるディデタルサーボ制
御装置を用いた研削盤の全体の構成を示している。５０
は数値制御研削盤のベッドで、このベッド５０上にはテ
ーブル５１が主軸軸線に平行なＺ軸方向に摺動可能に配
設されている。テーブル５１上には主軸５３を軸架した
主軸台５２が配設され、その主軸５３はサーボモータ５
４により回転される。また、テーブル５１上、右端には
心押台５５が載置され、心押台５５のセンタ５６と主軸
５３のセンタ５７とによってカムから成る工作物Ｗが挾
持されている。工作物Ｗは主軸５３に突設された位置決
めピン５８に嵌合し、工作物Ｗの回転位相は主軸５３の
回転位相に一致している。
明する。図２は、本実施例にかかるディデタルサーボ制
御装置を用いた研削盤の全体の構成を示している。５０
は数値制御研削盤のベッドで、このベッド５０上にはテ
ーブル５１が主軸軸線に平行なＺ軸方向に摺動可能に配
設されている。テーブル５１上には主軸５３を軸架した
主軸台５２が配設され、その主軸５３はサーボモータ５
４により回転される。また、テーブル５１上、右端には
心押台５５が載置され、心押台５５のセンタ５６と主軸
５３のセンタ５７とによってカムから成る工作物Ｗが挾
持されている。工作物Ｗは主軸５３に突設された位置決
めピン５８に嵌合し、工作物Ｗの回転位相は主軸５３の
回転位相に一致している。
【００１０】ベッド５０の後方には工具送り軸（Ｘ軸）
に沿って進退可能な工具台６０が案内され、工具台６０
にはモータ６１によって回転駆動される砥石車Ｇが支承
されている。この工具台６０は、図略の送り螺子を介し
てサーボモータ３１に連結され、サーボモータ３１の正
逆転により前進後退される。
に沿って進退可能な工具台６０が案内され、工具台６０
にはモータ６１によって回転駆動される砥石車Ｇが支承
されている。この工具台６０は、図略の送り螺子を介し
てサーボモータ３１に連結され、サーボモータ３１の正
逆転により前進後退される。
【００１１】ディジタルサーボ制御装置１、２は数値制
御装置３から目標位置を入力して、それぞれサーボモー
タ３１、５４を駆動する回路である。それぞれのサーボ
モータ３１、５４には現在の現在位置を検出するための
パルスジェネレータ３３、６２が結合されており、それ
らの出力は各ディジタルサーボ制御装置１、２に帰還さ
れ速度と位置のフィードバック制御が行われている。
御装置３から目標位置を入力して、それぞれサーボモー
タ３１、５４を駆動する回路である。それぞれのサーボ
モータ３１、５４には現在の現在位置を検出するための
パルスジェネレータ３３、６２が結合されており、それ
らの出力は各ディジタルサーボ制御装置１、２に帰還さ
れ速度と位置のフィードバック制御が行われている。
【００１２】数値制御装置３は主としてディジタルサー
ボ制御装置１、２に目標位置を時系列的に与えて工作物
Ｗの研削加工を制御する装置である。その数値制御装置
３には、プロフィルデータ、加工サイクルデータ等を入
力する入力装置と制御データ等の入力を行うキーボード
２１と各種の情報を表示するＣＲＴ表示装置２２が接続
されている。
ボ制御装置１、２に目標位置を時系列的に与えて工作物
Ｗの研削加工を制御する装置である。その数値制御装置
３には、プロフィルデータ、加工サイクルデータ等を入
力する入力装置と制御データ等の入力を行うキーボード
２１と各種の情報を表示するＣＲＴ表示装置２２が接続
されている。
【００１３】次に、ディジタルサーボ制御装置１及び数
値制御装置３の構成を図３を参照して説明する。数値制
御装置３はＣＰＵ１１と制御プログラムを記憶したＲＯ
Ｍ１２と入力データ等を記憶するＲＡＭ１３と入出力イ
ンタフェース１９とで主として構成されている。ＲＡＭ
１３は、ＮＣデータ、プロフィルデータ、プロフィルデ
ータを分解して得られる主軸の目標位置の時系列デー
タ、砥石車の送り軸座標の目標位置の時系列データ等を
記憶するものである。
値制御装置３の構成を図３を参照して説明する。数値制
御装置３はＣＰＵ１１と制御プログラムを記憶したＲＯ
Ｍ１２と入力データ等を記憶するＲＡＭ１３と入出力イ
ンタフェース１９とで主として構成されている。ＲＡＭ
１３は、ＮＣデータ、プロフィルデータ、プロフィルデ
ータを分解して得られる主軸の目標位置の時系列デー
タ、砥石車の送り軸座標の目標位置の時系列データ等を
記憶するものである。
【００１４】ディジタルサーボ制御装置１は主として、
ディジタルシグナルプロセッサ（以下「ＤＳＰ」とい
う）１４、共通ＲＡＭ１７，Ａ／Ｄ変換器１５ａ，１５
ｂ及び現在値カウンタ１６、ＲＯＭ２０、Ａ／Ｄ変換器
１５ａ，１５ｂ、インバータ２５、カレントトランスフ
ォーマ（以下、「ＣＴ」という）３２ａ，３２ｂ、増幅
器１８ａ，１８ｂ、波形成形・方向判別回路３４から構
成されている。
ディジタルシグナルプロセッサ（以下「ＤＳＰ」とい
う）１４、共通ＲＡＭ１７，Ａ／Ｄ変換器１５ａ，１５
ｂ及び現在値カウンタ１６、ＲＯＭ２０、Ａ／Ｄ変換器
１５ａ，１５ｂ、インバータ２５、カレントトランスフ
