JPH0581713A - 光磁気記録媒体 - Google Patents

光磁気記録媒体

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JPH0581713A
JPH0581713A JP3241752A JP24175291A JPH0581713A JP H0581713 A JPH0581713 A JP H0581713A JP 3241752 A JP3241752 A JP 3241752A JP 24175291 A JP24175291 A JP 24175291A JP H0581713 A JPH0581713 A JP H0581713A
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magnetic
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 光変調オーバーライト可能な光磁気媒体の再
生信号品質及びビット保存安定性の改善。 【構成】 第1磁性層と第1磁性層より室温において低
いキュリー温度と高い保磁力を有する第2磁性層とから
なる光磁気記録媒体において、第2磁性層がキュリー温
度の低い磁性層をキュリー温度が高い磁性層ではさみ込
んでいる構成となっている。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は光磁気メモリ、磁気記
録、表示素子などに用いられ、磁気カー効果あるいはフ
ァラデー効果などの磁気光学効果を用いて読み出すこと
のできる光磁気記録媒体に関するものであり、特に光変
調によるオーバーライトが可能な光磁気記録媒体に関す
るものである。
【0002】
【従来の技術】消去可能な光メモリ媒体として光磁気記
録媒体が知られている。光磁気記録媒体は従来の磁気ヘ
ッドを使った磁気記録媒体と比べて、高密度記録や非接
触での記録再生が可能であるなどの長所がある反面、記
録前に一旦記録しようとする領域を消去しなければなら
ない(一方向に着磁しなければならない)ため、処理速
度が遅いという欠点があった。この欠点を補うために、
記録再生用のヘッドと消去用のヘッドとを別々に設ける
方式、あるいは、レーザーの連続ビームを照射すると同
時に磁界を変調しながら印加して記録する方式などが提
案されている。
【0003】しかし、これらの方式は装置が大がかりと
なりコスト高になる欠点、あるいは高速の変調ができな
いなどの欠点を有する。
【0004】そのために、交換結合積層膜を用い、レー
ザービームのパワーを変化させて、重ね書き(オーバー
ライト)を行なう方式が提案され、そのためのいくつか
の方法、およびそれに適した媒体が提案されている。
【0005】
【発明が解決しようとする問題点】このレーザーパワー
を変調して行なう方法はキュリー温度が異なる少なくと
も二層の交換結合積層膜を用い、キュリー温度が相対的
に高い方の層に書き込んだ情報をキュリー温度が相対的
に低い方の層に転写し、この層に転写した情報を保持し
たままキュリー温度が相対的に高い方の層に書き込んだ
情報は転写後に消去するというプロセスから成ってい
る。したがって、情報の保持はキュリー温度が相対的に
低い方の層の保磁力エネルギーに委ねられており、また
情報の読み出しも、この層に保持されているビット情報
を読み出さねばならない。
【0006】ところが、一般にビットの保存安定性はキ
ュリー温度が低いほど低く、また再生信号品質を決定す
る因子の一つであるカー回転角もキュリー温度の低下と
ともに減少する。このため、キュリー温度が相対的に低
い方の層の絶対的なキュリー温度を高めに設定する必要
があるが、一方において、記録感度を良くするために
は、キュリー温度が相対的に高い方の層の絶対的なキュ
リー温度を低めに設定する必要がある。
【0007】したがって、従来の媒体構成では、高記録
感度と高ビット保存安定性あるいは高再生信号品質とを
両立させることは極めて困難であった。
【0008】
【問題点を解決するための手段】本発明は上記の従来の
問題点を解決するために成されたものであり、従来の媒
体におけるキュリー温度の相対的な関係に関する制約を
回避し、良好な記録感度を維持しつつ、キュリー温度が
絶対的に高い層で情報を保持し、あるいはまた、キュリ
ー温度が絶対的に高い層から情報を読み出すことが可能
な光磁気記録媒体を提供することを目的とする。
【0009】上記の目的は以下に述べる光磁気記録媒体
によって達成される。
【0010】即ち、基板上にn層(nは7以上の奇数)
の磁性薄膜が交換結合をして積層されている光磁気記録
媒体であり、該n層の磁性薄膜を順に第1磁性層、第2
磁性層、・・・、第n磁性層とし、第i磁性層のキュリ
ー温度をTci としたとき、適当な一定の外部磁界(H
b)印加の下で、以下の条件を満たしていることを特徴
とする光磁気記録媒体である。(但し、Tcn+1 は周囲
温度、mは(n−1)/2以下の任意の自然数とす
る。) 1.Tc1 ≧Tc3 2.m≧2のとき、Tc2m≧Tc2(m+1) 3.Tc6 ≧Tc2 ≧Tcn+1 4.Tc2m+1≧Tc6 5.室温において、第1磁性層が適当な所定の配向状態
に着磁されており、各磁性層の原子スピンが膜厚方向全
体に渡って整合している第一の磁化状態か、若しくは、
第1磁性層が前記所定の配向状態に着磁されており、第
3磁性層と第5磁性層の間に原子スピンの不整合があっ
て界面磁壁が形成されている他は各磁性層の原子スピン
が整合している第二の磁化状態かの、何れかの磁化状態
をとっていること。
【0011】6.前記第一および第二の磁化状態から第
6磁性層の温度がTc6 近傍の温度以上となり、第3磁
性層の温度がTc3 に達しない適当な第一の温度状態に
なるまで加熱したときに交換相互作用による結合状態が
安定な状態になるように第4磁性層及び第5磁性層の磁
化が第3磁性層に対して原子スピンを整合させて配向
し、第3磁性層の磁化は加熱前の配向状態を保持するこ
と。
【0012】7.前記第一および第二の磁化状態から第
3磁性層の温度がTc3 近傍の温度となる適当な第二の
温度状態まで加熱したときに第3磁性層の磁化が加熱前
の配向状態と異なる配向状態に状態遷移すること。
【0013】8.前記第一および第二の磁化状態から上
記第一および第二の温度状態になるまで加熱した後の各
々の冷却過程において、第(2m)磁性層の温度がTc
2m近傍の温度に降下したときに交換相互作用による結合
状態が安定な状態となるように第(2m)磁性層および
第(2m+1)磁性層の磁化が第(2m−1)磁性層に
対して原子スピンを整合させて配向し、第(2m−1)
磁性層の磁化はその直前の配向状態を保持すること。
【0014】9.前記第一および第二の磁化状態から上
記第二の温度状態になるまで加熱した後の冷却過程にお
いて、第2磁性層の温度がTc2 近傍の温度に降下し
て、交換相互作用による結合状態が安定な状態となるよ
うに第2磁性層および第3磁性層の磁化が第1磁性層に
対して原子スピンを整合させて配向したとき、第5磁性
層の磁化はその直前の配向状態を保持すること。
【0015】10.前記第一および第二の磁化状態から
上記第一および第二の温度状態になるまで加熱後冷却す
る各々の過程において、第1磁性層の磁化は常に前記所
定の配向状態を保持すること。
【0016】
【作用】以上のような層構成を有する複合膜において、
最初に情報が書き込まれる層は第3磁性層であり、この
情報を転写して保持するのは第(2m+1)磁性層(但
し m≧2)である。読み出しは、第n磁性層側から行
ない、一群の第(2m+1)磁性層に保持されている情
報を読み出す。第1磁性層は、第3磁性層に書き込まれ
た情報を転写後に消去し、初期化するための層である。
第(2m)磁性層は媒体温度に応じて各層間の磁気的な
結合の有無を制御するための層であり、特に第4磁性層
は層間の結合力の大きさを調整するための層である。
【0017】次に、このような複合膜の磁化状態が異な
る二種類の温度状態への昇降温により、初期の磁化状態
によらずにそれぞれの温度状態に対応した2種類の磁化
状態に決定される事を図1に基づいて説明する。
【0018】まず最初に第1磁性層が所定の方向に着磁
されており、各層のスピンが全て整合していて、界面に
磁壁の存在しない初期状態(以下この状態を状態Aとす
る)にあった場合を考える。
【0019】この初期状態(状態A;図1a)から後述
する適当なバイアス磁界を印加しながら、磁性層表面に
第一種のレーザー光線を照射して、その照射部分を第6
磁性層の温度がTc6 以上となり、第3磁性層の温度が
Tc3 に達しない適当な第一の温度状態になるまで加熱
する。磁性層の膜厚方向に温度勾配がないと仮定する
と、この時点で、この部分の第4磁性層以外の第(2
m)磁性層は全てキュリー温度以上になっており、各層
の磁気的な結合は切断されている。そして、第3磁性層
は初期の磁化状態を維持した状態であり、第4磁性層及
び第5磁性層の磁化も、第3磁性層に対して原子スピン
が整合していて、交換相互作用による結合状態が安定な
初期の磁化状態を採る(図1b)。レーザー照射停止
後、媒体温度が降下すると、第6磁性層から順次キュリ
ー温度以下となり、各層が順次安定な結合となるような
磁化状態を採って結合して行く。すなわち、各層全て初
期の磁化状態となり、複合膜の磁化状態は状態Aのまま
である(図1a)。
【0020】次に、前述の初期状態(状態A)から前記
と同一のバイアス磁界を印加しながら、磁性層表面に第
二種のレーザー光線を照射して、その照射部分を第3磁
性層の温度がTc3 近傍の温度となる適当な第二の温度
状態まで加熱する。この時、この温度において第3磁性
層の磁化が反転するように、適当な方向、大きさに印加
するバイアス磁界を設定しておくことにより、この部分
の第3磁性層の磁化が反転する(図1c)。この時も第
4磁性層以外の第(2m)磁性層は全てキュリー温度以
上になっており、各層の磁気的な結合は切断されてい
る。第4磁性層のキュリー温度Tc4 については、Tc
3との関係を規定していないので、第3磁性層と第5磁
性層との磁気的な結合はこの時点で切断されている場合
もあり、結合している場合もある。第5磁性層が第3磁
性層と同時に磁化反転しなかったと仮定すると、第3磁
性層と第5磁性層とはスピンの配向が整合していないこ
とになる。このため、第4磁性層がキュリー温度以下の
場合には、この層を含んだ第3磁性層と第5磁性層との
間にスピンの遷移領域が形成され、ここに交換相互作用
に起因したエネルギー(界面磁壁エネルギー)が蓄積さ
れる。レーザー照射停止後にこの温度から媒体温度が降
下すると、いずれにしても第4磁性層がキュリー温度以
下になり、このエネルギーが温度降下とともに増大する
ため、一方の層を磁化反転させて、両層のスピンの配向
を整合させようとする。この時、この温度における第5
磁性層の保磁力エネルギーが、第3磁性層の保磁力エネ
ルギーよりも小さくなるように膜厚等を調整して設計し
