JPH0590751A - グリーンシートスルーホールへの導体充填方法 - Google Patents
グリーンシートスルーホールへの導体充填方法Info
- Publication number
- JPH0590751A JPH0590751A JP27845191A JP27845191A JPH0590751A JP H0590751 A JPH0590751 A JP H0590751A JP 27845191 A JP27845191 A JP 27845191A JP 27845191 A JP27845191 A JP 27845191A JP H0590751 A JPH0590751 A JP H0590751A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- green sheet
- hole
- screen mask
- conductive paste
- base film
- Prior art date
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- Withdrawn
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- Printing Elements For Providing Electric Connections Between Printed Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 グリーンシートスルーホールの中に、低コス
トかつ簡易な操作で導体を充填することができるグリー
ンシートスルーホールへの導体充填方法の提供。 【構成】 まず、離型処理を施したベースフィルム２の
上にセラミックグリーンシート１を形成し、所定の寸法
に裁断する。次いで、このセラミックグリーンシート１
における所定位置に、ベースフィルム２ごとスルーホー
ル３を形成する。一方、開口部がグリーンシート１より
も小さくてスルーホール形成部分よりも大きく、また、
グリーンシート１よりも大きい段差部分を有する額縁状
のスクリーンマスクＡ６を用意する。次に、上記シート
体を吸引孔８が形成された印刷テーブル５上にグリーン
シート１側を下にして乗せ、吸引孔８から吸引すること
によりグリーンシート１を固定し、ベースフィルム２上
に用意したスクリーンマスクＡ６を配置し、スクリーン
マスクＡ６上の導電ペースト４をスキージ７でけがく。
トかつ簡易な操作で導体を充填することができるグリー
ンシートスルーホールへの導体充填方法の提供。 【構成】 まず、離型処理を施したベースフィルム２の
上にセラミックグリーンシート１を形成し、所定の寸法
に裁断する。次いで、このセラミックグリーンシート１
における所定位置に、ベースフィルム２ごとスルーホー
ル３を形成する。一方、開口部がグリーンシート１より
も小さくてスルーホール形成部分よりも大きく、また、
グリーンシート１よりも大きい段差部分を有する額縁状
のスクリーンマスクＡ６を用意する。次に、上記シート
体を吸引孔８が形成された印刷テーブル５上にグリーン
シート１側を下にして乗せ、吸引孔８から吸引すること
によりグリーンシート１を固定し、ベースフィルム２上
に用意したスクリーンマスクＡ６を配置し、スクリーン
マスクＡ６上の導電ペースト４をスキージ７でけがく。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、積層電子部品における
ビアホールを形成する際などに利用されるグリーンシー
トスルーホールへの導体充填方法に関する。
ビアホールを形成する際などに利用されるグリーンシー
トスルーホールへの導体充填方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、グリーンシートを積層してなる積
層電子部品におけるビアホールは、一般に次のような方
法で形成されてきた。まず、グリーンシート１における
所定位置にスルーホール３および位置決め穴１３を形成
し、この位置決め穴１３を平板状の印刷テーブル５に装
備された位置決めピン１２に挿入し、印刷テーブル５上
にグリーンシート１を固定する。一方、上記スルーホー
ル３と対応させたスクリーン穴１１が形成されたスクリ
ーンマスクＢ１０を用意し、このマスクを用いて試し刷
りを行うことにより、グリーンシート１のスルーホール
