JPH06105736B2

JPH06105736B2 - 半導体集積回路装置

Info

Publication number: JPH06105736B2
Application number: JP21524589A
Authority: JP
Inventors: 聡 ▲高▼野
Original assignee: Mitsubishi Electric Corp
Current assignee: Mitsubishi Electric Corp
Priority date: 1989-08-21
Filing date: 1989-08-21
Publication date: 1994-12-21
Anticipated expiration: 2009-12-21
Also published as: JPH0378240A

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕この発明は半導体集積回路のテスト時におけるプローブ
針の回転ずれ検出のためのパツド電極の形状及びレイア
ウトに関するものである。

〔従来の技術〕

第５図は従来のLSIにおけるパツド電極の配置とプロー
ブ針との関係を示した模式図である。図において、
（１）はLSIチツプ上に形成されたパツド電極、（２）
はパツド電極（１）に接触しLSIに電気信号を入出力す
るためのプローブ針である。

次に動作について説明する。

LSIチツプをウエハ状態でテストする際には全てのパツ
ド電極（１）上にプローブ針（２）を正確に接触させる
必要がある。パツド電極（１）とプローブ針（２）の位
置合わせには、ウエハを載せるウエハ・ステージの水平
・垂直方向の移動軸にLSIチツプのＸ軸・Ｙ軸を揃え、
且つパツド電極（１）とプローブ針（２）の回転角を揃
える必要がある。

〔発明が解決しようとする課題〕

従来のLSIのパツド電極及びプローブ針は第５図のよう
に構成されていたので、パツド電極とプローブ針の位置
合わせ、特に回転角調整が困難であつた。回転角を調整
し、全てのパツド電極にプローブ針が正確に位置合わせ
されて接触しているかどうかをチエツクするのは人手に
よる目視によつて行なわれていた。しかしながらLSIの
多ピン化に伴い、パツド電極間隔が小さくなるにつれて
目視によるチエツクは非常に困難になつてきた。回転角
がごく僅かずれていてもテスト時にチツプを移動してい
る間にパツド電極とプローブ針のずれが累積し、プロー
ブ針がパツド電極から外れて電気信号の入出力が行なわ
れず、正常なテストが不可能になつてしまう。そのため
にチツプの誤動作を招き、あるいは本来は正常に動作す
るLSIチツプをも不良と判定してしまい、歩留まりを低
下させていた。

この発明は上記のような欠点を解消するためになされた
もので、パツド電極とプローブ針の回転角を調整して正
確な位置合わせを行ない、正常なテストを行なうことを
目的としている。

〔課題を解決するための手段〕

この発明による半導体集積回路装置は、パツド電極とプ
ローブ針の間の回転角を検出するためのパツド電極を有
し、回転ずれの方向を検知することによつて正確な回転
角調整を可能にするものである。

〔作用〕

この発明による半導体集積回路装置は、３個のパツド電
極を用い、これらのパツド電極間の導通・非導通を調べ
ることによつてパツド電極とプローブ針の回転ずれを検
出するものである。

〔実施例〕

以下、この発明の一実施例について説明する。第１図は
本発明による集積回路装置とプローブ針を示す模式図で
ある。図において、（３），（4a），（5a）は回転ずれ
検出用のパツド電極、（６）〜（８）は回転ずれ検出用
のプローブ針である。ここでは、プローブ針（６）〜
（８）の回転中心がパツド電極（３）にあるとする。パ
ツド電極（4a）及び（5a）はパツド電極（３）を中心と
した半径R₁及びR₂の円弧形状をしており、しかもその円
弧の伸長方向はパツド電極（３）を中心として互いに逆
回転方向である。ここでは、パツド電極（３），（4
a），（5a）の成す角度が直角の場合を例としている。
パツド電極（３）の大きさは図示されていない他の信号
用パツド電極と同じであり、まパツド電極（4a）及び
（5a）の幅はパツド電極（３）の同一方向の幅に等し
い。パツド電極（３），（4a），（5a）はLSI上で電気
的に接続されている。なお、信号入出力間のパツド電極
及びプローブ針は第５図の従来例と同じであり、ここで
は省略している。

次に動作について説明する。

第１図において、プローブ針（６），（７），（８）が
パツド電極（３），（4a），（5a）に正常に接触してい
る場合を考える。パツド電極（３），（4a），（5a）は
パターン上で接続されているために、この場合にはプロ
ーブ針（６），（７），（８）は全て電気的に導通して
いる。次にパツド電極（３），（4a），（5a）に対して
プローブ針（６），（７），（８）が回転ずれを生じて
いる場合を第２図によつて説明する。ここでは例とし
て、プローブ針がパツド電極（３）を中心として左方向
に回転した場合を考える。このときプローブ針（７）は
パツド電極（4a）上にあるが、プローブ針（８）はパツ
ド電極（5a）から外れている。すなわちこの状態では、
プローブ針（６）と（７）は導通しているが、プローブ
針（６）と（８）は導通していない。逆に右方向への回
転ずれを生じた場合には、プローブ針（６）と（８）は
導通しているが、プローブ針（６）と（７）は導通して
いない。このことから、プローブ針（６），（７），
（８）の導通・非導通の組み合わせを調べることによ
り、プローブ針（６），（７），（８）の回転ずれの方
向を知ることができる。この組み合わせ信号から論理信
号を合成し、この論理信号をプローブ・カード回転用の
ステツプ・モータに入力することにより、回転角の補正
を行なうことができる。ここでは、プローブ針（６），
（７），（８）がパツド（３）を中心として回転すると
いう場合の例をあげており、パツド電極（4a）及び（5
a）はパツド電極（３）を中心とする円弧形状をとつて
いる。検出可能な回転角は円弧の半径及び外周長で設定
することができ、円弧の半径を大きくとればとるほど精
度は向上する。

