KR200274312Y1 - 밸브 개폐상태 감시 장치 - Google Patents

Abstract

본 고안은 설정압력의 유체를 일정하게 지속적으로 공압장치에 공급되어지는 지 감시할 수 있도록 하는 밸브 개폐상태 감시 장치에 관한 것으로, 유체를 유통시키는 최종라인에 압력센서를 장착하여, 설정압력과 지속적으로 비교하여 이상 압력의 유체가 유통될 경우 경보를 울림과 동시에 공압장치를 정지 또는 인터록상태로 전환시키도록 하고, 유체의 유통을 단속하는 밸브를 공압에 의해 자동 제어할 때에 밸브의 직전에 공기압센서를 구비하여 공압호스 등의 연결 불량 또는 노후로 인한 공기압 리크(Leak)를 공기압센서에 의해 감지하여 시스템의 작동을 정시키거나 감시 장치에 신호를 보내도록 하여 보다 신속하게 차후 처리를 진행할 수 있도록 하는 밸브 개폐상태 감시 장치를 제공하려는 것이다.

Description

밸브 개폐상태 감시 장치 {Valve opening and shutting monitering system}

본 고안은 설정압력의 유체를 일정하게 지속적으로 공압장치에 공급되어지는 지 감시할 수 있도록 하는 밸브 개폐상태 감시 장치에 관한 것이다.

더욱 상세하게는 유체를 유통시키는 최종라인에 압력센서를 장착하여, 설정압력과 지속적으로 비교하여 이상 압력의 유체가 유통될 경우 경보를 울림과 동시에 공압장치를 정지시키도록 하고, 유체의 유통을 단속하는 밸브를 공압에 의해 자동 제어할 때에 밸브의 직전에 공기압센서를 구비하여 공압호스 등의 연결 불량 또는 노후로 인한 공기압 리크(Leak)를 공기압센서에 의해 감지하여 공압장치의 작동을 일시 정시키거나 감시 장치에 신호를 보내도록 하여 보다 신속하게 차후 처리를 진행할 수 있도록 하는 밸브 개폐상태 감시 장치를 제공하려는 것이다.

일반적으로 공압을 사용하는 기계장치는 공기압을 설정하고, 설정된 압력을 지속적으로 유지하기 위하여 압력유지장치 또는 유량제어 장치 등을 구비하여 압력을 조절하게 되고, 설정된 압력은 차폐밸브의 단속에 의해 초기에 최종라인 즉, 웨이퍼 척, 액추에이터, 실린더 등에 가해지거나 가해지지 않게 된다.

이때, 압력유지장치 또는 유량제어 장치 등은 공압라인에서 최종라인에 인입하는 차폐밸브 직전까지의 압력만을 고려하여 이상 압력이 발생하였을 때에 자동으로 보정되는 것이고, 차폐밸브 자체에서 문제가 발생하였을 경우 즉, 차폐밸브가 개방되지 않았을 때에는 유체가 최종라인을 통과하지 않음에도 불구하고, 공압장치는 계속적으로 작동하며 압력유지장치 또는 유량제어장치 등은 공압라인 내의 압력만을 조절하므로 이상 유무를 알아차리지 못한 채 계속적으로 작업공정을 진행하는 문제점이 있었다.

상기 문제점을 첨부도면 도 1을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.

도 1은 종래 기술에 의한 출력압력 감시 장치를 보인 예시도로서, 유체의 정밀한 압력유지를 필요로 하는 반도체 생산 장비 중에 챔버(Chamber)에서 웨이퍼(Wafer)의 플라스마(plasma) 식각시스템을 보인 일 예이다.

상기 플라스마 식각시스템은 식각챔버의 내부에 공정가스가 채워진 상태에서 알 에프(RF) 에너지를 기체 혼합물에 가함으로써 옥사이드 막, 메탈 필름 등을 식각하게 되는데, 이와 같은 일반적인 식각공정을 진행하기 위해서는 식각공중에 발생하는 열을 식혀주도록 냉각 가스를 공급하게 되고, 이때 냉각가스를 일정한 압력으로 지속적으로 공급시켜주어야 되며 냉각가스로 사용되어지는 헬륨가스를 설정압력으로 공급하도록 하는 냉각가스 공급 장치 구성은 도 1에 도시되어 있는 바와 같다.

