JPH03229108A - 面傾斜面変位測定装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は光ディスクの面振れや面傾き等を測定する面傾
斜面変位測定装置に関するものである。

従来の技術 現在、光ディスクを利用した各種の装置が実用化されて
いるが、例えば、このような装置ではドライブ中の光デ
ィスクに面振れ等が生じると読取不良などが発生するた
め、この光ディスクの記録面の状態を逐次測定して光学
系や処理系で補正する必要がある。そこで、このような
測定を要する光ディスクの記録面の状態としては、この
記録面が入射光の光軸方向に変位する面振れや、記録面
が入射光の光軸に対して傾斜した面傾きなどが存してい
る。例えば、光ディスクの面振れを測定する装置として
は特公昭６１−４９６０４号公報に開示されたものがあ
る。

そこで、この装置を面傾斜面変位測定装置の従来例とし
て第３図及び第４図に基づいて説明する。

この面振れ測定装置１では、モータ２と保持機構３とに
よって光ディスク４を回転自在に支持する駆動装置５が
設けられており、この駆動装置５に支持された光ディス
ク４の記録面と対向する位置に、レーザ光源６の光軸上
に配置されたビームスプリッタフの反射光軸上に１／４
波長板８を位置させた光出射装置９が設けられている。

そして、前記ビームスプリッタ７の透過光軸上には、並
設された受光素子等からなる光検出装置１０が配置され
ており、この光検出装置１０の二個の出力端子１１．１
２が演算処理装置（図示せず）に接続されている。

このような構成において、この面振れ測定装置１では、
光出射装置９から光ディスク４に略垂直に照射した検査
光の反射光を光検出装置１０で受光し、この光検出装置
１０の出力端子１１．１２の出力値を減算する。そこで
、第４図に例示するように、光ディスク４が基準位置ａ
から位置すに面振れした場合、出力端子１１．１２の出
力値の減算値のプラスマイナスと大小から光検出装置１
０上での基準受光位置Ａに対する受光位置Ｂの変位量Ｘ
が算定され、この算定値に比例する値として光ディスク
４の面振れ量ｙが検出される。

発明が解決しようとする課題 上述のような面振れ測定装置１は、簡易な構造で光ディ
スク４の面振れを検出するようになっている。だが、こ
の面振れ測定装置１は、光ディスク４の面傾きを検出し
ないので、検出した面振れ量は面傾き角による誤差を内
包していることになる。つまり、この面振れ測定装置１
では、第５図に例示するように、光ディスク４が面振れ
量Ｏで基準位置ａから位置Ｃに面傾きを生じた場合でも
光検出装置１０上での受光位置はＡからＢに変化するの
で、この検出結果は光ディスク４に面振れ量ｙがあると
云うことになる。

このような課題を解決する手段としては、光ディスク４
の面傾き角を検出する装置を別個に設け、この装置の検
出結果と上述の面振れ測定装置ｌの検出結果とを比較検
討して面傾き角と面振れ量とを算定することが考えられ
る。だが、これでは装置の構造が複雑化すると共に機器
の小型軽量化も阻害されて実用的でない。

課題を解決するための手段 駆動装置に回転自在に支持された光ディスクの記録面と
対向する位置に検査光を略垂直に照射する光出射装置を
配置し、この光出射装置から出射されて光ディスクの反
射面で反射された検査光の光路上に検査光の変位量を検
出する第一の光検出装置を配置し、この第一の光検出装
置を透過した検査光の光路上に検査光の変位量を検出す
る第二の光検出装置を配置し、これら第一第二の光検出
装置の検出結果に基づいて光ディスクの面傾き角と面振
れ量とを算出する演算処理装置を設けた。

作用 光ディスクの反射面で反射された検査光の光路上に第一
第二の光検出装置を配置し、これら第一第二の光検出装
置の検出結果に基づいて光ディスクの面傾き角と面振れ
量とを算出する演算処理装置を設けたことにより、測定
した面傾き角や面振れ量の一方の値に他方の値が誤差と
して内包されるようなことがない。

実施例 本発明の実施例を第１図及び第２図に基づいて説明する
。なお、前述の従来例と同一の部分は同一の名称及び符
号を用いて説明も省略する。まず、第１図に例示するよ
うに、本実施例の面傾斜面変位測定装置１３では、光出
射装置１４のレーザ光源６からビームスプリッタ１５の
透過光軸に至る光路上に補正光学系１６と反射ミラー１
７とが配置されており、前記ビームスプリッタ１５の反
射光軸上には第一第二の光検出装置１８．１９がビーム
スプリッタ２０を介するなどして配置されている。なお
、前記第一第二の光検出装置１８，１９も各々二個の受
光素子を並設したような構造となっており、これらの各
出力端子は演算処理装置（共に図示せず）に接続されて
いる。

