JPH06101774A - ダイヤフラムバルブ - Google Patents
ダイヤフラムバルブInfo
- Publication number
- JPH06101774A JPH06101774A JP25024892A JP25024892A JPH06101774A JP H06101774 A JPH06101774 A JP H06101774A JP 25024892 A JP25024892 A JP 25024892A JP 25024892 A JP25024892 A JP 25024892A JP H06101774 A JPH06101774 A JP H06101774A
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- JP
- Japan
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- valve
- diaphragm valve
- fluid
- diaphragm
- space
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- Withdrawn
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- Indication Of The Valve Opening Or Closing Status (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明は，ダイヤフラムバルブに付加する機
能に関し，ダイヤフラムパルブの弁膜の破損による流体
の漏出を検知する手段を得ることを目的とする。 【構成】 ダイヤフラムバルブ１の弁膜２とコンプレッ
サ３の間の空間４に漏水センサ５の二個の電極６を設け
て，弁膜２の破損により, ダイヤフラムバルブ１の流体
７の流路８より空間４に漏出した流体７を，二個の該電
極６の導通により検知する機能を具備するように構成す
る。
能に関し，ダイヤフラムパルブの弁膜の破損による流体
の漏出を検知する手段を得ることを目的とする。 【構成】 ダイヤフラムバルブ１の弁膜２とコンプレッ
サ３の間の空間４に漏水センサ５の二個の電極６を設け
て，弁膜２の破損により, ダイヤフラムバルブ１の流体
７の流路８より空間４に漏出した流体７を，二個の該電
極６の導通により検知する機能を具備するように構成す
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はダイヤフラムバルブに付
加する機能に関する。半導体製造産業で必要とされる超
純水製造設備において，ダイヤフラムバルブはその構造
上，超純水と触れる部分にねじや摺動部分がなく，材質
的にも耐薬品性の高純度プラスチック等が用いられてい
るので，純粋や超純水等の流体の開閉制御には必要不可
欠なバルブとなっている。
加する機能に関する。半導体製造産業で必要とされる超
純水製造設備において，ダイヤフラムバルブはその構造
上，超純水と触れる部分にねじや摺動部分がなく，材質
的にも耐薬品性の高純度プラスチック等が用いられてい
るので，純粋や超純水等の流体の開閉制御には必要不可
欠なバルブとなっている。
【０００２】
【従来の技術】図４はダイヤフラムバルブの説明図であ
る。図において，１はダイヤフラムバルブ，２は弁膜，
３はコンプレッサ，４は空間，５は漏水センサ，８は流
路，９は基台，10は開閉ハンドルである。
る。図において，１はダイヤフラムバルブ，２は弁膜，
３はコンプレッサ，４は空間，５は漏水センサ，８は流
路，９は基台，10は開閉ハンドルである。
【０００３】従来，一般的に使用されているダイヤフラ
ムバルブ１の開閉構造は同心円状であり，従って，図４
に示す開閉構造の断面図は左右対象となっているため，
図４の左半分に外形図，右半分に断面図で示す。
ムバルブ１の開閉構造は同心円状であり，従って，図４
に示す開閉構造の断面図は左右対象となっているため，
図４の左半分に外形図，右半分に断面図で示す。
【０００４】例えば，図２の状態では，例えば，純水等
の流体７は送水管に連結されたダイヤフラムバルブ１の
左側から流路８を通って右側に送水されている。流体７
の送水を停止するときには，上方の開閉ハンドル10を回
して，コンプレッサ３によって弁膜２の全体を押圧する
と，コンプレッサ３の外面の形に弁膜２が下方に押し下
げられて，弁膜２の中心部先端が基台９に密着して，流
体７の流路８を閉じて，送水が停止する。
の流体７は送水管に連結されたダイヤフラムバルブ１の
左側から流路８を通って右側に送水されている。流体７
の送水を停止するときには，上方の開閉ハンドル10を回
して，コンプレッサ３によって弁膜２の全体を押圧する
と，コンプレッサ３の外面の形に弁膜２が下方に押し下
げられて，弁膜２の中心部先端が基台９に密着して，流
