JPH0579947A - ホログラム特性評価方法及びその装置 - Google Patents
ホログラム特性評価方法及びその装置Info
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- JPH0579947A JPH0579947A JP23933691A JP23933691A JPH0579947A JP H0579947 A JPH0579947 A JP H0579947A JP 23933691 A JP23933691 A JP 23933691A JP 23933691 A JP23933691 A JP 23933691A JP H0579947 A JPH0579947 A JP H0579947A
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- hologram
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 ホログラム特性評価方法及びその装置に関
し、短時間内に信頼性の高い特性評価ができるようにす
ることを目的とする。 【構成】 レーザ光線Ｌをホログラム１に入射させ、ホ
ログラム１を回転させながらホログラム１を透過した０
次光Ｌ０の強度を検知し、０次光強度に基づいてブラッ
グ角θを割り出し、ホログラム１の入射角度をブラッグ
角θに設定し、ブラッグ角θにおけるホログラム１の１
次光強度を測定して回折効率ηを求める構成とする。
し、短時間内に信頼性の高い特性評価ができるようにす
ることを目的とする。 【構成】 レーザ光線Ｌをホログラム１に入射させ、ホ
ログラム１を回転させながらホログラム１を透過した０
次光Ｌ０の強度を検知し、０次光強度に基づいてブラッ
グ角θを割り出し、ホログラム１の入射角度をブラッグ
角θに設定し、ブラッグ角θにおけるホログラム１の１
次光強度を測定して回折効率ηを求める構成とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ホログラム特性評価方
法及びその装置に関する。
法及びその装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】ホログラムは、レーザ光線等の可干渉性
光により得られる干渉縞面を写真フィルム等に記録した
ものであり、反射光の収束性を利用した光学像の記録
や、回折現象を利用した光学素子として利用されてい
る。光学素子としては、例えばバーコードリーダのホロ
グラムスキャナ等に利用されている。
光により得られる干渉縞面を写真フィルム等に記録した
ものであり、反射光の収束性を利用した光学像の記録
や、回折現象を利用した光学素子として利用されてい
る。光学素子としては、例えばバーコードリーダのホロ
グラムスキャナ等に利用されている。
【０００３】これら光学素子として使用されているホロ
グラムにおいては、光の利用効率を高めれば高める程、
装置の性能を高めることができる。特に、バーコードリ
ーダのホログラムスキャナにおいては、入射条件を異な
らせた複数のホログラムが重ねて使用され、一つのホロ
グラムによって回折された光が他のホログラムの影響を
受けてノイズ及び減衰を生じないようにするために、各
ホログラムの特性を正確に評価し、最良の組合せを求め
ることが要求されている。
グラムにおいては、光の利用効率を高めれば高める程、
装置の性能を高めることができる。特に、バーコードリ
ーダのホログラムスキャナにおいては、入射条件を異な
らせた複数のホログラムが重ねて使用され、一つのホロ
グラムによって回折された光が他のホログラムの影響を
受けてノイズ及び減衰を生じないようにするために、各
ホログラムの特性を正確に評価し、最良の組合せを求め
ることが要求されている。
【０００４】従来、ホログラムの特性を評価する事項と
してブラッグ角θと回折効率ηとがあり、従来は、図４
に示すような方法で測定されている。回転ステージ１０
２に支持させたホログラム１０１にレーザ光線発射装置
１０３からレーザ光線Ｌを発射し、回転ステージ１０２
を僅かな角度ずつ（例えば１°ずつ）回転させ、ホログ
ラム１０１で回折された光線のうち最も光強度が強い１
次光Ｌ１の光路上に１次光検出器１０５を移動させて１
