JPH0588377A - 感光性樹脂現像液 - Google Patents
感光性樹脂現像液Info
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- JPH0588377A JPH0588377A JP27668791A JP27668791A JPH0588377A JP H0588377 A JPH0588377 A JP H0588377A JP 27668791 A JP27668791 A JP 27668791A JP 27668791 A JP27668791 A JP 27668791A JP H0588377 A JPH0588377 A JP H0588377A
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- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明の目的は、繰り返し現像に使用しても
現像性能の低下の少ない水溶液性の感光性樹脂用現像液
を提供することである。 【構成】 下記ＡならびにＢ群の各水溶液から選ばれた
夫々１種以上をＡ：Ｂ＝１：0.01〜0.01：１の重量比率
で混合してなる感光性樹脂用現像液。 Ａ群：NaOH, KOH, Na2CO3, K2CO3, (CH3)4NOH, NH3の各
水溶液 Ｂ群：希塩酸もしくはNaCl, KCl, NaHCO3, KHCO3, ホウ
砂，ホウ酸，グリシン，NH4Cl, Na2HPO4等の各水溶液 【効果】 繰り返し現像に使用しても現像時間の変動が
少なく同一使用条件下での多数回の使用が可能である。
現像性能の低下の少ない水溶液性の感光性樹脂用現像液
を提供することである。 【構成】 下記ＡならびにＢ群の各水溶液から選ばれた
夫々１種以上をＡ：Ｂ＝１：0.01〜0.01：１の重量比率
で混合してなる感光性樹脂用現像液。 Ａ群：NaOH, KOH, Na2CO3, K2CO3, (CH3)4NOH, NH3の各
水溶液 Ｂ群：希塩酸もしくはNaCl, KCl, NaHCO3, KHCO3, ホウ
砂，ホウ酸，グリシン，NH4Cl, Na2HPO4等の各水溶液 【効果】 繰り返し現像に使用しても現像時間の変動が
少なく同一使用条件下での多数回の使用が可能である。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、感光性樹脂用現像液に
関する。更に詳しくは、感光性樹脂組成物を使用してレ
リーフ画像を形成する際の現像に使用するアルカリ性現
像液に関する。本発明に係るアルカリ性現像液は、エレ
クトロニクス分野の部品加工や印刷産業における製版材
料などに用いられるフォトレジストの現像液として使用
することができる。
関する。更に詳しくは、感光性樹脂組成物を使用してレ
リーフ画像を形成する際の現像に使用するアルカリ性現
像液に関する。本発明に係るアルカリ性現像液は、エレ
クトロニクス分野の部品加工や印刷産業における製版材
料などに用いられるフォトレジストの現像液として使用
することができる。
【０００２】
【従来の技術とその問題点】レリーフ画像形成の際の現
像液としては、水またはアルカリ水溶液や有機溶剤が使
われてきた。しかし、職場環境の改善という観点から有
機溶剤は好ましくない。また、一方で高性能の光硬化性
樹脂組成物には水に不溶のものが多く、アルカリ性現像
液の占める比重は大きくなっている。従来のアルカリ性
現像液としては、炭酸ナトリウム水溶液、テトラメチル
アンモニウムヒドロキシド水溶液、モノエタノールアミ
ン水溶液等多数知られている。
像液としては、水またはアルカリ水溶液や有機溶剤が使
われてきた。しかし、職場環境の改善という観点から有
機溶剤は好ましくない。また、一方で高性能の光硬化性
樹脂組成物には水に不溶のものが多く、アルカリ性現像
液の占める比重は大きくなっている。従来のアルカリ性
現像液としては、炭酸ナトリウム水溶液、テトラメチル
アンモニウムヒドロキシド水溶液、モノエタノールアミ
ン水溶液等多数知られている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、これら
の現像液は、現像を繰り返すにつれて、溶解する樹脂組
成物のために現像性能が低下する。更に弱アルカリ性現
像液の場合は空気中の炭酸ガスを吸収することによって
経時的に現像性能が低下していく。したがって、従来の
現像液を使用する際は常に新しい現像液を供給する必要
があり、現像に必要な性能を十分に満足しているとはい
えなかった。