このような構成において、この面傾斜面変位測定装置１
３では、光出射装置１４から光ディスク４に照射した検
査光の反射光を第一第二の光検出装置１８．１９で受光
し、これらの光検出装置１８．１９の出力値に対して所
定の演算処理を行なうことで、光ディスク４の面振れと
面傾きとを同時に算出する。そこで、この面振れと面傾
きとの算呂工程を第２図に基づいて以下に詳述する。

まず、この面傾斜面変位測定装置１３では、予め基準値
として、面振れが無い状態の光ディスク４の記録面から
第一の光検出装置１８への光路長ｙ１と、第一第二の光
検出装置１８．１９間の間隔ｙ３、及び、光ディスク４
に面傾きが無い状態の第一第二の光検出装置１８．１９
の出力値が計測されている。

そこで、光ディスク４が基準位置ａから傾斜角θの位置
Ｃに面傾きした場合、第一第二の光検出装置１８．１９
上での基準受光位置Ａ、Ｃから受光位置Ｂ、Ｄへの変位
量Ｘ　ｌ　ｌ　Ｘ　ｊが検出されるので、これらの減算
値（ｘ＊　−Ｘ＋　３と間隔ｙ、とから角度２θが算出
されて光ディスク４の面傾き角θが測定される。なお、
この状態で検知されている位置を結んだ線分Ａ−Ｃと線
分Ｂ−Ｄとの交点は一つであり、例えば、Ｘ　＋　：　
Ｘ　＊　＝　Ｖ　＋　’　（Ｖ　ｒ　”　Ｖ　＊　］で
あることなどから光ディスク４の面振れ量０が確認され
る。

つぎに、角度θに面傾きした光ディスク４が変位量ｙ、
の位置ｄまで面振れした場合、まず、第一第二の光検出
装置１８．１９上での基準受光位置Ａ、Ｃから受光位置
Ｅ、Ｆへの変位量ｘ、、ｘ４が傾斜され、上述と同様に
して光ディスク４の面傾き角θが測定される。そして、
この角度２θと変位量Ｘ、とから距離［ｙ　１”　ｙ　
＊　］が算出されるので、光ディスク４の面振れ量ｙ、
が測定される。

つまり、この面傾斜面変位測定装置１３は、光ディスク
４の面傾き角と面振れ量とが各々同時に測定され、一方
の値に他方の値が誤差として内包されるようなことがな
い。

なお、本実施例の面傾斜面変位測定装置１３では、検査
光として平行光束を利用した場合を想定して説明を行な
ったが、光ディスク４の記録面上での検査光のスポット
径を所定の光学系で縮小して測定精度を向上させること
も可能である。また、本実施例の面傾斜面変位測定装置
１３では、各光検出装置１８．１９として二個の受光素
子を並設したものを想定したが、複数に分割形成された
フォトダイオードやＰＳＤのように受光位置を検出でき
るものであればよい。

発明の効果 本発明は上述のように、駆動装置に回転自在に支持され
た光ディスクの記録面と対向する位置に検査光を略垂直
に照射する光出射装置を配置し、この光出射装置から出
射されて光ディスクの反射面で反射された検査光の光路
上に検査光の変位量を検出する第一の光検出装置を配置
し、この第一の光検出装置を透過した検査光の光路上に
検査光の変位量を検出する第二の光検出装置を配置し、
これら第一第二の光検出装置の検出結果に基づいて光デ
ィスクの面傾き角と面振れ量とを算出する演算処理装置
を設けたことにより、測定した面傾き角や面振れ量の一
方の値に他方の値が誤差として内包されることなく常時
正確な測定結果が得られ、しかも、−個の装置で面傾き
角と面振れ量とが測定されるので、装置の構造が簡易で
機器の小型軽量化にも寄与することができる等の効果を
有するものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例を示す側面図、第２図は光路説
明図、第３図は従来例を示す側面図、第４図及び第５図
は光路説明図である。 ４・・・光ディスク、５・・・駆動装置、１３・・・面
傾斜面変位測定装置、１４・・・光出射装置、１８・・
・第一の光検出装置、１９・・・第二の光検呂装置出 願 人 株式会社 リコー Ｚ図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 　光ディスクを回転自在に支持する駆動装置と、この駆
   動装置に支持された光ディスクの記録面に検査光を略垂
   直に照射する光出射装置と、この光出射装置から出射さ
   れて前記光ディスクの反射面で反射された検査光の光路
   上に配置されて前記検査光の変位量を検出する第一の光
   検出装置と、この第一の光検出装置を透過した検査光の
   光路上に配置されて前記検査光の変位量を検出する第二
   の光検出装置と、これら第一第二の光検出装置の検出結
   果に基づいて前記光ディスクの面傾き角と面振れ量とを
   算出する演算処理装置とからなることを特徴とする面傾
   斜面変位測定装置。