次光強度を１次光検出器１０５で検出し、この１次光強
度が最大になる入射角度、すなわち、ブラッグ角θを割
り出すとともに、測定された１次光強度に基づき回折効
率ηを求めている。ここで、回析効率ηとは、ホログラ
ム１０１に入射するレーザ光線Ｌの光量Ｐinに対する１
次光Ｌ１の光量Ｐout の百分率である。
してブラッグ角θと回折効率ηとがあり、従来は、図４
に示すような方法で測定されている。回転ステージ１０
２に支持させたホログラム１０１にレーザ光線発射装置
１０３からレーザ光線Ｌを発射し、回転ステージ１０２
を僅かな角度ずつ（例えば１°ずつ）回転させ、ホログ
ラム１０１で回折された光線のうち最も光強度が強い１
次光Ｌ１の光路上に１次光検出器１０５を移動させて１
次光強度を１次光検出器１０５で検出し、この１次光強
度が最大になる入射角度、すなわち、ブラッグ角θを割
り出すとともに、測定された１次光強度に基づき回折効
率ηを求めている。ここで、回析効率ηとは、ホログラ
ム１０１に入射するレーザ光線Ｌの光量Ｐinに対する１
次光Ｌ１の光量Ｐout の百分率である。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】この従来の技術におい
ては、１次光検出器１０５をホログラム１０１の１次光
Ｌ１の方向の変化に対応して移動させる必要があるが、
ホログラム１０１から１次光検出器１０５までの距離の
変化、１次光Ｌ１の移動に対する１次光検出器１０５の
追随性のばらつき等によって再現性が損なわれ、測定の
信頼性が低くなるという問題がある。
ては、１次光検出器１０５をホログラム１０１の１次光
Ｌ１の方向の変化に対応して移動させる必要があるが、
ホログラム１０１から１次光検出器１０５までの距離の
変化、１次光Ｌ１の移動に対する１次光検出器１０５の
追随性のばらつき等によって再現性が損なわれ、測定の
信頼性が低くなるという問題がある。
【０００６】また、回転ステージ１０２を僅かずつ回転
させながら１次光検出器１０５の移動と１次光強度の測
定とを繰り返すので、ブラッグ角θの割り出しに非常に
長い時間が必要になる。
させながら１次光検出器１０５の移動と１次光強度の測
定とを繰り返すので、ブラッグ角θの割り出しに非常に
長い時間が必要になる。
【０００７】本発明は、上記の事情を鑑みてなされたも
のであり、短時間内に信頼性の高い特性評価ができるよ
うにしたホログラムの特性評価方法及びその装置を提供
することを目的とする。
のであり、短時間内に信頼性の高い特性評価ができるよ
うにしたホログラムの特性評価方法及びその装置を提供
することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明方法は、上記の目
的を達成するため、例えば図１に示すように、レーザ光
線Ｌをホログラム１に入射させ、ホログラム１を回転さ
せながらホログラム１を透過した０次光Ｌ０の強度を測
定し、該０次光強度が最小値となるホログラム１の回転
角度をブラッグ角θとするようにしている。更に、上記
ブラッグ角θにおけるホログラム１の１次光強度を測定
して回折効率ηを求めるようにしている。
的を達成するため、例えば図１に示すように、レーザ光
線Ｌをホログラム１に入射させ、ホログラム１を回転さ
せながらホログラム１を透過した０次光Ｌ０の強度を測
定し、該０次光強度が最小値となるホログラム１の回転
角度をブラッグ角θとするようにしている。更に、上記
ブラッグ角θにおけるホログラム１の１次光強度を測定
して回折効率ηを求めるようにしている。
【０００９】上記、ブラッグ角θは、上記０次光強度が
最小値よりも大きいスライスレベルＳとなるレーザ光線
Ｌの２つの入射角θ1,θ2 を検出し、この２つの入射角
θ1,θ2 の中心値を算出することによっても求めること
が出来る。
最小値よりも大きいスライスレベルＳとなるレーザ光線
Ｌの２つの入射角θ1,θ2 を検出し、この２つの入射角
θ1,θ2 の中心値を算出することによっても求めること
が出来る。
【００１０】上記の方法を実現する装置は、例えば、ホ
ログラム１を支持して回転する回転ステージ２と、回転
ステージ２の回転軸心に向かってレーザ光線Ｌを発射す
るレーザ光線発射装置３と、回転ステージ２に支持され
たホログラム１の０次光Ｌ０を検出する０次光検知器４
