JPH0573850A - 磁気記憶装置 - Google Patents
磁気記憶装置Info
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- JPH0573850A JPH0573850A JP3238439A JP23843991A JPH0573850A JP H0573850 A JPH0573850 A JP H0573850A JP 3238439 A JP3238439 A JP 3238439A JP 23843991 A JP23843991 A JP 23843991A JP H0573850 A JPH0573850 A JP H0573850A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明は超小型化及び高密度記録できるよう
構成した磁気記憶装置を提供することを目的とする。 【構成】 磁気記憶装置は、薄板状に形成された基板１
と、該基板１上に取付けられた磁気記憶媒体２と、該磁
気記憶媒体２に摺接する磁気ヘッド３を支持するヘッド
支持体４と、該ヘッド支持体４を前記磁気ヘッド３が前
記磁気記憶媒体２を一定の振幅で摺接するように振動さ
せる励振手段５と、より構成される。
構成した磁気記憶装置を提供することを目的とする。 【構成】 磁気記憶装置は、薄板状に形成された基板１
と、該基板１上に取付けられた磁気記憶媒体２と、該磁
気記憶媒体２に摺接する磁気ヘッド３を支持するヘッド
支持体４と、該ヘッド支持体４を前記磁気ヘッド３が前
記磁気記憶媒体２を一定の振幅で摺接するように振動さ
せる励振手段５と、より構成される。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は磁気記憶装置に係り、特
に超小型で高密度記録できるよう構成した磁気記憶装置
に関する。
に超小型で高密度記録できるよう構成した磁気記憶装置
に関する。
【０００２】磁気記憶装置としては磁気ディスク装置が
広く使用されているが、構成部品点数も多く小型化には
限界がある。これに対し、将来的にはマイクロメカニク
スの技術の進歩に伴って磁気記憶装置においても超小型
のものが要望されつつある。
広く使用されているが、構成部品点数も多く小型化には
限界がある。これに対し、将来的にはマイクロメカニク
スの技術の進歩に伴って磁気記憶装置においても超小型
のものが要望されつつある。
【０００３】
【従来の技術】従来よりコンピュータ等の外部記憶手段
として磁気ディスク装置が主に使用されている。磁気デ
ィスク装置では、円盤状の磁気記憶媒体（磁気ディス
ク）を回転駆動させながら、磁気ヘッドをディスク半径
方向に移動させて磁気記録／再生を行う構成とされてい
る。
として磁気ディスク装置が主に使用されている。磁気デ
ィスク装置では、円盤状の磁気記憶媒体（磁気ディス
ク）を回転駆動させながら、磁気ヘッドをディスク半径
方向に移動させて磁気記録／再生を行う構成とされてい
る。
【０００４】そのため、従来は、磁気ディスクを回転さ
せるモータ、スピンドル等の回転駆動機構、高速で回転
するディスク面上に磁気ヘッドを浮上させる浮上ヘッド
機構、磁気ヘッドを磁気ディスク上の任意のトラックに
位置決めするヘッドアクチュエータ等の複雑かつ高精度
の機構が必要とされていた。
せるモータ、スピンドル等の回転駆動機構、高速で回転
するディスク面上に磁気ヘッドを浮上させる浮上ヘッド
機構、磁気ヘッドを磁気ディスク上の任意のトラックに
位置決めするヘッドアクチュエータ等の複雑かつ高精度