体７の流路８を閉じて，送水が停止する。
【０００５】そこで，若し，ダイヤフラムバルブ１の弁
膜２が破損した場合には，純水等の流体７が弁膜２の破
損箇所より上方の空間４に浸水して，超純水等の流体７
中に，ダイヤフラムバルブ１の弁膜２上の稼働部分であ
るコンプレッサ３構成部品等に用いられているグリース
等の不純物が混入することになる。
膜２が破損した場合には，純水等の流体７が弁膜２の破
損箇所より上方の空間４に浸水して，超純水等の流体７
中に，ダイヤフラムバルブ１の弁膜２上の稼働部分であ
るコンプレッサ３構成部品等に用いられているグリース
等の不純物が混入することになる。
【０００６】その場合，半導体製造工程で超純水を使用
しているマスク基板やウエハ等の洗浄，リンスのリソグ
ラフィやエッチング工程に影響を与え，半導体デバイス
の品質低下や欠陥不良をもたらすこととなる。
しているマスク基板やウエハ等の洗浄，リンスのリソグ
ラフィやエッチング工程に影響を与え，半導体デバイス
の品質低下や欠陥不良をもたらすこととなる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】上記のように，従来の
ダイヤフラムバルブにおいては，弁膜の破損障害を検知
できる手段がない。そのため，弁膜が破損した状態でダ
イヤフラムバルブを引続き使用する事態が生じ，上記内
容の障害問題を引き起こし，超純水を製造工程に使用す
る半導体デバイスの品質低下を招く。
ダイヤフラムバルブにおいては，弁膜の破損障害を検知
できる手段がない。そのため，弁膜が破損した状態でダ
イヤフラムバルブを引続き使用する事態が生じ，上記内
容の障害問題を引き起こし，超純水を製造工程に使用す
る半導体デバイスの品質低下を招く。
【０００８】本発明は，以上の点を鑑み，弁膜が破損し
ても，超純水が汚染されて半導体デバイスの製造に支障
が起こらない手段を得ることを目的として提供される。
ても，超純水が汚染されて半導体デバイスの製造に支障
が起こらない手段を得ることを目的として提供される。
【０００９】
【課題を解決するための手段】図１は本発明の原理説明
図である。図において，１はダイヤフラムバルブ，２は
弁膜，３はコンプレッサ，４は空間，５は漏水センサ，
６は電極，７は流体，８は流路，９は基台，10は開閉ハ
ンドルである。
図である。図において，１はダイヤフラムバルブ，２は
弁膜，３はコンプレッサ，４は空間，５は漏水センサ，
６は電極，７は流体，８は流路，９は基台，10は開閉ハ
ンドルである。
【００１０】問題解決の手段として，本発明では，図１
に示すように，手動型ダイヤフラムバルブ１のコンプレ
ッサ３と弁膜２の間の空間４に漏水センサ５を挿入し，
弁膜２が破損した場合，流体８がその空間４に浸水し
て，漏水センサ５にてただちに漏水を検知する。
に示すように，手動型ダイヤフラムバルブ１のコンプレ
ッサ３と弁膜２の間の空間４に漏水センサ５を挿入し，
弁膜２が破損した場合，流体８がその空間４に浸水し
て，漏水センサ５にてただちに漏水を検知する。
【００１１】本発明のダイヤフラムバルブ１を採用する
ことにより，超純水中への不純物混入の問題を解決する
ことが可能となる。即ち，本発明の目的は，ダイヤフラ
ムバルブ１の弁膜２とコンプレッサ３の間の空間４に漏
水センサ５の二個の電極６を設けて，該弁膜２の破損に
より, 該ダイヤフラムバルブ１の流体７の流路８より該
空間４に漏出した該流体７を，二個の該電極６の導通に
より検知する機能を具備することにより達成される。
ことにより，超純水中への不純物混入の問題を解決する
ことが可能となる。即ち，本発明の目的は，ダイヤフラ
ムバルブ１の弁膜２とコンプレッサ３の間の空間４に漏
水センサ５の二個の電極６を設けて，該弁膜２の破損に
より, 該ダイヤフラムバルブ１の流体７の流路８より該
空間４に漏出した該流体７を，二個の該電極６の導通に
より検知する機能を具備することにより達成される。
【００１２】
【作用】本発明において，ダイヤフラムポンプ内の空間
に設置する漏水センサは，二つの電極間を導通させ，電
気的出力を発するものである。従って，前述したコンプ
レッサと弁膜との空間に漏洩した超純水等の流体が浸水
して，二つの電極を濡らした時点で導通し，漏水センサ
が作動する。
に設置する漏水センサは，二つの電極間を導通させ，電
気的出力を発するものである。従って，前述したコンプ
レッサと弁膜との空間に漏洩した超純水等の流体が浸水
して，二つの電極を濡らした時点で導通し，漏水センサ
が作動する。
【００１３】
【実施例】図１は本発明の原理説明図，図２は超純水製
造設備におけるダイヤフラムバルブの配置図，図３は超
純水のランニング時間と全有機体炭素濃度である。
造設備におけるダイヤフラムバルブの配置図，図３は超
純水のランニング時間と全有機体炭素濃度である。
【００１４】図において，１は１はダイヤフラムバル