ておくならば、第5磁性層が優先的に磁化反転して第3
磁性層のスピンに整合させられる(図1d)。こうして
初期状態に対して反転した磁化状態である第3磁性層の
磁化状態が第5磁性層に転写される。(ただし、第5磁
性層が第3磁性層と同時に磁化反転する場合にはこの温
度における保磁力エネルギーについての前述の制約はな
い。また、第4磁性層若しくは第5磁性層が先に反転
し、これが後に第3磁性層に転写されるというプロセス
をとってもよい。)媒体温度が更に降下して第6磁性層
のキュリー温度以下になると、第7磁性層がこの層を介
して磁気的に結合され、同様のプロセスによって、第5
磁性層の磁化状態が第7磁性層に転写される(図1
e)。このようにして順次初期状態に対して反転した磁
化状態が転写されて行き、最終的に媒体温度がTcn-1
以下になった時、第n磁性層に転写されて、転写が終了
する。
【0021】一方、この冷却過程で第2磁性層がキュリ
ー温度以下になると、第1磁性層の磁化状態(初期状態
から不変)が第3磁性層に転写されて、第3磁性層の磁
化は再反転して初期状態に戻る。このため、第3磁性層
と第5磁性層とはスピンの配向が不整合となり、第4磁
性層を含んだ二層間にスピンの遷移領域が形成され、こ
こに界面磁壁エネルギーが蓄積される。しかし、この時
は第5磁性層は第6磁性層以上の層と既に結合している
ため、これらの層の保磁力エネルギーに支えられて、直
前の磁化状態を保持する事が出来る。この結果、磁性複
合膜の磁化状態は第1磁性層から第3磁性層までは、所
定の向きに着磁された第1磁性層に対してスピンの向き
が整合しており、第5磁性層から第n磁性層にかけて
は、スピンの向きが第1磁性層とは逆向きの状態で整合
しており、第3磁性層と第5磁性層の間にスピンの不整
合があって、スピンの遷移領域である磁壁が存在する磁
化状態(以下この状態を状態Bとする;図1f)にな
る。
【0022】次に、初期状態が状態Bであったときの磁
化状態の変化を考える。
【0023】この状態(状態B;図1f)から前記と同
一のバイアス磁界を印加しながら、磁性層表面に前記の
第一種のレーザー光線を照射して、その照射部分を第6
磁性層の温度がTc6 以上となり第3磁性層の温度がT
3 に達しない適当な第一の温度状態になるまで加熱す
る。この場合、第3磁性層と第5磁性層とはスピンの配
向が整合しておらず、第4磁性層を含んだ二層間にはス
ピンの遷移領域が形成されて、界面磁壁エネルギーが蓄
積されている。第5磁性層は、第6磁性層以上の層との
結合により、これらの層の保磁力エネルギーに支えられ
て、この磁化状態を保持していたが、加熱により結合が
切断されたため、単独の保磁力エネルギーだけでは磁化
状態を維持できなくなり、第3磁性層に対してスピンの
向きが整合するように磁化反転する(図1g)。レーザ
ー照射停止後に媒体温度が降下すると、第6磁性層から
順次キュリー温度以下になり、交換相互作用による結合
が安定な状態となるようにスピンの向きを整合させなが
ら、各層が順次結合して行く。すなわち、各層全て、所
定の向きに着磁された第1磁性層に対してスピンの向き
が整合するような磁化状態となり、結局、複合膜の磁化
状態は状態Aになる(図1a)。
【0024】最後に状態B(図1f)から前記と同一の
バイアス磁界を印加しながら磁性層表面に前記の第二種
のレーザー光線を照射し、その照射部分を第3磁性層の
温度がTc3 近傍の温度となる適当な第二の温度状態に
まで加熱した場合を考る。この場合この部分の第3磁性
層の磁化が反転し(図1h)、以後の冷却過程では初期
状態が状態Aであった場合と同様のプロセスを経て(図
1i,e)、最終的に複合膜の磁化状態は状態Bになる
(図1f)。
【0025】以上より媒体の初期の磁化状態によらずに
前記の第一種のレーザー光線により照射領域に状態Aの
磁化状態を、また前記の第二種のレーザー光線により状
態Bの磁化状態を形成できるので、この2種類のレーザ
ー光線を情報に応じて切り替え変調しながら照射部を移
動させることによって、オーバーライトをしながら情報
を記録することが可能である。ここで、2種類のレーザ
ー光線とは媒体の照射部分にそれぞれ、前記第一の温度
状態および第二の温度状態を誘起するものであればどの
ようなものでも良いが、例えば、パワーの異なる2種類
のレーザー光線やパルス幅の異なる2種類のレーザー光
線などの組み合わせが考えられる。
【0026】更にまた、上記の従来の問題点を解決する
目的は以下に述べる光磁気記録媒体によっても達成し得
る。
【0027】即ち基板上に(n−2)層(nは7以上の
奇数)の磁性薄膜が交換結合をして積層されている光磁
気記録媒体であって、かつ該(n−2)層の磁性薄膜を
順に第3磁性層、第4磁性層、・・・、第n磁性層と
し、第i磁性層のキュリー温度をTci としたとき、以
下の条件を満たしていることを特徴とする光磁気記録媒
体。(ただし、Tcn+1 は周囲温度、mは2以上(n−
1)/2以下の任意の自然数とする。) 1.Tc2m≧Tc2(m+1) 2.Tc2m+1≧Tc6 ,Tc3 ≧Tc6 3.適当な第一の外部磁界(Hini)を印加した時、
第3磁性層の磁化が該外部磁界に対して安定な状態とな
るように配向し、かつ第5磁性層の磁化は該外部磁界印
加前の配向状態を保持すること。
【0028】以下の各条件は前記第一の外部磁界(Hi
ni)を印加した後、適当な一定の第二の外部磁界(H
b)印加の下で成り立つこと。
【0029】4.室温においては第3磁性層および第5
磁性層は前記の第一の外部磁界(Hini)を印加した
直後の磁化状態を保持しており、各磁性層の原子スピン
が膜厚方向全体に渡って整合している第一の磁化状態
か、若しくは第3磁性層と第5磁性層の間に原子スピン
の不整合があって界面磁壁が形成されている他は各磁性
層の原子スピンが整合している第二の磁化状態か、何れ
かの磁化状態をとっていること。
【0030】5.前記の第一および第二の磁化状態から
第6磁性層の温度がTc6 近傍の温度以上となり、第3
磁性層の温度がTc3 に達しない適当な第一の温度状態
になるまで加熱したときに交換相互作用による結合状態
が安定な状態になるように第4磁性層および第5磁性層
の磁化が第3磁性層に対して原子スピンを整合させて配
向し、第3磁性層の磁化は加熱前の配向状態を保持する
こと。
【0031】6.前記の第一および第二の磁化状態から
第3磁性層の温度がTc3 近傍の温度となる適当な第二
の温度状態まで加熱したときに第3磁性層の磁化が加熱
前の配向状態と異なる配向状態に状態遷移すること。
【0032】7.前記の第一および第二の磁化状態から
上記の第一および第二の温度状態になるまで加熱した後
の各々の冷却過程において第(2m)磁性層の温度がT
2m近傍の温度に降下したときに交換相互作用による結
合状態が安定な状態となるように第(2m)磁性層およ
び第(2m+1)磁性層の磁化が第(2m−1)磁性層
に対して原子スピンを整合させて配向し、第(2m−
1)磁性層の磁化はその直前の配向状態を保持するこ
と。
【0033】
【作用】以上のような層構成を有する複合膜においては
第3磁性層を初期化するための磁性層が省略されている
ので、外部からの補助的な手段によって磁界Hiniを
印加し、この外部磁界によって第3磁性層を初期化する
必要がある。その他の作用については前述の光磁気記録
媒体と同様である。
【0034】いずれの光磁気記録媒体を用いた場合でも
情報の記録が行われた記録媒体からの記録情報の読み出
しは第n磁性層側へ直線偏光した低出力のレーザービー
ムを照射して行なう。記録感度を向上させるためには、
第3磁性層のキュリー温度を低く設定する必要がある
が、読み出し側の磁性層はこれとは独立に高いキュリー
温度に設定できるので、入射レーザービームを一群の高
キュリー温度の磁性層によって反射させ、それによって
高い磁気光学効果を得ることができる。また記録情報は
これら高キュリー温度の磁性層で保持されるので、読み
出し用のレーザーにより媒体の温度が上昇するようなこ
とがあっても、記録情報を安定に保存することができ
る。
【0035】
【実施例】以下に本発明の実施例を図面を用いて詳細に
説明する。
【0036】図2は本発明の第一の実施態様における光
磁気記録媒体の概略構成を示す模式的断面図であり、図
中の1はガラス、あるいはプラスチックから成る透明基
板を示す。この基板上には干渉効果と腐食防止効果を得
るために例えばSi34 ,AlN,SiO2 ,Si
O,ZnS,MgF2 などの誘電体から成る下引き層2
が設けられている。この下引き層2の上に前記の各条件
を満たす7層の磁性複合膜3が第7磁性層37から順に
第1磁性層31まで順次形成されている。更にこの上に
磁性膜の腐食を防止するために、例えばSi34 など
の誘電体から成る保護層4が形成されている。これらの
層は例えばマグネトロンスパッタ装置による連続スパッ
タリング、あるいは連続蒸着等によって被着形成され
る。特に磁性層は真空を破ることなく連続成膜されるこ
とによって、互いに交換結合をしている。
【0037】上記の媒体において、各磁性層を種々の磁
性材料によって構成することが考えられるが、例えば、
Pr,Nd,Sm,Gd,Tb,Dy,Hoなどの希土
類金属元素の一種類あるいは二種類以上が10〜40原
子%とFe,Co,Niなどの鉄族元素の一種類あるい
は二種類以上が90〜60原子%とで構成される希土類
−鉄族非晶質合金によって構成し得る。また、耐食性向
上などのために、これにCr,Mn,Cu,Ti,A
l,Si,Pt,Inなどの元素を少量添加してもよ
い。
【0038】希土類−鉄族非晶質合金においては、希土
類元素がGd,Tb,Dy,Hoなどの重希土類元素で
ある場合には希土類元素の磁気モーメントと鉄族元素の
磁気モーメントとは反平行に結合し、いわゆるフェリ磁
性を示す。この場合、正味の磁化はそれぞれの副格子磁
化の差として現われるので、両者の組成比を調整するこ
とにより飽和磁化を自由に制御することができる。希土
類元素がPr,Nd,Smなどの軽希土類元素である場
合には希土類元素の磁気モーメントと鉄族元素の磁気モ
ーメントとは平行に結合し、いわゆるフェロ磁性を示
す。この場合には飽和磁化の制御は困難であるが、重希
土類元素を添加することによってある程度の調整が可能
である。
【0039】キュリー温度も希土類元素と鉄族元素との
組成比により制御することが可能であるが、飽和磁化と
独立に制御するためには、鉄族元素にはFeを主成分と
し、その一部をCoで置換したものを用い、置換量を制
御する方法がより好ましく利用できる。すなわちFeの
1原子%をCoで置換することにより6℃程度キュリー
温度を上昇させることができるので、この関係を用いて
所望のキュリー温度となるようにCoの添加量を調整す
る。また、Cr,Tiなどの非磁性元素を微量添加する
ことによりにキュリー温度を低下させることも可能であ
る。あるいはまた、希土類元素として二種類以上の元素
を用い、それらの組成比を調整することによってもキュ
リー温度を制御できる。これらの方法により、キュリー
