JPH0589913U - ダブルピストン形トルクアクチュエータ - Google Patents

ダブルピストン形トルクアクチュエータ

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JPH0589913U
JPH0589913U JP3258592U JP3258592U JPH0589913U JP H0589913 U JPH0589913 U JP H0589913U JP 3258592 U JP3258592 U JP 3258592U JP 3258592 U JP3258592 U JP 3258592U JP H0589913 U JPH0589913 U JP H0589913U
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 ダブルピストン形トルクアクチュエータに於
けるピストンの行程端を規制するストッパーの操作性を
高め、且つ組み立てを容易ならしめる。 【構成】 被動回転軸21の両側に各別に運動可能に配
設された両ピストン28,29から前記被動回転軸21
を挟むように互いに平行なピストンアーム28a,29
bを連設すると共に、前記被動回転軸21から連設され
た被動アーム26aの両端部と前記各ピストンアームと
を、長孔32,33とピン30,31とを介して互いに
連動連結したアクチュエータに於いて、シリンダ20の
一端に、進出移動する一方のピストン29の端面に先端
が当接する進出限用ストッパーボルト40と、前記一方
のピストン29を貫通し且つ退入移動する他方のピスト
ン28のピストンアーム28a端面に先端が当接する退
入限用ストッパーボルト41とを並設した点に特徴を有
する。

Description

【考案の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】
本考案は、バタフライ弁などの駆動手段として使用されるダブルピストン形ト ルクアクチュエータ、特にスカッチョーク形トクルアクチュエータに関するもの である。
【0002】
【従来の技術及びその問題点】
スカッチョーク形と呼称されるダブルピストン形トルクアクチュエータは、図 9に示すように、被動回転軸1の両側に各別に運動可能なピストン2,3が配設 され、これら両ピストン2,3から前記被動回転軸1を挟むように互いに平行な ピストンアーム2a,3aが連設されると共に、前記被動回転軸1に中央部が固 定されて直径方向両側に延出する被動アーム4の両端に、前記各ピストンアーム 2a,3aに突設された駆動用ピン5,6が嵌合する被動用長孔7,8が設けら れたものである。9はシリンダ、10はピストン内側シリンダ室11に連通する 給排気通路、12は一対のピストン外側シリンダ室13A,13Bに連通する給 排気通路である。
【0003】 このトルクアクチュエータでは、図示のように両ピストン2,3が退入限位置 にある状態からピストン内側シリンダ室11に圧力空気を供給して両ピストン2 ,3を互いに離間する方向に進出移動させると、各ピストンアーム2a,3aの 駆動用ピン5,6が被動用長孔7,8を介して被動アーム4の両端を互いに逆方 向に引っ張り、被動回転軸1を時計方向に回転駆動させることになる。逆に、両 ピストン2,3が進出限位置にある状態から、ピストン外側シリンダ室13A, 13Bに圧力空気を供給して両ピストン2,3を互いに接近する方向に退入移動 させると、各ピストンアーム2a,3aの駆動用ピン5,6が被動用長孔7,8 を介して被動アーム4の両端を互いに逆方向に押圧して、被動回転軸1を反時計 方向に回転駆動させることになる。
【0004】 上記のようにピストン2,3の往復移動により被動回転軸1を略90度の範囲 で正逆回転させるダブルピストン形トルクアクチュエータに於いては、被動回転 軸1の回転範囲の両端位置(角度)、即ち、両ピストン2,3の行程端位置を微 調整することの出来るストッパーが必要である。従来のこの種のアクチュエータ に於けるストッパーは、図9に示すように、両ピストン2,3が進出限位置まで 進出移動したとき、一方のピストン3の外側端面に先端が当接する進出限用スト ッパーボルト14をシリンダ9の一端に取付け、両ピストン2,3が退入限位置 まで退入移動したとき、ボルト頭部15aが他方のピストン2の内側端面に当接 する退入限用ストッパーボルト15をシリンダ9の他端に取付けていた。
【0005】 これら各ストッパーボルト14,15は、シリンダ9の両端面板9a,9bを 螺合貫通し、固定用のロックナット14b,15bが螺嵌され、外端には回転操 作用の角軸部14c,15cが設けられている。尚、退入限用ストッパーボルト 15は、前記ピストン2に設けられた貫通孔を貫通する。16は気密用シールで ある。
