JPH0575374A - 弾性表面波デバイス - Google Patents
弾性表面波デバイスInfo
- Publication number
- JPH0575374A JPH0575374A JP23294291A JP23294291A JPH0575374A JP H0575374 A JPH0575374 A JP H0575374A JP 23294291 A JP23294291 A JP 23294291A JP 23294291 A JP23294291 A JP 23294291A JP H0575374 A JPH0575374 A JP H0575374A
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- JP
- Japan
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- ground
- input
- output
- signal
- electrode
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- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【構成】接地用電極4Aa,4Baが、インターディジ
タルトランスデューサ2A,2Bに対してボンディング
パッド3A,3Bと同じ側にあり、接地用電極4A,4
Bとつながるように圧電性基板上に配置し、アース用ボ
ンディング線8Aa,8Baを接地用電極4Aa,4B
aのボンディングパッド3A,3Bに近い部分よりパッ
ケージのアース5に接続する。 【効果】アース用ボンディング線のつくる磁束が、信号
用ボンディング線のつくる磁束を打ち消し、入出力端子
間における磁気的カップリングを低減することができ
る。
タルトランスデューサ2A,2Bに対してボンディング
パッド3A,3Bと同じ側にあり、接地用電極4A,4
Bとつながるように圧電性基板上に配置し、アース用ボ
ンディング線8Aa,8Baを接地用電極4Aa,4B
aのボンディングパッド3A,3Bに近い部分よりパッ
ケージのアース5に接続する。 【効果】アース用ボンディング線のつくる磁束が、信号
用ボンディング線のつくる磁束を打ち消し、入出力端子
間における磁気的カップリングを低減することができ
る。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、光通信,携帯用電話等
の通信用フィルタに係り、特に、高周波における帯域外
減衰を抑制する実装構造に関する。
の通信用フィルタに係り、特に、高周波における帯域外
減衰を抑制する実装構造に関する。
【0002】
【従来の技術】従来のSAWフィルタの実装方法は、一
般に、図5に示す構造であった。すなわち、パッケージ
のアース面5上に圧電性基板1があり、圧電性基板1上
に電気信号を弾性表面波に変換(あるいは弾性表面波を
電気信号に変換)するインターディジタルトランスデュ
ーサ(以下IDT)2A,2Bがある。信号は、リード
端子6A,6Bから信号入力用(あるいは出力用)ボン
ディングパッド部(以下BP)3A,3Bにボンディン
グワイヤ(信号線)7A,7Bにより入力(あるいは出
力)される。くし形電極部2A,2Bのアースは、くし
形電極部2A,2Bに対して3A,3Bの反対側にある
アース電位側電極4A,4Bより、直接、ボンディング
ワイヤ(アース線)8A,8Bをアース面5に引いてい
た。
般に、図5に示す構造であった。すなわち、パッケージ
のアース面5上に圧電性基板1があり、圧電性基板1上
に電気信号を弾性表面波に変換(あるいは弾性表面波を
電気信号に変換)するインターディジタルトランスデュ
ーサ(以下IDT)2A,2Bがある。信号は、リード
端子6A,6Bから信号入力用(あるいは出力用)ボン
ディングパッド部(以下BP)3A,3Bにボンディン
グワイヤ(信号線)7A,7Bにより入力(あるいは出
力)される。くし形電極部2A,2Bのアースは、くし
形電極部2A,2Bに対して3A,3Bの反対側にある
アース電位側電極4A,4Bより、直接、ボンディング
ワイヤ(アース線)8A,8Bをアース面5に引いてい
た。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】上記従来の実装方法で
