JPH0582068A - 走査型電子顕微鏡 - Google Patents
走査型電子顕微鏡Info
- Publication number
- JPH0582068A JPH0582068A JP3242271A JP24227191A JPH0582068A JP H0582068 A JPH0582068 A JP H0582068A JP 3242271 A JP3242271 A JP 3242271A JP 24227191 A JP24227191 A JP 24227191A JP H0582068 A JPH0582068 A JP H0582068A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic field
- electron
- electron beam
- sample
- electron microscope
- Prior art date
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【目的】低い加速電圧でも、外部からの磁場の影響を受
けずに歪みのない試料面の画像を得る。 【構成】集束される電子ビームの周囲に存在する磁場を
検出する磁場センサ８と、この磁場センサ８からの検出
電流を入力し、二次電子検出器５からの信号とスキャン
コントローラ７からの信号とを同期させて観察用ＣＲＴ
６に出力する電流を補正する磁場補正器９とを設け、観
察用ＣＲＴ６の画像を歪まないようにしてある。
けずに歪みのない試料面の画像を得る。 【構成】集束される電子ビームの周囲に存在する磁場を
検出する磁場センサ８と、この磁場センサ８からの検出
電流を入力し、二次電子検出器５からの信号とスキャン
コントローラ７からの信号とを同期させて観察用ＣＲＴ
６に出力する電流を補正する磁場補正器９とを設け、観
察用ＣＲＴ６の画像を歪まないようにしてある。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は走査型電子顕微鏡に関
し、特に集束された電子ビームが磁場（例えば交流電流
を使用している近傍の設備等から発生する磁場）から受
ける影響を電気的処理による補正を施して低減できる機
能を備える走査型電子顕微鏡に関する。
し、特に集束された電子ビームが磁場（例えば交流電流
を使用している近傍の設備等から発生する磁場）から受
ける影響を電気的処理による補正を施して低減できる機
能を備える走査型電子顕微鏡に関する。
【０００２】
【従来の技術】図２は従来の一例を示す走査型電子顕微
鏡のブロック図である。従来の走査型電子顕微鏡は、図
２に示すように、電子ビームを発生させる電子銃２と、
試料１上に電子ビームを集束させるための電子レンズ３
と、集束された電子ビームを電気的に試料１上の任意の
位置を走査させる為の電子ビーム用ＸＹスキャナ４及び
スキャンコントローラ７と、電子ビームを照射させるこ
とにより試料１から発生する二次電子を検出する二次電
子検出器５と、二次電子検出器５からの信号とスキャン
コントローラ７からの信号を同期させて二次電子像を表
示する観察用ＣＲＴ６とを有している。
鏡のブロック図である。従来の走査型電子顕微鏡は、図
２に示すように、電子ビームを発生させる電子銃２と、
試料１上に電子ビームを集束させるための電子レンズ３
と、集束された電子ビームを電気的に試料１上の任意の
位置を走査させる為の電子ビーム用ＸＹスキャナ４及び
スキャンコントローラ７と、電子ビームを照射させるこ
とにより試料１から発生する二次電子を検出する二次電
子検出器５と、二次電子検出器５からの信号とスキャン
コントローラ７からの信号を同期させて二次電子像を表
示する観察用ＣＲＴ６とを有している。
【０００３】このような走査型電子顕微鏡で試料面を観
察しようとするとき、試料に損傷を与えないように、出
来るだけ電子銃の加速電圧を低く設定して、観察を試み
ていた。
察しようとするとき、試料に損傷を与えないように、出
来るだけ電子銃の加速電圧を低く設定して、観察を試み
ていた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、この従
来の走査型電子顕微鏡装置では、電子ビームの加速電圧
を低加速にし高倍率で試料を観察するときに、電子ビー
ムが低速であるため、外部環境からの変動する磁場の影
響を受けて曲げられ、電子ビームが不規則に変更され
て、観察用ＣＲＴ上に歪んだ像が表示されるという問題
点があった。
来の走査型電子顕微鏡装置では、電子ビームの加速電圧
を低加速にし高倍率で試料を観察するときに、電子ビー
ムが低速であるため、外部環境からの変動する磁場の影
響を受けて曲げられ、電子ビームが不規則に変更され
て、観察用ＣＲＴ上に歪んだ像が表示されるという問題
点があった。
【０００５】本発明の目的は、かかる問題を解消すべく
外部の磁場により影響されることなく正確な画像で観察
出来る走査型電子顕微鏡を提供することである。
外部の磁場により影響されることなく正確な画像で観察
出来る走査型電子顕微鏡を提供することである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明の走査型電子顕微
鏡は、電子ビームを発生させる電子銃と、試料上に電子
ビームを集束させるための電子レンズと、集束された電
子ビームを試料上の任意の位置に走査させる電子ビーム
用ＸＹスキャナ及びスキャンコントローラと、集束され
た電子ビームを照射させることにより試料から発生する
二次電子を検出する二次電子検出器と、磁場の変動を検
出する磁場センサと、二次電子検出器からの信号とスキ
ャンコントローラからの信号を同期させるとともにこれ
ら信号電流を前記磁場センサから検出電流で補正する磁
場補正器と、この磁場補正器により補正される出力信号
を入力し、二次電子像として表示する観察用ＣＲＴとを
備えている。
鏡は、電子ビームを発生させる電子銃と、試料上に電子
ビームを集束させるための電子レンズと、集束された電
子ビームを試料上の任意の位置に走査させる電子ビーム
用ＸＹスキャナ及びスキャンコントローラと、集束され
た電子ビームを照射させることにより試料から発生する
二次電子を検出する二次電子検出器と、磁場の変動を検
出する磁場センサと、二次電子検出器からの信号とスキ