３とスクリーンマスクＢ１０のスクリーン穴１１との位
置合わせを行う（図５）。両者の位置合わせ後、上記ス
クリーンマスクＢ１０上からスキージ７を用いて導電ペ
ースト４を塗布することにより、グリーンシート１のス
ルーホール３に導電ペースト４を充填し、ビアホールを
形成する。
層電子部品におけるビアホールは、一般に次のような方
法で形成されてきた。まず、グリーンシート１における
所定位置にスルーホール３および位置決め穴１３を形成
し、この位置決め穴１３を平板状の印刷テーブル５に装
備された位置決めピン１２に挿入し、印刷テーブル５上
にグリーンシート１を固定する。一方、上記スルーホー
ル３と対応させたスクリーン穴１１が形成されたスクリ
ーンマスクＢ１０を用意し、このマスクを用いて試し刷
りを行うことにより、グリーンシート１のスルーホール
３とスクリーンマスクＢ１０のスクリーン穴１１との位
置合わせを行う（図５）。両者の位置合わせ後、上記ス
クリーンマスクＢ１０上からスキージ７を用いて導電ペ
ースト４を塗布することにより、グリーンシート１のス
ルーホール３に導電ペースト４を充填し、ビアホールを
形成する。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述従
来の方法によると、スクリーン穴とグリーンシートのス
ルーホールとの位置合わせを試し刷りにより行わなけれ
ばならなかったため、手間がかかる上、ロスが大きいと
いう問題点があった。また、グリーンシートスルーホー
ルの数や間隔に対応したスクリーン穴を有するスクリー
ンマスクをその都度用意しなければならないため、生産
コストが高くなってしまうという問題点があった。さら
に、グリーンシートを固定するための位置決めピンの位
置は、印刷テーブル上に固定されているため、サイズの
異なるグリーンシートを用いる場合、極めて繁雑な操作
を必要とするという問題点があった。
来の方法によると、スクリーン穴とグリーンシートのス
ルーホールとの位置合わせを試し刷りにより行わなけれ
ばならなかったため、手間がかかる上、ロスが大きいと
いう問題点があった。また、グリーンシートスルーホー
ルの数や間隔に対応したスクリーン穴を有するスクリー
ンマスクをその都度用意しなければならないため、生産
コストが高くなってしまうという問題点があった。さら
に、グリーンシートを固定するための位置決めピンの位
置は、印刷テーブル上に固定されているため、サイズの
異なるグリーンシートを用いる場合、極めて繁雑な操作
を必要とするという問題点があった。
【０００４】そこで本発明は、上述従来の技術の問題点
を解決し、グリーンシートスルーホールの中に、低コス
トかつ簡易な操作で導体を充填することができるグリー
ンシートスルーホールへの導体充填方法を提供すること
を目的とする。
を解決し、グリーンシートスルーホールの中に、低コス
トかつ簡易な操作で導体を充填することができるグリー
ンシートスルーホールへの導体充填方法を提供すること
を目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明者等は、上記目的
を達成するために鋭意研究の結果、離型処理を施したフ
ィルム上に形成したグリーンシートにフィルムごとスル
ーホールを形成し、フィルムをスクリーンマスクとして
導電ペーストを塗布することにより、上記課題が解決さ
れることを見い出し、本発明に到達した。
を達成するために鋭意研究の結果、離型処理を施したフ
ィルム上に形成したグリーンシートにフィルムごとスル
ーホールを形成し、フィルムをスクリーンマスクとして
導電ペーストを塗布することにより、上記課題が解決さ
れることを見い出し、本発明に到達した。
【０００６】すなわち、本発明は、離型処理を施したフ
ィルム上にグリーンシートを形成し、該フィルムととも
にグリーンシートにスルーホールを形成した後、上記フ
ィルムをスクリーンマスクとして導電ペーストを塗布す
ることにより、グリーンシートスルーホールに導電ペー
ストを充填することを特徴とするグリーンシートスルー
ホールへの導体充填方法を提供するものである。
ィルム上にグリーンシートを形成し、該フィルムととも
にグリーンシートにスルーホールを形成した後、上記フ
ィルムをスクリーンマスクとして導電ペーストを塗布す
ることにより、グリーンシートスルーホールに導電ペー
ストを充填することを特徴とするグリーンシートスルー
ホールへの導体充填方法を提供するものである。
【０００７】
