JPH06101881A - クリーンルームの空気調和装置 - Google Patents
クリーンルームの空気調和装置Info
- Publication number
- JPH06101881A JPH06101881A JP24945692A JP24945692A JPH06101881A JP H06101881 A JPH06101881 A JP H06101881A JP 24945692 A JP24945692 A JP 24945692A JP 24945692 A JP24945692 A JP 24945692A JP H06101881 A JPH06101881 A JP H06101881A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- clean room
- grating
- area
- air conditioner
- human
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 半導体製造等を行なうクリーンルームにおい
て、人間の動きでダウンフローの気流が乱れないように
すること。 【構成】 センサ１０によってクリーンルーム１内にお
ける人間の存在領域を認識している。人間の存在が認識
されると、認識された存在領域のグレーチング４の開口
率を増加して人間によるその存在位置近傍のダウンフロ
ー風速を上昇させる。
て、人間の動きでダウンフローの気流が乱れないように
すること。 【構成】 センサ１０によってクリーンルーム１内にお
ける人間の存在領域を認識している。人間の存在が認識
されると、認識された存在領域のグレーチング４の開口
率を増加して人間によるその存在位置近傍のダウンフロ
ー風速を上昇させる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体製造等を行なう
クリーンルームに係るものであり、特に人間の動きでダ
ウンフローの気流の乱れることがないようにグレーチン
グの開口率を部分的に可変する機能を持つクリーンルー
ムの空気調和装置に関する。
クリーンルームに係るものであり、特に人間の動きでダ
ウンフローの気流の乱れることがないようにグレーチン
グの開口率を部分的に可変する機能を持つクリーンルー
ムの空気調和装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のクリーンルームは、建設時にダウ
ンフローが鉛直方向に流れるよう、グレーチングの開口
率，すなわち排気量を決定し、その開口率を有するグレ
ーチングを配置している。つまり、図４に示すように、
クリーンルーム１の天井部２には、クリーンルーム１の
上面を示す同図（Ｂ）に示すようにクリーンルーム１に
設定されている複数の領域（Ａ，Ｂ，Ｃ…）にそれぞれ
給気を行なうファンフィルターユニット３が複数設けて
ある。これらのファンフィルターユニット３から給気さ
れた空気はクリーンルーム１の床を構成するグレーチン
グ４から排気装置によって引かれ外部に排出される。
ンフローが鉛直方向に流れるよう、グレーチングの開口
率，すなわち排気量を決定し、その開口率を有するグレ
ーチングを配置している。つまり、図４に示すように、
クリーンルーム１の天井部２には、クリーンルーム１の
上面を示す同図（Ｂ）に示すようにクリーンルーム１に
設定されている複数の領域（Ａ，Ｂ，Ｃ…）にそれぞれ
給気を行なうファンフィルターユニット３が複数設けて
ある。これらのファンフィルターユニット３から給気さ
れた空気はクリーンルーム１の床を構成するグレーチン
グ４から排気装置によって引かれ外部に排出される。
【０００３】床部を構成するグレーチング４はこれらの
領域に対応して部分的に排気量を調整するもので、その
領域に適当とされる開口率のものがそれぞれの領域に設
置されている。例えば通常は、クリーン域で開口率が２
５％であったとすると、流れの悪い領域は６０％とし、
流れ過ぎる領域は０％のグレーチング４を配置させる。
クリーンルーム１には、種々の生産設備が配置されて
いることから、場所（領域）に拘らずに理想的な鉛直方
向のダウンフローを得るため、それぞれのグレーチング
４からの排気量をそれぞれの領域において最適に設定し
ている。この設定は、クリーンルーム１の建設時に行な
われるのみで、大幅なレイアウト変更を行なうなどの特
別の場合を除いてその再設定が行なわれることはない。
領域に対応して部分的に排気量を調整するもので、その
領域に適当とされる開口率のものがそれぞれの領域に設
置されている。例えば通常は、クリーン域で開口率が２
５％であったとすると、流れの悪い領域は６０％とし、
流れ過ぎる領域は０％のグレーチング４を配置させる。
クリーンルーム１には、種々の生産設備が配置されて
いることから、場所（領域）に拘らずに理想的な鉛直方
向のダウンフローを得るため、それぞれのグレーチング
４からの排気量をそれぞれの領域において最適に設定し
ている。この設定は、クリーンルーム１の建設時に行な
われるのみで、大幅なレイアウト変更を行なうなどの特