ォーマ（以下、「ＣＴ」という）３２ａ，３２ｂ、増幅
器１８ａ，１８ｂ、波形成形・方向判別回路３４から構
成されている。
【００１５】図１はＤＳＰ１４による本実施例のサーボ
制御機能を図示したブロック図である。以下、本実施例
のサーボ制御機能を図１、図３を参照して説明する。Ｄ
ＳＰ１４の出力はインバータ２５に入力され、そのイン
バータ２５はＤＳＰ１４の出力信号に応じてサーボモー
タ３１を駆動する。サーボモータ３１には同期モータが
用いられ、インバータ２５のＰＷＭ電圧制御によりサー
ボモータ３１の負荷電流が制御され、その結果、出力ト
ルクが制御される。
制御機能を図示したブロック図である。以下、本実施例
のサーボ制御機能を図１、図３を参照して説明する。Ｄ
ＳＰ１４の出力はインバータ２５に入力され、そのイン
バータ２５はＤＳＰ１４の出力信号に応じてサーボモー
タ３１を駆動する。サーボモータ３１には同期モータが
用いられ、インバータ２５のＰＷＭ電圧制御によりサー
ボモータ３１の負荷電流が制御され、その結果、出力ト
ルクが制御される。
【００１６】サーボモータ３１のｕ相及びｖ相の負荷電
流はＣＴ３２ａ，３２ｂにより検出され、増幅器１８
ａ，１８ｂにより増幅される。その増幅器１８ａ，１８
ｂの出力は、Ａ／Ｄ変換器１５ａ，１５ｂに入力され、
所定の周期でサンプリングされ、ディジタル値に変換さ
れる。そのサンプリングされた値は、瞬時負荷電流のフ
ィードバック値として、ＤＳＰ１４に入力する。
流はＣＴ３２ａ，３２ｂにより検出され、増幅器１８
ａ，１８ｂにより増幅される。その増幅器１８ａ，１８
ｂの出力は、Ａ／Ｄ変換器１５ａ，１５ｂに入力され、
所定の周期でサンプリングされ、ディジタル値に変換さ
れる。そのサンプリングされた値は、瞬時負荷電流のフ
ィードバック値として、ＤＳＰ１４に入力する。
【００１７】又、サーボモータ３１にはパルスエンコー
ダ３３が接続され、パルスエンコーダ３３の出力は波形
成形・方向判別回路３４を介して現在値カウンタ１６に
接続されている。波形成形・方向判別回路３４を介して
現在値カウンタ１６に入力されるパルスエンコーダ３３
からの出力信号は現在値カウンタ１６の値を加減させ
る。現在値カウンタ１６の値は、位置のフィードバック
値、即ち、現時刻(i) におけるサーボモータ３１の軸の
現在位置θa(i)（回転角）を表している。ＣＰＵ１１か
ら現在時刻(i) において指令された目標位置θ(i) と現
在位置θa(i)とが、ＤＳＰ１４により比較され、位置偏
差Δθ(i) が算出される。そして、ＤＳＰ１４により、
その位置偏差に位置フィードバックループゲインＫp が
掛けられて、一次目標速度Ｖp(i)が算出される。
ダ３３が接続され、パルスエンコーダ３３の出力は波形
成形・方向判別回路３４を介して現在値カウンタ１６に
接続されている。波形成形・方向判別回路３４を介して
現在値カウンタ１６に入力されるパルスエンコーダ３３
からの出力信号は現在値カウンタ１６の値を加減させ
る。現在値カウンタ１６の値は、位置のフィードバック
値、即ち、現時刻(i) におけるサーボモータ３１の軸の
現在位置θa(i)（回転角）を表している。ＣＰＵ１１か
ら現在時刻(i) において指令された目標位置θ(i) と現
在位置θa(i)とが、ＤＳＰ１４により比較され、位置偏
差Δθ(i) が算出される。そして、ＤＳＰ１４により、
その位置偏差に位置フィードバックループゲインＫp が
掛けられて、一次目標速度Ｖp(i)が算出される。
【００１８】又、指令された目標位置θ(i) は、ＤＳＰ
１４によりフィードフォワードループの微分器Ａ１によ
り微分されて速度が演算される。その速度にフィードフ
ォワードゲインＫf が掛けられ、現在時刻におけるフィ
ードフォワード値Ｖf(i)が演算される。この値は位置偏
差に基づいて演算された一次目標速度Ｖp(i)に加算され
る。加算後の目標速度の特性は、図７の（ａ）に示すよ
うになる。これにより、速度成分によるフィードフォワ
ード制御が行われる。
１４によりフィードフォワードループの微分器Ａ１によ
り微分されて速度が演算される。その速度にフィードフ
ォワードゲインＫf が掛けられ、現在時刻におけるフィ
ードフォワード値Ｖf(i)が演算される。この値は位置偏
差に基づいて演算された一次目標速度Ｖp(i)に加算され
る。加算後の目標速度の特性は、図７の（ａ）に示すよ
うになる。これにより、速度成分によるフィードフォワ
ード制御が行われる。
【００１９】又、指令された目標位置θ(i) は、２次微
分器Ａ２による時間の２次微分により加速度が演算され
る。この加速度にゲインＫa が掛けられて補正値Ｖg(i)
が演算される。この補正値Ｖg(i)は図７の（ｂ）に示す
ように時間に対して変化する。この補正値Ｖg(i)は遅延
回路Ａ３により所定遅延時間τだけ遅延されて、遅延補
正値Ｖg(i-τ) が求められる（図７の（ｂ））。この遅
延補正値Ｖg(i-τ) が位置偏差により決定された一次目