温度を自由に制御することができるので、本発明を実施
するために要求されるキュリー温度に関する条件の実現
は容易である。但し、動作環境温度や記録感度および記
録パワーマージンなどを考慮すると、第3磁性層のキュ
リー温度は150〜250℃の範囲、第6磁性層のキュ
リー温度は120〜180℃の範囲、また、第1磁性層
のキュリー温度は250℃以上、第n磁性層のキュリー
温度は180℃以上が適当である。
【0040】磁性材料の種々の物性値の温度依存性はそ
のメカニズムが複雑であり、その制御もかなり困難であ
る。そのために本発明の実施にあたっては媒体の温度変
化に伴う磁化配向状態の遷移過程を規定した条件につい
ては温度依存性がなく、しかも制御が容易な“膜厚”を
主要なパラメーターとして実験を行ない、条件を満たす
ような膜厚を決定して行くことにする。ただし記録感度
の点からみて、磁性層のトータルの膜厚は約250nm
以下であるのが望ましい。また、第1磁性層及び第3磁
性層としては10〜50nm、それら以外の第(2m+
1)磁性層としては1〜20nm、第4磁性層としては
5〜25nm、それ以外の第(2m)磁性層としては
0.5〜10nmが妥当であり、第5磁性層以上の第
(2m+1)磁性層のトータルの膜厚は20nm以上で
あるのが望ましい。 実施例1 5元のターゲット源を備えたスパッタ装置内に、トラッ
ク溝とフォーマット信号があらかじめ形成された直径8
6mmのディスク状ポリカーボネート基板をセットし、
真空に排気した。
【0041】まず最初に0.3PaのArガス雰囲気中
でSi34 のターゲットを用いてスパッタを行ない、
約60nmの厚さの窒化珪素の下引き層を基板上に堆積
させた。
【0042】次に、Tb,Fe,Coの3個のターゲッ
トを用いてスパッタを行い,約20nmの厚さのTb20
(Fe85Co1580の第7磁性層を、下引き層の上に堆
積させた。組成の制御はそれぞれのターゲットに印加す
る電力を調整して行ない、膜厚の制御はスパッタリング
時間を調整して行った。続いて、印加する電力の配分を
変化させて、Tb20(Fe96.7Co3.380の第6磁性
層を約5nmの厚さに堆積させた。引き続き、再び印加
する電力の配分を変化させて、Tb20(Fe85Co15
80の第5磁性層を約10nmの厚さに堆積させた。この
状態で数時間放置後に、Gd,Tb,Fe,Coの4個
のターゲットを用いてスパッタを行い、約150nmの
厚さの(Tb70Gd3020(Fe90Co1080の第3磁
性層を、第5磁性層の上に堆積させた。
【0043】磁性膜の腐食を防止するために、この上
に、再びSi34 のターゲットを用いて、約60nm
の厚さの窒化珪素の保護層を設けた。
【0044】この基板をスパッタ装置から取り出した後
に、機械的強度を向上させるために膜面側に紫外線硬化
性樹脂をスピンコートした後硬化させ、厚さ約8μmの
保護コート層を形成して、単板の光磁気ディスクを作製
した。
【0045】この実施例1の光磁気ディスクにおいて選
択した各磁性層の組成、膜厚およびキュリー温度を第1
表に揚げる。この例では、本発明のプロセスを実施し得
る最も単純な構成を示しており、特に、第4磁性層は第
3磁性層と同一の材料、組成と見なし、しかも膜厚を0
nmとし、実質的に省略している。ただし、第3磁性層
と第5磁性層間の界面磁壁エネルギーを調整するため
に、第5磁性層形成後にチャンバー内に数時間放置して
表面を意識的に汚染し、この後第3磁性層を積層するこ
とによって層間の交換相互作用を適度に弱めてある。各
層の飽和磁化、保磁力および界面磁壁エネルギー密度の
温度依存性を図3、図4に示す。
【0046】本発明が特徴としている媒体温度変化に伴
う磁化配向状態の遷移の過程をこのような構成を有する
媒体が実現していることを図5に基づいて説明する。以
下の説明では、第i磁性層の飽和磁化をMsi 、保磁力
をHci 、膜厚をhi 、キュリー温度をTci とし、第
i磁性層と第j磁性層との間の界面磁壁エネルギー密度
をσwijとする。
【0047】成膜直後の媒体では膜厚方向の原子スピン
は全て整合しているが、膜面方向にはメイズ状態になっ
ており、各層のTMスピン(鉄族元素の原子のスピン)
が膜面垂直に“上”向きに揃っている部分と“下”向き
に揃っている部分とが存在している。
【0048】この媒体に例えば下向きに4kOe程度の
外部磁界Hiniを印加する。
【0049】各層のTMスピンが全て上向きに揃ってい
る部分では、この媒体の場合、各層とも室温において鉄
族元素副格子磁化優勢であるので、磁化も全て上向きに
発現している(図5a)。従って、下向きの十分小さな
外部磁界Hに対しては、 2Ms3Hc3h3 > 2Ms3h3H-σw35 (110) 2Ms3Hc3h3+2Ms5Hc5h5 > 2(Ms3h3+Ms5h5)H-σw57 (111) 2Ms3Hc3h3+2Ms5Hc5h5+2Ms7Hc7h7 > 2(Ms3h3+Ms5h5+Ms7h7 )H (112) 2Ms5Hc5h5 > 2Ms5h5H-σw35-σw57 (113) 2Ms5Hc5h5+2Ms7Hc7h7 > 2(Ms5h5+Ms7h7)H-σw35 (114) 2Ms7Hc7h7 > 2Ms7h7H-σw57 (115) が成り立っている。今、外部磁界HをHiniまで連続
的に増大させると、他の式の関係を維持したまま(11
0)式の関係が逆転するので、第5磁性層を磁化反転さ
せることなく、第3磁性層を下向きに磁化反転させて外
部磁界Hiniに対して安定な状態に配向させることが
できる。その後上向きに例えば300Oeの外部磁界H
bを印加すると、室温では下の式が成り立っており、第
3磁性層と第5磁性層の界面に磁壁の存在する状態(状
態B1とする)を保持している(図5b)。
【0050】 2Ms3Hc3h3 > 2Ms3h3Hb+ σw35 (120) 2Ms5Hc5h5 > -2Ms5h5Hb+σw35-σw57 (121) 2Ms5Hc5h5+2Ms7Hc7h7 > -2(Ms5h5+Ms7h7)Hb+σw35 (122) 2Ms7Hc7h7 > -2Ms7h7Hb-σw57 (123) また、各層のTMスピンが全て下向きに揃っている部分
(図5c)では磁化も全て下向きに発現しているので、
下向きの外部磁界Hiniを印加しても磁化状態は変化
しない。その後上向きに300Oeの外部磁界Hbを印
加しても、各層の保磁力がHbよりも大きいのでやはり
磁化状態は変化せず、各層のTMスピンが全て下を向い
た状態であり、原子スピンは膜厚方向全体に渡って整合
している。この時の磁化状態を状態A1とする(図5
d)。
【0051】状態B1から媒体を加熱して、媒体温度が
上昇して行くと、Tc6 に近づくにつれてσw57が低下
し、(121)式の関係が逆転するので、第5磁性層が
下向きに反転する。即ち、第5磁性層のスピンが第3磁
性層に整合する。
【0052】第5磁性層反転後の状態では下式が成り立
っており、磁壁が第5磁性層と第7磁性層の界面に移動
している(図5e)。
【0053】 2Ms3Hc3h3 > 2Ms3h3Hb- σw35 (130) 2Ms3Hc3h3+2Ms5Hc5h5 > 2(Ms3h3+Ms5h5)Hb+ σw57 (131) 2Ms5Hc5h5 > 2Ms5h5Hb- σw35+σw57 (132) 2Ms7Hc7h7 > -2Ms7h7Hb+σw57 (133) この状態から媒体温度が降下すると、σw57が急激に増
大し、(133)式の関係が逆転するので、第7磁性層
が下向きに反転する。即ち第7磁性層のスピンが第5磁
性層に整合する(図5f)。そしてこの状態を維持した
ままで室温まで温度が降下する。結局、各層とも全てT
Mスピンが下を向いた状態、即ち状態A1になる(図5
c,d)。
【0054】他方では媒体温度をTc6 から更に上昇さ
せて、Tc3 近傍まで加熱すると、(131)式の関係
が逆転するので、第3磁性層と第5磁性層が同時に上向
きに反転する。この結果各層のスピンの向きが上向きに
揃う(図5g)。この状態から温度が降下すると、Tc
6 以下となって第5磁性層と第7磁性層とが磁気的に結
合するが、スピンの向きは整合しているのでこの状態を
維持したまま室温に戻る(図5a)。そしてこの状態か
ら、再び下向きの外部磁界Hiniを印加すると状態B
1になる(図5b)。
【0055】次に、状態A1(図5d)から上向きに外
部磁界Hbを印加しながら媒体を加熱する。この場合に
はTc6 まで加熱しても、この温度範囲では各層の保磁
力がHbよりも大きいので、何等状態変化は起こらない
(図5h)。この状態から温度が降下しても、スピンは
全て整合しており、向きも変わらなく、状態A1のまま
である(図5c,d)。
【0056】他方、Tc6 から更にTc3 近傍まで加熱
すると、この媒体の場合はTc3 ,Tc5 およびTc7
が等しいので、各層とも保磁力が低下し、その各層の保
磁力がHb以下になる温度で第3磁性層と第5磁性層及
び第7磁性層がほぼ同時に上向きに磁化反転する(図5
g)。
【0057】この状態から温度が降下すると、Tc6
下で第5磁性層と第7磁性層とが磁気的に結合するが、
既にスピンの向きは両者とも上向きに揃って整合してい
るので、そのままの状態で室温に至る(図5a)。そし
てこの状態から、再び下向きの外部磁界Hiniを印加
すると状態B1になる(図5b)。
【0058】以上の説明によりこの媒体は本発明の特徴
としている諸条件を満たしていることは明らかである。
なお以上の説明において、正確には第6磁性層の保磁力
エネルギー並びにゼーマンエネルギーを考慮する必要が
あるが、説明が著しく煩雑になる上に、相対的に膜厚が
薄いために磁化過程への寄与が小さく、特にTc6 近傍
の温度ではその大きさが無視できるので、ここでは省略
した。
【0059】この実施例1による光磁気ディスクを波長
約780nm、NA=0.53の光学ヘッドを持つ光磁
気ディスクドライブにかけ、3600rpmで回転させ
て、半径24mmの位置で測定を行なった。光学ヘッド
とは別の位置に永久磁石を固定し、記録膜に膜面垂直方
向に4kOeの初期化用の磁界が印加されるように設置
した。
【0060】初期化用の磁界とは逆向きに3000eの
記録用バイアス磁界を印加しながら記録用のレーザービ
ームをボトムパワー(Pb)とピークパワー(Pp)と
の二値にパルス変調して記録を行ない、1.0mWの再
生パワーで読み出した。パルス幅を57nsecに固定
し、チャンネルレート17.4MHzで(2.7)変調
記録を行ない、この時のビットエラーレートを測定し
た。ディスクを全面記録状態にした後に、ボトムパワー
とピークパワーとをそれぞれ振って上記の記録を行なっ
た時、ビットエラーレートが5×10-5以下となる記録
パワーの領域を図6に斜線で示す。この領域において良
好なオーバーライト特性が得られている。さらにディス
クを全面消去状態にした後に、3Tパターンの記録を行
なった時のC/Nと記録パワーとの関係を図7に示して
おく。