別の場合を除いてその再設定が行なわれることはない。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】このように、従来はク
リーンルーム建設時、生産設備を設置した後に気流測定
を行ない、ダウンフローの気流が床面に鉛直方向に流れ
るように設置すべきそれぞれのグレーチング４の開口率
を決定していた。このようにすれば、人間の動きがない
状態では確かになめらかな流れが得られるが、実際に
は、オペレータである人間の動きによって気流は乱され
ることとなり、これに起因してゴミが飛散するという問
題があった。つまり、人間がグレーチングの上を歩くと
気流がまっすぐに流れなくなり、人間からの発塵が設備
や設備内の試料を汚染することになった。このような問
題が生じるのは、クリーンルーム１内での人間の動きを
考慮せずにそれぞれ領域の風速を固定して設定している
からである。
リーンルーム建設時、生産設備を設置した後に気流測定
を行ない、ダウンフローの気流が床面に鉛直方向に流れ
るように設置すべきそれぞれのグレーチング４の開口率
を決定していた。このようにすれば、人間の動きがない
状態では確かになめらかな流れが得られるが、実際に
は、オペレータである人間の動きによって気流は乱され
ることとなり、これに起因してゴミが飛散するという問
題があった。つまり、人間がグレーチングの上を歩くと
気流がまっすぐに流れなくなり、人間からの発塵が設備
や設備内の試料を汚染することになった。このような問
題が生じるのは、クリーンルーム１内での人間の動きを
考慮せずにそれぞれ領域の風速を固定して設定している
からである。
【０００５】本発明は、上記のような従来の問題点に鑑
みてなされたものであり、人間の存在する領域のグレー
チングの開口率を増加するようにして局部的にダウンフ
ローの風速を上げるようにしたクリーンルームの空気調
和装置の提供を目的とする。
みてなされたものであり、人間の存在する領域のグレー
チングの開口率を増加するようにして局部的にダウンフ
ローの風速を上げるようにしたクリーンルームの空気調
和装置の提供を目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の本発明は、床部に所定の開口率を有する排気量調整手
段を配置させることで、天井部に配設された送風手段か
らのダウンフローを前記床部と前記天井部との間のそれ
ぞれの領域で理想的となるようにしたクリーンルームの
空気調和装置において、前記クリーンルーム内における
人間の存在領域を認識する検出手段と、当該検出手段に
よって認識された存在領域の前記床部に配設されている
グレーチングの開口率を増加させる排気量調整手段とを
有することを特徴とする。
の本発明は、床部に所定の開口率を有する排気量調整手
段を配置させることで、天井部に配設された送風手段か
らのダウンフローを前記床部と前記天井部との間のそれ
ぞれの領域で理想的となるようにしたクリーンルームの
空気調和装置において、前記クリーンルーム内における
人間の存在領域を認識する検出手段と、当該検出手段に
よって認識された存在領域の前記床部に配設されている
グレーチングの開口率を増加させる排気量調整手段とを
有することを特徴とする。
【０００７】
【作用】本発明の空気調和装置では、検出手段によって
クリーンルーム内における人間の存在領域を認識してい
る。排気量調整手段は、クリーンルームの床部に配設さ
れているグレーチングの内、検出手段によって認識され
た存在領域の排気を行なうグレーチングの開口率を増加
させ、人間によるその存在位置近傍のダウンフロー風速
を上昇させる。これによってダウンフローの気流の乱れ
を防止する。
クリーンルーム内における人間の存在領域を認識してい
る。排気量調整手段は、クリーンルームの床部に配設さ
れているグレーチングの内、検出手段によって認識され
た存在領域の排気を行なうグレーチングの開口率を増加
させ、人間によるその存在位置近傍のダウンフロー風速
を上昇させる。これによってダウンフローの気流の乱れ
を防止する。
【０００８】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて詳細
に説明する。図１は本発明装置が用いられているクリー
ンルームを示し、（Ａ）図はクリーンルームの断面図
を、（Ｂ）図はクリーンルームの上面図をそれぞれ示し
ている。クリーンルーム１には、天井部２にファンフィ
ルターユニット３と呼ばれる清浄空気の吹出口が複数設
けられ、さらにそこから出た気流が床面に鉛直方向へ真
下へ流れ落ちるよう開口率の調整自在な抜き穴をあけた
グレーチング４と呼ばれる床材が敷かれている。ファン
フィルターユニット３から供給された空気はグレーチン
グ４を介して排気装置によって外部に引かれる。
に説明する。図１は本発明装置が用いられているクリー
ンルームを示し、（Ａ）図はクリーンルームの断面図
を、（Ｂ）図はクリーンルームの上面図をそれぞれ示し
ている。クリーンルーム１には、天井部２にファンフィ
ルターユニット３と呼ばれる清浄空気の吹出口が複数設