は、高周波になると電流が流れることによって生じる磁
束のカップリングにより入力信号が出力端子に現われる
クロストークの問題があった。
は、高周波になると電流が流れることによって生じる磁
束のカップリングにより入力信号が出力端子に現われる
クロストークの問題があった。
【0004】本発明の目的は、電流が流れることによっ
て生じる磁気的カップリングを低減しクロストークによ
る帯域外減衰を抑制することにある。
て生じる磁気的カップリングを低減しクロストークによ
る帯域外減衰を抑制することにある。
【0005】
【課題を解決するための手段】上記目的は、圧電基板上
で接地用電極をIDTに対してBPと同じ側に作り、B
Pからパッケージのリード端子への方向と同じ方向とな
るように接地用電極からパッケージのアース面にアース
線をひくことによって達成できる。また、この構造で、
信号線を挾むようにアース線を引く構造,IDTのアー
ス電位側電極から接地用電極にボンディングワイヤを引
く構造,IDTとBPのまわりを全てグランドで取り囲
む構造を採用することによってさらに特性を改善するこ
とができる。
で接地用電極をIDTに対してBPと同じ側に作り、B
Pからパッケージのリード端子への方向と同じ方向とな
るように接地用電極からパッケージのアース面にアース
線をひくことによって達成できる。また、この構造で、
信号線を挾むようにアース線を引く構造,IDTのアー
ス電位側電極から接地用電極にボンディングワイヤを引
く構造,IDTとBPのまわりを全てグランドで取り囲
む構造を採用することによってさらに特性を改善するこ
とができる。
【0006】
【作用】上記構成により、信号入力側では、アース線に
電流が流れることにより生じる磁束は、電流の向きが信
号線に流れる電流の向きと反対なので、信号線に電流が
流れることにより生じる磁束の向きと反対の磁束が生
じ、互いに打消し合うため、漏れでる磁束が少なくな
る。信号出力側では、磁束の変化によって信号線に生じ
る誘導起電力とアース線に生じる誘導起電力が打ち消し
あう。よって、ボンディングワイヤ間の磁気的カップリ
ングによる帯域外減衰量の低減を防ぐことができる。
電流が流れることにより生じる磁束は、電流の向きが信
号線に流れる電流の向きと反対なので、信号線に電流が
流れることにより生じる磁束の向きと反対の磁束が生
じ、互いに打消し合うため、漏れでる磁束が少なくな
る。信号出力側では、磁束の変化によって信号線に生じ
る誘導起電力とアース線に生じる誘導起電力が打ち消し
あう。よって、ボンディングワイヤ間の磁気的カップリ
ングによる帯域外減衰量の低減を防ぐことができる。
【0007】また、IDTに流れる電流によって生じる
磁束のカップリングも、IDTのアース電位側電極から
接地用電極にボンディングワイヤを引くことによって、
同様の原理により低減することができる。さらに、ID
Tのアース電位側電極から接地用電極にボンディングワ
イヤを引くことは、アース電位側電極の電位をパッケー
ジのアース電位に近くし、アース電位側電極の電位が不
安定になることを抑える働きがある。
磁束のカップリングも、IDTのアース電位側電極から
接地用電極にボンディングワイヤを引くことによって、
同様の原理により低減することができる。さらに、ID
Tのアース電位側電極から接地用電極にボンディングワ
イヤを引くことは、アース電位側電極の電位をパッケー
ジのアース電位に近くし、アース電位側電極の電位が不
安定になることを抑える働きがある。
【0008】
【実施例】図1は本発明の一実施例を表わす二電極形弾
性表面波フィルタの斜視図である。パッケージのアース
面5上に圧電性基板1があり、圧電性基板1上に電気信
号を弾性表面波に変換(あるいは弾性表面波を電気信号
に変換)するIDT2A,2Bがある。信号入力用BP
3Aの位置が、SAW伝搬路に対する信号出力用BP3
Bの位置と反対にある構造とする。信号は、リード端子
6A,6Bから信号入力(あるいは出力用)BP3A,
3Bにボンディングワイヤ(信号線)7A,7Bにより
入力(あるいは出力)される。この構造で、接地用電極
4Aa,4Baが、IDT2A,2Bに対してBP3
A,3Bと同じ側にあり、4A,4Bとつながるように
配置し、アース用ボンディング線8Aa,8Baを接地
用電極4Aa,4BaのBPに近い部分よりパッケージ
のアース5に接続する。
性表面波フィルタの斜視図である。パッケージのアース
面5上に圧電性基板1があり、圧電性基板1上に電気信