と、１次光Ｌ１を検出する１次光検出器５と、０次光検
出器４が検出する０次光Ｌ０に基づいてブラッグ角θを
算出するブラッグ角算出手段８１と、１次光検出器５が
検出するブラッグ角θにおける１次光強度を測定して回
折効率ηを算出する回折効率算出手段８２とを備えてい
る。
ログラム１を支持して回転する回転ステージ２と、回転
ステージ２の回転軸心に向かってレーザ光線Ｌを発射す
るレーザ光線発射装置３と、回転ステージ２に支持され
たホログラム１の０次光Ｌ０を検出する０次光検知器４
と、１次光Ｌ１を検出する１次光検出器５と、０次光検
出器４が検出する０次光Ｌ０に基づいてブラッグ角θを
算出するブラッグ角算出手段８１と、１次光検出器５が
検出するブラッグ角θにおける１次光強度を測定して回
折効率ηを算出する回折効率算出手段８２とを備えてい
る。
【００１１】また、上記に加え更に、回転ステージ２の
回転角を制御する回転角制御手段８３と１次光検出器５
の位置を制御する位置制御手段８４とを備えることも可
能である。更に上記０次光検出器４は１次光検出器５に
兼用することも可能である。
回転角を制御する回転角制御手段８３と１次光検出器５
の位置を制御する位置制御手段８４とを備えることも可
能である。更に上記０次光検出器４は１次光検出器５に
兼用することも可能である。
【００１２】
【作 用】本発明においては、０次光検出器４が入射角
度の変化に対して位置的変化がない０次光Ｌ０を検出す
るので、入射角度を連続的に変化させても正確にホログ
ラム１の０次光Ｌ０が検出され、０次光強度が連続的に
測定される。
度の変化に対して位置的変化がない０次光Ｌ０を検出す
るので、入射角度を連続的に変化させても正確にホログ
ラム１の０次光Ｌ０が検出され、０次光強度が連続的に
測定される。
【００１３】ホログラム１の０次光強度と１次光強度と
は、いわゆる、トレードオフの関係にあるので、その入
射角度で１次光強度が最大となるブラッグ角θは０次光
強度が最も小さくなる入射角度を求めることにより求め
ることができる。
は、いわゆる、トレードオフの関係にあるので、その入
射角度で１次光強度が最大となるブラッグ角θは０次光
強度が最も小さくなる入射角度を求めることにより求め
ることができる。
【００１４】また、このように直接にブラッグ角θを割
り出す方法の他に、０次光強度が所定値のスライスレベ
ルＳ以下になる入射角度θ1 ，θ2 を測定し、この２つ
の入射角度θ1 ，θ2 の差の１／２よりブラッグ角θを
演算することが可能である。この場合には上記スライス
レベルＳを複数設定することによって更に精度よくブラ
ッグ角θを求めることができる。
り出す方法の他に、０次光強度が所定値のスライスレベ
ルＳ以下になる入射角度θ1 ，θ2 を測定し、この２つ
の入射角度θ1 ，θ2 の差の１／２よりブラッグ角θを
演算することが可能である。この場合には上記スライス
レベルＳを複数設定することによって更に精度よくブラ
ッグ角θを求めることができる。
【００１５】本発明においては、上記のように０次光強
度の検出によってブラッグ角θを割り出した後、回転ス
テージ２を制御してレーザ光Ｌの入射角度をブラッグ角
θに設定し、ブラッグ角θにおける１次光Ｌ１の光路上
に１次光検出器５を移動させることにより、ブラッグ角
θにおける１次光強度が測定され、回折効率ηが演算さ
れる。
度の検出によってブラッグ角θを割り出した後、回転ス
テージ２を制御してレーザ光Ｌの入射角度をブラッグ角
θに設定し、ブラッグ角θにおける１次光Ｌ１の光路上
に１次光検出器５を移動させることにより、ブラッグ角
θにおける１次光強度が測定され、回折効率ηが演算さ
れる。
【００１６】
【実施例】本発明の一実施例に係るホログラム特性評価
方法及びその装置を図１ないし図３に基づき説明すれ
ば、以下の通りである。
方法及びその装置を図１ないし図３に基づき説明すれ
ば、以下の通りである。
【００１７】図１は本発明の一実施例に係るホログラム
特性評価方法及びその装置の原理図であり、このホログ
ラム特性評価装置は、ホログラム１を回転ステージ２に
支持させ、レーザ光線発射装置３から回転ステージ２の
回転軸心に向かってレーザ光線Ｌを発射し、その透過
光、すなわち、０次光Ｌ０を０次光検出器４によって検
出するようにしてある。
特性評価方法及びその装置の原理図であり、このホログ