즉, 식각공정을 진행하기 위한 챔버(1)의 내부에 식각공정을 진행하기 위한 웨이퍼(W)가 안착 고정되는 웨이퍼 척(2)에 냉각가스 공급 홀을 형성하고, 이 냉각가스 공급 홀에 최종라인(L1)의 일단부를 연결하며, 상기 최종라인(L1)의 타단부는 냉각가스 공급부(미도시)로부터 공급된 냉각가스를 챔버(1) 내부로 공급하는 냉각가스 공급라인(L2)이 연결된다.

그리고 상기 냉각가스 공급라인(L2)의 일단부에는 유량제어기(3)가 설치되고, 이 유량제어기(3)의 양측에는 각각 제 1밸브(V1)와 제 2밸브(V2)가 설치되며, 상기 냉각가스 공급라인(L2)의 일단부에는 챔버(1)로 일차적으로 냉각가스를 공급해 주도록 상기 유량제어기(3)를 우회하는 바이패스라인(L3)이 연결된다.

미설명부호 V1 내지 V6은 밸브이고, 4는 챔버(1)로 흐르는 냉각가스의 압력을 측정해 주는 마노미터(4)이며, 5는 식각공정 후 상기 연결라인(L1) 및 냉각가스 공급라인(L2)에 잔존하는 냉각가스를 배출하기 위한 펌프(5)이다.

또한, 상기 펌프(5)에 근접한 냉각가스 공급라인(L2)의 일단부에는 분지라인(L4)이 상기 연결라인(L1)에 연결되어 냉각가스의 펌핑을 용이하도록 해 준다.

상기와 같이 구성된 냉각가스 공급구조의 작용을 설명하면 다음과 같다.

웨이퍼(W)가 챔버(1) 내부로 인입되어 웨이퍼 척(2)상면에 안착되면, 제 3밸브(V3)를 제외한 제 1밸브(V1) 내지 제 6밸브(V6)는 폐쇄되고, 헬륨(He)가스는 바이패스라인(L3)을 통하여 연결라인(L1)에 설치된 제 4밸브(V4) 하단까지 공급되며, 이때 헬륨가스의 압력은 일예로 5Torr를 유지한다.

그 후 공정이 시작되면 제 3밸브(V3)를 제외한 모든 밸브를 개방하여 냉각가스 공급라인(L2)을 통해 챔버(11)로 헬륨가스가 공급되어 그 압력은 용이하게 7Torr로 조절되므로 냉각가스의 오버슈팅을 방지하게 된다.

이와 같이 공정이 완료되면, 제 1 내지 제 4밸브(V1??V4)는 폐쇄되고, 제 5, 6밸브(V5, V6)는 개방되어 최종라인(L1) 및 냉각가스 공급라인(L2)에 흐르고 있는 냉각가스를 배출하게 된다.

냉각가스가 모두 배출된 후 아이들(Idle)상태가 되면 다시 바이패스라인(L2)을 통해 제 4밸브(V4)하단까지 냉각가스를 채워 넣고 공정 진행 대기를 한다.

그러나 상기와 같은 냉각가스 공급 장치는 자동화 공정에 의해 밸브가 자동으로 개폐 제어되는 것이고, 특히, 주기적으로 개방 및 폐쇄를 반복적으로 이루어지는 것이며, 밸브를 열고 닫는 기구적인 동력은 공기압을 이용하거나 솔레노이드를 이용한 전자적인 방식에 의해 밸브를 원격 제어하는 것인데, 제 4밸브(V4)를 제어하는 공기압에서 리크현상이 일어나거나 솔레노이드의 이상 작동으로 인하여 제 4밸브(V4)가 정상적으로 개방 또는 폐쇄되지 않았음에도 불구하고 챔버(1)에서는 계속적으로 식각공정 등을 진행하게 되는 것이다.

즉, 최종라인(L1)과 직결되는 제 4밸브(V4)가 고장이나 그 밖의 이유로 완전하게 개방되지 못하거나 아예 폐쇄상태일 때에는 냉각가스인 헬륨(He)은 웨이퍼 척(2)에 정상적으로 공급되지 않게 되고, 이로서 웨이퍼(W)의 배면을 충분히 냉각 식히지 못하여 불량 웨이퍼(W)를 생산하게 되는 것이다.