ブ，２は弁膜，３はコンプレッサ，４は空間，５は漏水
センサ，６は電極，７は流体，８は流路，９は基台，10
は開閉ハンドル，11は制御部, 12は第１の自動弁，13は
第２の自動弁，14は第３の自動弁，15は純水装置, 16は
純水タンク，17は紫外線殺菌装置, 18はイオン交換装
置, 19は限外濾過装置, 20は切り換えバルブ, 21はユー
スポイントである。
ブ，２は弁膜，３はコンプレッサ，４は空間，５は漏水
センサ，６は電極，７は流体，８は流路，９は基台，10
は開閉ハンドル，11は制御部, 12は第１の自動弁，13は
第２の自動弁，14は第３の自動弁，15は純水装置, 16は
純水タンク，17は紫外線殺菌装置, 18はイオン交換装
置, 19は限外濾過装置, 20は切り換えバルブ, 21はユー
スポイントである。
【００１５】図２により，本発明の漏水サンサ付きダイ
ヤフラムポンプの働きについて説明する。図２に示すよ
うに，純粋装置15より超純水製造設備内への入口の他,
同設備からユースポイント迄の送水管, 或いは循環用送
水管の要所に本発明のダイヤフラムバルブが用いられて
いる。
ヤフラムポンプの働きについて説明する。図２に示すよ
うに，純粋装置15より超純水製造設備内への入口の他,
同設備からユースポイント迄の送水管, 或いは循環用送
水管の要所に本発明のダイヤフラムバルブが用いられて
いる。
【００１６】例えば，純水装置15から超純水製造設備へ
の入口のダイヤフラムバルブ１の弁膜２が破損した場合
について説明すると，図１のコンプレッサ３と弁膜２と
の空間４に漏洩した流体７，すなわち純水が侵入して，
二つの電極６を濡らした時点で導通し，漏水センサ５が
作動する。すると，漏水センサ５から出力した警報信号
を制御部11が受信し，受信後，ダイヤフラムバルブ１の
前後にある第１の自動弁12と第２の自動弁13に対して
「閉」の信号を，また，バイパスにある第３の自動弁14
に対して「開」の信号を出力する。
の入口のダイヤフラムバルブ１の弁膜２が破損した場合
について説明すると，図１のコンプレッサ３と弁膜２と
の空間４に漏洩した流体７，すなわち純水が侵入して，
二つの電極６を濡らした時点で導通し，漏水センサ５が
作動する。すると，漏水センサ５から出力した警報信号
を制御部11が受信し，受信後，ダイヤフラムバルブ１の
前後にある第１の自動弁12と第２の自動弁13に対して
「閉」の信号を，また，バイパスにある第３の自動弁14
に対して「開」の信号を出力する。
【００１７】この制御部11の作動により，瞬時に第１の
自動弁12と第２の自動弁13が閉じられ，同時にバイパス
にある第３の自動弁14が開いて，純水は断水することな
く，その流路を切り換えて, 超純水製造設備の各装置を
通り, 超純水となってユースポイント21に送られる。
自動弁12と第２の自動弁13が閉じられ，同時にバイパス
にある第３の自動弁14が開いて，純水は断水することな
く，その流路を切り換えて, 超純水製造設備の各装置を
通り, 超純水となってユースポイント21に送られる。
【００１８】これにより，超純水中にグリース等の混入
がなくなり，マスク基板やウエハの汚染が防がれる。
がなくなり，マスク基板やウエハの汚染が防がれる。
【００１９】
【発明の効果】従来，使用していたダイヤフラムバルブ
が長い間の上下動等により劣化して，破損した時点で，
超純水中のＴＯＣ（全有機体炭素）濃度が図３のように
上昇して，半導体プロセスに悪影響を与えていたが，本
発明のダイヤフラムバルブの採用により，超純水のラン
ニング時間中，ダイヤフラムバルブの破損によるＴＯＣ
濃度の上昇は見られなくなった。
が長い間の上下動等により劣化して，破損した時点で，
超純水中のＴＯＣ（全有機体炭素）濃度が図３のように
上昇して，半導体プロセスに悪影響を与えていたが，本
発明のダイヤフラムバルブの採用により，超純水のラン
ニング時間中，ダイヤフラムバルブの破損によるＴＯＣ
濃度の上昇は見られなくなった。
【００２０】このように，マスク基板やウエハの汚染が
防止でき，半導体デバイスの品質や信頼性の向上る寄与
するところが大きい。
防止でき，半導体デバイスの品質や信頼性の向上る寄与
するところが大きい。
【図１】 本発明の原理説明図
【図２】 超純水製造設備におけるダイヤフラムバルブ
の配置図
の配置図
【図３】 超純水のランニング時間とＴＯＣ濃度
【図４】 ダイヤフラムバルブの説明図
１ ダイヤフラムバルブ ２ 弁膜 ３ コンプレッサ ４ 空間 ５ 漏水センサ ６ 電極 ７ 流体 ８ 流路 ９ 基台 10 開閉ハンドル 11 制御部 12 第１の自動弁 13 第２の自動弁 14 第３の自動弁 15 純水装置 16 純水タンク 17 紫外線殺菌装置 18 イオン交換装置 19 限外濾過装置 20 切替バルブ 21 ユースポイント
Claims (1)
- 【請求項１】 ダイヤフラムバルブ(1) の弁膜(2) とコ
