JP2002372266A - ファンフィルタ装置 - Google Patents
ファンフィルタ装置Info
- Publication number
- JP2002372266A JP2002372266A JP2001177412A JP2001177412A JP2002372266A JP 2002372266 A JP2002372266 A JP 2002372266A JP 2001177412 A JP2001177412 A JP 2001177412A JP 2001177412 A JP2001177412 A JP 2001177412A JP 2002372266 A JP2002372266 A JP 2002372266A
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- JP
- Japan
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- air
- fan
- filter
- filter device
- frame
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- Withdrawn
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- Ventilation (AREA)
- Air Conditioning Control Device (AREA)
- Filtering Of Dispersed Particles In Gases (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 エアフィルタのフィルタ面からの吹出風速分
布が著しく均一であるファンフィルタ装置を提供する。 【解決手段】 プレフィルタ３１の上側に複数のファン
３２が配置されている。ファン３２の上方にファン３２
と同数の小室３５が該隔板３４によって区画形成されて
いる。整流部４０は、該箱枠３７に連なる整流器枠４１
と、該整流器枠４１内に配置されてた整流器４２とを備
えている。ファン３２の吹出風が一旦小室３５内に流入
し、パンチングプレート３６及び整流器４２を通って風
速分布が均等化される。そして、エアフィルタ５２を通
過することにより浄化されると共に、このエアフィルタ
５２及びパンチングプレート５３の通気抵抗により風速
分布が更に均等化される。
布が著しく均一であるファンフィルタ装置を提供する。 【解決手段】 プレフィルタ３１の上側に複数のファン
３２が配置されている。ファン３２の上方にファン３２
と同数の小室３５が該隔板３４によって区画形成されて
いる。整流部４０は、該箱枠３７に連なる整流器枠４１
と、該整流器枠４１内に配置されてた整流器４２とを備
えている。ファン３２の吹出風が一旦小室３５内に流入
し、パンチングプレート３６及び整流器４２を通って風
速分布が均等化される。そして、エアフィルタ５２を通
過することにより浄化されると共に、このエアフィルタ
５２及びパンチングプレート５３の通気抵抗により風速
分布が更に均等化される。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ファン及びエアフ
ィルタを有したファンフィルタ装置に係り、特にエアフ
ィルタからフィルタ面の前面にわたって均一な吹出風が
得られるよう構成されたファンフィルタ装置に関する。
ィルタを有したファンフィルタ装置に係り、特にエアフ
ィルタからフィルタ面の前面にわたって均一な吹出風が
得られるよう構成されたファンフィルタ装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】クリーンルーム、クリーンブース、回路
基板の乾燥装置等の設備においては、清浄な空気がフィ
ルタ面の全面から均一に（すなわち、等風速にて）吹き
出るよう構成されたファンフィルタ装置が用いられてい
る。
基板の乾燥装置等の設備においては、清浄な空気がフィ
ルタ面の全面から均一に（すなわち、等風速にて）吹き
出るよう構成されたファンフィルタ装置が用いられてい
る。
【０００３】従来のこの種のファンフィルタ装置とし
て、特開平６−１０８９６号には、斜流タイプのファン
をフィルタユニットケーシング内部の上面中央に配置
し、該ケーシングの下面にエアフィルタを配置し、該斜
流ファンから下向きにエアを送り、エアフィルタの下面
側から均一風の吹出を得るようにしたものが記載されて
いる。
て、特開平６−１０８９６号には、斜流タイプのファン
をフィルタユニットケーシング内部の上面中央に配置
し、該ケーシングの下面にエアフィルタを配置し、該斜
流ファンから下向きにエアを送り、エアフィルタの下面
側から均一風の吹出を得るようにしたものが記載されて
いる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】このような従来のファ