の機構が必要とされていた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかるに、従来からあ
る磁気ディスク装置では、構成部品点数が多く製造過程
で多くの工程を要するばかりか、装置の小型化、軽量化
には限界があった。
る磁気ディスク装置では、構成部品点数が多く製造過程
で多くの工程を要するばかりか、装置の小型化、軽量化
には限界があった。
【０００６】そのため、近年開発されつつあるマイクロ
メカニクス技術をもってしても、モータの回転部の精度
及び寿命を高めることは難しく、超小型の磁気記憶装置
を製作することができないといった課題があった。
メカニクス技術をもってしても、モータの回転部の精度
及び寿命を高めることは難しく、超小型の磁気記憶装置
を製作することができないといった課題があった。
【０００７】そこで、本発明は上記の点に鑑みてなされ
たものであり、磁気ディスク装置と根本的に異なる構成
とし、半導体プロセスを応用したマイクロメカニクス技
術により超小型で高密度記録を実現しうる磁気記憶装置
を提供することを目的とする。
たものであり、磁気ディスク装置と根本的に異なる構成
とし、半導体プロセスを応用したマイクロメカニクス技
術により超小型で高密度記録を実現しうる磁気記憶装置
を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】図１は本発明の原理図で
ある。上記課題を解決するため、本発明の請求項１は図
１に示すように、薄板状に形成された基板１と、該基板
１上に取付けられた磁気記憶媒体２と、該磁気記憶媒体
２に摺接する磁気ヘッド３を支持するヘッド支持体４
と、該ヘッド支持体４を前記磁気ヘッド３が前記磁気記
憶媒体２を一定の振幅で摺接するように振動させる励振
手段５と、よりなる。
ある。上記課題を解決するため、本発明の請求項１は図
１に示すように、薄板状に形成された基板１と、該基板
１上に取付けられた磁気記憶媒体２と、該磁気記憶媒体
２に摺接する磁気ヘッド３を支持するヘッド支持体４
と、該ヘッド支持体４を前記磁気ヘッド３が前記磁気記
憶媒体２を一定の振幅で摺接するように振動させる励振
手段５と、よりなる。
【０００９】又、請求項２は、薄板状に形成された基板
と、該基板上に取付けられた磁気記憶媒体と、該磁気記
憶媒体に摺接する磁気ヘッドを支持するヘッド支持体
と、該ヘッド支持体を前記磁気ヘッドが前記磁気記憶媒
体を一定の振幅で摺接するように振動させる励振手段
と、前記磁気記憶媒体を前記磁気ヘッドの振動方向又は
振動方向と直交する方向のいずれか一方に駆動する第１
の駆動手段と、前記ヘッド支持体を前記磁気ヘッドの振
動方向又は振動方向と直交する方向のいずれか他方に駆
動する第２の駆動手段と、よりなる。
と、該基板上に取付けられた磁気記憶媒体と、該磁気記
憶媒体に摺接する磁気ヘッドを支持するヘッド支持体
と、該ヘッド支持体を前記磁気ヘッドが前記磁気記憶媒
体を一定の振幅で摺接するように振動させる励振手段
と、前記磁気記憶媒体を前記磁気ヘッドの振動方向又は
振動方向と直交する方向のいずれか一方に駆動する第１
の駆動手段と、前記ヘッド支持体を前記磁気ヘッドの振
動方向又は振動方向と直交する方向のいずれか他方に駆
動する第２の駆動手段と、よりなる。
【００１０】さらに、請求項３では、前記励振手段は、
ピエゾ素子を前記ヘッド支持体に設けてなり、該ピエゾ
素子に印加された電圧に応じて前記ヘッド支持体を前記
磁気記憶媒体と平行に振動させることを特徴とする。
ピエゾ素子を前記ヘッド支持体に設けてなり、該ピエゾ
素子に印加された電圧に応じて前記ヘッド支持体を前記
磁気記憶媒体と平行に振動させることを特徴とする。