그리고 상기와 같이 제 4밸브(V4)가 고장이나 그 밖의 이유로 인하여 폐쇄상태이거나 완전하게 개방되지 못한 상태에서는 제 4밸브(V4)까지의 공압라인 내에서 압력이 상승하고, 이상 압력을 마노미터(4)에 의해 감지하며, 마노미터(4)에 의해 유량제어장치(3)가 자동적으로 작동하여 유체(헬륨가스)의 량을 조절하여 겉으로 보기에는 아무런 이상이 없는 것처럼 보여 지게 되는 것이다.

따라서 유체가 최종라인(L1)을 통해 챔버(1)에 공급되는 과정에서 제 4밸브(V4)의 불량상태를 감지하지 못하거나 유체의 리크현상을 감지하지 못하는 상태에서 계속적으로 작업공정이 진행되어지는 것으로 겉으로 보기에는 아무런 이상 유무를 감지하지 못하지만 실질적으로는 유체가 부족하게 저압으로 공급되어 정상적인 웨이퍼냉각을 실시할 수 없는 것이고, 이로 인하여 일정압력으로 지속적인 유체 공급을 정밀하게 제어할 수 없으며, 이러한 불량한 상태에서 식각 공정이 이루어진 웨이퍼(W)는 모두 불량제품으로 생산되는 것이다.

특히 반도체 관련 초정밀 장비 중 식각공정에서 불량 웨이퍼를 생산하였을 경우 이 불량 웨이퍼를 검수할 때까지는 상당한 시간이 소요되는 것이고, 불량 웨이퍼로 판단되었을 때에 불량웨이퍼가 생산된 라인은 최초 불량 웨이퍼 이후부터 불량 웨이퍼라고 판단하는 시점까지 생산된 모든 웨이퍼가 불량 웨이퍼가 되는 문제점이 있는 것이다.

본 고안은 상기와 같은 문제점을 해소할 수 있도록 하는 밸브 개폐상태 감시 장치를 제공하려는 것이다.

본 고안은 공압기계 및 시스템의 액추에이터, 실린더 및 챔버 등에 공급되는 공압을 일정한 압력으로 공급되도록 하고, 최종라인에서 이상 압력이 감지되었을 때에는 즉각적으로 경보를 발생시킴과 동시에 공압기계 또는 시스템을 일시 정지시키도록 하여 추가적인 불량제품을 생산하지 않도록 하거나 비정상적인 작업공정을 중단시켜 이상 압력을 발생시키는 문제점 등을 즉각 해소하도록 모니터링 하는 밸브 개폐상태 감시 장치를 제공하는데 목적이 있다.

본 고안의 다른 목적은 공압을 이용한 기계장치 및 시스템 등에 있어서 유체를 설정된 정압으로 최종라인에 공급하되, 최종라인에 압력센서를 구비하여 압력센서에서 압력을 지속적으로 감지하여 최종라인을 통하여 액추에이터에는 항상 설정압력의 유체를 지속적으로 공급할 수 있도록 하고, 이상 압력이 감지되었을 때에는 경보를 울리거나 감시 장치에 통보하여 기계장치 및 시스템을 인터록(interlock)시킬 수 있도록 하는 밸브 개폐상태 감시 장치를 제공하는데 있다.

본 고안의 또 다른 목적은 공압라인에서 밸브를 원격제어 함에 있어서, 밸브를 제어하는 공기압 라인에 공기압센서를 구비하여 밸브의 작동상태유무를 실시간으로 감지할 수 있도록 하고, 밸브의 부정확한 상태를 감지하였을 때에는 경보를 울리거나 감시 장치에 통보하여 기계장치 및 시스템을 인터록(interlock)시킬 수 있도록 하는 밸브 개폐상태 감시 장치를 제공하는데 있다.

본 고안의 또 다른 목적은 비정상적인 유체압력이 액추에이터(웨이퍼 척 등)에 가해짐으로서 발생하는 손실을 최소화 할 수 있도록 하는 밸브 개폐상태 감시 장치를 제공하는데 있다.