【0061】次に再生パワーを振って、記録済みの一つ
のトラックの上を104 回繰り返し再生した後の再生信
号の劣化を、繰り返し再生の前後において再生パワー
1.0mWで再生した信号を比較することにより調べ
た。この結果、3.1mWまで再生劣化は起こらなかっ
た。 比較例1 磁性層の構成を以下のように構成した以外には実施例1
と同様の構成、製法によって光磁気ディスクを作製し
た。
【0062】下引き層形成後に実施例1における第6磁
性層と同一材料、組成の読み出し用の磁性層を35nm
の厚さに形成した。この層のキュリー温度は約150℃
である。この状態で数時間放置した後に実施例1におけ
る第3磁性層と同一材料、組成の書き込み用の磁性層を
150nmの厚さに形成した。この層のキュリー温度は
約220℃である。磁性層の構成は以上の二層構成と
し、実施例1と同様に界面磁壁エネルギーを調整するた
めに、界面を意識的に汚染して、層間の交換相互作用を
適度に弱めてある。
【0063】この比較例1による光磁気ディスクについ
て、実施例1と全く同様の評価を行なった。この時のビ
ットエラーレートが5×10-5以下となる記録パワーの
領域を図8に斜線で示す。またC/Nと記録パワーとの
関係を図9に示す。実施例1の場合と比較すると、全体
に2〜3dB程度C/Nが低くなっており、それに伴っ
て、良好な記録が行なわれるパワーのマージンが狭まっ
ている。繰り返し再生により劣化を起こさない最大の再
生パワーは2.1mWであり、実施例1の場合と比較し
て低かった。 比較例2 磁性層の構成を以下のように構成した以外には実施例1
と同様の構成、製法によって光磁気ディスクを作製し
た。
【0064】下引き層形成後にTb,Fe,Coの3個
のターゲットを用いてスパッタを行い、35nmの厚さ
のTb20(Fe91.7Co8.380の読み出し用の磁性層
を下引き層の上に堆積させた。この層のキュリー温度は
約180℃である。この状態のままで数時間放置した後
に実施例1における第3磁性層と同一の材料、組成の書
き込み用の磁性層を150nmの厚さに形成した。この
層のキュリー温度は約220℃である。磁性層の構成は
以上の二層構成とした。実施例1と同様に、界面磁壁エ
ネルギーを調整するために、界面を意識的に汚染し、層
間の交換相互作用を適度に弱めてある。
【0065】この比較例1による光磁気ディスクについ
て実施例1と全く同様の評価を行なった。このディスク
においてビットエラーレートが5×10-5以下となる記
録パワーの領域を図10に斜線で示す。実施例1の場合
と比較すると、ボトムパワーのパワーマージンが狭くな
っている。また、繰り返し再生により劣化を起こさない
最大の再生パワーは2.6mWであり、実施例1の場合
と比較して低かった。 比較例3 磁性層の構成を以下のように構成した以外には実施例1
と同様の構成、製法によって光磁気ディスクを作製し
た。
【0066】下引き層形成後にTb,Fe,Coの3個
のターゲットを用いてスパッタを行い、約35nmの厚
さを有するTb20(Fe91.7Co8.380の読み出し用
の磁性層を下引き層の上に堆積させた。この層のキュリ
ー温度は約180℃である。この状態のままで数時間放
置した後にGd,Tb,Fe,Coの4個のターゲット
を用いてスパッタを行い、約150nmの厚さを有する
(Tb70Gd3020(Fe83.3Co16.780の書き込み
用の磁性層を形成した。この層のキュリー温度は約26
0℃である。磁性層の構成は、以上の二層構成とした。
実施例1と同様に界面磁壁エネルギーを調整するために
界面を意識的に汚染して、層間の交換相互作用を適度に
弱めてある。
【0067】この比較例1による光磁気ディスクについ
て実施例1と全く同様の評価を行なった。このディスク
においてビットエラーレートが5×10-5以下となる記
録パワーの領域を図11に斜線で示す。実施例1の場合
と比較すると、記録感度が悪く、良好な記録を行なうた
めには大きなレーザーパワーを要する。また、繰り返し
再生により劣化を起こさない最大の再生パワーは2.6
mWであり、実施例1の場合と比較して低かった。 実施例2 磁性層の構成を第2表のように構成した以外には実施例
1と同様の構成、製法によって光磁気ディスクを作製し
た。この例でも第4磁性層は実質的に省略してあるが、
第3磁性層と第5磁性層の間に約0.5〜1nm程度の
Cr層を介在させて界面磁壁エネルギーを調整してい
る。各層の飽和磁化、保磁力および界面磁壁エネルギー
密度の温度依存性を図12、図13、図14に示す。
【0068】この構成の媒体が本発明の特徴としている
媒体温度変化に伴う磁化配向状態の遷移の過程を実現し
ていることを図15に基づいて次に説明する。以下にお
いて第i磁性層の補償温度をTcompi とする。
【0069】この媒体に例えば上向きに6kOe程度の
外部磁界Hiniを印加する。この媒体の場合には第3
磁性層は室温において希土類元素副格子磁化優勢であ
り、その他の磁性層は室温においては鉄族元素副格子磁
化優勢であるので、各層のTMスピンが膜面垂直に上向
きに揃っている部分では第3磁性層の磁化は下向きに発
現しており、その他の磁性層はTMスピンと同一の上向
きに磁化が発現している(図15a)。従って、上向き
の十分小さな外部磁界Hに対しては、 2Ms3Hc3h3 > 2Ms3h3H-σw35 (210) 2Ms3Hc3h3+2Ms5Hc5h5 > 2(Ms3h3-Ms5h5)H-σw57 (211) 2Ms3Hc3h3+2Ms5Hc5h5+2Ms7Hc7h7 > 2(Ms3h3-Ms5h5-Ms7h7 )H- σw79 (212) 2Ms3Hc3h3+2Ms5Hc5h5+2Ms7Hc7h7+2Ms9Hc9h9>2(Ms3h3-Ms5h5-Ms7h7-Ms9h9)H (213) 2Ms5Hc5h5 > -2Ms5h5H- σw35-σw57 (214) 2Ms5Hc5h5+2Ms7Hc7h7 > -2(Ms5h5+Ms7h7)H- σw35-σw79 (215) 2Ms5Hc5h5+2Ms7Hc7h7+2Ms9Hc9h9 > -2(Ms5h5+Ms7h7+Ms9h9)H (216) 2Ms7Hc7h7 > -2Ms7h7H- σw57-σw79 (217) 2Ms7Hc7h7+2Ms9Hc9h9 > -2(Ms7h7+Ms9h9)H- σw57 (218) 2Ms9Hc9h9 > -2Ms9h9H- σw79 (219) が成り立っている。外部磁界HをHiniまで連続的に
増大させると、他の式の関係を維持した状態で、(21
0)式の関係が逆転するので、第5磁性層を磁化反転さ
せることなく第3磁性層を上向きに磁化反転させ、外部
磁界Hiniに対して安定な状態に配向させることがで
きる。この後に上向きに例えば2000eの外部磁界H
bを印加すると、室温では下の式が成り立っており、第
3磁性層と第5磁性層の界面に磁壁の存在する状態を保
持している。この時のこの部分の磁性複合膜の磁化状態
を状態B2とする(図15b)。
【0070】 2Ms3Hc3h3 > -2Ms3h3Hb+σw35 (220) 2Ms5Hc5h5 > -2Ms5h5Hb+σw35-σw57 (221) 2Ms5Hc5h5+2Ms7Hc7h7 > -2(Ms5h5+Ms7h7)Hb+σw35-σw79 (222) 2Ms5Hc5h5+2Ms7Hc7h7+2Ms9Hc9h9 > -2(Ms5h5+Ms7h7+Ms9h9)Hb+σw35 (223) 2Ms7Hc7h7 > -2Ms7h7Hb-σw57-σw79 (224) 2Ms7Hc7h7+2Ms9Hc9h9 > -2(Ms7h7+Ms9h9)Hb-σw57 (225) 2Ms9Hc9h9 > -2Ms9h9Hb-σw79 (226) 各層のTMスピンが下向きに揃っている部分(図15
c)では、第3磁性層の磁化が上を向いており、第5〜
7磁性層の保磁力が6kOe以上である。したがってこ
の場合には上向きに6kOe程度の外部磁界Hiniを
印加しても、何等状態変化は起こらない。この後に上向
きに2000eの外部磁界Hbを印加しても、状態変化
を引き起こす要因が外部磁界によるゼーマンエネルギー
のみである上に各層の保磁力がHbよりも大きいので、
やはり磁化状態は変化せず、各層のTMスピンが全て下
を向いた状態であり、原子スピンは膜厚方向全体に渡っ
て整合している。この時の磁化状態を状態A2とする
(図15d)。
【0071】状態B2から媒体を加熱して媒体温度を上
昇させるとTc6に近づくにつれてσw57が低下し、
(221)式の関係が逆転するので、第5磁性層が反転
する。即ち第5磁性層のTMスピンが第3磁性層に整合
して下向きになる。
【0072】第5磁性層反転後の状態では下式が成り立
っており、磁壁が第5磁性層と第7磁性層の界面に移動
している(図15e)。
【0073】 2Ms3Hc3h3 > -2Ms3h3Hb-σw35 (230) 2Ms3Hc3h3+2Ms5Hc5h5 > 2(-Ms3h3+Ms5h5)Hb+σw57 (231) 2Ms5Hc5h5 > 2Ms5h5Hb- σw35+σw57 (232) 2Ms7Hc7h7 > -2Ms7h7Hb+σw57-σw79 (233) 2Ms7Hc7h7+2Ms9Hc9h9 > -2(Ms7h7+Ms9h9)Hb+σw57 (234) 2Ms9Hc9h9 > -2Ms9h9Hb-σw79 (235) この状態から媒体温度が降下すると、σw57が急激に増
大し、(233)式の関係が逆転するので、第7磁性層
が反転する。即ち第7磁性層のTMスピンが第5磁性層
に整合して下向きになる。
【0074】第7磁性層反転後の状態では下式が成り立
っており、磁壁が第7磁性層と第9磁性層の界面に移動
している(図15f)。
【0075】 2Ms3Hc3h3 > -2Ms3h3Hb-σw35 (240) 2Ms3Hc3h3+2Ms5Hc5h5 > 2(-Ms3h3+Ms5h5)Hb-σw57 (241) 2Ms3Hc3h3+2Ms5Hc5h5+2Ms7Hc7h7 > 2(-Ms3h3+Ms5h5+Ms7h7 )Hb+ σw79 (242) 2Ms5Hc5h5 > 2Ms5h5Hb- σw35-σw57 (243) 2Ms5Hc5h5+2Ms7Hc7h7 > 2(Ms5h5+Ms7h7)Hb- σw35+σw79 (244) 2Ms7Hc7h7 > 2Ms7h7Hb- σw57+σw79 (244) 2Ms9Hc9h9 > -2Ms9h9Hb+σw79 (245) この状態から更に温度が降下すると、σw79が急激に増
大し、(245)式の関係が逆転するので、第9磁性層
が反転する。即ち第9磁性層のTMスピンが第7磁性層
に整合して下向きになる(図15g)。そしてこの状態
のまま室温まで温度が降下する。最終的には各層のTM
スピンが全て下向きに揃って整合している状態、即ち状
態A2になる(図15c,d)。
【0076】媒体温度をTc6 から更に上昇させてTc
omp3 以上に加熱すると、第3磁性層が鉄族元素副格
子磁化優勢となって、極性が反転(スピンの向きは変わ