ラム特性評価装置は、ホログラム１を回転ステージ２に
支持させ、レーザ光線発射装置３から回転ステージ２の
回転軸心に向かってレーザ光線Ｌを発射し、その透過
光、すなわち、０次光Ｌ０を０次光検出器４によって検
出するようにしてある。
【００１８】このため、０次光検出器４は回転ステージ
２のレーザ光線発射装置３と反対側に配置される。ホロ
グラム１を透過する０次光Ｌ０は入射角度の変化に対す
る位置的変化がないので、０次光検出を行う間、０次光
検出器４は一定の位置に固定される。なお、この０次光
検出器４は後述するようにホログラム１の１次光Ｌ１を
検出する１次光検出器５に兼用されている。
２のレーザ光線発射装置３と反対側に配置される。ホロ
グラム１を透過する０次光Ｌ０は入射角度の変化に対す
る位置的変化がないので、０次光検出を行う間、０次光
検出器４は一定の位置に固定される。なお、この０次光
検出器４は後述するようにホログラム１の１次光Ｌ１を
検出する１次光検出器５に兼用されている。
【００１９】回転ステージ２の動作を制御する制御ユニ
ット６は、ドライバーユニット７とパーソナルコンピュ
ータからなる制御部８とを備えている。更に、制御部８
には０次光検出器４が検出する０次光強度データを入力
し、０次光強度の変化を監視し、０次光強度が最小とな
る入射角度をブラッグ角θとして算出するブラッグ角算
出手段８１と、下記に回折効率ηを算出する回折効率算
出手段８２を備えている。該制御部８には更に、回転ス
テージ２を１方向あるいは正逆両方向に回転させる回転
角制御手段８３と、ブラッグ角θの位置に迄１次光検出
器５を移動させる位置制御手段８４を備えている。尚、
ドライバーユニット７には、上記回転角制御手段８３か
ら回転ステージ２のアクチュエータへの信号、あるいは
位置制御手段８４から１次光検出器５のアクチュエータ
への信号をＡ／Ｄ変換するＡＤ変換器、あるいは、０次
光検出器４、１次光検出器５の出力を処理するアンプあ
るいはＤＡ変換器が内蔵されている。
ット６は、ドライバーユニット７とパーソナルコンピュ
ータからなる制御部８とを備えている。更に、制御部８
には０次光検出器４が検出する０次光強度データを入力
し、０次光強度の変化を監視し、０次光強度が最小とな
る入射角度をブラッグ角θとして算出するブラッグ角算
出手段８１と、下記に回折効率ηを算出する回折効率算
出手段８２を備えている。該制御部８には更に、回転ス
テージ２を１方向あるいは正逆両方向に回転させる回転
角制御手段８３と、ブラッグ角θの位置に迄１次光検出
器５を移動させる位置制御手段８４を備えている。尚、
ドライバーユニット７には、上記回転角制御手段８３か
ら回転ステージ２のアクチュエータへの信号、あるいは
位置制御手段８４から１次光検出器５のアクチュエータ
への信号をＡ／Ｄ変換するＡＤ変換器、あるいは、０次
光検出器４、１次光検出器５の出力を処理するアンプあ
るいはＤＡ変換器が内蔵されている。
【００２０】上記構成において、０次光検出器４が検出
する０次光強度の変化は、例えば図２に破線で示すよう
に、入射角度に対して最小値を有する曲線を示し、その
最小値を示す入射角度では０次光Ｌ０とトレードオフの
関係にある１次光Ｌ１は図２に実線で示すように最大値
となる。
する０次光強度の変化は、例えば図２に破線で示すよう
に、入射角度に対して最小値を有する曲線を示し、その
最小値を示す入射角度では０次光Ｌ０とトレードオフの
関係にある１次光Ｌ１は図２に実線で示すように最大値
となる。
【００２１】したがって、上記回転角制御手段８３を作
動させて回転ステージ２を回転させ、上記０次光検出器
４の検出する０次光強度が最小となる入射角度を上記ブ
ラッグ角算出手段８１で算出することによりブラッグ角
θが割り出される。尚、上記ブラッグ角θはプリンタに
よって印刷される上記曲線を目視で判定して見つけるこ
とも可能であるが、自動検出しようとすれば上記ブラッ
グ角算出手段８１が必要となる。
動させて回転ステージ２を回転させ、上記０次光検出器
４の検出する０次光強度が最小となる入射角度を上記ブ
ラッグ角算出手段８１で算出することによりブラッグ角
θが割り出される。尚、上記ブラッグ角θはプリンタに
よって印刷される上記曲線を目視で判定して見つけるこ
とも可能であるが、自動検出しようとすれば上記ブラッ
グ角算出手段８１が必要となる。