【００１１】又、請求項４では、前記ヘッド支持体を前
記磁気ヘッドの振動方向及び振動方向と直交する方向に
移動させる手段をさらに有することを特徴とする。
記磁気ヘッドの振動方向及び振動方向と直交する方向に
移動させる手段をさらに有することを特徴とする。
【００１２】又、請求項５では、前記磁気記憶媒体、ヘ
ッド支持体、励振手段を有する基板と、前記磁気ヘッド
に接続された信号処理回路と、前記励振手段を駆動する
制御回路とを同一ケース内に収納したことを特徴とす
る。
ッド支持体、励振手段を有する基板と、前記磁気ヘッド
に接続された信号処理回路と、前記励振手段を駆動する
制御回路とを同一ケース内に収納したことを特徴とす
る。
【００１３】又、請求項６では、前記基板は、前記磁気
ヘッドに接続された信号処理回路及び前記励振手段を駆
動する制御回路をさらに有することを特徴とする。
ヘッドに接続された信号処理回路及び前記励振手段を駆
動する制御回路をさらに有することを特徴とする。
【００１４】
【作用】請求項１によれば、磁気記憶媒体を回転させる
モータが不要であるので超小型かつ高密度記録の装置が
実現できる。
モータが不要であるので超小型かつ高密度記録の装置が
実現できる。
【００１５】請求項２によれば、磁気記憶媒体及びヘッ
ド支持体が移動できるので、磁気記憶媒体の面積を大き
くでき、記憶容量を増大できる。
ド支持体が移動できるので、磁気記憶媒体の面積を大き
くでき、記憶容量を増大できる。
【００１６】請求項３によれば、ピエゾ素子をヘッド支
持体に設けるだけで磁気ヘッドを励振させることがで
き、励振手段の構成が簡略化される。
持体に設けるだけで磁気ヘッドを励振させることがで
き、励振手段の構成が簡略化される。
【００１７】請求項４によれば、ヘッド支持体のみを移
動させて磁気記憶媒体を固定させることができ、ヘッド
支持体を精密加工すれば良い。
動させて磁気記憶媒体を固定させることができ、ヘッド
支持体を精密加工すれば良い。
【００１８】請求項５によれば、信号処理回路及び制御
回路を基板と同一のケース内に収納できるので、装置全
体を１個のユニットとして扱うことができ、取付が容易
となる。
回路を基板と同一のケース内に収納できるので、装置全
体を１個のユニットとして扱うことができ、取付が容易
となる。
【００１９】請求項６によれば、基板に信号処理回路及
び制御回路を設けることにより、装置全体の構成をより
一層小型化できる。
び制御回路を設けることにより、装置全体の構成をより
一層小型化できる。
【００２０】
【実施例】図２は本発明の磁気記憶装置の一実施例が組
み付けられたケースの斜視図であり、図３は本発明の要
部を示す斜視図である。
み付けられたケースの斜視図であり、図３は本発明の要
部を示す斜視図である。
【００２１】両図中、磁気記憶装置１１は超小型の記憶
手段として使用されるため、例えばケース１２により電
気回路の基板等（図示せず）に装着することができる。
手段として使用されるため、例えばケース１２により電
気回路の基板等（図示せず）に装着することができる。
【００２２】磁気記憶装置１１は合成樹脂製のケース１
２の上面に形成された凹部１２ａに記憶ユニット１３が
埋設され、隣接する凹部１２ｂに記憶ユニット１３を駆
動制御する制御回路１４及び書込信号、読取信号等の信
号を処理する信号処理回路１５が埋設されている。
２の上面に形成された凹部１２ａに記憶ユニット１３が
埋設され、隣接する凹部１２ｂに記憶ユニット１３を駆
動制御する制御回路１４及び書込信号、読取信号等の信
号を処理する信号処理回路１５が埋設されている。
【００２３】従って、１個のケース１２に記憶ユニット