【作用】本発明の方法によると、離型処理を施したフィ
ルム上にグリーンシートを形成し、このフィルムごとグ
リーンシートにスルーホールを形成し、フィルムをスク
リーンマスクとして導電ペーストを塗布することによ
り、グリーンシートスルーホールに導電ペーストを充填
している。
ルム上にグリーンシートを形成し、このフィルムごとグ
リーンシートにスルーホールを形成し、フィルムをスク
リーンマスクとして導電ペーストを塗布することによ
り、グリーンシートスルーホールに導電ペーストを充填
している。
【０００８】このように、グリーンシートとともにスル
ーホールを形成したフィルムをスクリーンマスクとする
ことにより、グリーンシートスルーホールに対応させた
スクリーンマスクを別に用意する必要がなくなり、しか
も、グリーンシートスルーホールとスクリーンマスクの
スクリーン穴との位置合わせを行う必要がなくなる。そ
のため、手間およびコストが大幅に削減され、生産性が
向上する。
ーホールを形成したフィルムをスクリーンマスクとする
ことにより、グリーンシートスルーホールに対応させた
スクリーンマスクを別に用意する必要がなくなり、しか
も、グリーンシートスルーホールとスクリーンマスクの
スクリーン穴との位置合わせを行う必要がなくなる。そ
のため、手間およびコストが大幅に削減され、生産性が
向上する。
【０００９】また、本発明法は、フィルム上にグリーン
シートを形成し、このフィルムをスクリーンマスクと
し、このグリーンシートを印刷テーブル上に、位置決め
ピンを使わず吸引により固定することにより、各種サイ
ズのグリーンシートに容易に対応することができるよう
になる。さらに、長尺なフィルム上にグリーンシートを
形成し、このシート体を裁断せず長尺なまま搬送し、ド
クターブレードを用いてフィルム上から導電ペーストを
塗布することにより、グリーンシートスルーホールに導
体を連続的に充填することができる。
シートを形成し、このフィルムをスクリーンマスクと
し、このグリーンシートを印刷テーブル上に、位置決め
ピンを使わず吸引により固定することにより、各種サイ
ズのグリーンシートに容易に対応することができるよう
になる。さらに、長尺なフィルム上にグリーンシートを
形成し、このシート体を裁断せず長尺なまま搬送し、ド
クターブレードを用いてフィルム上から導電ペーストを
塗布することにより、グリーンシートスルーホールに導
体を連続的に充填することができる。
【００１０】以下、実施例により本発明をさらに詳細に
説明する。しかし本発明の範囲は以下の実施例により制
限されるものではない。
説明する。しかし本発明の範囲は以下の実施例により制
限されるものではない。
【００１１】
【実施例１】本発明のグリーンシートスルーホールへの
導体充填方法の一実施例を以下に示す。
導体充填方法の一実施例を以下に示す。
【００１２】まず、離型処理を施したベースフィルム２
の上にグリーンシート１を形成し、所定の寸法に裁断し
た。次いで、このグリーンシート１における所定位置
に、ベースフィルム２ごとスルーホール３を形成した
（図２）。一方、図３に示すような段差を有する額縁状
のスクリーンマスクＡ６（金属製）を用意した。このス
クリーンマスクＡ６における開口部は、グリーンシート
１よりも小さく、スルーホール形成部分よりも大きい。
また、このマスクＡ６における段差部分はグリーンシー
ト１よりも大きく、この段差はメタルマスクのハーフエ
ッチング技術により形成した。
の上にグリーンシート１を形成し、所定の寸法に裁断し
た。次いで、このグリーンシート１における所定位置
に、ベースフィルム２ごとスルーホール３を形成した
（図２）。一方、図３に示すような段差を有する額縁状
のスクリーンマスクＡ６（金属製）を用意した。このス
クリーンマスクＡ６における開口部は、グリーンシート
１よりも小さく、スルーホール形成部分よりも大きい。
また、このマスクＡ６における段差部分はグリーンシー
ト１よりも大きく、この段差はメタルマスクのハーフエ
ッチング技術により形成した。
【００１３】次に、上記シート体を吸引孔８が形成され
た平板状の印刷テーブル５上にグリーンシート１側を下
にして乗せ、吸引孔８から吸引することにより印刷テー
ブル５上にグリーンシート１を固定した。固定後、ベー
スフィルム２の上に、用意したスクリーンマスクＡ６を
配置し（図１）、スクリーンマスクＡ６上の導電ペース
ト４をスキージ７でけがき、スルーホール３に導電ペー
スト４を充填した。