標速度Ｖp(i)から減算される。このように、速度成分に
よるフィードフォワードにより決定された目標速度は加
速度成分により減少補正が行われる。そして、このよう
に補正された最終的な目標速度Ｖ(i) が速度フィードバ
ックループに対する速度の指令値となる。この最終的な
目標速度Ｖ(i) は時間に対して図７の（ｃ）に示すよう
に変化する。
分器Ａ２による時間の２次微分により加速度が演算され
る。この加速度にゲインＫa が掛けられて補正値Ｖg(i)
が演算される。この補正値Ｖg(i)は図７の（ｂ）に示す
ように時間に対して変化する。この補正値Ｖg(i)は遅延
回路Ａ３により所定遅延時間τだけ遅延されて、遅延補
正値Ｖg(i-τ) が求められる（図７の（ｂ））。この遅
延補正値Ｖg(i-τ) が位置偏差により決定された一次目
標速度Ｖp(i)から減算される。このように、速度成分に
よるフィードフォワードにより決定された目標速度は加
速度成分により減少補正が行われる。そして、このよう
に補正された最終的な目標速度Ｖ(i) が速度フィードバ
ックループに対する速度の指令値となる。この最終的な
目標速度Ｖ(i) は時間に対して図７の（ｃ）に示すよう
に変化する。
【００２０】速度フィードバックループにおいては、Ｄ
ＳＰ１４に入力された現在位置は時間に関して微分さ
れ、速度フィードバックループのフィードバック値、即
ち、現在速度が算出される。ＤＳＰ１４により、上述の
最終的に決定される目標速度とその現在速度とが比較さ
れ速度偏差が算出される。そして、その速度偏差及び速
度偏差の時間積分（累積）を用いた比例・積分演算によ
り、電流フィードバックループにおける制御の目標電流
のｑ軸成分（有効電流）が算出される。又、目標電流の
ｄ軸成分（無効電流）は０とされる。
ＳＰ１４に入力された現在位置は時間に関して微分さ
れ、速度フィードバックループのフィードバック値、即
ち、現在速度が算出される。ＤＳＰ１４により、上述の
最終的に決定される目標速度とその現在速度とが比較さ
れ速度偏差が算出される。そして、その速度偏差及び速
度偏差の時間積分（累積）を用いた比例・積分演算によ
り、電流フィードバックループにおける制御の目標電流
のｑ軸成分（有効電流）が算出される。又、目標電流の
ｄ軸成分（無効電流）は０とされる。
【００２１】ＤＳＰ１４により、この目標電流のｑ軸成
分及びｄ軸成分は、増幅器１８ａ，１８ｂ及びＡ／Ｄ変
換器１５ａ，１５ｂを介してＣＴ３２ａ，３２ｂにて検
出された電流フィードバックループのフィードバック
値、即ち、現在電流のｑ軸成分及びｄ軸成分と比較さ
れ、それぞの成分の電流偏差が演算される。そして、こ
の電流偏差及び電流偏差の時間積分（累積）を用いた比
例・積分演算により、その時の指令電流のｑ軸成分及び
ｄ軸成分が演算される。
分及びｄ軸成分は、増幅器１８ａ，１８ｂ及びＡ／Ｄ変
換器１５ａ，１５ｂを介してＣＴ３２ａ，３２ｂにて検
出された電流フィードバックループのフィードバック
値、即ち、現在電流のｑ軸成分及びｄ軸成分と比較さ
れ、それぞの成分の電流偏差が演算される。そして、こ
の電流偏差及び電流偏差の時間積分（累積）を用いた比
例・積分演算により、その時の指令電流のｑ軸成分及び
ｄ軸成分が演算される。
【００２２】指令電流のｑ軸成分及びｄ軸成分は、各相
の指令電流にdq逆変換される。その各相の指令電流は高
周波数の三角波と比較され、インバータ２５の各相のト
ランジスタのオンオフを制御する電圧制御ＰＷＭ信号が
生成される。その電圧制御ＰＷＭ信号はインバータ２５
に出力され、そのインバータ２５の各相のトランジスタ
がそれぞれ駆動される。このインバータ２５のスイッチ
ングにより負荷電流は目標電流に制御されることにな
る。
の指令電流にdq逆変換される。その各相の指令電流は高
周波数の三角波と比較され、インバータ２５の各相のト
ランジスタのオンオフを制御する電圧制御ＰＷＭ信号が
生成される。その電圧制御ＰＷＭ信号はインバータ２５
に出力され、そのインバータ２５の各相のトランジスタ
がそれぞれ駆動される。このインバータ２５のスイッチ
ングにより負荷電流は目標電流に制御されることにな
る。
【００２３】尚、サーボモータ３１の位置決めは、ＣＰ
Ｕ１１により現在値カンウタ１６の出力値が目標位置に
等しくなったと判定された時に完了される。又、Ａ／Ｄ
変換器１５ａ，１５ｂによってサンプリングされたｕ
相、ｖ相の負荷電流は、ＤＳＰ１４によりdq変換され
る。
Ｕ１１により現在値カンウタ１６の出力値が目標位置に
等しくなったと判定された時に完了される。又、Ａ／Ｄ
変換器１５ａ，１５ｂによってサンプリングされたｕ
相、ｖ相の負荷電流は、ＤＳＰ１４によりdq変換され
る。
【００２４】本実施例のディジタルサーボ制御装置は、
上述したように、位置、速度及び電流の３つのフィード
バックループにより構成されている。図６に示すよう
に、より下位のフィードバックループ程、より高い応答
性が要求され、例えば、最下位の電流フィードバックル