の現像液は、現像を繰り返すにつれて、溶解する樹脂組
成物のために現像性能が低下する。更に弱アルカリ性現
像液の場合は空気中の炭酸ガスを吸収することによって
経時的に現像性能が低下していく。したがって、従来の
現像液を使用する際は常に新しい現像液を供給する必要
があり、現像に必要な性能を十分に満足しているとはい
えなかった。
【０００４】このような欠点を解消するために鋭意研究
を行った結果、本発明者等はアルカリ水溶液と酸水溶液
または塩水溶液との混合液が極めて優れた現像性能を持
つことを見出し、本発明に至った。以上の記述から明ら
かなように、本発明は、繰り返し現像に使用しても現像
性能の低下の少ない水溶液性の感光性樹脂用現像液を提
供することをその目的とする。
を行った結果、本発明者等はアルカリ水溶液と酸水溶液
または塩水溶液との混合液が極めて優れた現像性能を持
つことを見出し、本発明に至った。以上の記述から明ら
かなように、本発明は、繰り返し現像に使用しても現像
性能の低下の少ない水溶液性の感光性樹脂用現像液を提
供することをその目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】すなわち、本発明は、下
記（１），（２）の構成を有する。 （１）下記Ａ群の水溶液から選ばれた１種または２種以
上の水溶液とＢ群の水溶液から選ばれた１種または２種
以上の水溶液をＡ：Ｂ＝１：０．０１〜０．０１：１の
重量比率で混合してなる感光性樹脂用現像液。 Ａ群：水酸化ナトリウム水溶液，水酸化カリウム水溶
液，炭酸ナトリウム水溶液，炭酸カリウム水溶液，テト
ラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液，アンモニア
水 Ｂ群：希塩酸，塩化ナトリウム水溶液，塩化カリウム水
溶液，炭酸水素ナトリウム水溶液，炭酸水素カリウム水
溶液，ホウ砂水溶液，ホウ酸水溶液，グリシン水溶液，
塩化アンモニウム水溶液，リン酸水素二ナトリウム水溶
液，リン酸水素二カリウム水溶液，，リン酸二水素ナト
リウム水溶液，リン酸二水素カリウム水溶液，クエン酸
ナトリウム水溶液，クエン酸カリウム水溶液，クエン酸
水素ナトリウム水溶液，クエン酸水素カリウム水溶液，
酒石酸ナトリウム水溶液，酒石酸カリウム水溶液，乳酸
ナトリウム水溶液，乳酸カリウム水溶液，酢酸ナトリウ
ム水溶液，酢酸カリウム水溶液，フタル酸水素ナトリウ
ム水溶液，フタル酸水素カリウム水溶液 （２）Ａ群の水溶液から炭酸ナトリウム水溶液、Ｂ群の
水溶液から炭酸水素ナトリウム水溶液を選んでなる前記
第（１）項に記載の感光性樹脂用現像液。
記（１），（２）の構成を有する。 （１）下記Ａ群の水溶液から選ばれた１種または２種以
上の水溶液とＢ群の水溶液から選ばれた１種または２種
以上の水溶液をＡ：Ｂ＝１：０．０１〜０．０１：１の
重量比率で混合してなる感光性樹脂用現像液。 Ａ群：水酸化ナトリウム水溶液，水酸化カリウム水溶
液，炭酸ナトリウム水溶液，炭酸カリウム水溶液，テト
ラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液，アンモニア
水 Ｂ群：希塩酸，塩化ナトリウム水溶液，塩化カリウム水
溶液，炭酸水素ナトリウム水溶液，炭酸水素カリウム水
溶液，ホウ砂水溶液，ホウ酸水溶液，グリシン水溶液，
塩化アンモニウム水溶液，リン酸水素二ナトリウム水溶
液，リン酸水素二カリウム水溶液，，リン酸二水素ナト
リウム水溶液，リン酸二水素カリウム水溶液，クエン酸
ナトリウム水溶液，クエン酸カリウム水溶液，クエン酸
水素ナトリウム水溶液，クエン酸水素カリウム水溶液，
酒石酸ナトリウム水溶液，酒石酸カリウム水溶液，乳酸
ナトリウム水溶液，乳酸カリウム水溶液，酢酸ナトリウ
ム水溶液，酢酸カリウム水溶液，フタル酸水素ナトリウ
ム水溶液，フタル酸水素カリウム水溶液 （２）Ａ群の水溶液から炭酸ナトリウム水溶液、Ｂ群の
水溶液から炭酸水素ナトリウム水溶液を選んでなる前記
第（１）項に記載の感光性樹脂用現像液。
【０００６】本発明に使用する前記Ａ群およびＢ群の水
溶液における無機塩等の濃度に特に制限はないが、通常
０．００１モル／リットル〜２．０モル／リットル、好
ましくは０．００２モル／リットル〜１．０モル／リッ
トルの範囲であり、感光性樹脂組成物の構成に適したｐ
Ｈ値になるように調製して使用する。
溶液における無機塩等の濃度に特に制限はないが、通常
０．００１モル／リットル〜２．０モル／リットル、好
ましくは０．００２モル／リットル〜１．０モル／リッ
トルの範囲であり、感光性樹脂組成物の構成に適したｐ