ンフィルタ装置では、エアフィルタから吹き出す吹出風
速分布の均等化が不十分であり、風速分布がより均一で
あるファンフィルタ装置が望まれている。
ンフィルタ装置では、エアフィルタから吹き出す吹出風
速分布の均等化が不十分であり、風速分布がより均一で
あるファンフィルタ装置が望まれている。
【０００５】本発明は、エアフィルタのフィルタ面から
の吹出風速分布が著しく均一であるファンフィルタ装置
を提供することを目的とする。
の吹出風速分布が著しく均一であるファンフィルタ装置
を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明のファンフィルタ
装置は、並列設置された複数のファンと、各ファンの吹
出風を区画する隔板を有した箱枠と、該箱枠から吹き出
す吹出風が通過する整流部と、該整流部からの吹出風が
通過するエアフィルタからなるものである。
装置は、並列設置された複数のファンと、各ファンの吹
出風を区画する隔板を有した箱枠と、該箱枠から吹き出
す吹出風が通過する整流部と、該整流部からの吹出風が
通過するエアフィルタからなるものである。
【０００７】かかるファンフィルタ装置にあっては、複
数のファンを並列に設置していると共に、各フィルタの
吹出風を区画するように隔板を設け、さらに各隔板同士
の間の小室から吹き出す風を整流器に通して風速分布を
均等化し、これをエアフィルタに通すようにしているの
で、エアフィルタの全面からきわめて均等に（等風速に
て）空気が吹き出すようになる。
数のファンを並列に設置していると共に、各フィルタの
吹出風を区画するように隔板を設け、さらに各隔板同士
の間の小室から吹き出す風を整流器に通して風速分布を
均等化し、これをエアフィルタに通すようにしているの
で、エアフィルタの全面からきわめて均等に（等風速に
て）空気が吹き出すようになる。
【０００８】本発明では、各ファンを個別に制御できる
ようにし、エアフィルタの吹出風速をさらに均等にする
ことが望ましい。
ようにし、エアフィルタの吹出風速をさらに均等にする
ことが望ましい。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して実施の形態
について説明する。第１図は実施の形態に係るファンフ
ィルタ装置の斜視図、第２図は実施の形態に係るファン
フィルタ装置の縦断図、第３図は実施の形態に係るファ
ンフィルタ装置の一部の拡大断面斜視図、第４図は第５
図のIVーIV線に沿う断面図である。
について説明する。第１図は実施の形態に係るファンフ
ィルタ装置の斜視図、第２図は実施の形態に係るファン
フィルタ装置の縦断図、第３図は実施の形態に係るファ
ンフィルタ装置の一部の拡大断面斜視図、第４図は第５
図のIVーIV線に沿う断面図である。
【００１０】このファンフィルタ装置１０は、下側から
順次に架台２０、送風部３０、整流部４０及びフィルタ
部５０を備えている。
順次に架台２０、送風部３０、整流部４０及びフィルタ
部５０を備えている。
【００１１】架台２０は、レベルアジャスタ２１を備え
ている。この架台２０上の送風部３０は、その最下面
に、吸い込む空気の粗い塵埃を除去するためのプレフィ
ルタ３１を備えている。このプレフィルタ３１のフィル
タエレメントは、例えば合成樹脂の不織布等が採用され
る。
ている。この架台２０上の送風部３０は、その最下面
に、吸い込む空気の粗い塵埃を除去するためのプレフィ
ルタ３１を備えている。このプレフィルタ３１のフィル
タエレメントは、例えば合成樹脂の不織布等が採用され
る。
【００１２】このプレフィルタ３１は側方へ引き出し可
能となっている。
能となっている。
【００１３】このプレフィルタ３１の上側に複数（この
実施の形態では１５機）のファン３２が枡目状に配置さ
れている。該ファン３２は軸流ファンであり、空気を上
方に向けて送風するように配置されている。
実施の形態では１５機）のファン３２が枡目状に配置さ
れている。該ファン３２は軸流ファンであり、空気を上
方に向けて送風するように配置されている。
【００１４】各ファン３２の上方に井桁状の隔板３４が
配置され、ファン３２と同数の小室３５が該隔板３４に
よって区画形成されている。隔板３４はファン３２同士
の間の上方に配置されており、１個のファン３２から吹
き出した風は、当該ファン３２の上方の小室３５にのみ
流入する。各小室３５内の上部には通風抵抗をとるため
にパンチングプレート３６が水平に設置されている。こ
の送風部３０の外周は箱枠３７によって囲まれている。
配置され、ファン３２と同数の小室３５が該隔板３４に
よって区画形成されている。隔板３４はファン３２同士
の間の上方に配置されており、１個のファン３２から吹
き出した風は、当該ファン３２の上方の小室３５にのみ
流入する。各小室３５内の上部には通風抵抗をとるため
にパンチングプレート３６が水平に設置されている。こ
の送風部３０の外周は箱枠３７によって囲まれている。
【００１５】図示はしないが、一部又はすべての小室３
５の空気圧を検出する手段（例えばピトー管）が設けら