号を弾性表面波に変換(あるいは弾性表面波を電気信号
に変換)するIDT2A,2Bがある。信号入力用BP
3Aの位置が、SAW伝搬路に対する信号出力用BP3
Bの位置と反対にある構造とする。信号は、リード端子
6A,6Bから信号入力(あるいは出力用)BP3A,
3Bにボンディングワイヤ(信号線)7A,7Bにより
入力(あるいは出力)される。この構造で、接地用電極
4Aa,4Baが、IDT2A,2Bに対してBP3
A,3Bと同じ側にあり、4A,4Bとつながるように
配置し、アース用ボンディング線8Aa,8Baを接地
用電極4Aa,4BaのBPに近い部分よりパッケージ
のアース5に接続する。
【0009】信号入力用BP3Aの位置が、SAW伝搬
路に対する信号出力用BP3Bの位置と反対になるよう
な構造とすることにより、入力側のリード端子からBP
へのボンディング線7Aと、出力側のリード端子からB
Pへのボンディング線7Bを離すことができる。これに
より各ボンディング線を貫く磁束を減らすことができ
る。ボンディング線7Aに流れる電流ベクトルとボンデ
ィング線8Aaに流れる電流ベクトルの向きはほぼ逆と
なるので、ボンディング線7Aに流れる電流のつくる磁
束とボンディング線8Aaに流れる電流のつくる磁束が
打ち消しあい、漏れでる磁束の量が少なくなる。また、
磁束の変化によって、ボンディング線7Bに発生する起
電力とボンディング線8Baに発生する起電力が打ち消
しあうため、磁束の変化による電流の発生が少なくな
る。よって、磁束によるカップリングを少なくすること
ができ帯域外減衰量の低減を防ぐことができる。
路に対する信号出力用BP3Bの位置と反対になるよう
な構造とすることにより、入力側のリード端子からBP
へのボンディング線7Aと、出力側のリード端子からB
Pへのボンディング線7Bを離すことができる。これに
より各ボンディング線を貫く磁束を減らすことができ
る。ボンディング線7Aに流れる電流ベクトルとボンデ
ィング線8Aaに流れる電流ベクトルの向きはほぼ逆と
なるので、ボンディング線7Aに流れる電流のつくる磁
束とボンディング線8Aaに流れる電流のつくる磁束が
打ち消しあい、漏れでる磁束の量が少なくなる。また、
磁束の変化によって、ボンディング線7Bに発生する起
電力とボンディング線8Baに発生する起電力が打ち消
しあうため、磁束の変化による電流の発生が少なくな
る。よって、磁束によるカップリングを少なくすること
ができ帯域外減衰量の低減を防ぐことができる。
【0010】図2は本発明の第二の実施例を表わす二電
極形弾性表面波フィルタの斜視図であり、図1の構成に
さらに信号線7A,7Bをアース線で挾むようにアース
線8Ab,8Bbを接続した。この構成によって7A,
7Bの磁束によるカップリングをさらに低減することが
できる。
極形弾性表面波フィルタの斜視図であり、図1の構成に
さらに信号線7A,7Bをアース線で挾むようにアース
線8Ab,8Bbを接続した。この構成によって7A,
7Bの磁束によるカップリングをさらに低減することが
できる。
【0011】図3は本発明の第三の実施例を表わす二電
極形弾性表面波フィルタの構成図であり、図1の構成に
さらに4Aから4Aaにボンディング線9Aを接続し、
4Bから4Baにボンディング線9Bを接続する。この
構成によりIDT2Aに流れる電流によって生じる磁束
と9Aに電流が流れることによって生じる磁束が打ち消
しあいIDT部から漏れ出る磁束を低減することができ
る。また、磁束の変化によって、IDT2Bに発生する
起電力とボンディング線9Bに発生する起電力が打ち消
しあうため、磁束の変化による電流の発生が少なくな
る。よって、磁束によるカップリングをさらに少なくす
ることができる。さらに、アース電位側電極4A,4B
から接地用電極にボンディングワイヤ9A,9Bを引く
ことは、アース電位側電極4A,4Bの電位をアース電
位に近くし電位が不安定になることを抑える働きがあ
る。以上により、帯域外減衰量の低減を防ぐことができ
る。
極形弾性表面波フィルタの構成図であり、図1の構成に
さらに4Aから4Aaにボンディング線9Aを接続し、
4Bから4Baにボンディング線9Bを接続する。この
構成によりIDT2Aに流れる電流によって生じる磁束
と9Aに電流が流れることによって生じる磁束が打ち消
しあいIDT部から漏れ出る磁束を低減することができ
る。また、磁束の変化によって、IDT2Bに発生する