도 1은 종래 기술에 의한 출력압력 감시 장치를 보인 예시도

도 2는 본 고안에 따른 밸브 개폐상태 감시 장치를 보인 예시도

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *

1: 챔버(Chamber) 2: 웨이퍼 척 (wafer chuck)

3: 유량제어기 4: 마노미터 5: 펌프

L1: 최종주입라인 L2: 가스공급라인 L3: 바이패스라인

L4: 분지라인 W: 웨이퍼 (wafer)

V1, V2, V3, V4, V5, V6: 제1, 제2, 제3, 제4 제5, 제6밸브(Valve)

100: 챔버(Chamber) 101: 웨이퍼 척 (wafer chuck)

102: 압력유지장치 103: 필터(Filter)

104: 압력보상펌프 105: 배기펌프

106: 압력보상밸브 107: 방향전환밸브 108:차폐밸브

109: 압력감지센서 110: 공기압감지센서

111: 최종라인 112: 가스공급라인 113: 배기라인

114, 115: 에어라인

본 고안의 상기목적들과 특징은 첨부도면에 의거한 다음의 상세한 설명에 의하여 더욱 명확하게 이해할 수 있을 것이다.

첨부도면 도 2는 본 고안에 따른 밸브 개폐상태 감시 장치를 보인 예시도이다.

상기 도 2에 도시한 예시도는 유체를 정밀하게 제어하여 일정한 압력으로 공급해주는 것을 필요로 하는 예를 보인 것을 반도체 생산 장비 중에 식각공정의 일예를 보인 것이다.

도 2에 도시한 예시도를 참조로 본 고안에 따른 밸브 개폐상태 감시 장치를 설명하면 다음과 같다.

식각공정을 진행하기 위한 챔버(100)의 내부에 식각공정을 진행하기 위한 웨이퍼(W)가 안착 고정되는 웨이퍼 척(101)에 냉각가스 공급 홀을 형성하고, 이 냉각가스 공급 홀에 최종라인(111)의 일단부를 연결하며, 상기 최종라인(111)의 타단부는 냉각가스 공급부(미도시)로부터 공급된 냉각가스를 챔버(100) 내부로 공급하는 냉각가스 공급라인(112)이 연결된다.

상기 최종라인(111)에는 정화장치인 통상의 필터(103)와 유체의 흐름을 단속하는 차폐밸브(108)를 구비하고, 상기 필터(103)와 차폐밸브(108)사이에는 최종라인(111)의 압력을 감지하기 위한 압력감지센서(109)를 구비하였다.

상기 최종라인(111)의 하단에는 유체를 3방향으로 전환하는 방향전환밸브(107)를 장착하고, 방향전환밸브(107)의 일측에는 공급라인(112)을 연결하며, 타측에는 배기라인(113)을 연결하였다.

상기 공급라인(112)에는 유체의 공급부(미도시)로부터 유체를 공급받아 일정한 압력으로 유지시켜주도록 하는 압력유지장치(102)를 구비하였고, 공급라인(112)의 중단에는 압력보상밸브(106)를 장착하였으며, 압력보상밸브(106)의 일측에는 압력보상펌프(104)를 장착하였다.

상기 배기라인(113)의 일측에는 공압라인의 내부에 잔재하는 유체를 제거하기 위한 배기펌프(105)를 장착하였다.

상기 차폐밸브(108)는 밸브의 제어수단에 의해 개방 또는 폐쇄상태로 제어되도록 한 것으로 이는 공기압을 이용한 공압밸브 또는 전자적 제어에 의해 구동하는 솔레노이드 밸브를 선택적으로 장착할 수 있는 것으로, 본 고안의 일실시예에서는 공압에 의해 차폐밸브(108)를 제어하도록 하였고, 차폐밸브(108)에는 공기압을 제공하기 위한 에어라인(114)을 구비하였으며, 에어라인(114)에는 공기압센서(110)를 장착하여 에어라인(114)의 공기압을 지속적으로 감지하도록 하였다.

상기 방향전환밸브(107)는 상기 차폐밸브(108)와 마찬가지로 밸브의 제어수단에 의해 개방 또는 폐쇄상태로 제어되도록 한 것으로 공압밸브 또는 솔레노이드밸브를 선택적으로 장착할 수 있는 것으로, 본 고안의 일실시예에서는 공압밸브를 장착하여 공압에 의해 방향전환밸브(107)를 제어하도록 하였고, 방향전환밸브(107)에는 공기압을 제공하기 위한 에어라인(115)을 구비하였으며, 에어라인(115)에는 공기압센서(110)를 장착하여 에어라인(115)의 공기압을 지속적으로 감지하도록 하였다.