【００２２】また、上記制御ユニット６は、ブラッグ角
θを割り出した後、オペレータの指示に基づいて回転角
制御手段８３を作動させ、回転ステージ２をブラッグ角
θに迄回転させ、更に、位置制御手段８４を作動させ
て、０次光検出器４を兼ねる１次光検出器５を回転ステ
ージ２の回転軸心回りに揺動させてブラッグ角θにおけ
る１次光Ｌ１を検出させるようにしている。このように
検出された１次光の強度は回折効率算出手段８２に供さ
れ、ここで回折効率ηが算出される。
θを割り出した後、オペレータの指示に基づいて回転角
制御手段８３を作動させ、回転ステージ２をブラッグ角
θに迄回転させ、更に、位置制御手段８４を作動させ
て、０次光検出器４を兼ねる１次光検出器５を回転ステ
ージ２の回転軸心回りに揺動させてブラッグ角θにおけ
る１次光Ｌ１を検出させるようにしている。このように
検出された１次光の強度は回折効率算出手段８２に供さ
れ、ここで回折効率ηが算出される。
【００２３】なお、上記制御ユニット６の位置制御手段
８４は、回折効率ηの演算後、０次光検出器４を兼ねる
１次光検出器５を元の位置、すなわち、０次光を検出す
る位置に戻すように構成される。
８４は、回折効率ηの演算後、０次光検出器４を兼ねる
１次光検出器５を元の位置、すなわち、０次光を検出す
る位置に戻すように構成される。
【００２４】この装置を用いると、ホログラム１を回転
ステージ２の回転軸心上に固定し、ホログラム１を連続
して回転させながらレーザ光線Ｌをホログラム１に照射
すれば、０次光検出器４によって０次光強度を連続測定
してブラッグ角θが割り出される。
ステージ２の回転軸心上に固定し、ホログラム１を連続
して回転させながらレーザ光線Ｌをホログラム１に照射
すれば、０次光検出器４によって０次光強度を連続測定
してブラッグ角θが割り出される。
【００２５】したがって、回転ステージ２の回転と、１
次光検出器５の位置合わせと、１次光強度の測定を繰り
返す従来の技術に比べると、約半分程度の短時間でしか
も高精度にブラッグ角θを割り出すことができた。
次光検出器５の位置合わせと、１次光強度の測定を繰り
返す従来の技術に比べると、約半分程度の短時間でしか
も高精度にブラッグ角θを割り出すことができた。
【００２６】また、この装置を用いてブラッグ角θを割
り出した後、ホログラム１の入射角度をブラッグ角θに
設定して１次光強度の測定をすることにより、再現性の
高い、正確なブラッグ角θにおける１次光強度を測定す
ることができ、測定の信頼性を高めることができる。
り出した後、ホログラム１の入射角度をブラッグ角θに
設定して１次光強度の測定をすることにより、再現性の
高い、正確なブラッグ角θにおける１次光強度を測定す
ることができ、測定の信頼性を高めることができる。
【００２７】本発明の他の実施例では、上記制御ユニッ
ト６が直接に０次光強度が最小となる入射角度をブラッ
グ角θとして割り出すのではなく、図３に示すように、
０次光強度が最小値よりも大きい所定値のスライスレベ
ルＳ0 となるレーザ光Ｌの入射角度θ1 ，θ2 を測定
し、この入射角度θ1 ，θ2 の差θ2 −θ1 ＝Δθの１
／２の角度位置｛θ1 ＋（θ2 −θ1 ）／２｝をブラッ
グ角算出手段８１でブラッグ角θとして算出する。この
場合には、上記スライスレベルＳを複数（符号Ｓ 1 参
照）採用することによって更に精度の高い測定が可能と
なる。
ト６が直接に０次光強度が最小となる入射角度をブラッ
グ角θとして割り出すのではなく、図３に示すように、
０次光強度が最小値よりも大きい所定値のスライスレベ
ルＳ0 となるレーザ光Ｌの入射角度θ1 ，θ2 を測定
し、この入射角度θ1 ，θ2 の差θ2 −θ1 ＝Δθの１
／２の角度位置｛θ1 ＋（θ2 −θ1 ）／２｝をブラッ
グ角算出手段８１でブラッグ角θとして算出する。この
場合には、上記スライスレベルＳを複数（符号Ｓ 1 参
照）採用することによって更に精度の高い測定が可能と
なる。
【００２８】この実施例のその他の構成及び作用は上記
の一実施例のそれらと同様であるので、その説明は重複
をさけるため、省略する。この実施例においては、ブラ
ッグ角θあるいはその近傍の入射角度で生じる裏面反射
等によるノイズの影響がなくなるとともに、ブラッグ角
θの近傍で測定される０次光強度の変化率が小さい場合