けられ、さらにそこから出た気流が床面に鉛直方向へ真
下へ流れ落ちるよう開口率の調整自在な抜き穴をあけた
グレーチング４と呼ばれる床材が敷かれている。ファン
フィルターユニット３から供給された空気はグレーチン
グ４を介して排気装置によって外部に引かれる。
【０００９】一方、このグレーチング４は、その開口率
を図示しない駆動装置によって任意に変化することがで
きるようになっている。但し、その調整は領域単位で行
なわれるようになっている。このグレーチング４は６０
ｃｍ四方程度の大きさを有しているものであり、クリー
ンルーム１の床部分に敷き詰められている。
を図示しない駆動装置によって任意に変化することがで
きるようになっている。但し、その調整は領域単位で行
なわれるようになっている。このグレーチング４は６０
ｃｍ四方程度の大きさを有しているものであり、クリー
ンルーム１の床部分に敷き詰められている。
【００１０】天井部２には、図１（Ａ），（Ｂ）に示す
ように、人間の存在を検出するセンサ１０がそれぞれの
領域の境界に設けてある。このセンサとしては、光学的
なもの，電気的なものなど各種のものが適用できる。
又、本実施例ではこのセンサを天井部２に多数配置した
ものを例示したが、人間の存在位置を認識できるもので
あれば、これを床部に設けても良いし、クリーンルーム
１の壁面に設けたカメラであっても良い。
ように、人間の存在を検出するセンサ１０がそれぞれの
領域の境界に設けてある。このセンサとしては、光学的
なもの，電気的なものなど各種のものが適用できる。
又、本実施例ではこのセンサを天井部２に多数配置した
ものを例示したが、人間の存在位置を認識できるもので
あれば、これを床部に設けても良いし、クリーンルーム
１の壁面に設けたカメラであっても良い。
【００１１】図２は、本発明装置の概略構成を示すブロ
ック図である。天井部２に設けられている多数のセンサ
１０は、全て検出領域認識部１１に接続され、この検出
領域認識部１１では人間を感知したセンサ１０がどれで
あるかを認識する。同時に、人間がどの領域に存在する
のかも認識する。開口率制御部１２は、検出領域認識部
１１からの信号にしたがってグレーチング４の開口率を
制御するものである。なお、建設時には各領域のグレー
チング開度はこの開口率制御部１２に記憶させておく。
ック図である。天井部２に設けられている多数のセンサ
１０は、全て検出領域認識部１１に接続され、この検出
領域認識部１１では人間を感知したセンサ１０がどれで
あるかを認識する。同時に、人間がどの領域に存在する
のかも認識する。開口率制御部１２は、検出領域認識部
１１からの信号にしたがってグレーチング４の開口率を
制御するものである。なお、建設時には各領域のグレー
チング開度はこの開口率制御部１２に記憶させておく。
【００１２】以上のように構成された本発明の空気調和
装置は、図３のフローチャートに示すように動作する。
検出領域認識部１１はセンサ１０によって検出される信
号を常に監視し、いずれのセンサによっても人間が検出
されなければ、開口率制御部１２に予め設定されている
開口率に各グレーチング４を設定する（Ｓ１〜Ｓ３）。
装置は、図３のフローチャートに示すように動作する。
検出領域認識部１１はセンサ１０によって検出される信
号を常に監視し、いずれのセンサによっても人間が検出
されなければ、開口率制御部１２に予め設定されている
開口率に各グレーチング４を設定する（Ｓ１〜Ｓ３）。
【００１３】一方、いずれかのセンサ１０によって人間
の存在が検出されると、検出領域認識部１１では、その
センサ１０がクリーンルーム１のどの領域で人間を検知
したのかが判断され（Ｓ４）、この人間が存在する領域
の排気を行なっているグレーチング４の開口率を増加さ
せて、この領域のダウンフローの風速を速くする。これ
によって、図１に示すように人間の近傍の領域のダウン
フローの気流の乱れが軽減される。（Ｓ５）。
の存在が検出されると、検出領域認識部１１では、その
センサ１０がクリーンルーム１のどの領域で人間を検知
したのかが判断され（Ｓ４）、この人間が存在する領域
の排気を行なっているグレーチング４の開口率を増加さ
せて、この領域のダウンフローの風速を速くする。これ
によって、図１に示すように人間の近傍の領域のダウン
フローの気流の乱れが軽減される。（Ｓ５）。
【００１４】例えば、グレーチング４の上に立つ人間を
図１（Ａ）に示すセンサー１０Ａが感知したとすると、
その信号に基づきグレーチング４のうち同図斜線で示す
領域の４つはその開口率を通常の２５％から６０％に増
加させ、さらにその隣の領域は４０％に増加させ、さら
にその隣は通常通り２５％としている。
図１（Ａ）に示すセンサー１０Ａが感知したとすると、
その信号に基づきグレーチング４のうち同図斜線で示す
領域の４つはその開口率を通常の２５％から６０％に増
加させ、さらにその隣の領域は４０％に増加させ、さら
にその隣は通常通り２５％としている。
【００１５】このため、人間の近傍の領域における排気
量が上昇することから、人間が障害となって乱れた気流
も人間を沿うように床まで流れ落ちるようになる。つま