なお、上記実施例ではパツド電極（4a），（5a）がパツ
ド電極（３）を中心とする円弧形状である場合について
説明したが、円弧形状の代りに扇形形状であつてもよ
い。第３図において、（３），（4b），（5b）は回転ず
れ検出用のパツド電極である。ここでは、プローブ針の
回転中心がパツド電極（３）にあるとする。パツド電極
（4b）及び（5b）はパツド電極（３）を中心とした半径
R₁及びR₂の扇形形状をしており、しかもその扇形の伸長
方向はパツド電極（３）を中心として互いに逆回転方向
である。ここでは、パツド電極（３），（4b），（5b）
の成す角度が直角の場合を例としている。パツド電極
（３）の大きさは図示されていない他の信号用パツドと
同じであり、またパツド電極（4b）及び（5b）の幅はパ
ツド電極（３）の同一方向の幅に等しい。パツド電極
（３），（4b），（5b）はLSI上で電気的に接続されて
いる。プローブ針（６）〜（８）は回転ずれ検出用のプ
ローブ針である。なお、信号入出力用のパツド電極及び
プローブ針は第５図の従来例と同じであり、ここでは省
略している。

まず第３図のようにプローブ針（６），（７），（８）
がパツド電極（３），（4b），（5b）に正常に接触して
いる場合を考える。パツド電極（３），（4b），（5b）
はパターン上で接続されているために、この場合は第１
図に示す場合と同様で説明を省略する。次にパツド電極
（３），（4b），（5b）に対してプローブ針（６），
（７），（８）が回転ずれを生じている場合を第４図に
よつて説明する。ここでは例として、プローブ針
（６），（７），（８）がパツド電極（３）を中心とし
て左方向に回転した場合を考える。このときプローブ針
（７）はパツド電極（4b）上にあるが、プローブ針
（８）はパツド電極（5b）から外れている。すなわちこ
の状態では、プローブ針（６）と（７）は導通している
が、プローブ針（６）と（８）は導通していない。逆に
右方向への回転ずれを生じた場合には、プローブ針
（６）と（８）は導通しているが、プローブ針（６）と
（７）は導通していない。このことから、プローブ針
（６），（７），（８）の導通・非導通の組み合わせを
調べることにより、プローブ針（６），（７），（８）
の回転ずれの方向を知ることができる。この組み合わせ
信号から論理信号を合成し、この論理信号をプローブ・
カード回転用のステツプ・モータに入力することによ
り、回転角の補正を行なうことができる。ここでは、プ
ローブ針（６），（７），（８）がパツド電極（３）を
中心として回転するという場合の例をあげており、パツ
ド電極（4b）及び（5b）はパツド電極（３）を中心とす
る扇形形状をとつている。検出可能な回転角は扇形の半
径及び外周長で設定することができ、扇形の半径を大き
くとればとるほど精度は向上する。

また、上記実施例ではパツド電極（３），（4a），（5
a）の成す角度及びパツド電極（３），（4b），（5b）
の成す角度がそれぞれ直角の場合を例に取り上げたが、
この角度は何度であつてもよく、上記実施例と同様の効
果を奏する。

〔発明の効果〕

以上のように、この発明によればLSIをテストする際に
パツド電極とプローブ針の回転ずれを検出し、これを補
正することが可能となりテストの精度を高めることがで
きる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例による半導体集積回路装置
及びプローブ針を示す模式平面図、第２図は第１図の実
施例において、パツド電極とプローブ針の間に回転ずれ
を生じた場合を示す模式平面図、第３図はこの発明の他
の実施例による半導体集積回路装置及びプローブ針を示
す模式平面図、第４図は第３図の実施例において、パツ
ド電極とプローブ針の間に回転ずれを生じた場合を示す
模式平面図、第５図は従来の半導体集積回路装置及びプ
ローブ針を示す模式平面図を示す図である。図において、（３），（4a），（4b），（5a），（5b）
はパツド電極、（６），（７），（８）はプローブ針で
ある。なお、図中、同一符号は同一、又は相当部分を示す。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】第１のパツド電極と、この第１のパツド電
極からある間隔をもつて配置され、プローブ針の回転中
心を中心とする円弧形状に形成された第２のパツド電極
と、さらに第１のパツド電極からある間隔をもつて配置
され、プローブ針の回転中心を中心とする円弧形状に形
成された第３のパツド電極を具備し、これら第1,第２及
び第３のパツド電極がチツプ上で電気的に接続されてお
り、且つ第2,第３のパツド電極の円弧の伸長方向がプロ
ーブ針の接触位置に対して逆回転方向であることを特徴
とする半導体集積回路装置。