Ｈ値になるように調製して使用する。
【０００７】本発明の現像液の使用方法に特に制限はな
く、浸漬、シャワー等の通常の現像方法が使用できる。
本発明の現像液の使用温度に特に制限はないが、通常１
０〜９０℃の範囲で使用される。もちろんこれ以外の温
度で使用することも可能である。本発明の現像液の性能
をさらに向上させるために、ドデシルベンゼンスルホン
酸ナトリウム、ポリオキシエチレンラウリルエーテル等
の界面活性剤を添加するのもよい。また、少量の消泡剤
を添加してもよい。
く、浸漬、シャワー等の通常の現像方法が使用できる。
本発明の現像液の使用温度に特に制限はないが、通常１
０〜９０℃の範囲で使用される。もちろんこれ以外の温
度で使用することも可能である。本発明の現像液の性能
をさらに向上させるために、ドデシルベンゼンスルホン
酸ナトリウム、ポリオキシエチレンラウリルエーテル等
の界面活性剤を添加するのもよい。また、少量の消泡剤
を添加してもよい。
【０００８】本発明のアルカリ性現像液は繰り返し使用
してもｐＨの低下が小さく現像性能が保持され、現像時
間の変動も小さい。このため現像液の交換のサイクルが
長くなり、コストの低下にも役立つ。このように本発明
のアルカリ性現像液は極めて有用なものである。
してもｐＨの低下が小さく現像性能が保持され、現像時
間の変動も小さい。このため現像液の交換のサイクルが
長くなり、コストの低下にも役立つ。このように本発明
のアルカリ性現像液は極めて有用なものである。
【０００９】以下実施例により本発明を詳述するが、本
発明はこれらの実施例に限られるものではない。実施
例、比較例における現像性能の評価は６ｃｍ×６ｃｍの
ガラス基板の片面に厚さ２．０μｍのメタクリル酸メチ
ル−メタクリル酸共重合体（重量比７０：３０，ポリス
チレン換算重量平均分子量７０，０００）の膜を形成さ
せたものをアルカリ性現像液２００ミリリットルを用い
て溶解除去するのに要した時間と、該溶解除去後のアル
カリ性現像液のｐＨを測定することによって行った。現
像方法としては、ガラス基板を現像液に浸漬して振とう
する方法を用いた。アルカリ性現像液の温度は３０℃一
定とした。
発明はこれらの実施例に限られるものではない。実施
例、比較例における現像性能の評価は６ｃｍ×６ｃｍの
ガラス基板の片面に厚さ２．０μｍのメタクリル酸メチ
ル−メタクリル酸共重合体（重量比７０：３０，ポリス
チレン換算重量平均分子量７０，０００）の膜を形成さ
せたものをアルカリ性現像液２００ミリリットルを用い
て溶解除去するのに要した時間と、該溶解除去後のアル
カリ性現像液のｐＨを測定することによって行った。現
像方法としては、ガラス基板を現像液に浸漬して振とう
する方法を用いた。アルカリ性現像液の温度は３０℃一
定とした。
【００１０】実施例１ ０．０２モル／リットルの炭酸ナトリウム水溶液１００
ミリリットルと０．０２モル／リットルの炭酸水素ナト
リウム水溶液１００ミリリットルを混合してアルカリ性
現像液とした。これを用いて現像性能を評価した。結果
を表１に示す。
ミリリットルと０．０２モル／リットルの炭酸水素ナト
リウム水溶液１００ミリリットルを混合してアルカリ性
現像液とした。これを用いて現像性能を評価した。結果
を表１に示す。
【００１１】実施例２ ０．０２モル／リットルの炭酸ナトリウム水溶液１６０
ミリリットルと０．０２モル／リットルの炭酸水素ナト
リウム水溶液４０ミリリットルを混合してアルカリ性現
像液とした。これを用いて現像性能を評価した。結果を
表１に示す。
ミリリットルと０．０２モル／リットルの炭酸水素ナト
リウム水溶液４０ミリリットルを混合してアルカリ性現
像液とした。これを用いて現像性能を評価した。結果を
表１に示す。
【００１２】実施例３ ０．１モル／リットルのグリシン水溶液６０ミリリット
ルと０．１モル／リットルの塩化ナトリウム水溶液６０
ミリリットルと０．１モル／リットルの水酸化ナトリウ
ム水溶液８０ミリリットルを混合してアルカリ性現像液
とした。これを用いて現像性能を評価した。結果を表１
に示す。
ルと０．１モル／リットルの塩化ナトリウム水溶液６０
ミリリットルと０．１モル／リットルの水酸化ナトリウ
ム水溶液８０ミリリットルを混合してアルカリ性現像液
とした。これを用いて現像性能を評価した。結果を表１
に示す。
【００１３】実施例４ ０．０５モル／リットルのホウ砂水溶液４８ミリリット
ルと０．０５モル／リットルの炭酸ナトリウム水溶液１
５２ミリリットルを混合してアルカリ性現像液とした。
これを用いて現像性能を評価した。結果を表１に示す。