상기 본 고안에 따른 일실시예에서는 공압라인은 병렬로 구성하여 보인 것으로 반드시 복렬 구성으로 한정하는 것은 아니며, 공압을 필요로 하는 용도에 맞게 단일 또는 3열 이상으로 구성할 수 있다.

상기와 같이 구성되는 본 고안에 따른 밸브 개폐상태 감시 장치의 작동상태를 설명하면 다음과 같다.

챔버(100)의 내에 웨이퍼(W)가 진입되어 웨이퍼 척(101)에 안착되면 냉각가스(유체)인 헬륨이 웨이퍼 척(101)의 저면으로부터 공급되어 식각공정을 실시하게된다.

유체(헬륨가스)는 유체공급장치(미도시)로부터 공급받아 압력유지장치(102)를 통해 공급라인(112) 및 최종라인(111)을 통해서 챔버(100)측으로 일정한 압력의 유체를 공급하게 된다.

공급시점에서 방향전환밸브(107)는 공급라인(112)과 최종라인(111)을 연결시키도록 설정되고, 차폐밸브(108)는 유체를 필요로 하는 시점에서 개방시키게 되며, 초기 상태에서는 유체가 차폐밸브(108)의 직전까지 채워지며 챔버(100)에서 작업공정이 이루어지는 시점에서 차폐밸브(108)가 개방되어 유체를 유통시키고 이때 순간적적으로 발생하는 압력차는 압력보상밸브(106)가 개방 및 폐쇄를 반복하면서 압력보상펌프(104)의 펌핑에 의해 압력이 자동으로 보상되는 것이다.

웨이퍼 척(101)에 장착된 웨이퍼(W)의 식각공정이 종료되면 차폐밸브(108)는 일순간 폐쇄되고, 방향전환밸브(107)는 최종라인(111)과 배기라인(113)을 연결시킨 다음에 차폐밸브(108)는 개방되며 최종라인(111)과 배기라인(113)이 유통 가능한 상태에서 배기펌프(105)의 펌핑에 의해 공압라인 내의 유체는 배출되는 것이다.

유체(헬륨가스)의 배출완료 후에 차폐밸브(108)는 폐쇄되고, 방향전환밸브(107)는 최종라인(111)과 공급라인(112)을 연결시키며, 최종라인(111)과 공급라인(112)이 연결되어진 상태에서 유체 차폐밸브(108)의 직전까지 채워지게 된다.

상기와 같이 유체가 공급라인(112)에 채워진 상태에서 다음 웨이퍼(W)가 챔버(100)의 웨이퍼 척(101)에 장착될 때까지 대기하고, 식각공정이 개시되면 차폐밸브(108)는 개방되어 유체를 공급하게 되는 것이다.

상기와 같이 유체(헬륨가스)의 공급과 배기를 반복하면서 차폐밸브(108)와 방향전환밸브(107)는 개방 및 차단을 주기적으로 반복하게 되는 것으로 밸브의 수명이 단축되거나 고장 등의 문제가 발생되는데 특히 밸브가 비정상적으로 작동하여 개방상태에서 완전개방이 이루어지지 않아 유체의 유압이 충분히 공급되지 않을 때에는 최종라인(111)에 구비된 압력감지센서(109)에서 이상 압력을 감지하여 경보를 울리거나 감시 장치에 통보를 하게 되고, 아울러 기계장치 및 시스템을 인터록(interlock)상태로 전환하게 된다.

즉, 차폐밸브(108) 및 방향전환밸브(107)의 상태와는 상관없이 공급라인(112)의 내에서는 압력유지장치(102) 및 압력보상밸브(106)에 의해 설정 압력으로 자동으로 보상되지만 차폐밸브(108) 및 방향전환밸브(107)의 이상으로 최종라인(111)내에서 압력변화가 발생하였을 때에는 압력감지센서(109)에 의해 이상 유무를 감시하고, 이상이 감지되었을 때에는 이상신호를 발생하여 이상신호를 발생시킨 문제점을 즉각적으로 해소시킬 수 있도록 하는 것이다.