れている。
５の空気圧を検出する手段（例えばピトー管）が設けら
れている。
【００１６】この送風部３０の上側の整流部４０は、該
箱枠３７に連なる整流器枠４１と、該整流器枠４１内に
配置された整流器４２とを備えている。整流器４２は、
多数の薄いアルミニウム等の板材を井桁状に組み合わせ
たものであり、第３図の通り、水平断面が正方形の通気
部を有したハニカム状となっている。
箱枠３７に連なる整流器枠４１と、該整流器枠４１内に
配置された整流器４２とを備えている。整流器４２は、
多数の薄いアルミニウム等の板材を井桁状に組み合わせ
たものであり、第３図の通り、水平断面が正方形の通気
部を有したハニカム状となっている。
【００１７】この整流部４０の上側に設置されたフィル
タ部５０は、この整流器枠４１に連なるフィルタ枠５１
と、該フィルタ枠５１内に配置されたエアフィルタ５２
と、エアフィルタ５２の上面側に装着されたパンチング
プレート５３（第３図では図示略）とを有する。
タ部５０は、この整流器枠４１に連なるフィルタ枠５１
と、該フィルタ枠５１内に配置されたエアフィルタ５２
と、エアフィルタ５２の上面側に装着されたパンチング
プレート５３（第３図では図示略）とを有する。
【００１８】このエアフィルタ５２は、例えばガラスペ
ーパー（ガラス繊維を抄紙したペーパー）をつづら折状
に折り重ねたものが用いられる。このエアフィルタ５２
は、フィルタ枠５１の内面に接着剤によって気密に接着
されている。パンチングプレート５３は、フィルタ枠５
１の上面の全体を覆うように配置され、フィルタ枠５１
に対しビス等によって着脱可能に固定されている。
ーパー（ガラス繊維を抄紙したペーパー）をつづら折状
に折り重ねたものが用いられる。このエアフィルタ５２
は、フィルタ枠５１の内面に接着剤によって気密に接着
されている。パンチングプレート５３は、フィルタ枠５
１の上面の全体を覆うように配置され、フィルタ枠５１
に対しビス等によって着脱可能に固定されている。
【００１９】この実施の形態にあっては、箱枠３７の側
面に操作盤６０が設けられている。この操作盤６０に
は、各ファン３２の回転数を調節するためのダイヤル６
１と、小室３５内の空気圧を表示するための圧力表示器
６２と、動作状況の表示ランプ６３、６４、６５とが設
けられている。ダイヤル６１はファン３２と同数個設け
られ、各ファン３２の回転数を個別の調節可能としてい
る。
面に操作盤６０が設けられている。この操作盤６０に
は、各ファン３２の回転数を調節するためのダイヤル６
１と、小室３５内の空気圧を表示するための圧力表示器
６２と、動作状況の表示ランプ６３、６４、６５とが設
けられている。ダイヤル６１はファン３２と同数個設け
られ、各ファン３２の回転数を個別の調節可能としてい
る。
【００２０】このように構成されたファンフィルタ装置
においては、各ファン３２の吹出風が一旦小室３５内に
流入し、パンチングプレート３６及び整流器４２を通っ
て風速分布が均等化される。そして、エアフィルタ５２
を通過することにより浄化されると共に、このエアフィ
ルタ５２及びパンチングプレート５３の通気抵抗により
風速分布が更に均等化される。このため、ファンフィル
タ装置１０の上面から吹き出す風速は、フィルタ面の全
体にわたって著しく均一である。なお、ダイヤル６１を
調節してファン３２の風量を調節することにより、風速
分布をより均一なものとするように制御することも可能
である。
においては、各ファン３２の吹出風が一旦小室３５内に
流入し、パンチングプレート３６及び整流器４２を通っ
て風速分布が均等化される。そして、エアフィルタ５２
を通過することにより浄化されると共に、このエアフィ
ルタ５２及びパンチングプレート５３の通気抵抗により
風速分布が更に均等化される。このため、ファンフィル
タ装置１０の上面から吹き出す風速は、フィルタ面の全
体にわたって著しく均一である。なお、ダイヤル６１を
調節してファン３２の風量を調節することにより、風速
分布をより均一なものとするように制御することも可能
である。
【００２１】このファンフィルタ装置は、例えば０．５
〜数ｍ／ｓｅｃ程度の風速にて空気を吹き出すのに好適
である。
〜数ｍ／ｓｅｃ程度の風速にて空気を吹き出すのに好適
である。
【００２２】
【発明の効果】以上の通り、本発明によると、フィルタ
面の全面にわたり吹出風速が均一なファンフィルタ装置
が提供される。
面の全面にわたり吹出風速が均一なファンフィルタ装置
が提供される。
【図１】実施の形態に係るファンフィルタ装置の斜視図
である。
である。
【図２】実施の形態に係るファンフィルタ装置の縦断図
である。
である。
【図３】実施の形態に係るファンフィルタ装置の一部の
拡大断面斜視図である。
拡大断面斜視図である。
【図４】図２のIVーIV線に沿う断面図である。
１０ ファンフィルタ装置 ２０ 架台 ３０ 送風部 ３１ プレフィルタ ３２ ファン ３４ 隔板 ３５ 小室 ３６ パンチングプレート ３７ 箱枠 ４０ 整流部 ４１ 整流器枠 ４２ 整流器 ５０ フィルタ部 ５１ フィルタ枠 ５２ エアフィルタ ５３ パンチングプレート ６０ 操作盤