ルと０．０５モル／リットルの炭酸ナトリウム水溶液１
５２ミリリットルを混合してアルカリ性現像液とした。
これを用いて現像性能を評価した。結果を表１に示す。
【００１４】
【表１】
【００１５】比較例１ ０．０２モル／リットルの炭酸ナトリウム水溶液２００
ミリリットルをアルカリ性現像液として現像性能を評価
した。結果を表２に示す。
ミリリットルをアルカリ性現像液として現像性能を評価
した。結果を表２に示す。
【００１６】比較例２ ０．００２モル／リットルの炭酸ナトリウム水溶液２０
０ミリリットルをアルイカリ性現像液として現像性能を
評価した。結果を表２に示す。
０ミリリットルをアルイカリ性現像液として現像性能を
評価した。結果を表２に示す。
【００１７】
【表２】
【００１８】
【発明の効果】本発明のアルカリ性現像液を用いると、
繰り返し現像を行ってもｐＨ値の変動が小さく、一定現
像条件で繰返しの現像が出来、現像液の交換、補充の回
数が少なくて済む等の生産上の利点が大きい。
繰り返し現像を行ってもｐＨ値の変動が小さく、一定現
像条件で繰返しの現像が出来、現像液の交換、補充の回
数が少なくて済む等の生産上の利点が大きい。
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成４年１月７日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１７】
【表２】
Claims (2)
- 【請求項１】 下記Ａ群の水溶液から選ばれた１種また
は２種以上の水溶液とＢ群の水溶液から選ばれた１種ま
たは２種以上の水溶液を混合してなる感光性樹脂用現像
液。 Ａ群：水酸化ナトリウム水溶液，水酸化カリウム水溶
液，炭酸ナトリウム水溶液，炭酸カリウム水溶液，テト
ラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液，アンモニア
水 Ｂ群：希塩酸，塩化ナトリウム水溶液，塩化カリウム水
溶液，炭酸水素ナトリウム水溶液，炭酸水素カリウム水
溶液，ホウ砂水溶液，ホウ酸水溶液，グリシン水溶液，
塩化アンモニウム水溶液，リン酸水素二ナトリウム水溶
液，リン酸水素二カリウム水溶液，リン酸二水素ナトリ
ウム水溶液，リン酸二水素カリウム水溶液，クエン酸ナ
トリウム水溶液，クエン酸カリウム水溶液，クエン酸水
素ナトリウム水溶液，クエン酸水素カリウム水溶液，酒
石酸ナトリウム水溶液，酒石酸カリウム水溶液，乳酸ナ
トリウム水溶液，乳酸カリウム水溶液，酢酸ナトリウム
水溶液，酢酸カリウム水溶液，フタル酸水素ナトリウム
水溶液，フタル酸水素カリウム水溶液 - 【請求項２】 Ａ群の水溶液から炭酸ナトリウム水溶
液、Ｂ群の水溶液から炭酸水素ナトリウム水溶液を選ん
でなる請求項第（１）項に記載の感光性樹脂用現像液。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27668791A JP3123563B2 (ja) | 1991-09-27 | 1991-09-27 | 感光性樹脂現像液 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27668791A JP3123563B2 (ja) | 1991-09-27 | 1991-09-27 | 感光性樹脂現像液 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0588377A true JPH0588377A (ja) | 1993-04-09 |
| JP3123563B2 JP3123563B2 (ja) | 2001-01-15 |
Family
ID=17572925
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27668791A Expired - Fee Related JP3123563B2 (ja) | 1991-09-27 | 1991-09-27 | 感光性樹脂現像液 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3123563B2 (ja) |
Cited By (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0874284A1 (en) * | 1993-04-28 | 1998-10-28 | Toray Industries, Inc. | Developer for a positive electron beam resist composition |