ープは 100μs 、速度フィードバックループはその数
倍、位置フィードバックループは更にその数倍の時間間
隔で同期をとってデータのサンプリングが実行され、そ
れぞれのフィードバックループの処理が実行される。
上述したように、位置、速度及び電流の３つのフィード
バックループにより構成されている。図６に示すよう
に、より下位のフィードバックループ程、より高い応答
性が要求され、例えば、最下位の電流フィードバックル
ープは 100μs 、速度フィードバックループはその数
倍、位置フィードバックループは更にその数倍の時間間
隔で同期をとってデータのサンプリングが実行され、そ
れぞれのフィードバックループの処理が実行される。
【００２５】次に、ＤＳＰ１４の動作手順を図４、図５
を参照して更に詳しく説明する。図４、図５のプログラ
ムは、ＤＳＰ１４によって、所定の最小周期毎に繰り返
し実行される。ステップ１００では、現実行サイクルが
位置偏差演算タイミングか否かが判定され、位置偏差演
算タンミングであればステップ１０２に移行し、共通Ｒ
ＡＭ１７からＣＰＵ１１により指令された目標位置θ
(i) が入力され記憶される。又、過去一定時間ｔ内の目
標位置θ(i) は共通ＲＡＭ１７に記憶されている。
を参照して更に詳しく説明する。図４、図５のプログラ
ムは、ＤＳＰ１４によって、所定の最小周期毎に繰り返
し実行される。ステップ１００では、現実行サイクルが
位置偏差演算タイミングか否かが判定され、位置偏差演
算タンミングであればステップ１０２に移行し、共通Ｒ
ＡＭ１７からＣＰＵ１１により指令された目標位置θ
(i) が入力され記憶される。又、過去一定時間ｔ内の目
標位置θ(i) は共通ＲＡＭ１７に記憶されている。
【００２６】次に、ステップ１０４に移行し、ステップ
１０２で記憶された目標位置θ(i)の時間特性を時間に
関して一次微分して速度を演算し、その速度にゲインＫ
f を掛けて、フィードフォワード値Ｖf(i)を演算する。
１０２で記憶された目標位置θ(i)の時間特性を時間に
関して一次微分して速度を演算し、その速度にゲインＫ
f を掛けて、フィードフォワード値Ｖf(i)を演算する。
【００２７】次に、ステップ１０６において、目標位置
θ(i) の時間特性を時間に関して二次微分し加速度を演
算し、その加速度にゲインＫa を掛けて補正値Ｖg(i)を
演算する。この補正値は共通ＲＡＭ１７に記憶される。
ステップ１０８では、共通ＲＡＭ１７から現時刻(i) に
対して制御系の遅延時間τだけ前の時刻における補正値
が遅延補正値Ｖg(i-τ) として読み取られる。
θ(i) の時間特性を時間に関して二次微分し加速度を演
算し、その加速度にゲインＫa を掛けて補正値Ｖg(i)を
演算する。この補正値は共通ＲＡＭ１７に記憶される。
ステップ１０８では、共通ＲＡＭ１７から現時刻(i) に
対して制御系の遅延時間τだけ前の時刻における補正値
が遅延補正値Ｖg(i-τ) として読み取られる。
【００２８】次に、ステップ１１０において現在値カウ
ンタ１６に保持された現在位置（電気角）θa(i)が読み
込まれる。次に、ステップ１１２において、現時刻(i)
の目標位置θ(i) と現在位置θa(i)との位置偏差Δθ
(i) が演算される。次に、ステップ１１４において一次
目標速度Ｖp(i)が位置偏差Δθ(i) に比例した値、即
ち、次式により演算される。
ンタ１６に保持された現在位置（電気角）θa(i)が読み
込まれる。次に、ステップ１１２において、現時刻(i)
の目標位置θ(i) と現在位置θa(i)との位置偏差Δθ
(i) が演算される。次に、ステップ１１４において一次
目標速度Ｖp(i)が位置偏差Δθ(i) に比例した値、即
ち、次式により演算される。
【数１】Ｖp(i)＝ｋp ・Δθ(i)
【００２９】次に、ステップ１１６において、最終的の
目標速度Ｖ(i) が次式で演算される。
目標速度Ｖ(i) が次式で演算される。
【数２】Ｖ(i) ＝Ｖp(i)＋Ｖf(i)−Ｖg(i-τ)
【００３０】この位置のフィードバック制御は、図６の
信号S1で示したタイミングで実行される。次に、ステッ
プ１１８において、現実行サイクルが速度偏差演算タイ
ミングか否かが判定される。速度偏差演算タンミングで
あればステップ１２０に移行し、現在値カウンタ１６に
保持された現在位置θa(n)が読み込まれる。次にステッ
プ１２２に移行して、現時刻(n) における現在速度Ｖa
(n)が演算される。現在速度Ｖa(n)は、前回の速度偏差
演算タイミング時に読み込まれた現在位置θa(n-1)と、
今回入力された現在位置θa(n)と、速度制御周期Ｄとに
基づいて次式によって演算される。
信号S1で示したタイミングで実行される。次に、ステッ
プ１１８において、現実行サイクルが速度偏差演算タイ
ミングか否かが判定される。速度偏差演算タンミングで
あればステップ１２０に移行し、現在値カウンタ１６に
保持された現在位置θa(n)が読み込まれる。次にステッ