らない)するので、磁化反転に関わる式は、以下のよう
になる(図15h)。
【0077】 2Ms3Hc3h3 > 2Ms3h3Hb- σw35 (250) 2Ms3Hc3h3+2Ms5Hc5h5 > 2(Ms3h3+Ms5h5)Hb+ σw57 (251) 2Ms5Hc5h5 > 2Ms5h5Hb- σw35+σw57 (252) 2Ms7Hc7h7 > -2Ms7h7Hb+σw57-σw79 (253) 2Ms7Hc7h7+2Ms9Hc9h9 > -2(Ms7h7+Ms9h9)Hb+σw57 (254) 2Ms9Hc9h9 > -2Ms9h9Hb-σw79 (255) 媒体温度が更に上昇してTc5 程度(〜Tc3 )になる
と(251)式の関係が逆転するので、第3磁性層と第
5磁性層が同時に反転して、TMスピンが上向きになる
(図15i)。この状態から温度が降下すると、Tco
mp3 以下となって第3磁性層の極性が再び反転する
が、 2Ms3Hc3h3 > 2Ms3h3Hb- σw35 (260) 2Ms3Hc3h3+2Ms5Hc5h5 > 2(Ms3h3-Ms5h5)Hb- σw57 (261) 2Ms3Hc3h3+2Ms5Hc5h5+2Ms7Hc7h7 > 2(Ms3h3-Ms5h5-Ms7h7)Hb- σw79 (262) 2Ms3Hc3h3+2Ms5Hc5h5+2Ms7Hc7h7+2Ms9Hc7h9 > 2(Ms3h3-Ms5h5-Ms7h7-Ms9h9)Hb (263) 2Ms5Hc5h5 > -2Ms5h5Hb-σw35-σw57 (264) 2Ms5Hc5h5+2Ms7Hc7h7 > -2(Ms5h5+Ms7h7)Hb-σw35-σw79 (265) 2Ms5Hc5h5+2Ms7Hc7h7+2Ms9Hc9h9 > -2(Ms5h5+Ms7h7+Ms9h9)Hb-σw35 (266) 2Ms7Hc7h7 > -2Ms7h7Hb-σw57-σw79 (267) 2Ms7Hc7h7+2Ms9Hc9h9 > -2(Ms7h7+Ms9h9)Hb-σw57 (268) 2Ms9Hc9h9 > -2Ms9h9Hb-σw79 (269) か成り立っているので、磁化状態は変化しない(図15
j)。そして、Tc6 以下となって第5磁性層と第7磁
性層とが、また、Tc8 以下となって第7磁性層と第9
磁性層とがそれぞれ磁気的に結合する。しかし各層のT
Mスピンの向きは上向きに整合しているので、この状態
を維持した状態で室温に戻る(図15a)が、この状態
から再び上向きの外部磁界Hiniを印加すると、状態
B2になる(図15b)。
【0078】次に、状態A2(図15d)から上向きの
外部磁界Hbを印加しながら媒体を加熱する。この場合
にはTc6 まで加熱しても状態変化を引き起こす要因が
外部磁界によるゼーマンエネルギーのみである上にこの
温度範囲での各層の保磁力がHbよりも大きいので、何
等状態変化は起こらない(図15k)。この状態から温
度が降下してもスピンは全て整合しており、スピンの向
きも変わらない。即ち状態A2のままである(図15
d)。
【0079】一方、Tc6 からTcomp3 を越えて
(図15l)Tc5 (〜Tc3 )近傍にまで加熱する
と、前述の場合と同様に第3磁性層と第5磁性層が同時
に磁化反転し、TMスピンが上向きになる。しかし第7
磁性層と第9磁性層はキュリー温度が高く、この時点で
もまだ十分な大きさの保磁力を有しているので、下向き
の磁化(下向きのTMスピン)を維持したままである
(図15m)。
【0080】この状態から温度が降下して、Tcomp
3 以下となり(図15n)、さらにTc6 程度になる
と、第5磁性層と第7磁性層とが磁気的に結合し始め
る。更に降下してTc8 程度になると、第7磁性層と第
9磁性層とも結合し始める。この前後での磁化反転に関
わる関係式は次の様になる。
【0081】 2Ms3Hc3h3 > 2Ms3h3Hb- σw35 (270) 2Ms3Hc3h3+2Ms5Hc5h5 > 2(Ms3h3-Ms5h5)Hb+ σw57 (271) 2Ms5Hc5h5 > -2Ms5h5Hb-σw35+σw57 (272) 2Ms7Hc7h7 > 2Ms7h7Hb+ σw57-σw79 (273) 2Ms7Hc7h7+2Ms9Hc9h9 > 2(Ms7h7+Ms9h9)Hb+ σw57 (274) 2Ms9Hc9h9 > 2Ms9h9Hb- σw79 (275) この状態から媒体温度が降下すると、σw57が急激に増
大し、(273)式の関係が逆転するので、第7磁性層
が反転する。即ち第7磁性層のTMスピンが第5磁性層
に整合して上を向く。
【0082】第7磁性層反転後の状態では、下式が成り
立っており、磁壁が第7磁性層と第9磁性層の界面に形
成されている(図15o)。
【0083】 2Ms3Hc3h3 > 2Ms3h3Hb- σw35 (280) 2Ms3Hc3h3+2Ms5Hc5h5 > 2(Ms3h3-Ms5h5)Hb+ σw57 (281) 2Ms3Hc3h3+2Ms5Hc5h5+2Ms7Hc7h7 > 2(Ms3h3-Ms5h5-Ms7h7)Hb+ σw79 (282) 2Ms5Hc5h5 > -2Ms5h5Hb-σw35-σw57 (283) 2Ms5Hc5h5+2Ms7Hc7h7 > -2(Ms5h5+Ms7h7)Hb-σw35+σw79 (284) 2Ms7Hc7h7 > -2Ms7h7Hb-σw57+σw79 (285) 2Ms9Hc9h9 > 2Ms9h9Hb+ σw79 (286) この状態から更に温度が降下すると、σw79が急激に増
大し、(286)式の関係が逆転するので、第9磁性層
が反転する。即ち第9磁性層のTMスピンが第7磁性層
に整合して上を向く(図15p)。そしてこの状態のま
ま室温まで温度が降下する(図15c)。最終的には各
層のTMスピンが全て上向きに揃って整合している状態
になるが、この状態から再び上向きの外部磁界Hini
を印加すると、状態B2になる(図15d)。
【0084】以上によりこの媒体は本発明の特徴として
いる諸条件満足している。
【0085】この実施例2による光磁気ディスクについ
て、実施例1と全く同様の評価を行なった。ただしこの
場合には記録用のバイアス磁界は初期化用の磁界と同じ
向きにした。この結果、良好な記録特性および再生耐久
性が得られた。
【0086】以下の実施例3、4の光磁気ディスクにつ
いても、本発明の特徴としている諸条件を満足している
ことを同じように説明できる。 実施例3 磁性層の構成を第3表のように構成した以外には実施例
1と同様の構成、製法によって光磁気ディスクを作製し
た。この例では第4磁性層として室温における飽和磁化
が400emu/cm3 のGdFeCo層を設けた。そ
の他の磁性層の材料、組成は実施例1と全く同様であ
る。第4磁性層の介在により、σw35を効果的に低減で
きるため、実施例1と比較して各磁性層の膜厚がより薄
い系で、実施例1と全く同様のプロセスが成り立つ。
【0087】この実施例3による光磁気ディスクについ
て、実施例1と全く同様の評価を行なった。この結果、
良好な磁気特性、並びに再生耐久性が得られた。 実施例4 磁性層の構成を第4表のように構成し、以下に述べるよ
うに二層の磁性層を付加した以外には実施例2と全く同
様の構成、製法によって光磁気ディスクを作製した。
【0088】実施例2と全く同様の磁性層を第7磁性層
から第3磁性層まで順次積層した後に引き続き、Tbと
Feの二個のターゲットを用いてスパッタを行い、5n
mの厚さのTbFe非晶質合金からなる第2の付加磁性
層を第3磁性層の上に積層した。さらに続けてTbとC
oの二個のターゲットを用いてスパッタを行い、30n
mの厚さのTbCo非晶質合金からなる第1の付加磁性
層を第2の付加磁性層の上に積層し、第1の付加磁性層
には成膜後に全面一方向に着磁した。付加磁性層1と第
3磁性層との間の界面磁壁エネルギーをσw1'3 とする
と、室温におけるσw1'3 は、5.0erg/cm3
あった。
【0089】この媒体は以下に述べるように、記録前に
第3磁性層を所定の向きに配向させるために必要な外部
磁界Hiniの最小値を実施例2の場合よりもσw1'3
/2Ms33 だけ低減できる。
【0090】即ち、実施例1では、第3磁性層の初期化
に関わる関係式、 2Ms3Hc3h3 < 2Ms3h3Hini- σw35 (410) を満足するために、 Hini > Hc3+ σw35/2Ms3h3=5.2kOe (411) とする必要があったが、実施例4では、 2Ms3Hc3h3 < 2Ms3h3Hini- σw35+σw1'3 (412) を満足すればよいので、 Hini > Hc3+ σw35/2Ms3h3- σw1'3/2Ms3h3=1.6kOe (413) となる。 実施例5 磁性層の構成を第5表のように構成した以外には実施例
1と全く同様の構成、製法によって光磁気ディスクを作
製した。各層の飽和磁化、保磁力、及び界面磁壁エネル
ギー密度の温度依存性を図16、図17、図18に示
す。本発明が特徴としている媒体温度変化に伴う磁化配
向状態の遷移の過程をこのような構成を有する媒体が実
現していることを図19に基づいて次に説明する。
【0091】成膜直後の媒体はメイズ状態になってお
り、第1磁性層の配向状態も場所によって異なっている
が、適当な向きに十分な大きさの外部磁界を印加した
り、適当なバイアス磁界の下で媒体をTc1 近傍に加熱
したりすることにより、所望の配向状態に着磁する事が
できる。
【0092】例えば室温で媒体全面に下向きに7kOe
程度の外部磁界H0 を印加する場合を考える。媒体中の
各層のTMスピンが膜面垂直に上向きに揃っている部分
(図19a)では下向きの十分小さな外部磁界Hに対し
て下式が成り立っている。 2Ms1Hc1h1 > 2Ms1h1H-σw13 (510) 2Ms1Hc1h1+2Ms3Hc3h3 > (2Ms1h1-2Ms3h3-Ms4h4)H- σw35 (511) 2Ms1Hc1h1+2Ms3Hc3h3+2Ms5Hc5h5 > (2Ms1h1-2Ms3h3-Ms4h4+2Ms5h5)H-σw57 (512) 2Ms1Hc1h1+2Ms3Hc3h3+2Ms5Hc5h5+2Ms7Hc7h7 > (2Ms1h1-2Ms3h3-Ms4h4+2Ms5h5+ 2Ms7h7)H- σw79 (513) 2Ms1Hc1h1+2Ms3Hc3h3+2Ms5Hc5h5+2Ms7Hc7h7+2Ms9Hc9h9 > (2Ms1h1-2Ms3h3- Ms4h4+2Ms5h5+2Ms7h7+2Ms9h9)H (514) 2Ms3Hc3h3 > (-2Ms3h3-Ms4h4)H- σw13-σw35 (515) 2Ms3Hc3h3+2Ms5Hc5h5 > (-2Ms3h3-Ms4h4+2Ms5h5)H-σw13-σw 57 (516) 2Ms3Hc3h3+2Ms5Hc5h5+2Ms7Hc7h7 > (-2Ms3h3-Ms4h4+2Ms5h5+2Ms7h7)H- σw13- σw79 (517) 2Ms3Hc3h3+2Ms5Hc5h5+2Ms7Hc7h7+2Ms9Hc9h9 > (-2Ms3h3-Ms4h4+2Ms5h5+2Ms7h7 +2Ms9h9)H-σw13 (518) 2Ms5Hc5h5 > (-Ms4h4+2Ms5h5)H- σw35-σw57 (519) 2Ms5Hc5h5+2Ms7Hc7h7 > (-Ms4h4+2Ms5h5+2Ms7h7)H-σw35-σw79 (51A) 2Ms5Hc5h5+2Ms7Hc7h7+2Ms9Hc9h9 > (-Ms4h4-2Ms5h5+2Ms7h7+2Ms9h9)H- σw35 (51B) 2Ms7Hc7h7 > 2Ms7h7H-σw57-σw79 (51C) 2Ms7Hc7h7+2Ms9Hc9h9 > 2(Ms7h7+Ms9h9)H-σw57 (51D) 2Ms9Hc9h9 > 2Ms9h9H-σw79 (51E) 外部磁界HをH0 まで連続的に増大させると、他の式よ