１３及び上記回路１４，１５が一体的に設けられている
ので、扱い易く、他の基板等に容易に装着することがで
きる。尚、ケース１２の凹部１２ａと１２ｂとの間には
記憶ユニット１３と回路１４，１５とを接続するケーブ
ル１６が挿通される溝１２ｃが形成されている。又、ケ
ース１２の凹部１２ａ，１２ｂの上部開口には磁気シー
ルドのための蓋（図示せず）が装着される。
１３及び上記回路１４，１５が一体的に設けられている
ので、扱い易く、他の基板等に容易に装着することがで
きる。尚、ケース１２の凹部１２ａと１２ｂとの間には
記憶ユニット１３と回路１４，１５とを接続するケーブ
ル１６が挿通される溝１２ｃが形成されている。又、ケ
ース１２の凹部１２ａ，１２ｂの上部開口には磁気シー
ルドのための蓋（図示せず）が装着される。
【００２４】記憶ユニット１３は、セラミック製の薄板
状の基板１７と、磁気記憶部としての複数のデータセル
１８が形成された磁気記憶媒体１９と、磁気ヘッド２０
を支持するヘッド支持体２１とより構成されている。
状の基板１７と、磁気記憶部としての複数のデータセル
１８が形成された磁気記憶媒体１９と、磁気ヘッド２０
を支持するヘッド支持体２１とより構成されている。
【００２５】図４に示す如く、基板１７は上面１７ａの
中央に平板状の磁気記憶媒体１９が嵌合する長方形状の
ガイド溝１７ｂが設けられている。磁気記憶媒体１９は
両側をガイド溝１７ｂによりガイドされＹ方向に摺動す
る。又、磁気記憶媒体１９の基板１９ａ上には図５に示
すような長方形状のデータセル１８がＸ方向に９列、Ｙ
方向に１４列形成されている。各データセル１８は基板
１９ａ上に磁性膜を被覆形成してなり、その表面には円
弧状の記憶トラック１８1 …１８n が磁気記録される。
中央に平板状の磁気記憶媒体１９が嵌合する長方形状の
ガイド溝１７ｂが設けられている。磁気記憶媒体１９は
両側をガイド溝１７ｂによりガイドされＹ方向に摺動す
る。又、磁気記憶媒体１９の基板１９ａ上には図５に示
すような長方形状のデータセル１８がＸ方向に９列、Ｙ
方向に１４列形成されている。各データセル１８は基板
１９ａ上に磁性膜を被覆形成してなり、その表面には円
弧状の記憶トラック１８1 …１８n が磁気記録される。
【００２６】尚、本実施例では磁気記憶媒体１９がＹ方
向に摺動するだけなので、磁気ディスクを回転させる従
来の構成のようにディスク回転用モータが不要であり、
又モータのスピンドル軸及び軸受が不要である。そのた
め、部品点数が大幅に減少するとともに難しい精密加工
や耐久性を容易に改善しうる。
向に摺動するだけなので、磁気ディスクを回転させる従
来の構成のようにディスク回転用モータが不要であり、
又モータのスピンドル軸及び軸受が不要である。そのた
め、部品点数が大幅に減少するとともに難しい精密加工
や耐久性を容易に改善しうる。
【００２７】ヘッド支持体２１はセラミック又は金属板
により形成されており、基板１７の上面１７ａに固着さ
れる端部２１ａ，２１ｂと、端部２１ａ，２１ｂよりＹ
方向に延在する。アーム２１ｃ，２１ｄと、アーム２１
ｃ，２１ｄ間を横架された横架部２１ｅと、横架部２１
ｅの中央から固定部側へ延在するヘッド支持アーム２１
ｆとよりなる。ヘッド支持アーム２１ｆの先端の下面２
１ｇには、図６に示す磁気ヘッド２０が取付けられてい
る。
により形成されており、基板１７の上面１７ａに固着さ
れる端部２１ａ，２１ｂと、端部２１ａ，２１ｂよりＹ
方向に延在する。アーム２１ｃ，２１ｄと、アーム２１
ｃ，２１ｄ間を横架された横架部２１ｅと、横架部２１
ｅの中央から固定部側へ延在するヘッド支持アーム２１