にも正確なブラッグ角θを求めることができる。
の一実施例のそれらと同様であるので、その説明は重複
をさけるため、省略する。この実施例においては、ブラ
ッグ角θあるいはその近傍の入射角度で生じる裏面反射
等によるノイズの影響がなくなるとともに、ブラッグ角
θの近傍で測定される０次光強度の変化率が小さい場合
にも正確なブラッグ角θを求めることができる。
【００２９】この実施例のその他の効果と上記の一実施
例の効果と同様であるので、重複を避けるため、その説
明も省略する。上記の各実施例においては、０次光検出
器４が１次光検出器５に兼用されているが、０次光検出
器４と１次光検出器５とを別個の光検出器で構成するこ
とは何ら妨げない。０次光検出器４と１次光検出器５と
を別個の光検出器で構成する場合には、０次光検出器４
を全く移動させずに一定の箇所に固定しておけるので、
ブラッグ角の割り出しに際しての測定誤差の発生を一層
確実に防止できることになる。
例の効果と同様であるので、重複を避けるため、その説
明も省略する。上記の各実施例においては、０次光検出
器４が１次光検出器５に兼用されているが、０次光検出
器４と１次光検出器５とを別個の光検出器で構成するこ
とは何ら妨げない。０次光検出器４と１次光検出器５と
を別個の光検出器で構成する場合には、０次光検出器４
を全く移動させずに一定の箇所に固定しておけるので、
ブラッグ角の割り出しに際しての測定誤差の発生を一層
確実に防止できることになる。
【００３０】
【発明の効果】以上のように、本発明によれば、入射角
度の変化に対して位置的変化がない０次光を検出してブ
ラッグ角を割り出すので、ホログラムの入射角度を連続
変化させながら一定の位置に固定された０次光検出器で
０次光を連続して検出することができる。したがって、
ホログラムの入射角度を変化させるごとに１次光検出器
の移動と１次光強度の測定とを繰り返す従来の技術に比
べて、解像度を制限されることなく、短時間でブラッグ
角を割り出すことができる。
度の変化に対して位置的変化がない０次光を検出してブ
ラッグ角を割り出すので、ホログラムの入射角度を連続
変化させながら一定の位置に固定された０次光検出器で
０次光を連続して検出することができる。したがって、
ホログラムの入射角度を変化させるごとに１次光検出器
の移動と１次光強度の測定とを繰り返す従来の技術に比
べて、解像度を制限されることなく、短時間でブラッグ
角を割り出すことができる。
【００３１】また、０次光を検出する０次光検出器がホ
ログラムに対して一定の位置に保持されるので、０次光
検出器の位置変動による誤差が生じるおそれがなく、正
確にブラッグ角を割り出すことができる。
ログラムに対して一定の位置に保持されるので、０次光
検出器の位置変動による誤差が生じるおそれがなく、正
確にブラッグ角を割り出すことができる。
【００３２】特に、本発明において、０次光強度が最小
値よりも大きい所定値以下となるホログラムの入射角度
範囲を測定し、この入射角度範囲の中心値をブラッグ角
として演算する場合には、ブラッグ角あるいはその近傍
の入射角度で生じる裏面反射等によるノイズの影響がな
くなるとともに、ブラッグ角の近傍で測定される０次光
強度の変化率が小さい場合にも正確にブラッグ角を求め
ることができる。
値よりも大きい所定値以下となるホログラムの入射角度
範囲を測定し、この入射角度範囲の中心値をブラッグ角
として演算する場合には、ブラッグ角あるいはその近傍
の入射角度で生じる裏面反射等によるノイズの影響がな
くなるとともに、ブラッグ角の近傍で測定される０次光
強度の変化率が小さい場合にも正確にブラッグ角を求め
ることができる。
【００３３】更に、本発明においては、正確に割り出さ
れたブラッグ角にホログラムの入射角度を設定して１次
光強度を測定するので、ブラッグ角における１次光強度
を正確に測定することができ、正確な回折効率の演算が
できるようになる。
れたブラッグ角にホログラムの入射角度を設定して１次
光強度を測定するので、ブラッグ角における１次光強度
を正確に測定することができ、正確な回折効率の演算が
できるようになる。
【図１】本発明の一実施例の概念図である。
【図２】本発明の一実施例におけるブラッグ角割り出し
の原理図である。
の原理図である。
【図３】本発明の他の実施例におけるブラッグ角割り出