Claims (2)
- 【請求項１】 並列設置された複数のファンと、 各ファンの吹出風を区画する隔板を有した箱枠と、 該箱枠から吹き出す吹出風が通過する整流部と、 該整流部からの吹出風が通過するエアフィルタとを備え
てなるファンフィルタ装置。 - 【請求項２】 請求項１において、各ファンの吹出風量
を個別に調整するファン制御器を備えたことを特徴とす
るファンフィルタ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001177412A JP2002372266A (ja) | 2001-06-12 | 2001-06-12 | ファンフィルタ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001177412A JP2002372266A (ja) | 2001-06-12 | 2001-06-12 | ファンフィルタ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002372266A true JP2002372266A (ja) | 2002-12-26 |
Family
ID=19018257
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001177412A Withdrawn JP2002372266A (ja) | 2001-06-12 | 2001-06-12 | ファンフィルタ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002372266A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108444065A (zh) * | 2017-02-14 | 2018-08-24 | 维谛技术有限公司 | 一种空调机组的制冷控制系统、方法、装置及空调机组 |
| WO2020165973A1 (ja) * | 2019-02-13 | 2020-08-20 | 三菱電機株式会社 | 空気調和装置の室内機及び空気調和装置 |
| JP2021081092A (ja) * | 2019-11-15 | 2021-05-27 | 盛和環境エンジニアリング株式会社 | 作業装置 |
| KR20220114815A (ko) * | 2021-02-09 | 2022-08-17 | 주식회사 저스템 | 기류 균일화 장치를 구비한 efem |
-
2001
- 2001-06-12 JP JP2001177412A patent/JP2002372266A/ja not_active Withdrawn
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108444065A (zh) * | 2017-02-14 | 2018-08-24 | 维谛技术有限公司 | 一种空调机组的制冷控制系统、方法、装置及空调机组 |
| CN108444065B (zh) * | 2017-02-14 | 2020-11-20 | 维谛技术有限公司 | 一种空调机组的制冷控制系统、方法、装置及空调机组 |
| WO2020165973A1 (ja) * | 2019-02-13 | 2020-08-20 | 三菱電機株式会社 | 空気調和装置の室内機及び空気調和装置 |
| JP2021081092A (ja) * | 2019-11-15 | 2021-05-27 | 盛和環境エンジニアリング株式会社 | 作業装置 |
| JP7333603B2 (ja) | 2019-11-15 | 2023-08-25 | 株式会社エス・イー・イー | 作業装置 |
| KR20220114815A (ko) * | 2021-02-09 | 2022-08-17 | 주식회사 저스템 | 기류 균일화 장치를 구비한 efem |
| KR102442234B1 (ko) | 2021-02-09 | 2022-09-13 | 주식회사 저스템 | 기류 균일화 장치를 구비한 efem |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080304 |
|
| A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20080606 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20080606 |
|
| A761 | Written withdrawal of application |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A761 Effective date: 20090514 |