【0006】 然して、両ピストン2,3の行程端位置を微調整する場合、シリンダ9の一端 側にある進出限用ストッパーボルト14とロックナット14bの回転操作と、シ リンダ9の他端側にある退入限用ストッパーボルト15とロックナット15bの 回転操作とを行う必要があるが、図示のような従来のストッパー構造では、その 操作対象がシリンダ9の両端に振り分け配置されているので、特に全長が長い大 型のアクチュエータのでは、操作性が非常に悪く、調整作業を能率良く行うこと が困難であった。又、ストッパーボルト15の頭部15aをピストン2の内側に 配置するために、組み立てに際して長尺のストッパーボルト15をピストン2の 内側から挿通しなければならず、その作業性も良いとはいえなかった。
【0007】
【課題を解決するための手段】
本考案は上記のような従来の問題点を解決するために成されたものであって、 その特徴を後述する実施例の参照符号を付して示すと、本考案のダブルピストン 形トルクアクチュエータは、被動回転軸21の両側に各別に運動可能なピストン 28,29を配設し、これら両ピストン28,29から前記被動回転軸21を挟 むように互いに平行なピストンアーム(28a,28b)(29a,29b)を 連設すると共に、前記被動回転軸21から直径方向両側に延出する被動アーム( 26a,26b)の両端部と、前記各ピストンアーム(28a,28b)(29 a,29b)とを、長孔32,33とピン30,31とを介して互いに連動連結 して成るダブルピストン形トルクアクチュエータに於いて、シリンダ20の一端 に、進出移動する一方のピストン29の端面に先端が当接する進出限用ストッパ ー(ストッパーボルト40)と、前記一方のピストン29を貫通し且つ退入移動 する他方のピストン28のピストンアーム28a端面に先端が当接する退入限用 ストッパー(ストッパーボルト41)とを並設し、この退入限用ストッパーが貫 通する前記一方のピストン29の貫通孔には気密用シール43を内装した点に特 徴を有する。
【0008】
【実施例】
以下、本考案の一実施例を添付の例示図に基づいて説明すると、図1〜図3に 於いて、20はシリンダであって、その中央部を横断貫通する状態で被動回転軸 21が支承せしめられている。この被動回転軸21の一端角孔部21aにバタフ ライ弁の駆動軸などが接続される。22は1枚の板体から成るガイド部材であっ て、前記シリンダ20の中央部で直径方向に内嵌固定され、図3A,Bに示すよ うに、中央部に被動回転軸21が貫通する孔23を備えると共に、上下両側にシ リンダ軸心方向と平行な案内用長孔24,25が設けられている。前記被動回転 軸21には、前記ガイド部材22を挟み且つ直径方向両側に延出する被動アーム 26a,26bがキー27を介して取付けられている。
【0009】 28,29は一対のピストンであって、前記被動回転軸21(ガイド部材22 )の両側で各別に移動可能にシリンダ20に内嵌され、一方のピストン28から は、前記被動アーム26a,26bの一端部を左右両側から挟む左右一対のピス トンアーム28a,28bが連設され、他方のピストン29からは、前記被動ア ーム26a,26bの他端部を左右両側から挟む左右一対のピストンアーム29 a,29bが連設されている。これらピストンアーム28a,28bとピストン アーム29a,29bとは、被動回転軸21を上下から挟むように、当該被動回 転軸21とシリンダ20との間でシリンダ軸心方向に延出されているが、被動回 転軸21やシリンダ20には接触しない。
【0010】 30は前記ピストンアーム28a,28bの先端部間に架設された駆動用ピン であり、31は前記ピストンアーム29a,29bの先端部間に架設された駆動 用ピンである。前記被動アーム26a,26bの両端部には、被動回転軸21の 直径方向に沿って被動用長孔32,33が両端から切り欠き形成されており、前 記ピストンアーム28a,28b側の駆動用ピン30は、一方の被動用長孔32 とガイド部材22の案内用長孔25とを貫通し、前記ピストンアーム29a,2 9b側の駆動用ピン31は、他方の被動用長孔33とガイド部材22の案内用長 孔24とを貫通している。
【0011】 尚、各駆動用ピン30,31の案内用長孔24,25を貫通する部分には、こ れら長孔24,25の巾よりも僅かに外径の小さなローラ(ニードルベアリング などが利用出来る)34,35が支承されている。36は両ピストン28,29 間のシリンダ室37に連通する給排気通路であり、38は各ピストン28,29 の外側シリンダ室39A,39Bに連通する給排気通路であって、前記シリンダ 20の周壁及び端面板に穿設されている。