りも先に(510)式の関係が逆転する。したがって、
第1磁性層が磁化反転し、第3磁性層との間に界面磁壁
が形成される。この状態では外部磁界H0 に支えられて
第3磁性層は磁化反転していないが、H0 の印加を中止
すると、 2Ms3Hc3h3 > (-2Ms3h3-Ms4h4)H+ σw13-σw35 の関係が、外部磁界Hの減少に伴って逆転するので、第
3磁性層が磁化反転する。この結果、磁性複合膜の磁化
状態は第1磁性層から第3磁性層までのTMスピンが下
向きに揃って整合しており、第5磁性層から第9磁性層
までのTMスピンが上向きに揃って整合しており、第3
磁性層と第5磁性層との間に、スピンの不整合が存在す
る磁化状態になる。この磁化状態を状態B50 とする
(図19b)。
【0093】各層のTMスピンが膜面垂直に下向きに揃
っている部分(図19c)についても同様に考えると、
この場合には下向きに7kOe程度の外部磁界を印加し
ても各式の関係が逆転しないので、磁化状態が変化しな
い。この時の磁性複合膜の磁化状態は第1磁性層から第
9磁性層までスピンが下向きに揃って整合している。こ
の状態を状態A50 とする(図19d)。
【0094】従って、この操作により第1磁性層(及び
第3磁性層)を所定の向きに着磁する事が出来る。この
場合、第1磁性層のTMスピンが下向きになるように着
磁される。
【0095】状態B50 から上向きに例えば200Oe
の外部磁界Hbを印加すると、室温では下の式が成り立
っており、第3磁性層と第5磁性層の界面に磁壁の存在
する状態を保持している。この時の磁性複合膜の磁化状
態を状態B5とする(図19b)。
【0096】 2Ms1Hc1h1 > 2Ms1h1Hb- σw13 (520) 2Ms1Hc1h1+2Ms3Hc3h3 > (2Ms1h1-2Ms3h3-Ms4h4)Hb+σw35 (521) 2Ms3Hc3h3 > (-2Ms3h3-Ms4h4)Hb-σw13+σw35 (522) 2Ms5Hc5h5 > (Ms4h4-2Ms5h5)Hb+ σw35-σw57 (523) 2Ms5Hc5h5+2Ms7Hc7h7 > (Ms4h4-2Ms5h5-2Ms7h7)Hb+σw35-σw79 (524) 2Ms5Hc5h5+2Ms7Hc7h7+2Ms9Hc9h9 > (Ms4h4-2Ms5h5-2Ms7h7-2Ms9h9)Hb+ σw35 (525) 2Ms7Hc7h7 > -2Ms7h7Hb-σw57-σw79 (525) 2Ms7Hc7h7+2Ms9Hc9h9 > -2(Ms7h7+Ms9h9)Hb-σw57 (526) 2Ms9Hc9h9 > -2Ms9h9Hb-σw79 (527) また、状態A50 から上向きに200Oeの外部磁界を
印加した場合には各層のスピンは全て整合していて、ど
の界面にも磁壁は存在しないので、状態変化を引き起こ
す要因は外部磁界によるゼーマンエネルギーのみであ
る。ところが室温での各層の保磁力はHbよりも大きい
ので、何等状態変化は起こらない。この時の磁性複合膜
の磁化状態を状態5Aとする(図19c)。
【0097】状態B5から媒体を加熱して媒体温度が上
昇して行くと、Tc6 に近づくにつれてσw57が低下
し、他の式よりも先に(523)式の関係が逆転するの
で、第5磁性層が反転する。即ち、第5磁性層のスピン
が第3磁性層に整合する。
【0098】第5磁性層反転後の状態では下式が成り立
っており、磁壁が第5磁性層と第7磁性層の界面に移動
している(図19e)。
【0099】 2Ms1Hc1h1 > 2Ms1h1Hb- σw13 (530) 2Ms1Hc1h1+2Ms3Hc3h3 > (2Ms1h1-2Ms3h3-Ms4h4)Hb-σw35 (531) 2Ms1Hc1h1+2Ms3Hc3h3+2Ms5Hc5h5 > 2(Ms1h1-Ms3h3-Ms4h4+Ms5h5)Hb+ σw57 (532) 2Ms3Hc3h3 > (-2Ms3h3-Ms4h4)Hb-σw13-σw35 (533) 2Ms3Hc3h3+2Ms5Hc5h5 > 2(-Ms3h3-Ms4h4+Ms5h5)Hb-σw13+σw57 (534) 2Ms5Hc5h5 > (2Ms5h5-Ms4h4)Hb- σw35+σw57 (535) 2Ms7Hc7h7 > -2Ms7h7Hb+σw57-σw79 (536) 2Ms7Hc7h7+2Ms9Hc9h9 > -2(Ms7h7+Ms9h9)Hb+σw57 (537) 2Ms9Hc9h9 > -2Ms9h9Hb-σw79 (538) この状態から媒体温度が降下すると、σw57が急激に増
大し、(536)式の関係が逆転するので、第7磁性層
が反転する。即ち第7磁性層のTMスピンが第5磁性層
に整合する。
【0100】第7磁性層反転後の状態では、下式が成り
立っており、磁壁が第7磁性層と第9磁性層の界面に移
動している(図19f)。
【0101】 2Ms1Hc1h1 > 2Ms1h1Hb- σw13 (540) 2Ms1Hc1h1+2Ms3Hc3h3 > (2Ms1h1-2Ms3h3-Ms4h4)Hb-σw35 (541) 2Ms1Hc1h1+2Ms3Hc3h3+2Ms5Hc5h5 > 2(Ms1h1-Ms3h3-Ms4h4+Ms5h5)Hb- σw57 (542) 2Ms1Hc1h1+2Ms3Hc3h3+2Ms5Hc5h5+2Ms7Hc7h7 >2(Ms1h1-Ms3h3-Ms4h4+Ms5h5+ Ms7h7)Hb+ σw79 (543) 2Ms3Hc3h3 > (-2Ms3h3-Ms4h4)Hb-σw13-σw35 (544) 2Ms3Hc3h3+2Ms5Hc5h5 > 2(-Ms3h3-Ms4h4+Ms5h5)Hb-σw13-σw57 (545) 2Ms3Hc3h3+2Ms5Hc5h5+2Ms7Hc7h7 > 2(-Ms3h3-Ms4h4+Ms5h5+Ms7h7)Hb-σw13+ σw79 (546) 2Ms5Hc5h5 > (-Ms4h4+2Ms5h5)Hb-σw35-σw57 (547) 2Ms5Hc5h5+2Ms7Hc7h7 > (-Ms4h4+2Ms5h5+2Ms7h7)Hb- σw35+σw79 (548) 2Ms7Hc7h7 > 2Ms7h7Hb- σw57+σw79 (549) 2Ms9Hc9h9 > -2Ms9h9Hb+σw79 (54A) この状態からさらに温度が降下すると、σw79が急激に
増大し、(54A)式の関係が逆転するので、第9磁性
層が反転する。即ち第9磁性層のTMスピンが第7磁性
層に整合する(図19g)。そしてこの状態のまま室温
まで温度が降下する。この結果、各磁性層のTMスピン
は全て下向きに揃って整合する。従ってこの時の磁性複
合膜の磁化状態は状態A5となる(図19d)。
【0102】一方、媒体温度をTc6 からさらに上昇さ
せて、Tcomp3 以上に加熱すると、第3磁性層が鉄
族元素副格子磁化優勢となって極性が反転し、磁化反転
に関わる関係式は、以下のようになる(図19h)。
【0103】 2Ms1Hc1h1 > 2Ms1h1Hb- σw13 (550) 2Ms1Hc1h1+2Ms3Hc3h3 > (2Ms1h1+2Ms3h3-Ms4h4)Hb-σw35 (551) 2Ms1Hc1h1+2Ms3Hc3h3+2Ms5Hc5h5 > 2(Ms1h1+Ms3h3-Ms4h4+Ms5h5)Hb+ σw57 (552) 2Ms3Hc3h3 > (2Ms3h3-Ms4h4)Hb- σw13-σw35 (553) 2Ms3Hc3h3+2Ms5Hc5h5 > 2(Ms3h3-Ms4h4+Ms5h5)Hb- σw13+σw57 (554) 2Ms5Hc5h5 > (2Ms5h5-Ms4h4)Hb- σw35+σw57 (555) 2Ms7Hc7h7 > -2Ms7h7Hb+σw57-σw79 (556) 2Ms7Hc7h7+2Ms9Hc9h9 > -2(Ms7h7+Ms9h9)Hb+σw57 (557) 2Ms9Hc9h9 > -2Ms9h9Hb-σw79 (558) 媒体温度が更に上昇してTc3 程度になると、(55
3)式の関係が逆転するので、第3磁性層が反転する。
反転後の状態では第1磁性層と第3磁性層間、第3磁性
層と第5磁性層間および第5磁性層と第7磁性層間にス
ピンの不整合があり、下式が成り立っている(図19
i)。(ただしこの温度状態においては各層間に介在し
ている磁性層の温度が各々のキュリー温度を越えている
ので、何れの界面でも界面磁壁エネルギーは蓄積されて
いない。) 2Ms1Hc1h1 > 2Ms1h1Hb+ σw13 (560) 2Ms3Hc3h3 > (-2Ms3h3+Ms4h4)Hb+σw13+σw35 (561) 2Ms5Hc5h5 > (2Ms5h5-Ms4h4)Hb+ σw35+σw57 (562) 2Ms7Hc7h7 > -2Ms7h7Hb+σw57-σw79 (563) 2Ms7Hc7h7+2Ms9Hc9h9 > -2(Ms7h7+Ms9h9)Hb+σw57 (564) 2Ms9Hc9h9 > -2Ms9h9Hb-σw79 (565) この状態から媒体温度が降下すると、σw35の増大に伴
って(562)式の関係が逆転し、第5磁性層が磁化反
転してスピンが第3磁性層と整合する。この結果、スピ
ンの不整合は第1磁性層と第3磁性層間のみに存在する
こととなり、下式が成り立っている(図19j)。
【0104】 2Ms1Hc1h1 > 2Ms1h1Hb+ σw13 (570) 2Ms3Hc3h3 > (-2Ms3h3+Ms4h4)Hb+σw13-σw35 (571) 2Ms3Hc3h3+2Ms5Hc5h5 > 2(-Ms3h3+Ms4h4-Ms5h5)Hb+σw13-σw57 (572) 2Ms3Hc3h3+2Ms5Hc5h5+2Ms7Hc7h7 > 2(-Ms3h3+Ms4h4-Ms5h5-Ms7h7)Hb+σw13- σw79 (573) 2Ms3Hc3h3+2Ms5Hc5h5+2Ms7Hc7h7+2Ms9Hc9h9 > 2(-Ms3h3+Ms4h4-Ms5h5-Ms7h7- Ms9h9)Hb+ σw13 (574) 2Ms5Hc5h5 > (Ms4h4-2Ms5h5)Hb- σw35-σw57 (575) 2Ms5Hc5h5+2Ms7Hc7h7 > (Ms4h4-2Ms5h5-2Ms7h7)Hb-σw35-σw79 (576) 2Ms5Hc5h5+2Ms7Hc7h7+2Ms9Hc9h9 > (Ms4h4-2Ms5h5-2Ms7h7)Hb-σw35 (577) 2Ms7Hc7h7 > -2Ms7h7Hb-σw57-σw79 (578) 2Ms7Hc7h7+2Ms9Hc9h9 > -2(Ms7h7-Ms9h9)Hb-σw57 (579) 2Ms9Hc9h9 > -2Ms9h9Hb-σw79 (57A) 更に温度が降下するとTcomp3 以下となって,第3
