JPH06105281B2 - ダイナミツクエ−ジング装置 - Google Patents
ダイナミツクエ−ジング装置Info
- Publication number
- JPH06105281B2 JPH06105281B2 JP60288741A JP28874185A JPH06105281B2 JP H06105281 B2 JPH06105281 B2 JP H06105281B2 JP 60288741 A JP60288741 A JP 60288741A JP 28874185 A JP28874185 A JP 28874185A JP H06105281 B2 JPH06105281 B2 JP H06105281B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- test
- lsi
- pattern
- lsis
- aging
- Prior art date
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- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はLSIのエージング装置に関し、特に供試LSI内部
動作させながら高温エージングを行なうダイナミックエ
ージング装置に関する。
動作させながら高温エージングを行なうダイナミックエ
ージング装置に関する。
従来、この種のダイナミックエージング装置は、恒温槽
内に高温状態で保管されている供試LSIの入力端子に対
して、恒温槽の外部より駆動器を介して、パタン発生器
から動作パタンを印加している。
内に高温状態で保管されている供試LSIの入力端子に対
して、恒温槽の外部より駆動器を介して、パタン発生器
から動作パタンを印加している。
第２図はその構成をブロック図的に説明するものであ
る。
る。
第２図において１は恒温槽、２は供試LSI、３は外部電
源、４はパタン発生器、5a,5b,5c,5dは駆動器である。
恒温槽１内に高温状態で保管されている供試LSI2は外部
電源３からその電源電圧を供給されるほか、恒温槽の外
にあるパタン発生器４から駆動器5a,5b,5c,5dを介して
入力端子に動作パタンを印加され、このことにより、供
試LSI2はその内部において実際に動作しながら、高温保
管エージングを受けているものである。
源、４はパタン発生器、5a,5b,5c,5dは駆動器である。
恒温槽１内に高温状態で保管されている供試LSI2は外部
電源３からその電源電圧を供給されるほか、恒温槽の外
にあるパタン発生器４から駆動器5a,5b,5c,5dを介して
入力端子に動作パタンを印加され、このことにより、供
試LSI2はその内部において実際に動作しながら、高温保
管エージングを受けているものである。
LSIはその品種により内部の論理動作は異なるので、こ
の動作パタンも供試LSIの種類により変更する必要があ
るため、このパタン発生器はプログラマブルである事が
一般的である。
の動作パタンも供試LSIの種類により変更する必要があ
るため、このパタン発生器はプログラマブルである事が
一般的である。
更に最近供試LSIの高温エージング中に、今まで述べて
きた入力パタンを印加しながらのダイナミックエージン
グと、電源端子に電圧を供給するだけでパタン発生は一
時休止し、LSI内部の動作は行なわしめないスタティッ
クエージングとを、一定のサイクルで交互に実施する混
在的なエージング方法が注目されてきている。
きた入力パタンを印加しながらのダイナミックエージン
グと、電源端子に電圧を供給するだけでパタン発生は一
時休止し、LSI内部の動作は行なわしめないスタティッ
クエージングとを、一定のサイクルで交互に実施する混
在的なエージング方法が注目されてきている。
LSIのダイナミックエージングの実施が普及するにつ
れ、その発生パタンもLSI内部のより多くの論理素子が
動作できるような高級なパタンが求められており、その
結果パタン発生器のコストが急激に大きくなって来た。
れ、その発生パタンもLSI内部のより多くの論理素子が
動作できるような高級なパタンが求められており、その
結果パタン発生器のコストが急激に大きくなって来た。
そのため、ひとつのダイナミックエージング装置が有す
るパタン発生器の数は通常ひとつであり、これでは１回
のエージング時間中に処理できる品種数は１品種のみに
制限され、はなはだ効率が悪いという欠点がある。