た平板状の印刷テーブル５上にグリーンシート１側を下
にして乗せ、吸引孔８から吸引することにより印刷テー
ブル５上にグリーンシート１を固定した。固定後、ベー
スフィルム２の上に、用意したスクリーンマスクＡ６を
配置し（図１）、スクリーンマスクＡ６上の導電ペース
ト４をスキージ７でけがき、スルーホール３に導電ペー
スト４を充填した。
【００１４】上記のようにして導電ペーストを充填した
表面にフィルムを有するグリーンシートは、その取扱い
が容易であるため、グリーンシート面を重ねる工程とベ
ースフィルムを剥離する工程とを繰り返すことにより容
易に積層体が得られ、効率良く積層電子部品を作製する
ことができる。
表面にフィルムを有するグリーンシートは、その取扱い
が容易であるため、グリーンシート面を重ねる工程とベ
ースフィルムを剥離する工程とを繰り返すことにより容
易に積層体が得られ、効率良く積層電子部品を作製する
ことができる。
【００１５】
【実施例２】本発明法の別の実施例を以下に示す。
【００１６】まず、離型処理を施した長尺なベースフィ
ルム２の上にグリーンシート１を形成し、このグリーン
シート１における所定位置に、ベースフィルム２ごとス
ルーホール３を形成した。次いで、このグリーンシート
１とベースフィルム２からなる長尺なシート体を長尺の
ペースト吸収紙１４上に重ねて配置し、グリーンシート
１とペースト吸収紙１４とを同期させて搬送し、ベース
フィルム２をスクリーンマスクとしてドクターブレード
９により導電ペースト４を塗布し（図４）、グリーンシ
ート１のスルーホール３に導電ペースト４を充填した。
ルム２の上にグリーンシート１を形成し、このグリーン
シート１における所定位置に、ベースフィルム２ごとス
ルーホール３を形成した。次いで、このグリーンシート
１とベースフィルム２からなる長尺なシート体を長尺の
ペースト吸収紙１４上に重ねて配置し、グリーンシート
１とペースト吸収紙１４とを同期させて搬送し、ベース
フィルム２をスクリーンマスクとしてドクターブレード
９により導電ペースト４を塗布し（図４）、グリーンシ
ート１のスルーホール３に導電ペースト４を充填した。
【００１７】上記のように、長尺なベースフィルム上に
形成したグリーンシートを裁断せず、ドクターブレード
を用いて導電ペーストを塗布することにより、連続的に
スルーホールに導電ペーストを充填することができる。
形成したグリーンシートを裁断せず、ドクターブレード
を用いて導電ペーストを塗布することにより、連続的に
スルーホールに導電ペーストを充填することができる。
【００１８】
【発明の効果】本発明法の開発により、グリーンシート
スルーホールへ導体を充填する際に用いられるスクリー
ンマスクの数が減少したため、製造コストが低減した。
また、繁雑な操作を必要とするスクリーンマスクのスク
リーン穴と、グリーンシートスルーホールとの位置合わ
せ操作がなくなったため、生産性が向上した。さらに、
本発明法は、グリーンシートを固定ピンを使わず吸引に
よって印刷テーブル上に固定することにより、各種サイ
ズのグリーンシートに容易に対応することができる。
スルーホールへ導体を充填する際に用いられるスクリー
ンマスクの数が減少したため、製造コストが低減した。
また、繁雑な操作を必要とするスクリーンマスクのスク
リーン穴と、グリーンシートスルーホールとの位置合わ
せ操作がなくなったため、生産性が向上した。さらに、
本発明法は、グリーンシートを固定ピンを使わず吸引に
よって印刷テーブル上に固定することにより、各種サイ
ズのグリーンシートに容易に対応することができる。
【図１】本発明法の一実施例におけるグリーンシートス
ルーホールへの導電ペースト充填工程を示す図であっ
て、印刷テーブル上に固定したシート体の上にスクリー
ンマスクを配置した状態を示しており、（ａ）は側断面
図、（ｂ）は上面図である。
ルーホールへの導電ペースト充填工程を示す図であっ
て、印刷テーブル上に固定したシート体の上にスクリー
ンマスクを配置した状態を示しており、（ａ）は側断面
図、（ｂ）は上面図である。
【図２】本発明法の一実施例で用いられるスルーホール
を形成したグリーンシートとベースフィルムからなるシ
ート体を示す図であって、（ａ）は側断面図、（ｂ）は
上面図である。
を形成したグリーンシートとベースフィルムからなるシ
ート体を示す図であって、（ａ）は側断面図、（ｂ）は
上面図である。
【図３】本発明法の一実施例で用いられるスクリーンマ
スクを示す図であって、（ａ）は側断面図、（ｂ）は上