プ１２２に移行して、現時刻(n) における現在速度Ｖa
(n)が演算される。現在速度Ｖa(n)は、前回の速度偏差
演算タイミング時に読み込まれた現在位置θa(n-1)と、
今回入力された現在位置θa(n)と、速度制御周期Ｄとに
基づいて次式によって演算される。
【数３】Ｖa(n)=(θa(n)- θa(n-1)) ／Ｄ
【００３１】次に、ステップ１２４において、ステップ
１１６で演算された目標速度Ｖ(i)と現在速度Ｖa(n)と
の偏差、即ち、速度偏差ΔＶ(n) が演算される。又、速
度偏差ΔＶ(n) の累積値（積分）ＳがＳ＝Ｓ＋ΔＶ(n)
により演算される。次に、ステップ１２６においてステ
ップ１２４で演算された速度偏差ΔＶ(n)及び速度偏差
の積分Ｓと、比例利得ＫV 及び積分時間Ｔi とを用い
て、目標電流のｑ軸成分（有効電流でサーボモータのト
クルに比例する）Ｉq(n)が次式により演算される。尚、
目標電流のｄ軸成分（無効電流）は０である。この速度
フィードバック制御は、図６の信号S2で示したタイミン
グで実行される。
１１６で演算された目標速度Ｖ(i)と現在速度Ｖa(n)と
の偏差、即ち、速度偏差ΔＶ(n) が演算される。又、速
度偏差ΔＶ(n) の累積値（積分）ＳがＳ＝Ｓ＋ΔＶ(n)
により演算される。次に、ステップ１２６においてステ
ップ１２４で演算された速度偏差ΔＶ(n)及び速度偏差
の積分Ｓと、比例利得ＫV 及び積分時間Ｔi とを用い
て、目標電流のｑ軸成分（有効電流でサーボモータのト
クルに比例する）Ｉq(n)が次式により演算される。尚、
目標電流のｄ軸成分（無効電流）は０である。この速度
フィードバック制御は、図６の信号S2で示したタイミン
グで実行される。
【数４】Ｉq(n)=ＫV(ΔＶ(i)+Ｓ／Ｔi )
【００３２】次に、ステップ１２８において、現実行サ
イクルが電流偏差演算タイミングか否かが判定される。
電流偏差演算タイミングであれば、ステップ１３０に移
行する。ステップ１３０以下は電流フィードバック制御
であり、この制御は、図６の信号S3に示したタイミング
で実行される。ステップ１３０では、電流制御期間の先
頭から測定した電流検出時刻Δｔ1 、電流制御期間の先
頭から測定した負荷電流の制御時刻Δｔ2 と現在速度Ｖ
a(n)とを用いて、その時刻に対応した電気角である電流
検出時電気角θ1 と制御時電気角θ2 が補間演算され
る。
イクルが電流偏差演算タイミングか否かが判定される。
電流偏差演算タイミングであれば、ステップ１３０に移
行する。ステップ１３０以下は電流フィードバック制御
であり、この制御は、図６の信号S3に示したタイミング
で実行される。ステップ１３０では、電流制御期間の先
頭から測定した電流検出時刻Δｔ1 、電流制御期間の先
頭から測定した負荷電流の制御時刻Δｔ2 と現在速度Ｖ
a(n)とを用いて、その時刻に対応した電気角である電流
検出時電気角θ1 と制御時電気角θ2 が補間演算され
る。
【００３３】
【数５】θ1 ＝θa(n)+Ｖa(n)・Δｔ1
【数６】θ2 ＝θa(n)+Ｖa(n)・Δｔ2
【００３４】この時刻Δｔ1 ，Δｔ2 と電気角θ1 , θ
2 とは図６に示したように対応している。次にステップ
１３２に移行して、ｕ相、ｖ相の負荷電流の現在値、即
ち、現在電流Ｉu,Ｉv がＡ／Ｄ変換器１５ａ，１５ｂか
ら読み込まれる。次に、ステップ１３４において、その
現在電流Ｉu,Ｉv はdq変換されて、ｄ軸成分Ｉadとｑ軸
成分Ｉaqとが次式によって演算される。
2 とは図６に示したように対応している。次にステップ
１３２に移行して、ｕ相、ｖ相の負荷電流の現在値、即
ち、現在電流Ｉu,Ｉv がＡ／Ｄ変換器１５ａ，１５ｂか
ら読み込まれる。次に、ステップ１３４において、その
現在電流Ｉu,Ｉv はdq変換されて、ｄ軸成分Ｉadとｑ軸
成分Ｉaqとが次式によって演算される。
【数７】Ｉad=21/2 ｛lusin(θ1+2π/3)-Ivsinθ1｝
【数８】Ｉaq=21/2 ｛Iucos(θ1+2π/3)-Ivcosθ1｝
【００３５】尚、dq座標系は、良く知られたように、ｄ
軸は励磁磁場と同相にとられ、ｑ軸は励磁磁場と電気角
で90°の位相差にとられた座標系である。ｄ軸成分は無
効成分をｑ軸成分は有効成分を表す。次に、ステップ１
３６において、ステップ１２６で求められた目標電流の
ｄ軸成分Ｉd(n)とｑ軸成分Ｉq(n) とステップ１３４で
求められた現在電流のｄ軸成分Ｉadとｑ軸成分Ｉaqとの
偏差、即ち、ｄ軸成分偏差、ｑ軸成分偏差が求められ
る。そして、そのｄ軸成分偏差、ｑ軸成分偏差に基づい
て、比例・積分演算により指令電流のｄ軸成分Ｉd* 、
ｑ軸成分Ｉq* が演算される。
軸は励磁磁場と同相にとられ、ｑ軸は励磁磁場と電気角
で90°の位相差にとられた座標系である。ｄ軸成分は無
効成分をｑ軸成分は有効成分を表す。次に、ステップ１
３６において、ステップ１２６で求められた目標電流の
ｄ軸成分Ｉd(n)とｑ軸成分Ｉq(n) とステップ１３４で