ンプレッサ(3) の間の空間(4) に漏水センサ(5) の二個
の電極(6) を設けて，該弁膜(2) の破損により, 該ダイ
ヤフラムバルブ(1) の流体(7) の流路(8) より該空間
(4) に漏出した該流体(7) を，二個の該電極(6) の導通
により検知する機能を具備することを特徴とするダイヤ
フラムバルブ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25024892A JPH06101774A (ja) | 1992-09-18 | 1992-09-18 | ダイヤフラムバルブ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25024892A JPH06101774A (ja) | 1992-09-18 | 1992-09-18 | ダイヤフラムバルブ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06101774A true JPH06101774A (ja) | 1994-04-12 |
Family
ID=17205056
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25024892A Withdrawn JPH06101774A (ja) | 1992-09-18 | 1992-09-18 | ダイヤフラムバルブ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06101774A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20020001288A (ko) * | 2000-06-27 | 2002-01-09 | 이구택 | 다이어프램 밸브의 리스크 감지장치 |
| EP1726855A3 (en) * | 2005-05-25 | 2007-03-21 | Big Dutchman (Skandinavien) A/S | Feedstuff valve with an integrated leak sensor |
| USRE43288E1 (en) | 2001-11-26 | 2012-04-03 | Emerson Electric Co. | High purity fluid delivery system |
| WO2020003799A1 (ja) * | 2018-06-30 | 2020-01-02 | 株式会社フジキン | ダイヤフラムバルブおよびその監視方法 |
-
1992
- 1992-09-18 JP JP25024892A patent/JPH06101774A/ja not_active Withdrawn
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20020001288A (ko) * | 2000-06-27 | 2002-01-09 | 이구택 | 다이어프램 밸브의 리스크 감지장치 |
| USRE43288E1 (en) | 2001-11-26 | 2012-04-03 | Emerson Electric Co. | High purity fluid delivery system |
| EP1726855A3 (en) * | 2005-05-25 | 2007-03-21 | Big Dutchman (Skandinavien) A/S | Feedstuff valve with an integrated leak sensor |
| WO2020003799A1 (ja) * | 2018-06-30 | 2020-01-02 | 株式会社フジキン | ダイヤフラムバルブおよびその監視方法 |
| TWI701405B (zh) * | 2018-06-30 | 2020-08-11 | 日商富士金股份有限公司 | 隔膜閥及其監視方法 |
| CN112334696A (zh) * | 2018-06-30 | 2021-02-05 | 株式会社富士金 | 隔膜阀以及其监视方法 |
| JPWO2020003799A1 (ja) * | 2018-06-30 | 2021-08-02 | 株式会社フジキン | ダイヤフラムバルブおよびその監視方法 |
| US11927280B2 (en) | 2018-06-30 | 2024-03-12 | Fujikin Incorporated | Diaphragm valve and monitoring method thereof with improved leak detection |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19991130 |