| US6107009A (en) * | 1998-04-15 | 2000-08-22 | Tan; Zoilo Cheng Ho | Photoresist developer and method |
| EP1574907A1 (en) * | 2004-03-08 | 2005-09-14 | Think Laboratory Co., Ltd. | Developing agent for positive-type photosensitive composition |
| US7101657B2 (en) | 2003-07-30 | 2006-09-05 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Image-forming method and developer |
| US7115352B2 (en) | 2003-10-30 | 2006-10-03 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Method for forming images |
| US7141358B2 (en) | 2003-07-31 | 2006-11-28 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Image-forming method and developer |
| US7150960B2 (en) | 2005-01-27 | 2006-12-19 | Everlight Usa, Inc. | Developer composition |
| US7157213B2 (en) | 2004-03-01 | 2007-01-02 | Think Laboratory Co., Ltd. | Developer agent for positive type photosensitive compound |
| WO2009119610A1 (ja) * | 2008-03-25 | 2009-10-01 | 富士フイルム株式会社 | 平版印刷版の作製方法 |
| CN101981507A (zh) * | 2008-03-25 | 2011-02-23 | 富士胶片株式会社 | 平版印刷版的制版方法 |
| CN103184523A (zh) * | 2011-12-27 | 2013-07-03 | 浚鑫科技股份有限公司 | 一种单晶硅制绒剂及绒面单晶硅的制备方法 |
| CN110727180A (zh) * | 2018-07-17 | 2020-01-24 | 南昌欧菲显示科技有限公司 | 一种自净化型显影液组合物及其制备方法及使用其的显影方法 |
| CN112305876A (zh) * | 2019-07-31 | 2021-02-02 | 无锡迪思微电子有限公司 | 一种显影液的制备方法 |
-
1991
- 1991-09-27 JP JP27668791A patent/JP3123563B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| JP2009258624A (ja) * | 2008-03-25 | 2009-11-05 | Fujifilm Corp | 平版印刷版の作製方法 |
| CN101981506A (zh) * | 2008-03-25 | 2011-02-23 | 富士胶片株式会社 | 制备平版印刷版的方法 |
| CN101981507A (zh) * | 2008-03-25 | 2011-02-23 | 富士胶片株式会社 | 平版印刷版的制版方法 |
| CN103184523A (zh) * | 2011-12-27 | 2013-07-03 | 浚鑫科技股份有限公司 | 一种单晶硅制绒剂及绒面单晶硅的制备方法 |
| CN110727180A (zh) * | 2018-07-17 | 2020-01-24 | 南昌欧菲显示科技有限公司 | 一种自净化型显影液组合物及其制备方法及使用其的显影方法 |
| CN112305876A (zh) * | 2019-07-31 | 2021-02-02 | 无锡迪思微电子有限公司 | 一种显影液的制备方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3123563B2 (ja) | 2001-01-15 |
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