起電力とボンディング線9Bに発生する起電力が打ち消
しあうため、磁束の変化による電流の発生が少なくな
る。よって、磁束によるカップリングをさらに少なくす
ることができる。さらに、アース電位側電極4A,4B
から接地用電極にボンディングワイヤ9A,9Bを引く
ことは、アース電位側電極4A,4Bの電位をアース電
位に近くし電位が不安定になることを抑える働きがあ
る。以上により、帯域外減衰量の低減を防ぐことができ
る。
【0012】図4は本発明の第四の実施例を表わす二電
極形弾性表面波フィルタの斜視図であり、図1の構成に
おいて、IDT2AとBP3A,IDT2BとBP3B
を取り囲むように、グランド部4AA,4BBを配置し
ている。IDT2AとIDT2Bの間には4AAの一部
である4Ab,4BBの一部である4Bbがある。この
構成によってIDT2AとIDT2Bの容量性カップリ
ングを低減することができる。以上により、帯域外減衰
量の低減を防ぐことができる。
極形弾性表面波フィルタの斜視図であり、図1の構成に
おいて、IDT2AとBP3A,IDT2BとBP3B
を取り囲むように、グランド部4AA,4BBを配置し
ている。IDT2AとIDT2Bの間には4AAの一部
である4Ab,4BBの一部である4Bbがある。この
構成によってIDT2AとIDT2Bの容量性カップリ
ングを低減することができる。以上により、帯域外減衰
量の低減を防ぐことができる。
【0013】図6は、本発明を全て取り入れた三電極形
弾性表面波フィルタの一実施例を示す斜視図である。圧
電性基板1上に電気信号を弾性表面波に変換するIDT
2A−1,2A−2が、弾性表面波を電気信号に変換す
るIDT2Bを挾むように配置されている。入力信号
は、リード端子6Aから信号7A−1,7A−2を通
り、信号入力用BP3A−1,3A−2に入力される。
出力信号は、信号出力用BP3Bから信号線7Bを通
り、リード端子6Bに出力される。IDT2A−1,2
A−2,2BとBP3A−1,3A−2,3Bは、グラ
ンド部4AA−1,4AA−2,4BBによって取り囲
まれている。信号線7A−1を挾むように、4A−1か
ら4Aa−1にグランド間接続線9A−1,9A−2を
接続し、4Aa−1から5にアース線8A−1,8Ab−
1を接続する。同様に、信号線7A−2を挾むように、
4A−2から4Aa−2にグランド間接続線9A−3,
9A−4を接続し、4Aa−2から5にアース線8A−
2,8Ab−2を接続する。また、信号線7Bを挾むよ
うに、4Bから4Baにグランド間接続線9B−1,9
B−2を接続し、4Baから5にアース線8B,8Bb
を接続する。このような構造により、磁気的なカップリ
ング及び容量的カップリングを低減することができ、帯
域外減衰量を低減させないようにすることができる。
弾性表面波フィルタの一実施例を示す斜視図である。圧
電性基板1上に電気信号を弾性表面波に変換するIDT
2A−1,2A−2が、弾性表面波を電気信号に変換す
るIDT2Bを挾むように配置されている。入力信号
は、リード端子6Aから信号7A−1,7A−2を通
り、信号入力用BP3A−1,3A−2に入力される。
出力信号は、信号出力用BP3Bから信号線7Bを通
り、リード端子6Bに出力される。IDT2A−1,2
A−2,2BとBP3A−1,3A−2,3Bは、グラ
ンド部4AA−1,4AA−2,4BBによって取り囲
まれている。信号線7A−1を挾むように、4A−1か
ら4Aa−1にグランド間接続線9A−1,9A−2を
接続し、4Aa−1から5にアース線8A−1,8Ab−
1を接続する。同様に、信号線7A−2を挾むように、
4A−2から4Aa−2にグランド間接続線9A−3,
9A−4を接続し、4Aa−2から5にアース線8A−
2,8Ab−2を接続する。また、信号線7Bを挾むよ
うに、4Bから4Baにグランド間接続線9B−1,9
B−2を接続し、4Baから5にアース線8B,8Bb
を接続する。このような構造により、磁気的なカップリ
ング及び容量的カップリングを低減することができ、帯
域外減衰量を低減させないようにすることができる。
【0014】図7に従来の実装法で得られた三電極形弾
性表面波フィルタの特性図を示し、図8に図6の実装法
で得られた三電極形弾性表面波フィルタの特性図を示
す。図7と図8の比較からわかるように、本発明によ
り、600MHz以上の周波数帯において、帯域外減衰