【0012】 40は進出限用ストッパーボルトであり、41は退入限用ストッパーボルトで ある。これら両ストッパーボルト40,41は、シリンダ20の一端に取付けら れる端面板42を、シリンダ軸心方向と平行で互いに並列する状態に螺合貫通し 、外側には気密用シール40d,41dを介してロックナット40a,41aが 螺嵌され、更に外端には回転操作用角孔40b,41bが設けられている。そし て退入限用ストッパーボルト41は、図4に示すように進出限位置まで移動した ときに前記進出限用ストッパーボルト40の先端に端面が当接するピストン29 を貫通するロッド部41cを備え、図1に示すようにピストン28が退入限位置 まで移動したとき、ピストンアーム28aの端面が前記退入限用ストッパーボル ト41の先端(ロッド部41cの先端)に当接するように構成されている。
【0013】 図5にも示すように、前記ピストン29のストッパーボルト41(ロッド部4 1c)が貫通する貫通孔には気密用シール43が内装されている。この気密用シ ール43は弾性材から成る円筒状のものであって、両端にピストン29の内外両 側面に当接するフランジ部43a,43bを備えると共に、長さ方向の中央位置 に内側に張り出す環状突出部43cが一体形成され、この気密用シール43内に ストッパーボルト41のロッド部41cを挿通させたとき、前記環状突出部43 cの環状頂面のみが前記ロッド部41cの周面に圧接し、ピストン29の内外両 シリンダ室37,39B間の気密を保持するように構成されている。更に前記気 密用シール43は、前記環状突出部43cを除く部分の内径が前記ストッパーボ ルト41のロッド部41cの外径より十分大きく設定され、前記ピストン29と ストッパーボルト41との相対揺動運動を許容するように構成されている。
【0014】 以上のように構成されたトルクアクチュエータは、従来のものと同様に、図1 に示すように両ピストン28,29が退入限位置にある状態で、シリンダ室37 に圧力空気を供給して両ピストン28,29を互いに離間する方向に進出移動さ せると、各々のピストンアーム28a,28b及び29a,29bの駆動用ピン 30,31が、被動用長孔32,33を介して被動アーム26a,26bの両端 を互いに逆方向に引っ張って、図4に示すように、当該被動アーム26a,26 bを時計方向に略90度回動させることになる。そして両ピストン28,29が 進出限位置に到達したとき、一方のピストン29の端面が図示のように進出限用 ストッパーボルト40の先端に当接し、位置決めされる。
【0015】 反対に、図4に示すように両ピストン28,29が進出限位置にある状態で、 両シリンダ室39A,39Bに圧力空気を供給して両ピストン28,29を互い に接近する方向に退入移動させると、各々のピストンアーム28a,28b及び 29a,29bの駆動用ピン30,31が、被動用長孔32,33を介して被動 アーム26a,26bの両端を互いに逆方向に押圧して、図1に示すように、当 該被動アーム26a,26bを反時計方向に略90度回動させることになる。そ して両ピストン28,29が退入限位置に到達したとき、一方のピストン28の ピストンアーム28aに於ける端面が図示のように退入限用ストッパーボルト4 1の先端(ロッド部41cの先端)に当接し、位置決めされる。この被動アーム 26a,26bの正逆回転が被動回転軸21に伝達され、この被動回転軸21に 連動連結されているバタフライ弁などが開閉駆動される。
【0016】 従って、両ピストン28,29の進出限位置と退入限位置とによって被動アー ム26a,26bの停止角度、即ち、被動回転軸21を介して連動駆動されるバ タフライ弁の開閉停止角度が決まることになり、この停止角度を微調整する必要 が生じたときは、ロックナット40a,41aを緩めて各ストッパーボルト40 ,41を正逆回転操作し、その先端をシリンダ軸心方向に出し入れ調整した後、 前記ロックナット40a,41aを締結すれば良い。
【0017】 尚、上記のトルクアクチュエータの作動時に於いて、シリンダ軸心方向に対し て傾斜している被動アーム26a,26bの被動用長孔32,33に於ける側面 に対し駆動用ピン30,31がシリンダ軸心方向に移動押圧する結果、ピストン アーム28a,28b及び29a,29bの駆動用ピン30,31の位置には、 被動回転軸21のある側への横向き分力が作用する。しかしながらこの横向き分 力は、その発生位置である前記駆動用ピン30,31の位置に於いて、ローラ3 4,35を介してガイド部材22の案内用長孔24,25の側面で受けられるの で、これらピストンアーム28a,28b及び29a,29bにモーメントを生 じさせることはない。勿論、両ピストン28,29は、シリンダ軸心方向と平行 な案内用長孔24,25に前記駆動用ピン30,31がローラ34,35を介し て嵌合しているので、シリンダ軸心方向の直線運動のみ可能であって、傾動する 恐れはない。