求められた現在電流のｄ軸成分Ｉadとｑ軸成分Ｉaqとの
偏差、即ち、ｄ軸成分偏差、ｑ軸成分偏差が求められ
る。そして、そのｄ軸成分偏差、ｑ軸成分偏差に基づい
て、比例・積分演算により指令電流のｄ軸成分Ｉd* 、
ｑ軸成分Ｉq* が演算される。
【００３６】次に、ステップ１３８において、次式によ
り、指令電流のｄ軸成分、ｑ軸成分Id*,Iq* を逆dq変換
して、各相電流指令値Iu*,Iv*,Iw* が演算される。
り、指令電流のｄ軸成分、ｑ軸成分Id*,Iq* を逆dq変換
して、各相電流指令値Iu*,Iv*,Iw* が演算される。
【数９】Iu* =(2/3)1/2 ・｛Id* cosθ2 −Iq*sinθ2｝
【数１０】 Iv* =(2/3)1/2 ・｛Id* cos(θ2 ＋2π/3) −Iq*sin(θ2 +2π/3)｝ 尚、Iw*は、Iw*=-(Iu*+Iv*) によって演算される。
【００３７】次に、ステップ１４０，１４２において、
各相電流指令値Iu* ,Iv* ,Iw* と高周波数の三角波との
レベル関係を利用して、即ち、平均電圧法を用いて、１
つの制御周期内における一連のＰＷＭ信号が生成され
る。一連のＰＷＭ信号は、各相の電圧印加状態を示した
電圧ベクトルで表すことができる。回転磁界ベクトル
は、電圧ベクトルの積分として表される。従って、各電
圧ベクトル×継続時間の和によって回転磁界ベクトルの
先端の軌跡が描かれる。回転磁界を角度２π／ｎ毎に円
周上の点に最短経路で位置決めするためには、１制御周
期毎に、隣接する２つの電圧ベクトルと零ベクトルＶ0
の３つのベクトルでインバータ２５が制御される必要が
ある。この３つの電圧ベクトルの組合せと回転磁界の位
相とは一意的に対応する。回転磁界の位相と電圧ベクト
ルの組合せの対応表（零ベクトルＶ0 は必ず組合せの１
要素となるので、２つの電圧ベクトルの組だけで良い）
が、予めＲＯＭ１２に記憶されている。
各相電流指令値Iu* ,Iv* ,Iw* と高周波数の三角波との
レベル関係を利用して、即ち、平均電圧法を用いて、１
つの制御周期内における一連のＰＷＭ信号が生成され
る。一連のＰＷＭ信号は、各相の電圧印加状態を示した
電圧ベクトルで表すことができる。回転磁界ベクトル
は、電圧ベクトルの積分として表される。従って、各電
圧ベクトル×継続時間の和によって回転磁界ベクトルの
先端の軌跡が描かれる。回転磁界を角度２π／ｎ毎に円
周上の点に最短経路で位置決めするためには、１制御周
期毎に、隣接する２つの電圧ベクトルと零ベクトルＶ0
の３つのベクトルでインバータ２５が制御される必要が
ある。この３つの電圧ベクトルの組合せと回転磁界の位
相とは一意的に対応する。回転磁界の位相と電圧ベクト
ルの組合せの対応表（零ベクトルＶ0 は必ず組合せの１
要素となるので、２つの電圧ベクトルの組だけで良い）
が、予めＲＯＭ１２に記憶されている。
【００３８】ステップ１４０では、制御時電気角θ
2 （回転磁界の位相) から、ＲＯＭ１２における上記の
テーブルを検索してその時の電圧ベクトルの組合せを求
める。ステップ１４２では、各電圧ベクトルの継続時間
ｔ1,ｔ2,ｔ3 が演算される。例えば、その電圧ベクトル
の組合せが、Ｖn =(1,1,0), Ｖ1 =(1,0,0), Ｖ2 =(0,0,
0)となったとして、各電圧ベクトルの継続時間ｔ1,ｔ2,
ｔ3 が演算される。その演算方法は、本実施例では、良
く知られた平均電圧法が用いられている。
2 （回転磁界の位相) から、ＲＯＭ１２における上記の
テーブルを検索してその時の電圧ベクトルの組合せを求
める。ステップ１４２では、各電圧ベクトルの継続時間
ｔ1,ｔ2,ｔ3 が演算される。例えば、その電圧ベクトル
の組合せが、Ｖn =(1,1,0), Ｖ1 =(1,0,0), Ｖ2 =(0,0,
0)となったとして、各電圧ベクトルの継続時間ｔ1,ｔ2,
ｔ3 が演算される。その演算方法は、本実施例では、良
く知られた平均電圧法が用いられている。
【００３９】即ち、各相電流指令値Iu* ,Iv* ,Iw* のう
ち、絶対値の大きい２つを大きい順にI1, I2とすると
き、継続時間ｔ1,ｔ2,ｔ3 は次式で求められる。
ち、絶対値の大きい２つを大きい順にI1, I2とすると
き、継続時間ｔ1,ｔ2,ｔ3 は次式で求められる。
【数１１】ｔ1 ＝｜２I2 *＋I1 *｜・Ｔ／Ｖdc
【数１２】ｔ2 ＝｜I1 *−I2 *｜・Ｔ／Ｖdc
【数１３】ｔ3 ＝Ｔ−（ｔ1+ｔ2 ） 但し、Ｔは周期、Ｖdcは印加直流電圧である。
【００４０】次に、ステップ１４４において、１組の電
圧ベクトルによるＰＷＭ信号が、継続時間ｔ1,ｔ2,ｔ3
だけ出力される。例えば、Ｖ6 =(1,1,0)，Ｖ1 =(1,0,
0)，Ｖ0 =(0,0,0)の順に、継続時間ｔ1,ｔ2,ｔ3 だけ出
力される。又、換言すれば、U相はｔ1 ＋ｔ2 だけ電圧
が印加され、V 相はｔ1 だけ電圧が印加され、W 相には
その制御期間、電圧は印加されない。