磁性層の磁性が再び反転するが、下式が成り立っている
ので,磁化状態は変化しない(図19k)。 2Ms1Hc1h1 > 2Ms1h1Hb+ σw13 (580) 2Ms3Hc3h3 > (2Ms3h3+Ms4h4)Hb+ σw13-σw35 (581) 2Ms3Hc3h3+2Ms5Hc5h5 > 2(Ms3h3+Ms4h4-Ms5h5)Hb+ σw13-σw57 (582) 2Ms3Hc3h3+2Ms5Hc5h5+2Ms7Hc7h7 > 2(Ms3h3+Ms4h4-Ms5h5-Ms7h7)Hb+ σw13- σw79 (583) 2Ms3Hc3h3+2Ms5Hc5h5+2Ms7Hc7h7+2Ms9Hc9h9 > 2(Ms3h3+Ms4h4-Ms5h5-Ms7h7- Ms9h9)Hb+ σw13 (584) 2Ms5Hc5h5 > (-2Ms5h5+Ms4h4)Hb-σw35-σw57 (585) 2Ms5Hc5h5+2Ms7Hc7h7 > (-2Ms5h5+Ms4h4-2Ms7h7)Hb- σw35-σw79 (586) 2Ms5Hc5h5+2Ms7Hc7h7+2Ms9Hc9h9 > (-2Ms5h5+Ms4h4-2Ms7h7-2Ms9h9)Hb-σw35 (587) 2Ms7Hc7h7 > -2Ms7h7Hb-σw57-σw79 (588) 2Ms7Hc7h7+2Ms9Hc9h9 > -2(Ms7h7+Ms9h9)Hb-σw57 (589) 2Ms9Hc9h9 > -2Ms9h9Hb-σw79 (58A) Tc6 以下となって第5磁性層と第7磁性層とが、ま
た、Tc8 以下となって第7磁性層と第9磁性層とがそ
れぞれ磁気的に結合して,σw57及びσw79が増大する
が、スピンの向きは整合しているので、この状態を維持
したままである。更に温度が降下してTc2 以下になる
と、第1磁性層と第3磁性層とが磁気的に結合し始める
が、この二層はスピンの向きが整合していないので、界
面に磁壁が形成される。そして、媒体温度が室温まで降
下する間にσw13が増大して、他の式の関係を維持した
まま(581)式の関係が逆転し、第3磁性層が反転す
る。即ち第3磁性層のスピンが第1磁性層と整合し、第
5磁性層以上の層はそれ以前の磁化状態を維持する(図
19l)。結局、この時の磁性複合膜の磁化状態は状態
B5となる(図19b)。
【0105】次に、状態A5(図19d)から上向きに
外部磁界Hbを印加しながら媒体を加熱する。この場合
にはTc6 まで加熱しても、状態変化を引き起こす要因
が外部磁界によるゼーマンエネルギーのみである上にこ
の温度範囲での各層の保磁力がHbよりも大きいので、
何等状態変化は起こらない(図19m)。この状態から
温度が降下しても、スピンは全て揃っており、その向き
も変わらない。従ってこの時の磁性複合膜の磁化状態は
状態A5となる(図19d)。
【0106】一方Tc6 から更に加熱して、Tcomp
3 を越えて(図19n)Tc3 近傍まで達すると、前述
の場合と同様に第3磁性層が磁化反転し(図19o)、
この後の冷却過程で第5、第7、第9磁性層が順次磁気
的に結合して行き、第3磁性層とスピンが整合するよう
に配向する(図19p〜s)。最後に,第3磁性層が第
1磁性層と結合し、その結果第1磁性層とスピンが整合
するように磁化反転し(図19t)、結局この磁性複合
膜のこの時の磁化状態が状態B5(図19b)となるこ
とが同様にして説明できる。
【0107】以上の説明によりこの媒体は本発明の特徴
としている諸特性を満足している。なお以上の説明で第
2、第6、第8磁性層の保磁力エネルギー、並びにゼー
マンエネルギーを無視した。また第4磁性層の保磁力エ
ネルギーは無視したが、ゼーマンエネルギーは無視でき
ないので、次のような仮定に基づいて考慮にいれた。即
ち、第3磁性層と第5磁性層との間にスピンの不整合が
ある場合には、第4磁性層の膜厚方向全体にわたってス
ピンの遷移領域が形成されていると考え、この場合に
は、第4磁性層の磁化は層内で互いに打ち消し合うため
ゼーマンエネルギーに寄与しないと仮定した。
【0108】この実施例5による光磁気ディスクを波長
780nm、NA=0.53の光学ヘッドを持つ光磁気
ディスクドライブにかけ、3600rpmで回転させ
て、半径24mmの位置で測定を行なった。
【0109】あらかじめ7kOe程度の外部磁界を印加
し、第1磁性層をディスク全面に渡って一方向に着磁し
た。このディスクを用いて、着磁方向と逆向きに200
0eの記録用バイアス磁界を印加しながら、記録用のレ
ーザービームをボトムパワー(Pb)とピークパワー
(Pp)との二値にパルス変調して記録を行ない、再生
パワー1.0mWで読み出した。パルス幅を57nse
cに固定してチャンネルレート17.4MHzで(2.
7)変調記録を行ない、この時のビットエラーレートを
測定した。ディスクを全面記録状態にした後に、ボトム
パワーとピークパワーとをそれぞれ振って上記の記録を
行なった時に、ビットエラーレートが5×10-5以下と
なる記録パワーの領域を図20に斜線で示す。この領域
において良好なオーバーライト特性が得られている。ま
たディスクを全面消去状態にした後に3Tパターンの記
録を行なった時の、C/Nと記録パワーとの関係を図2
1に示しておく。
【0110】次に、再生パワーを振って、記録済みの一
つのトラックの上を104 回繰り返し再生した後の再生
信号の劣化を繰り返し再生の前後において再生パワー
1.0mWで再生した信号を比較することにより検討し
た。その結果3.2mWまで再生劣化は起こらなかっ
た。
【0111】以下、実施例6から実施例10の光磁気デ
ィスクについても、同様にして、本発明の特徴としてい
る諸条件を満足していることを説明できる。 実施例6 磁性層の構成を第6表が示すように構成した以外には実
施例1と全く同様の構成、製法によって光磁気ディスク
を作製した。このディスクの磁性層の構成では第(2
m)磁性層がフェロ磁性の面内磁化膜となっているが、
第(2m+1)磁性層の垂直磁気異方性が大きいので、
良好な磁区の形成と保存が可能である。また、読み出し
側の磁性層に軽希土類元素を用いたため、短波長におけ
る磁気光学効果が向上した。さらにこのディスクではm
が3以上の時に、第(2m)磁性層のキュリー温度と第
2(m+1)磁性層のキュリー温度とが等しくなってい
る。しかし、このような場合でもレーザー照射時に磁性
層の膜厚方向にわずかな温度勾配が生じるために本発明
の記録プロセスが成り立つ。 実施例7 磁性層の構成を第7表が示すように構成した以外には実
施例1と全く同様の構成、製法にして光磁気ディスクを
作製した。このディスクの磁性層の構成も実施例6と同
様に第(2m)磁性層が面内磁化膜となっている。さら
に第7磁性層の上にもう一層、短波長における磁気光学
効果を向上させることを目的とした磁性層を交換結合さ
せて積層した。また、第4磁性層を実質的に省略し、第
3磁性層と第5磁性層との界面近傍10nm程度の部分
の、成膜時のスパッタArガス圧を、通常の0.3Pa
から3.0Paに上昇させることによって、界面磁壁エ
ネルギーの調整を行なった。 実施例8 磁性層の構成を第8表が示すように構成した以外には実
施例1と全く同様の構成、製法によって光磁気ディスク
を作製した。このディスクの磁性層の構成では第4磁性
層がそれ自身、順に第41,42,43磁性層から成る
三層の複合膜構成になっている。この媒体はTc3 近傍
への加熱によって、第3磁性層および第5磁性層の磁化
が消失すると同時に第4磁性層の各層の磁化が反転し、
これが第3磁性層および第5磁性層に転写されるという
プロセスを採る。また、Tc3 近傍の温度において第4
磁性層の各層は充分に大きな磁化を有しており、かつ保
磁力の小さな材料で構成してあるために、自身の反磁界
によって第4磁性層を磁化反転させることができる。こ
のために記録時のバイアス磁界が不要になる。
【0112】この例のように本発明の磁性複合膜の前後
に他の磁性層を積層したり、本発明の磁性複合膜の内の
一層を複合膜化したものなども本発明に含まれる。 実施例9 磁性層の構成を第9表が示すように構成した以外には実
施例1と全く同様の構成、製法によって光磁気ディスク
を作製した。このディスクの磁性層の構成では第(2m
+1)磁性層にPt2nmとCo0.5nmとを交互に
積層した周期構造膜を配し、第(2m)磁性層にTbF
eCoを配してこれを保持している。第9磁性層として
それぞれ4周期分の、第7、第5磁性層としてそれぞれ
2周期分のPt/Co周期構造を形成してある。 実施例10 磁性層の構成を第10表が示すように構成し、第9磁性
層から順次第1磁性層まで積層した後、熱的特性を改善
する目的で30nmの窒化珪素層を介して60nmのA
lの熱拡散層を形成した。この他は実施例1と全く同様
の構成,製法よって、光磁気ディスクを作製した。
【0113】
【発明の効果】以上詳細に説明したように本発明の光磁
気記録媒体は、光変調によるオーバーライト機能を有
し、従来の同様な機能を有する媒体に比べて高感度かつ
高再生信号品質とすることができ、更に情報の保存性、
特に再生耐久性を向上させる効果があり、またこれによ
り記録再生時のレーザーパワーのマージンが拡大する。
【0114】本発明は前述の実施例の他にも種々の応用
が可能であり、また本発明は各磁性層の界面が急峻であ
って、かつ明瞭な構成に限定するものではなく、材料、
組成が膜厚方向に徐々に変化しているような構成でも可
能である。更に本発明の光磁気記録媒体は記録に際して
必ずしも外部磁界を必要とするものではなく、例えば反
磁界エネルギーやブロッホ磁壁エネルギー等を利用し
て、記録を行なうことも可能である。本発明は特許請求
の範囲から逸脱しない限りこのような応用例を全て包含
するものである。
【0115】
【表1】
【0116】
【表2】
【0117】
【表3】
【0118】
【表4】
【0119】
【表5】
【0120】
【表6】
【0121】
【表7】
【0122】
【表8】
【0123】
【表9】
【0124】
【表10】
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一つの実施態様における光磁気記録媒
体の記録プロセスを表す図であり、媒体温度の変化に伴
う磁性層の磁化配向状態の遷移の過程を示している。図
中の1〜7はそれぞれ第1磁性層〜第7磁性層に対応し
ている。矢印は互いに平行に配位したときにエネルギー