【0018】 仮に、上記のようなガイド部材22が併設されていないために、ストッパーボ ルト41が貫通するピストン29が移動時に若干傾動しても、或いは当該ストッ パーボルト41が取付け精度の関係でシリンダ軸心方向に対して若干傾斜してい ても、当該ストッパーボルト41(ロッド部41c)とピストン29との間には 前記のように両者の首振り運動を許容するフローティングタイプの気密用シール 43が介装されているので、このストッパーボルト41が貫通する部分でピスト ン29の内外両側シリンダ室間の気密が破られる恐れもないし、両者間にこぜが 生じてピストン29の円滑な移動が阻害される恐れもない。
【0019】 尚、前記フローティングタイプの気密用シールとしては、図5に示した気密用 シール43に限定されない。例えば前記ストッパーボルトロッド部41cの周面 に圧接する部分として、図6に示すように、貫通孔軸心方向に一対の環状リップ 部44a,44bを一体形成したシール44であっても良い。又、何れのシール 43,44であっても、図6のシール44に於いて示すように、シールの外側に 環状の金属製バックアップリング45を外嵌固定しておき、このバックアップリ ング45をピストン29の貫通孔に圧入固定して、気密用シール43,44を取 付けることも出来る。更に図7に示すように、Oリング形の気密用シール46を 利用することも出来る。この場合、先に説明したように前記ピストン29とスト ッパーボルト41との相対揺動運動を許容するための十分な空隙を当該ストッパ ーボルトロッド部41cの周囲に形成し得るように、ピストン29の貫通孔47 内面に対しOリング形気密用シール46が内側へ十分に突出するものでなければ ならない。
【0020】 図8に示す実施例では、両ピストン28,29をスプリングにより退入方向に 付勢するように構成している。即ち、ピストン28側のシリンダ20の端部に端 面板に代えてスプリングケース48を取付け、このスプリングケース48と前記 ピストン28との間に、例えば内外二重の圧縮コイルスプリング49a,49b を介装して、被動アーム26a,26bを介して互いに逆方向に移動するように 連動している両ピストン28,29を前記スプリング49a,49bにより退入 方向に付勢している。この場合、両シリンダ室39A,39Bは、通路38を介 して常時大気に開放され、両ピストン28,29間のシリンダ室37に圧力空気 を供給することにより、両ピストン28,29をスプリング49a,49bの付 勢力に抗して進出移動させ、当該シリンダ室37を大気に開放させることにより 、両ピストン28,29をスプリング49a,49bの付勢力で退入移動させる ことが出来る。このようにスプリングによって片側のピストンを退入方向に付勢 するタイプのアクチュエータに本考案を実施する場合、図示のように両ストッパ ーボルト40,41は、スプリングが直接当接しない側のピストン29に対向さ せて配設するのが望ましい。勿論、両方のピストン28,29を夫々スプリング で退入方向に付勢するようにしたアクチュエータに本考案を実施することも可能 である。
【0021】
【考案の作用及び効果】
以上のように本考案のダブルピストン形トルクアクチュエータでは、シリンダ の一端に、進出移動する一方のピストンの端面に先端が当接する進出限用ストッ パーと、前記一方のピストンを貫通し且つ退入移動する他方のピストンのピスト ンアーム端面に先端が当接する退入限用ストッパーとを並設したので、進出限用 ストッパーと退入限用ストッパーとがシリンダの一端側に集中配置され、仮にシ リンダの長い大型のアクチュエータであっても、当該シリンダの一端側で進出限 用ストッパーと退入限用ストッパーの両方の位置調整を簡単容易且つ能率的に行 うことが出来る。
【0022】 しかも、一方のピストンを貫通させなければならない退入限用ストッパーは、 当該ピストンの内側端面に当接させなければならない頭部が不要であるから、組 み立てに際しては前記ピストンの外側から単に挿通させるだけで良い。従って、 アクチュエータの組み立て作業も簡単容易に行える。特に、図8で示したように 片側のピストンをスプリングで退入方向に付勢するタイプのアクチュエータであ る場合、従来のストッパー構造では、前記スプリングが内装される側のストッパ ーとして非常に長いボルトが必要になるが、本考案の構成では、スプリングが内 装される側とは反対側にのみストッパーを配設することが出来るので、従来のよ うな不都合がなくなり、コストダウンにも役立つ。