り、人間の近傍の領域の気流の乱れを最小限にくい止
め、内部に配設されている生産設備や設備内の試料を汚
染するという問題は解決される。
量が上昇することから、人間が障害となって乱れた気流
も人間を沿うように床まで流れ落ちるようになる。つま
り、人間の近傍の領域の気流の乱れを最小限にくい止
め、内部に配設されている生産設備や設備内の試料を汚
染するという問題は解決される。
【００１６】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、人
間の移動等に伴うダウンフローの気流の乱れを防止する
ことができ、結果として品質歩留まりの向上を図ること
ができる。
間の移動等に伴うダウンフローの気流の乱れを防止する
ことができ、結果として品質歩留まりの向上を図ること
ができる。
【図１】は、本発明のクリーンルームの空気調和装置の
概略構成図である。
概略構成図である。
【図２】は、図１の装置の制御系のブロック図である。
【図３】は、図２に示した装置の動作フロチャートであ
る。
る。
【図４】は、従来のクリーンルームの空気調和装置の概
略構成図である。
略構成図である。
１…クリーンルーム ２…天井部 ３…ファンフィルターユニット ４…グレーチング（排気量調整手段） １０…センサ（検出手段） １１…検出領域認識部（検出手段） １２…開口率制御部（排気量調整手段）
Claims (1)
- 【請求項１】床部に所定の開口率を有するグレーチング
を配置させることで、天井部に配設された送風手段から
のダウンフローを前記床部と前記天井部との間のそれぞ
れの領域で理想的となるようにしたクリーンルームの空
気調和装置において、 前記クリーンルーム内における人間の存在領域を認識す
る検出手段と、 当該検出手段によって認識された存在領域の前記床部に
配設されているグレーチングの開口率を増加させる排気
量調整手段とを有することを特徴とするクリーンルーム
の空気調和装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24945692A JPH06101881A (ja) | 1992-09-18 | 1992-09-18 | クリーンルームの空気調和装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24945692A JPH06101881A (ja) | 1992-09-18 | 1992-09-18 | クリーンルームの空気調和装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06101881A true JPH06101881A (ja) | 1994-04-12 |
Family
ID=17193235
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24945692A Withdrawn JPH06101881A (ja) | 1992-09-18 | 1992-09-18 | クリーンルームの空気調和装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06101881A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003065577A (ja) * | 2001-08-24 | 2003-03-05 | Hitachi Ltd | ファンフィルタユニット制御システム及びそのシステムを備えたクリーンルーム |
| US7017306B2 (en) * | 2001-01-18 | 2006-03-28 | Carlisle Process Systems Limited | Containment assembly |
| JP2014169815A (ja) * | 2013-03-04 | 2014-09-18 | Nippon Spindle Mfg Co Ltd | ドライブース |
-
1992
- 1992-09-18 JP JP24945692A patent/JPH06101881A/ja not_active Withdrawn
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7017306B2 (en) * | 2001-01-18 | 2006-03-28 | Carlisle Process Systems Limited | Containment assembly |
| JP2003065577A (ja) * | 2001-08-24 | 2003-03-05 | Hitachi Ltd | ファンフィルタユニット制御システム及びそのシステムを備えたクリーンルーム |
| JP2014169815A (ja) * | 2013-03-04 | 2014-09-18 | Nippon Spindle Mfg Co Ltd | ドライブース |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19991130 |