しの原理図である。
しの原理図である。
【図４】従来例の概念図である。
Ｌ レーザ光線 Ｌ０ ０次光 Ｌ１ １次光 θ ブラッグ角 Δθ 入射角度範囲 １ ホログラム ２ 回転ステージ ３ レーザ光線発射装置 ４ ０次光検出器 ５ １次光検出器 ６ 制御ユニット
Claims (6)
- 【請求項１】 ホログラムの特性評価方法において、 レーザ光線(L)をホログラム(1)に入射させ、ホログラム
(1)を回転させながらホログラム(1) を透過した０次光
(L0)の強度を測定し、該０次光強度が最小値となるホロ
グラム(1)の回転角度をブラッグ角(θ) とするホログラ
ムの特性評価方法。 - 【請求項２】 上記ブラッグ角(θ)におけるホログラム
(1) の１次光強度を測定して回折効率(η)を求めること
を特徴とするホログラムの特性評価方法。 - 【請求項３】 上記０次光強度が最小値よりも大きいス
ライスレベル(S) となるレーザ光線(L)の２つの入射角
(θ1),(θ2)を測定し、この２つの入射角(θ1),(θ2)
の中心値をブラッグ角(θ)として演算する請求項１に記
載のホログラム特性評価方法。 - 【請求項４】 ホログラム(1) を支持して回転する回転
ステージ(2) と、 回転ステージ(2)の回転軸心に向かってレーザ光線(L)を
発射するレーザ光線発射装置(3) と、 回転ステージ(2)に支持されたホログラム(1)の０次光(L
0)を検出する０次光検知器(4)と、 １次光(L1)を検出する１次光検出器(5) と、 ０次光検出器(4)が検出する０次光(L0)に基づいてブラ
ッグ角(θ) を算出するブラッグ角算出手段(81)と、 １次光検出器(5) が検出するブラッグ角(θ)における１
次光強度を測定して回折効率(η)を算出する回折効率算
出手段(82)とを備えることを特徴とするホログラム特性
評価装置。 - 【請求項５】 上記に加え更に、回転ステージ(2) の回
転角を制御する回転角制御手段(83)と１次光検出器(5)
の位置を制御する位置制御手段(84)とを備えた請求項４
に記載のホログラム特性評価装置。 - 【請求項６】 ０次光検出器(4)が１次光検出器(5)に兼
用される請求項４に記載のホログラム特性評価装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23933691A JPH0579947A (ja) | 1991-09-19 | 1991-09-19 | ホログラム特性評価方法及びその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23933691A JPH0579947A (ja) | 1991-09-19 | 1991-09-19 | ホログラム特性評価方法及びその装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0579947A true JPH0579947A (ja) | 1993-03-30 |
Family
ID=17043220
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23933691A Withdrawn JPH0579947A (ja) | 1991-09-19 | 1991-09-19 | ホログラム特性評価方法及びその装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0579947A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104132797A (zh) * | 2014-07-16 | 2014-11-05 | 奉化市宇创产品设计有限公司 | 反射镜特性测试装置 |
-
1991
- 1991-09-19 JP JP23933691A patent/JPH0579947A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104132797A (zh) * | 2014-07-16 | 2014-11-05 | 奉化市宇创产品设计有限公司 | 反射镜特性测试装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19981203 |