【0023】 尚、前記退入限用ストッパーが貫通する前記一方のピストンの貫通孔には気密 用シールが必要となるが、この気密用シールとして、実施例にも示したように、 前記ピストンの貫通孔の長さ方向の一部分でのみストッパー周面に当接し、他の 貫通孔内部分では、当該ピストンとストッパーとの相対揺動運動を許容するため の空隙をストッパーの周囲に有せしめることの出来るものを使用することにより 、移動中のピストンとこれを貫通する前記退入限用ストッパーとの間にこぜを生 ぜしめる恐れがなくなり、ピストンをして常に円滑に移動させることが出来ると 共に、両者間のこぜにより両者が癒着してしまうような不都合もなくなる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 両ピストンが退入限位置にあるときの縦断側
面図である。
【図2】 同縦断正面図である。
【図3】 A図はガイド部材の正面図であり、B図は同
縦断側面図である。
【図4】 両ピストンが進出限位置にあるときの縦断側
面図である。
【図5】 気密用シールの詳細を示す要部の縦断側面図
である。
【図6】 気密用シールの他の例を示す要部の縦断側面
図である。
【図7】 気密用シールの更に他の例を示す要部の縦断
側面図である。
【図8】 スプリング併用形のトルクアクチュエータに
適用した実施例を説明する縦断側面図である。
【図9】 従来の構成を説明する縦断側面図である。
【符号の説明】
20 シリンダ 21 被動回転軸 22 板状のガイド部材 24 案内用長孔 25 案内用長孔 26a 被動アーム 26b 被動アーム 28a ピストンアーム 28b ピストンアーム 29a ピストンアーム 29b ピストンアーム 30 駆動用ピン 31 駆動用ピン 32 被動用長孔 33 被動用長孔 34 ローラ(ニードルベアリング) 35 ローラ(ニードルベアリング) 40 進出限用ストッパーボルト 40a ロックナット 41 退入限用ストッパーボルト 41a ロックナット 41c ロッド部 42 シリンダ端面板 43 気密用シール 44 気密用シール 45 金属製バックアップリング 46 Oリング形気密用シール

Claims (2)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 【請求項1】被動回転軸の両側に各別に運動可能なピス
    トンを配設し、これら両ピストンから前記被動回転軸を
    挟むように互いに平行なピストンアームを連設すると共
    に、前記被動回転軸から直径方向両側に延出する被動ア
    ームの両端部と、前記各ピストンアームとを、長孔とピ
    ンとを介して互いに連動連結して成るダブルピストン形
    トルクアクチュエータに於いて、シリンダの一端に、進
    出移動する一方のピストンの端面に先端が当接する進出
    限用ストッパーと、前記一方のピストンを貫通し且つ退
    入移動する他方のピストンのピストンアーム端面に先端
    が当接する退入限用ストッパーとを並設し、この退入限
    用ストッパーが貫通する前記一方のピストンの貫通孔に
    は気密用シールを内装して成るダブルピストン形トルク
    アクチュエータ。
  2. 【請求項2】前記気密用シールは、前記ピストンの貫通
    孔の長さ方向の一部分でのみストッパー周面に当接し、
    他の貫通孔内部分では、当該ピストンとストッパーとの
    相対揺動運動を許容するための空隙をストッパーの周囲
    に有せしめて成る請求項1に記載のダブルピストン形ト
    ルクアクチュエータ。
JP1992032585U 1992-05-18 1992-05-18 ダブルピストン形トルクアクチュエータ Expired - Lifetime JPH0726564Y2 (ja)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2006070714A1 (ja) * 2004-12-27 2006-07-06 Tomoe Technical Research Company Ltd. ロータリーアクチュエータ
JP2018179071A (ja) * 2017-04-06 2018-11-15 株式会社清和モールド エアバルブ

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2006070714A1 (ja) * 2004-12-27 2006-07-06 Tomoe Technical Research Company Ltd. ロータリーアクチュエータ
JP2018179071A (ja) * 2017-04-06 2018-11-15 株式会社清和モールド エアバルブ

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