量を20dB程度に改善する効果が得られる。
性表面波フィルタの特性図を示し、図8に図6の実装法
で得られた三電極形弾性表面波フィルタの特性図を示
す。図7と図8の比較からわかるように、本発明によ
り、600MHz以上の周波数帯において、帯域外減衰
量を20dB程度に改善する効果が得られる。
【0015】
【発明の効果】本発明によれば、信号入力側では、信号
線あるいはIDT部に流れる電流によって生じる磁束
を、アース線またはグランド間を接続するボンディング
線に流れる電流によって生じる磁束で打ち消させ、信号
出力側では、磁束の変化によって、信号線あるいはID
T部に励起される起電力をアース線またはグランド間を
接続するボンディング線に励起される起電力によって打
ち消させることによって、入力信号が磁気的カップリン
グによって出力端子に現われるクロストークを低減する
ことができる。また、電気信号を弾性表面波に変換する
IDTと弾性表面波を電気信号に変換するIDTの間に
両IDTのグランド部を分離して入れることにより、容
量によるカップリングを低減することができる。よって
帯域外減衰量を低減させないデバイスを実現することが
できる。
線あるいはIDT部に流れる電流によって生じる磁束
を、アース線またはグランド間を接続するボンディング
線に流れる電流によって生じる磁束で打ち消させ、信号
出力側では、磁束の変化によって、信号線あるいはID
T部に励起される起電力をアース線またはグランド間を
接続するボンディング線に励起される起電力によって打
ち消させることによって、入力信号が磁気的カップリン
グによって出力端子に現われるクロストークを低減する
ことができる。また、電気信号を弾性表面波に変換する
IDTと弾性表面波を電気信号に変換するIDTの間に
両IDTのグランド部を分離して入れることにより、容
量によるカップリングを低減することができる。よって
帯域外減衰量を低減させないデバイスを実現することが
できる。
【0016】光通信システムの受信機などで使用される
タイミング抽出フィルタでは、通過帯域以外の減衰量を
大きくとる必要があり、GHz以上の高周波帯でも、帯
域外減衰量を大きく取ることができる。
タイミング抽出フィルタでは、通過帯域以外の減衰量を
大きくとる必要があり、GHz以上の高周波帯でも、帯
域外減衰量を大きく取ることができる。
【図1】本発明の一実施例を表わす二電極形弾性表面波
フィルタの斜視図。
フィルタの斜視図。
【図2】本発明の第二の実施例を表わす二電極形弾性表
面波フィルタの斜視図。
面波フィルタの斜視図。
【図3】本発明の第三の実施例を表わす二電極形弾性表
面波フィルタの斜視図。
面波フィルタの斜視図。
【図4】本発明の第四の実施例を表わす二電極形弾性表
面波フィルタの斜視図。
面波フィルタの斜視図。
【図5】従来例の二電極形弾性表面波フィルタの斜視
図。
図。
【図6】本発明の第五の実施例を表わす三電極形弾性表
面波フィルタの斜視図。
面波フィルタの斜視図。
【図7】従来例の二電極形弾性表面波フィルタによって
得られた周波数特性図。
得られた周波数特性図。
【図8】図6の三電極形弾性表面波フィルタによって得
られた周波数特性図。
られた周波数特性図。
1…圧電性基板、2A…IDTin、2…IDTou
t、3A,3B…ボンディングパッド部、4A,4B…
IDTのアース電位側電極、4Aa,4Ba…接地用電
極、5…パッケージのアース部、6A…信号入力用リー
ド端子、6B…信号出力用リード端子、7A…信号入力
用ボンディングワイヤ、7B…信号出力用ボンディング
ワィヤ、8Aa,8Ba…アース用ボンディングワイ
ヤ。
t、3A,3B…ボンディングパッド部、4A,4B…
IDTのアース電位側電極、4Aa,4Ba…接地用電
極、5…パッケージのアース部、6A…信号入力用リー
ド端子、6B…信号出力用リード端子、7A…信号入力
用ボンディングワイヤ、7B…信号出力用ボンディング
ワィヤ、8Aa,8Ba…アース用ボンディングワイ
ヤ。
フロントページの続き (72)発明者 浅井 健吾 東京都国分寺市東恋ケ窪1丁目280番地 株式会社日立製作所中央研究所内 (72)発明者 井村 亮 東京都国分寺市東恋ケ窪1丁目280番地 株式会社日立製作所中央研究所内
Claims (4)
- 【請求項1】圧電基板面上に形成された複数の入出力イ
ンターディジタルトランスジューサ電極よりなる弾性表
面波デバイスにおいて、入力信号の接地用電極が、電気