圧ベクトルによるＰＷＭ信号が、継続時間ｔ1,ｔ2,ｔ3
だけ出力される。例えば、Ｖ6 =(1,1,0)，Ｖ1 =(1,0,
0)，Ｖ0 =(0,0,0)の順に、継続時間ｔ1,ｔ2,ｔ3 だけ出
力される。又、換言すれば、U相はｔ1 ＋ｔ2 だけ電圧
が印加され、V 相はｔ1 だけ電圧が印加され、W 相には
その制御期間、電圧は印加されない。
【００４１】このようにして、１つの実行サイクルの処
理が完了する。この実行サイクルは、最小の制御周期で
実行されており、その整数倍ｎ1 で電流フィードバック
ループが制御され、その整数倍ｎ2 で速度フィードバッ
クループが制御され、その整数倍ｎ3 で位置フィードバ
ックループが制御されるように、ステップ１００，１１
４，１２４で判定の基準となる回数が設定されている。
但し、ｎ1 ＜ｎ2 ≦ｎ3 である。上記のサイクルが繰り
返し実行されることで、図６に示したタイミングで、位
置、速度、電流のフィードバック制御が行われる。但
し、図６に示したタイミングはＣＰＵ１１によるプログ
ラム実行時からの計時によって検出される。
理が完了する。この実行サイクルは、最小の制御周期で
実行されており、その整数倍ｎ1 で電流フィードバック
ループが制御され、その整数倍ｎ2 で速度フィードバッ
クループが制御され、その整数倍ｎ3 で位置フィードバ
ックループが制御されるように、ステップ１００，１１
４，１２４で判定の基準となる回数が設定されている。
但し、ｎ1 ＜ｎ2 ≦ｎ3 である。上記のサイクルが繰り
返し実行されることで、図６に示したタイミングで、位
置、速度、電流のフィードバック制御が行われる。但
し、図６に示したタイミングはＣＰＵ１１によるプログ
ラム実行時からの計時によって検出される。
【００４２】上記のような制御により、目標位置の時間
変動から求められる加速度成分に応じた値で現時刻に対
して所定の遅延時間前の値が現時刻の速度フィードバッ
クループへの目標速度より減少補正される。従って、工
作物のプロフィルにおいて２次微分が大きくなる位置で
は指令速度が低下するため、砥石台が目標位置を越える
ことが抑制され、カム研削の加工精度が向上する。
変動から求められる加速度成分に応じた値で現時刻に対
して所定の遅延時間前の値が現時刻の速度フィードバッ
クループへの目標速度より減少補正される。従って、工
作物のプロフィルにおいて２次微分が大きくなる位置で
は指令速度が低下するため、砥石台が目標位置を越える
ことが抑制され、カム研削の加工精度が向上する。
【図１】本発明の具体的な一実施例に係るサーボ制御装
置の機能構成を示したブロックダイヤグラム。
置の機能構成を示したブロックダイヤグラム。
【図２】実施例に係るサーボ制御装置を用いた数値制御
研削盤の構成を示した構成図。
研削盤の構成を示した構成図。
【図３】実施例に係るサーボ制御装置の構成を示したブ
ロックダイヤグラム。
ロックダイヤグラム。
【図４】実施例に係るサーボ制御装置で使用されている
ＤＳＰによる処理手順を示したフローチャート。
ＤＳＰによる処理手順を示したフローチャート。
【図５】実施例に係るサーボ制御装置で使用されている
ＤＳＰによる処理手順を示したフローチャート。
ＤＳＰによる処理手順を示したフローチャート。
【図６】位置、速度、電流フィードバック制御のタイミ
ングを示したタイミングチャート。
ングを示したタイミングチャート。
【図７】実施例に係るサーボ制御装置における速度フィ
ードバックループへの目標速度の補正に係る値の時間特
性を示した特性図。
ードバックループへの目標速度の補正に係る値の時間特
性を示した特性図。
【図８】従来装置でカム研削した場合の目標プロフィ
ル、加工プロフィル、誤差、目標プロフィルから与えら
れる速度、加速度の関係を示した特性図。
ル、加工プロフィル、誤差、目標プロフィルから与えら
れる速度、加速度の関係を示した特性図。
１，２…ディジタルサーボ制御装置 ３…数値制御装置 １１…ＣＰＵ １２…ＲＯＭ １３…ＲＡＭ １４…ＤＳＰ（加速度演算手段、補正値演算手段、遅延
補正値演算手段、目標速度補正手段） １７…共通ＲＡＭ（加速度演算手段、補正値演算手段、
遅延補正値演算手段、目標速度補正手段） ２０…ＲＯＭ（加速度演算手段、補正値演算手段、遅延
補正値演算手段、目標速度補正手段） １５ａ，１５ｂ…Ａ／Ｄ変換器 １６…現在値カウンタ ２５…インバータ ３１…サーボモータ ３２ａ,３２ｂ…カレントトランスフォーマ(ＣＴ) ３３…パルスエンコーダ ステップ１０６…加速度演算手段、補正値演算手段 ステップ１０８…遅延補正値演算手段 ステップ１１６…目標速度補正手段
補正値演算手段、目標速度補正手段） １７…共通ＲＡＭ（加速度演算手段、補正値演算手段、
遅延補正値演算手段、目標速度補正手段） ２０…ＲＯＭ（加速度演算手段、補正値演算手段、遅延
補正値演算手段、目標速度補正手段） １５ａ，１５ｂ…Ａ／Ｄ変換器 １６…現在値カウンタ ２５…インバータ ３１…サーボモータ ３２ａ,３２ｂ…カレントトランスフォーマ(ＣＴ) ３３…パルスエンコーダ ステップ１０６…加速度演算手段、補正値演算手段 ステップ１０８…遅延補正値演算手段 ステップ１１６…目標速度補正手段