状態が安定となる原子スピンの向きを示している。斜線
部は原子スピンの不整合があり、それによって界面磁壁
が形成されていることを示している。
【図2】本発明の一つの実施態様における光磁気記録媒
体の概略構成を示す模式的断面図である。
【図3】本発明の第1の実施態様における光磁気記録媒
体の各磁性層の飽和磁化及び保磁力の温度依存性を示し
た図である。
【図4】各磁性層間の界面磁壁エネルギー密度の温度依
存性を示した図である。
【図5】本発明の第1の実施態様における光磁気記録媒
体の記録プロセスを表す図であり、媒体温度の変化に伴
う磁性層の磁化配向状態の遷移の過程を示している。図
中3〜7はそれぞれ第3磁性層〜第7磁性層に対応して
いる。矢印は鉄族元素の原子スピンの向きを示してお
り、白抜きの矢印は磁化の向きを示している。斜線部は
原子スピンの不整合があることを示している。
【図6】本発明の第1の実施態様における光磁気記録媒
体において、ビットエラーレートが5×10-5以下とな
る記録パワーの領域を示した図である。
【図7】本発明の第1の実施態様における光磁気記録媒
体において、C/Nと記録パワーとの関係を示した図で
ある。
【図8】比較例1の光磁気記録媒体において、ビットエ
ラーレートが5×10-5以下となる記録パワーの領域を
示した図である。
【図9】比較例1の光磁気記録媒体において、C/Nと
記録パワーとの関係を示した図である。
【図10】比較例2の光磁気記録媒体において、ビット
エラーレートが5×10-5以下となる記録パワーの領域
を示した図である。
【図11】比較例3の光磁気記録媒体において、ビット
エラーレートが5×10-5以下となる記録パワーの領域
を示した図である。
【図12】本発明の第2の実施態様における光磁気記録
媒体の各磁性層の飽和磁化の温度依存性を示した図であ
る。
【図13】各磁性層の保磁力の温度依存性を示した図で
ある。
【図14】各磁性層間の界面磁壁エネルギー密度の温度
依存性を示した図である。
【図15】本発明の第2の実施態様における光磁気記録
媒体の記録プロセスを表す図であり、媒体温度の変化に
伴う磁性層の磁化配向状態の遷移の過程を示している。
図中3〜9はそれぞれ第3磁性層〜第9磁性層に対応し
ている。矢印は鉄族元素の原子スピンの向きを示してお
り、白抜きの矢印は磁化の向きを示している。斜線部は
原子スピンの不整合があることを示す。
【図16】本発明の第5の実施態様における光磁気記録
媒体の各磁性層の飽和磁化の温度依存性を示した図であ
る。
【図17】各磁性層の保磁力の温度依存性を示した図で
ある。
【図18】各磁性層間の界面磁壁エネルギー密度の温度
依存性を示した図である。
【図19】本発明の第5の実施態様における光磁気記録
媒体の記録プロセスを表す図であり、媒体温度の変化に
伴う磁性層の磁化配向状態の遷移の過程を示している。
図中1〜9はそれぞれ第1磁性層〜第9磁性層に対応し
ている。矢印は鉄族元素の原子スピンの向きを示してお
り、白抜きの矢印は磁化の向きを示している。斜線部は
原子スピンの不整合があることを示す。
【図20】本発明の第5の実施の態様における光磁気記
録媒体において、ビットエラーレートが5×10-5以下
となる記録パワーの領域を示した図である。
【図21】本発明の第5の実施の態様における光磁気記
録媒体において、C/Nと記録パワーとの関係を示した
図である。

Claims (9)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】基板上にn層(nは7以上の奇数)の磁性
    薄膜が交換結合をして積層されている光磁気記録媒体で
    あり、該n層の磁性薄膜を順に第1磁性層、第2磁性
    層、・・・、第n磁性層とし、第i磁性層のキュリー温
    度をTci としたときに適当な一定の外部磁界(Hb)
    印加の下で以下の条件を満たしていることを特徴とする
    光磁気記録媒体(ただしTcn+1 は周囲温度、mは(n
    −1)/2以下の任意の自然数とする)。 1.Tc1 ≧Tc3 2.m≧2のとき、Tc2m≧Tc2(m+1) 3.Tc6 ≧Tc2 ≧Tcn+1 4.Tc2m+1≧Tc6 5.室温において、第1磁性層が適当な所定の配向状態
    に着磁されており、各磁性層の原子スピンが膜厚方向全
    体に渡って整合している第1の磁化状態か、若しくは、
    第1磁性層が前記所定の配向状態に着磁されており第3
    磁性層と第5磁性層の間に原子スピンの不整合があって
    界面磁壁が形成されている他は各磁性層の原子スピンが
    整合している第2の磁化状態か、何れかの磁化状態をと
    っていること。 6.前記の第1および第2の磁化状態から第6磁性層の
    温度がTc6 近傍の温度以上となり、第3磁性層の温度
    がTc3 に達しない適当な第1の温度状態になるまで加
    熱したときに交換相互作用による結合状態が安定な状態
    になるように第4磁性層および第5磁性層の磁化が第3
    磁性層に対して原子スピンを整合させて配向し、第3磁
    性層の磁化は加熱前の配向状態を保持すること。 7.前記の第1および第2の磁化状態から第3磁性層の
    温度がTc3 近傍の温度となる適当な第二の温度状態ま
    で加熱したときに第3磁性層の磁化が加熱前の配向状態
    と異なる配向状態に状態遷移すること。 8.前記の第1および第2の磁化状態から前記の第1お
    よび第2の温度状態になるまで加熱した後の各々の冷却
    過程において第(2m)磁性層の温度がTc2m近傍の温
    度に降下したときに交換相互作用による結合状態が安定
    な状態となるように第(2m)磁性層および第(2m+
    1)磁性層の磁化が第(2m−1)磁性層に対して原子
    スピンを整合させて配向し、第(2m−1)磁性層の磁
    化はその直前の配向状態を保持すること。 9.前記の第1および第2の磁化状態から前記の第2の
    温度状態になるまで加熱した後の冷却過程において第2
    磁性層の温度がTc2 近傍の温度に降下して、交換相互
    作用による結合状態が安定な状態となるように第2磁性
    層および第3磁性層の磁化が第1磁性層に対して原子ス
    ピンを整合させて配向したとき、第5磁性層の磁化はそ
    の直前の配向状態を保持すること。 10.前記の第1および第2の磁化状態から前記の第1
    および第2の温度状態になるまで加熱後冷却する各々の
    過程において、第1磁性層の磁化は常に前記の所定の配
    向状態を保持すること。
  2. 【請求項2】 基板上に(n−2)層(nは7以上の奇
    数)の磁性薄膜が交換結合をして積層されている光磁気
    記録媒体であり、該(n−2)層の磁性薄膜を順に第3
    磁性層、第4磁性層、・・・、第n磁性層とし、第i磁
    性層のキュリー温度をTci としたとき、以下の条件を
    満たしていることを特徴とする光磁気記録媒体( ただ
    しTcn+1 は周囲温度とし、mは2以上、(n−1)/
    2以下の任意の自然数とする)。 1.Tc2m≧Tc2(m+1) 2.Tc2m+1≧Tc6 ,Tc3 ≧Tc6 3.適当な第1の外部磁界(Hini)を印加した時、
    第3磁性層の磁化が、該外部磁界に対して安定な状態と
    なるように配向し、かつ第5磁性層の磁化は該外部磁界
    印加前の配向状態を保持すること。以下の各条件は前記
    の第1の外部磁界(Hini)を印加した後、適当な一
    定の第2の外部磁界(Hb)印加の下で成り立つこと。 4.室温において第3磁性層および第5磁性層は前記の
    第一の外部磁界(Hini)を印加した直後の磁化状態
    を保持しており、各磁性層の原子スピンが膜厚方向全体
    に渡って整合している第一の磁化状態か、もしくは第3
    磁性層と第5磁性層の間に原子スピンの不整合があって
    界面磁壁が形成されている他は各磁性層の原子スピンが
    整合している第2の磁化状態か、何れかの磁化状態をと
    っていること。 5.前記の第1および第2の磁化状態から第6磁性層の
    温度がTc6 近傍の温度以上となり、第3磁性層の温度
    がTc3 に達しない適当な第一の温度状態になるまで加
    熱したときに交換相互作用による結合状態が安定な状態
    になるように第4磁性層および第5磁性層の磁化が第3
    磁性層に対して原子スピンを整合させて配向し、第3磁
    性層の磁化は加熱前の配向状態を保持すること。 6.前記の第1および第2の磁化状態から第3磁性層の
    温度がTc3 近傍の温度となる適当な第2の温度状態ま
    で加熱したときに第3磁性層の磁化が加熱前の配向状態
    と異なる配向状態に状態遷移すること。 7.前記の第1および第2の磁化状態から前記の第1お
    よび第2の温度状態になるまで加熱した後の各々の冷却
    過程において第(2m)磁性層の温度がTc2m近傍の温
    度に降下したときに交換相互作用による結合状態が安定
    な状態となるように第(2m)磁性層及び第(2m+
    1)磁性層の磁化が第(2m−1)磁性層に対して原子
    スピンを整合させて配向し、第(2m−1)磁性層の磁
    化はその直前の配向状態を保持すること。
  3. 【請求項3】 特許請求の範囲の請求項1および請求項
    2に記載の光磁気記録媒体であり、各磁性層が希土類−
    鉄族非晶質合金で構成されていることを特徴とする光磁
    気記録媒体。
  4. 【請求項4】 請求項1および請求項2に記載の光磁気
    記録媒体であり、第4磁性層が相対的に他の磁性層より
    も磁壁エネルギー密度の小さい材料、組成で構成されて
    いることを特徴とする光磁気記録媒体。
  5. 【請求項5】 請求項4に記載の光磁気記録媒体であ
    り、第4磁性層がGdを主成分とした希土類元素と鉄族
    元素との非晶質合金で構成されていることを特徴とする
    光磁気記録媒体。
  6. 【請求項6】 請求項4に記載の光磁気記録媒体であ
    り、第4磁性層が、希土類副格子磁化優勢の希土類−鉄
    族非晶質合金で構成されていることを特徴とする光磁気
    記録媒体。
  7. 【請求項7】 請求項4に記載の光磁気記録媒体であ
    り、第4磁性層の飽和磁化Ms4 が200emu /cm3
    以上であることを特徴とする光磁気記録媒体。
  8. 【請求項8】 請求項1および請求項2に記載の光磁気
    記録媒体であり、Tc2m+1≧Tc3 であることを特徴と
    する光磁気記録媒体。
  9. 【請求項9】 請求項1および請求項2に記載の光磁気
    記録媒体であり、第4磁性層を除く第(2m)磁性層の
    膜厚が10nm以下であることを特徴とする光磁気記録
    媒体。
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