るパタン発生器の数は通常ひとつであり、これでは１回
のエージング時間中に処理できる品種数は１品種のみに
制限され、はなはだ効率が悪いという欠点がある。
本発明のダイナミックエージング装置は、複数の供試LS
Iを同時に収納可能な恒温槽と、前記複数の供試LSIの各
々に対応する複数の動作パタンを選択的に発生するパタ
ン発生器と、前記複数の供試LSIの一部に接続された第
１の配線経路と、前記複数の供試LSIの残りの供試LSIに
接続された第２の配線経路と、前記パタン発生器の出力
を前記第１及び第２の配線経路のうちいずれか一方に供
給する切換器と、該切換器の切り換え動作と前記パタン
発生器の動作パタン選択動作とを同期して制御するタイ
マーとを有し、前記複数の供試LSIの一部に対応する動
作パタンを供給しダイナミックエージングを行うと同時
に、前記供試LSIの残りには動作パタンを供給させずに
スタテックエージングを行うことを特徴とする。
Iを同時に収納可能な恒温槽と、前記複数の供試LSIの各
々に対応する複数の動作パタンを選択的に発生するパタ
ン発生器と、前記複数の供試LSIの一部に接続された第
１の配線経路と、前記複数の供試LSIの残りの供試LSIに
接続された第２の配線経路と、前記パタン発生器の出力
を前記第１及び第２の配線経路のうちいずれか一方に供
給する切換器と、該切換器の切り換え動作と前記パタン
発生器の動作パタン選択動作とを同期して制御するタイ
マーとを有し、前記複数の供試LSIの一部に対応する動
作パタンを供給しダイナミックエージングを行うと同時
に、前記供試LSIの残りには動作パタンを供給させずに
スタテックエージングを行うことを特徴とする。
次に本発明について図面を参照して説明する。
第１図は本発明の一実施例のブロック図である。
第１図において１は恒温槽、２・２′はそれぞれ内部の
論理動作の異なる２種類の供試LSI、３は外部電源、４
はパタン発生器、5a・5b・5c・5dは駆動器、６はマルチ
プレクサ、７はタイマーである。
論理動作の異なる２種類の供試LSI、３は外部電源、４
はパタン発生器、5a・5b・5c・5dは駆動器、６はマルチ
プレクサ、７はタイマーである。
恒温槽１内に高温状態で保管されている２種類の供試LS
I2及び２′は、外部電源３からその電源電圧を供給され
ているほか、どちらか一方の種類の供試LSIはパタン発
生器４から駆動器5a・5b・5c・5dと、マルチプレクサを
構成している切換機構を介して入力端子に動作パタンを
印加されている。ここでパタン発生器４は供試LSI2及び
２′のどちらの動作パタンをもプログラムされており、
タイマー７の制御によりどちらか一方を選択して出力す
る機能をもち、マルチプレクサ６は駆動器5a・5b・5c・
5dと供試LSI2または２′のいずれか一方とをタイマー７
の制御により選択して接続する機能をもつものである。
且つマルチプレクサ６が供試LSI2側を選択しているとき
にはパタン発生器４のパタン出力も供試LSI2側を、また
マルチプレクサ６が供試LSI2′側を選択しているときに
は同じくパタン発生器４も供試LSI2′側の動作パタンを
選択して発生する機能をもつ。
I2及び２′は、外部電源３からその電源電圧を供給され
ているほか、どちらか一方の種類の供試LSIはパタン発
生器４から駆動器5a・5b・5c・5dと、マルチプレクサを
構成している切換機構を介して入力端子に動作パタンを
印加されている。ここでパタン発生器４は供試LSI2及び
２′のどちらの動作パタンをもプログラムされており、
タイマー７の制御によりどちらか一方を選択して出力す
る機能をもち、マルチプレクサ６は駆動器5a・5b・5c・
5dと供試LSI2または２′のいずれか一方とをタイマー７
の制御により選択して接続する機能をもつものである。
且つマルチプレクサ６が供試LSI2側を選択しているとき
にはパタン発生器４のパタン出力も供試LSI2側を、また
マルチプレクサ６が供試LSI2′側を選択しているときに
は同じくパタン発生器４も供試LSI2′側の動作パタンを
選択して発生する機能をもつ。
これらの機能により供試LSI2及び２′はタイマー７の制
御によりある時間間隔でダイナミックエージングとスタ
ティックエージングとを交互に繰り返すことができる。
御によりある時間間隔でダイナミックエージングとスタ
ティックエージングとを交互に繰り返すことができる。
以上説明したように本発明は駆動器と供試LSIとの間に
マルチプレクサと、あらかじめ複数種類の動作パタンを
プログラミング可能で、マルチプレクサと連繋して動作