信号を弾性表面波に変換する前記入出力インターディジ
タルトランスジューサの入力部に対して信号入力用ボン
ディングパッドと同じ側の圧電基板の表面上に配置され
ており、前記入出力インターディジタルトランスジュー
サの入力部のアース電位側電極が、前記入力信号の接地
用電極を介し、入力用ボンディングパッドからパッケー
ジの入力リード端子への方向と同じ方向となるように前
記入力信号の接地用電極から前記パッケージのアースへ
電気的に接続されている構造、または、出力信号の接地
用電極が、弾性表面波を電気信号に変換する前記入出力
インターディジタルトランスジューサの出力部の信号出
力用ボンディングパッドと同じ側の前記圧電基板の表面
上に配置されており、前記入出力インターディジタルト
ランスジューサの出力部のアース電位側電極が、前記出
力信号の接地用電極を介し、出力用ボンディングパッド
からパッケージの出力リード端子への方向と同じ方向と
なるように前記出力信号の接地用電極から前記パッケー
ジのアースへ電気的に接続されてなることを特徴とする
弾性表面波デバイス。 - 【請求項2】請求項1において、前記圧電基板の表面上
の前記接地用電極と前記パッケージのアース電極を電気
的に接続するAl等のボンディング線が、前記パッケー
ジのリード端子と信号入力用あるいは信号出力用ボンデ
ィングパッドを電気的に接続するボンディング線を挾む
ようにひかれた構造の弾性表面波デバイス。 - 【請求項3】請求項1または2のデバイスにおいて、前
記入出力インターディジタルトランスジューサの入力部
の前記アース電位側電極と前記接地用電極を前記Al等
のボンディング線で電気的に接続してあるか、または、
前記入出力インターディジタルトランスジューサの出力
部の前記アース電位側電極と前記接地用電極をAl等の
ボンディング線で電気的に接続した弾性表面波デバイ
ス。 - 【請求項4】請求項1,2または3において、前記アー
ス電位側電極と前記接地用電極を含んでいるグランド部
が前記入出力インターディジタルトランスジューサと前
記ボンディングパッドを取り囲んだ構造となっており、
前記各グランド部はお互い接続していない弾性表面波デ
バイス。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP23294291A JPH0575374A (ja) | 1991-09-12 | 1991-09-12 | 弾性表面波デバイス |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP23294291A JPH0575374A (ja) | 1991-09-12 | 1991-09-12 | 弾性表面波デバイス |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0575374A true JPH0575374A (ja) | 1993-03-26 |
Family
ID=16947269
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP23294291A Pending JPH0575374A (ja) | 1991-09-12 | 1991-09-12 | 弾性表面波デバイス |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0575374A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2004102799A1 (ja) * | 2003-05-14 | 2004-11-25 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | 弾性表面波分波器 |
WO2007102560A1 (ja) * | 2006-03-08 | 2007-09-13 | Kyocera Corporation | 分波器および通信装置 |
-
1991
- 1991-09-12 JP JP23294291A patent/JPH0575374A/ja active Pending
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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