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０２Ｐ 5/00 Ｌ 7315−5Ｈ 5/41 ３０２ Ｑ 9178−5Ｈ
Claims (1)
- 【請求項１】 現在時刻において指令された目標位置と
現在時刻において測定された現在位置との偏差に応じて
速度フィードバックループへの現在時刻における目標速
度を与えると共に前記目標位置の時間変動から演算され
る速度に応じた値を前記目標速度に加算することにより
フィードフォワード制御を行うようにしたサーボ制御装
置において、 前記目標位置の時間変動から各時刻における加速度を求
める加速度演算手段と、 前記加速度に応じて各時刻における補正値を求める補正
値演算手段と、 各時刻における補正値の中から現在時刻に対して所定遅
延時間前における補正値を遅延補正値として求める遅延
補正値演算手段と、 前記遅延補正値を現在時刻における前記目標速度から減
算する補正を行う目標速度補正手段とを有するサーボ制
御装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28097992A JP3203816B2 (ja) | 1992-09-26 | 1992-09-26 | サーボ制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28097992A JP3203816B2 (ja) | 1992-09-26 | 1992-09-26 | サーボ制御装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06110554A true JPH06110554A (ja) | 1994-04-22 |
| JP3203816B2 JP3203816B2 (ja) | 2001-08-27 |
Family
ID=17632566
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28097992A Expired - Lifetime JP3203816B2 (ja) | 1992-09-26 | 1992-09-26 | サーボ制御装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3203816B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014006102A (ja) * | 2012-06-22 | 2014-01-16 | Canon Inc | 形状測定装置及び形状測定装置の制御方法 |
| JPWO2020157839A1 (ja) * | 2019-01-29 | 2021-11-25 | ギガフォトン株式会社 | レーザ装置の波長制御方法及び電子デバイスの製造方法 |
| CN117013916A (zh) * | 2023-09-25 | 2023-11-07 | 深圳市精锐昌科技有限公司 | 一种电机的自适应控制方法、系统及存储介质 |
-
1992
- 1992-09-26 JP JP28097992A patent/JP3203816B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014006102A (ja) * | 2012-06-22 | 2014-01-16 | Canon Inc | 形状測定装置及び形状測定装置の制御方法 |
| JPWO2020157839A1 (ja) * | 2019-01-29 | 2021-11-25 | ギガフォトン株式会社 | レーザ装置の波長制御方法及び電子デバイスの製造方法 |
| US11467502B2 (en) | 2019-01-29 | 2022-10-11 | Gigaphoton Inc. | Wavelength control method of laser apparatus and electronic device manufacturing method |
| CN117013916A (zh) * | 2023-09-25 | 2023-11-07 | 深圳市精锐昌科技有限公司 | 一种电机的自适应控制方法、系统及存储介质 |
| CN117013916B (zh) * | 2023-09-25 | 2024-01-16 | 深圳市精锐昌科技有限公司 | 一种电机的自适应控制方法、系统及存储介质 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3203816B2 (ja) | 2001-08-27 |
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