パタンを選択出力するパタン発生器とを合わせ持つこと
により、同時に複数種類のLSIのダイナミックエージン
グが可能で、ひいては効率のよいエージングが行なえる
エージング装置を供給できるものである。
マルチプレクサと、あらかじめ複数種類の動作パタンを
プログラミング可能で、マルチプレクサと連繋して動作
パタンを選択出力するパタン発生器とを合わせ持つこと
により、同時に複数種類のLSIのダイナミックエージン
グが可能で、ひいては効率のよいエージングが行なえる
エージング装置を供給できるものである。
第１図は本発明によるエージング装置の一実施例のブロ
ック図であり、第２図は、従来のエージング装置のブロ
ック図である。 １……恒温槽、２・２′……供試LSI、３……外部電
源、４……パタン発生器、5a・5b・5c・5d……駆動器、
６……マルチプレクサ、７……タイマー。
ック図であり、第２図は、従来のエージング装置のブロ
ック図である。 １……恒温槽、２・２′……供試LSI、３……外部電
源、４……パタン発生器、5a・5b・5c・5d……駆動器、
６……マルチプレクサ、７……タイマー。
Claims (1)
- 【請求項１】複数の供試LSIを同時に収納可能な恒温槽
と、前記複数の供試LSIの各々に対応する複数の動作パ
タンを選択的に発生するパタン発生器と、前記複数の供
試LSIの一部に接続された第１の配線経路と、前記複数
の供試LSIの残りの供試LSIに接続された第２の配線経路
と、前記パタン発生器の出力を前記第１及び第２の配線
経路のうちいずれか一方に供給する切換器と、該切換器
の切り換え動作と前記パタン発生器の動作パタン選択動
作とを同期して制御するタイマーとを有し、前記複数の
供試LSIの一部に対応する動作パタンを供給しダイナミ
ックエージングを行うと同時に、前記供試LSIの残りに
は動作パタンを供給させずにスタテックエージングを行
うことを特徴とするダイナミックエージング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60288741A JPH06105281B2 (ja) | 1985-12-20 | 1985-12-20 | ダイナミツクエ−ジング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60288741A JPH06105281B2 (ja) | 1985-12-20 | 1985-12-20 | ダイナミツクエ−ジング装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62147372A JPS62147372A (ja) | 1987-07-01 |
| JPH06105281B2 true JPH06105281B2 (ja) | 1994-12-21 |
Family
ID=17734091
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60288741A Expired - Lifetime JPH06105281B2 (ja) | 1985-12-20 | 1985-12-20 | ダイナミツクエ−ジング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06105281B2 (ja) |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59141077A (ja) * | 1983-01-31 | 1984-08-13 | Ando Electric Co Ltd | 集積回路測定装置 |
| JPS60120269A (ja) * | 1983-12-02 | 1985-06-27 | Toshiba Corp | 半導体テスト装置 |
| JPS61195370A (ja) * | 1985-02-26 | 1986-08-29 | Sharp Corp | 半導体集積回路のダイナミツクバ−ンイン方法 |
-
1985
- 1985-12-20 JP JP60288741A patent/JPH06105281B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62147372A (ja) | 1987-07-01 |
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