面図である。
スクを示す図であって、（ａ）は側断面図、（ｂ）は上
面図である。
【図４】本発明法の別の実施例におけるグリーンシート
スルーホールへの導電ペースト充填工程を示す図であっ
て、ドクターブレードにより導電ペーストをベースフィ
ルム上に塗布している状態を示す側断面図である。
スルーホールへの導電ペースト充填工程を示す図であっ
て、ドクターブレードにより導電ペーストをベースフィ
ルム上に塗布している状態を示す側断面図である。
【図５】従来のグリーンシートスルーホールへの導体充
填方法を示す図であって、印刷テーブル上に固定したグ
リーンシートに導電ペーストをスクリーン印刷する際の
態様を示す側断面図である。
填方法を示す図であって、印刷テーブル上に固定したグ
リーンシートに導電ペーストをスクリーン印刷する際の
態様を示す側断面図である。
１‥‥‥グリーンシート ２‥‥‥ベースフィルム ３‥‥‥スルーホール ４‥‥‥導電ペースト ５‥‥‥印刷テーブル ６‥‥‥スクリーンマスクＡ ７‥‥‥スキージ ８‥‥‥吸引孔 ９‥‥‥ドクターブレード １０‥‥‥スクリーンマスクＢ １１‥‥‥スクリーン穴 １２‥‥‥位置決めピン １３‥‥‥位置決め穴 １４‥‥‥ペースト吸収紙
Claims (1)
- 【請求項１】 離型処理を施したフィルム上にグリーン
シートを形成し、該フィルムとともにグリーンシートに
スルーホールを形成した後、上記フィルムをスクリーン
マスクとして導電ペーストを塗布することにより、グリ
ーンシートスルーホールに導電ペーストを充填すること
を特徴とするグリーンシートスルーホールへの導体充填
方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27845191A JPH0590751A (ja) | 1991-09-30 | 1991-09-30 | グリーンシートスルーホールへの導体充填方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27845191A JPH0590751A (ja) | 1991-09-30 | 1991-09-30 | グリーンシートスルーホールへの導体充填方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0590751A true JPH0590751A (ja) | 1993-04-09 |
Family
ID=17597526
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27845191A Withdrawn JPH0590751A (ja) | 1991-09-30 | 1991-09-30 | グリーンシートスルーホールへの導体充填方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0590751A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7741560B2 (en) | 2005-07-22 | 2010-06-22 | Honda Motor Co., Ltd. | Chalcopyrite solar cell |
| US20130026212A1 (en) * | 2011-07-06 | 2013-01-31 | Flextronics Ap, Llc | Solder deposition system and method for metal bumps |
-
1991
- 1991-09-30 JP JP27845191A patent/JPH0590751A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7741560B2 (en) | 2005-07-22 | 2010-06-22 | Honda Motor Co., Ltd. | Chalcopyrite solar cell |
| US20130026212A1 (en) * | 2011-07-06 | 2013-01-31 | Flextronics Ap, Llc | Solder deposition system and method for metal bumps |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19981203 |