ャンコントローラからの信号を同期させるとともにこれ
ら信号電流を前記磁場センサから検出電流で補正する磁
場補正器と、この磁場補正器により補正される出力信号
を入力し、二次電子像として表示する観察用ＣＲＴとを
備えている。
【０００７】
【実施例】次に、本発明について図面を参照して説明す
る。
る。
【０００８】図１は本発明の一実施例を示す走査型電子
顕微鏡のブロック図である。この走査型電子顕微鏡は、
図１に示すように、集束された電子ビームの近傍に磁場
の変動を検出する磁場センサ８と、二次電子検出器５か
らの信号と電子ビーム用スキャンコントローラ７からの
信号を同期させるとともに磁場センサ８からの信号を用
いて磁場による影響を補正する磁場補正器９とを設けた
ことである。それ以外は従来例と同じである。
顕微鏡のブロック図である。この走査型電子顕微鏡は、
図１に示すように、集束された電子ビームの近傍に磁場
の変動を検出する磁場センサ８と、二次電子検出器５か
らの信号と電子ビーム用スキャンコントローラ７からの
信号を同期させるとともに磁場センサ８からの信号を用
いて磁場による影響を補正する磁場補正器９とを設けた
ことである。それ以外は従来例と同じである。
【０００９】次に、この走査型電子顕微鏡の動作を説明
する。まず、試料１上の調べたい領域に低加速された電
子ビームを集束走査させる。このとき、例えば、交流電
流を使用している近傍の設備等から発生している磁場が
低加速で集束走査された電子ビームに影響して電子ビー
ムを変更させ観察用ＣＲＴ６上に歪んだ像を表示するこ
とが起きたとすると、磁場センサ８により磁場の微妙な
変動を検出し、磁場センサ８の磁界の強さによる検出電
流を磁場補正器９に入力させる。次に、磁場補正器９
は、この検出電流により磁界の方向及び大きさを分析
し、補正電流を出力する。次に、この補正電流とスキャ
ンコントローラ７からの変更電流とを同期させて補正
し、補正された電流を観察用ＣＲＴの偏向コイル入力さ
せる。このことにより、観察用ＣＲＴ６には歪みのない
画像を写し出すことになる。
する。まず、試料１上の調べたい領域に低加速された電
子ビームを集束走査させる。このとき、例えば、交流電
流を使用している近傍の設備等から発生している磁場が
低加速で集束走査された電子ビームに影響して電子ビー
ムを変更させ観察用ＣＲＴ６上に歪んだ像を表示するこ
とが起きたとすると、磁場センサ８により磁場の微妙な
変動を検出し、磁場センサ８の磁界の強さによる検出電
流を磁場補正器９に入力させる。次に、磁場補正器９
は、この検出電流により磁界の方向及び大きさを分析
し、補正電流を出力する。次に、この補正電流とスキャ
ンコントローラ７からの変更電流とを同期させて補正
し、補正された電流を観察用ＣＲＴの偏向コイル入力さ
せる。このことにより、観察用ＣＲＴ６には歪みのない
画像を写し出すことになる。
【００１０】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、集束され
た電子ビームの近傍に磁場の変動を検出する磁場センサ
と、二次電子検出器からの信号及び電子ビーム用スキャ
ンコントローラからの信号を磁場センサの検出電流とを
同期させ補正する磁場補正器を備えることにより、外部
環境からの変動する磁場の影響を受けても観察用ＣＲＴ
上に正確な画像が表示される走査型電子顕微鏡が得られ
るという効果がある。
た電子ビームの近傍に磁場の変動を検出する磁場センサ
と、二次電子検出器からの信号及び電子ビーム用スキャ
ンコントローラからの信号を磁場センサの検出電流とを
同期させ補正する磁場補正器を備えることにより、外部
環境からの変動する磁場の影響を受けても観察用ＣＲＴ
上に正確な画像が表示される走査型電子顕微鏡が得られ
るという効果がある。
【図１】本発明の一実施例を示す走査型電子顕微鏡のブ
ロック図である。
ロック図である。
【図２】従来の一例を示す走査型電子顕微鏡のブロック
図である。
図である。
１ 試料 ２ 電子銃 ３ 電子レンズ ４ 電子ビーム用ＸＹスキャナ ５ 二次電子検出器 ６ 観察用ＣＲＴ ７ スキャンコントローラ ８ 磁場センサ ９ 磁場補正器
Claims (1)
- 【請求項１】 電子ビームを発生させる電子銃と、試料
上に電子ビームを集束させるための電子レンズと、集束
された電子ビームを試料上の任意の位置に走査させる電
子ビーム用ＸＹスキャナ及びスキャンコントローラと、
集束された電子ビームを照射させることにより試料から
発生する二次電子を検出する二次電子検出器と、磁場の
変動を検出する磁場センサと、二次電子検出器からの信
号とスキャンコントローラからの信号を同期させるとと
もにこれら信号電流を前記磁場センサから検出電流で補
正する磁場補正器と、この磁場補正器により補正される
出力信号を入力し、二次電子像として表示する観察用Ｃ
ＲＴとを備えることを特徴とする走査型電子顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3242271A JPH0582068A (ja) | 1991-09-24 | 1991-09-24 | 走査型電子顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3242271A JPH0582068A (ja) | 1991-09-24 | 1991-09-24 | 走査型電子顕微鏡 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0582068A true JPH0582068A (ja) | 1993-04-02 |
Family
ID=17086783
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3242271A Pending JPH0582068A (ja) | 1991-09-24 | 1991-09-24 | 走査型電子顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0582068A (ja) |
-
1991
- 1991-09-24 JP JP3242271A patent/JPH0582068A/ja active Pending
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