ｆとよりなる。ヘッド支持アーム２１ｆの先端の下面２
１ｇには、図６に示す磁気ヘッド２０が取付けられてい
る。
【００２８】又、アーム２１ｃ，２１ｄ及びヘッド支持
アーム２１ｆには後述するＸ方向の揺動を容易にするた
めＹ方向に延在するスリット２１ｈ，２１ｉ，２１ｊが
形成されている。ヘッド支持アーム２１ｆはスリット２
１ｊの両側に平行に延在する一対のアーム２１ｆ1 ，２
１ｆ2 を有し、その上面にピエゾセラミックス又はＺｎ
Ｏ2 等の薄膜状のピエゾ素子（励振手段）２２，２３が
スパッタリングにより形成されている。このピエゾ素子
２２，２３は＋−の交流電圧が印加されると伸縮し、圧
縮、引張を交互に繰り返す。そのため、平行に配された
一対のピエゾ素子２２，２３に逆位相の交流電圧を印加
すると、一方のピエゾ素子２２が圧縮応力を発生したと
き他方のピエゾ素子２３が引張応力を発生することにな
る。又、逆に一方のピエゾ素子２２が引張応力を発生し
たとき、他方のピエゾ素子２３が圧縮応力を発生するこ
とになる。
アーム２１ｆには後述するＸ方向の揺動を容易にするた
めＹ方向に延在するスリット２１ｈ，２１ｉ，２１ｊが
形成されている。ヘッド支持アーム２１ｆはスリット２
１ｊの両側に平行に延在する一対のアーム２１ｆ1 ，２
１ｆ2 を有し、その上面にピエゾセラミックス又はＺｎ
Ｏ2 等の薄膜状のピエゾ素子（励振手段）２２，２３が
スパッタリングにより形成されている。このピエゾ素子
２２，２３は＋−の交流電圧が印加されると伸縮し、圧
縮、引張を交互に繰り返す。そのため、平行に配された
一対のピエゾ素子２２，２３に逆位相の交流電圧を印加
すると、一方のピエゾ素子２２が圧縮応力を発生したと
き他方のピエゾ素子２３が引張応力を発生することにな
る。又、逆に一方のピエゾ素子２２が引張応力を発生し
たとき、他方のピエゾ素子２３が圧縮応力を発生するこ
とになる。
【００２９】これにより、ヘッド支持アーム２１ｆはＡ
方向に揺動する。そして、ピエゾ素子２２，２３に印加
される交流電圧の大きさ、周波数がヘッド支持アーム２
１ｆの機械共振周波数に合わせて制御されるため、ヘッ
ド支持アーム２１ｆの先端は小電力で一定の振幅（本実
施例ではデータセル１８のＸ方向の幅寸法Ｌｘ以上）で
単振動する。
方向に揺動する。そして、ピエゾ素子２２，２３に印加
される交流電圧の大きさ、周波数がヘッド支持アーム２
１ｆの機械共振周波数に合わせて制御されるため、ヘッ
ド支持アーム２１ｆの先端は小電力で一定の振幅（本実
施例ではデータセル１８のＸ方向の幅寸法Ｌｘ以上）で
単振動する。
【００３０】従って、磁気ヘッド２０はデータセル１８
の表面のトラック１８1 〜１８n をトレースするように
単振動する。そして、ヘッド支持アーム２１ｆの振動に
電気的に同期を取ることより、磁気ヘッド２０はデータ
セル１８に書込データを磁気記録し、あるいはデータセ
ル１８に記録されたデータを読み取ることができる。
の表面のトラック１８1 〜１８n をトレースするように
単振動する。そして、ヘッド支持アーム２１ｆの振動に
電気的に同期を取ることより、磁気ヘッド２０はデータ
セル１８に書込データを磁気記録し、あるいはデータセ
ル１８に記録されたデータを読み取ることができる。
【００３１】尚、ピエゾ素子２２，２３がヘッド支持ア
ーム２１ｆにスパッタリングされて励振手段が構成され
ているので、構成が極めて簡略化できるとともに超小型
化、薄型化をも実現できる。
ーム２１ｆにスパッタリングされて励振手段が構成され
ているので、構成が極めて簡略化できるとともに超小型
化、薄型化をも実現できる。
【００３２】又、磁気ヘッド２０がデータセル１８の他