또한, 차폐밸브(108) 및 방향전환밸브(107)를 공기압에 의해 구동시킬 경우에는 개방 및 폐쇄상태의 잦은 변경에 의해 에어라인(114)(115)이 훼손되거나 리크(leak)현상이 발생하게 되는데 공기압이 차폐밸브(108) 및 방향전환밸브(107)에 전달되지 않았을 경우 개방 또는 폐쇄상태가 불량하게 되어 유체(헬륨가스)의 유통을 정밀하게 제어할 수 없게 되고 이러한 비정상적인 상태를 에어라인(114)(115)에 구비한 공기압센서(110)에 의해 감지되어 경보를 울리거나기계장치 및 시스템을 인터록상태로 전환하여 문제발생을 관리자에게 즉각 통보하고 경보를 울리도록 한 문제점을 해소한 후 재차 식각공정 등을 개시하는 것이다.

본 고안에서는 구체적인 실시예에 대하여 설명했지만 본 고안의 기술사상범위 내에서 다양한 변형 및 수정이 가능함을 당업자에게 있어서 명백한 것이며, 이러한 변형 및 수정이 첨부된 실용신안등록청구범위에 속함은 당연한 것이다.

따라서 본 고안에 따른 밸브 개패상태 모니터링시스템은 공압에 의해 구동 또는 작용하는 공압라인에 있어서, 액추에이터(웨이퍼 척 등)에 직접적으로 연결되는 최종라인에 압력센서를 구비하여 액추에이터에 공급되는 유체는 설정된 항상 일정한 압력의 유체를 공급할 수 있게 되고, 비정상적인 유체압력을 감지하였을 때에는 즉각적으로 경보를 울려 관리자로 하여금 인지할 수 있도록 하고, 기계장치 및 시스템 등은 제어부로 감지신호를 보내어 인터록(interlock)상태로 전환하도록 하여 발생된 문제점에 대하여 즉시 해소할 수 있도록 할 수 있는 것으로 비정상적인 유체압력이 액추에이터(웨이퍼 척 등)에 가해짐으로서 발생하는 손실을 최소화 할 수 있는 것이다.

또한, 차폐밸브 및 방향전환밸브의 제어를 공기압에 의해 자동 제어할 때에는 에어라인에 공기압센서를 구비함으로서 차폐밸브 및 방향전환밸브가 정확하게 개방 또는 차단상태로 이루어지는 지를 모니터링 할 수 있게 되어 밸브의 비정상적인 작동에 의해 발생할 수 있는 손실을 억제할 수 있는 효과가 있는 것이다.

특히, 본 고안에 따른 밸브 개폐상태 모니터링시스템은 이미 설치되어 실시중인 공압라인에도 용이하게 적용이 가능한 것으로 저렴한 비용으로 재래식 공압라인을 개선할 수 있는 것이다.

Claims (1)

1. 유체를 유통시키는 공급라인(112)과, 상기 공급라인(112)의 일측에 장착되어 유체의 압력을 설정압력으로 유지시키는 압력유지장치(102)와, 공급라인(112)의 내에서 변동되는 미세압력을 자동으로 보상하는 압력보상밸브(106) 및 보상펌프(104)와, 공급라인(112)의 단부에 구비되어 유체흐름 방향을 전환하는 방향전환밸브(107)와, 방향전환밸브(107)에서 액추에이터(웨이퍼 척 등)에 유체를 공급하도록 하는 최종라인(111)과, 최종라인(111)에서 유체의 유통을 단속하는 차폐밸브(108)와, 상기 방향전환밸브(107)의 일측에 연결되어 공압라인의 유체를 배출시키도록 하는 배기라인(113) 및 배기펌프(105)로 구성되는 공압라인에 있어서,

   상기 액추에이터와 차폐밸브(108)의 사이에 구비되어 최종라인(111)의 압력을 감지하여 이상 압력을 감지하였을 때에 경보를 울리고 시스템을 인터록상태로 전환하도록 신호를 발생시는 압력감지센서(109) 및,

   상기 차폐밸브(108) 및 방향전환밸브(107)는 공압에 의해 제어되도록 하되, 차폐밸브(108) 및 방향전환밸브(107)에 공급되는 에어라인(114)(115)에는 이상 공기압을 감지하여 경보를 울리고 시스템을 인터록상태로 전환하도록 신호를 발생시키는 공기압센서(110)를 장착한 것이 포함하는 것을 특징으로 하는 밸브개폐상태 감시 장치.