のトラックへ移動する際には、磁気記憶媒体１９自体が
Ｙ方向に移動することになる。即ち、磁気記憶媒体１９
と基板１７のガイド溝１７ｂとの間には平板型静電アク
チュエータ２４（第１の駆動手段）が設けられており、
この静電アクチュエータ２４の駆動力により磁気記憶媒
体１９はＹ方向に駆動される。
のトラックへ移動する際には、磁気記憶媒体１９自体が
Ｙ方向に移動することになる。即ち、磁気記憶媒体１９
と基板１７のガイド溝１７ｂとの間には平板型静電アク
チュエータ２４（第１の駆動手段）が設けられており、
この静電アクチュエータ２４の駆動力により磁気記憶媒
体１９はＹ方向に駆動される。
【００３３】この静電アクチュエータ２４は、基板１７
のガイド溝１７ｂの底面に短冊状の固定側電極２４ａ
（図４中破線で示す）と、磁気記憶媒体１９の下面に形
成された短冊状の可動側電極２４ｂ（図４中１点鎖線で
示す）とよりなる。両電極２４ａ，２４ｂはスパッタリ
ング又はエッチング等により微細加工され、複数の微細
な電極がデータセル１８のトラック１８1 〜１８n のピ
ッチと同一又は該ピッチより小さい間隔で形成されてい
る。従って、静電アクチュエータ２４は薄膜の電極を設
けただけなので、極めて薄型化された超小型アクチュエ
ータである。
のガイド溝１７ｂの底面に短冊状の固定側電極２４ａ
（図４中破線で示す）と、磁気記憶媒体１９の下面に形
成された短冊状の可動側電極２４ｂ（図４中１点鎖線で
示す）とよりなる。両電極２４ａ，２４ｂはスパッタリ
ング又はエッチング等により微細加工され、複数の微細
な電極がデータセル１８のトラック１８1 〜１８n のピ
ッチと同一又は該ピッチより小さい間隔で形成されてい
る。従って、静電アクチュエータ２４は薄膜の電極を設
けただけなので、極めて薄型化された超小型アクチュエ
ータである。
【００３４】静電アクチュエータ２４では互いに対向す
る電極２４ａ，２４ｂに電圧を印加すると、両電極２４
ａ，２４ｂ間にＹ方向の静電力が発生し、磁気記憶媒体
１９はこの静電力に駆動されてＹ方向に移動する。その
ため、磁気ヘッド２０は相対的にデータセル１８上をＹ
方向に摺動し、各トラック１８1 〜１８n をトレースす
ることができる。
る電極２４ａ，２４ｂに電圧を印加すると、両電極２４
ａ，２４ｂ間にＹ方向の静電力が発生し、磁気記憶媒体
１９はこの静電力に駆動されてＹ方向に移動する。その
ため、磁気ヘッド２０は相対的にデータセル１８上をＹ
方向に摺動し、各トラック１８1 〜１８n をトレースす
ることができる。
【００３５】又、静電アクチュエータ２４の駆動力によ
り磁気記憶媒体１９が両側をガイド溝１７ｂにガイドさ
れながらＹ方向の縁部に当接するまで摺動できるため、
磁気ヘッド２０は磁気記憶媒体１９のＹ方向各データセ
ル１８に対して磁気記録／再生することができる。
り磁気記憶媒体１９が両側をガイド溝１７ｂにガイドさ
れながらＹ方向の縁部に当接するまで摺動できるため、
磁気ヘッド２０は磁気記憶媒体１９のＹ方向各データセ
ル１８に対して磁気記録／再生することができる。
【００３６】２５はＸ方向用の平板型静電アクチュエー
タ（第２の駆動手段）で、基板１７の上面１７ａに形成
された固定側電極２５ａ（図４中１点鎖線で示す）と、
ヘッド支持体２１の横架部２１ｅの下面に形成された可
動側電極２５ｂ（図４中破線で示す）とよりなる。両電
極２５ａ，２５ｂは上記静電アクチュエータ２４と同様
スパッタリング等の微細加工技術により短冊状に形成さ
れた微細な電極の集合体であり、薄膜状の超小型アクチ
ュエータである。
タ（第２の駆動手段）で、基板１７の上面１７ａに形成
された固定側電極２５ａ（図４中１点鎖線で示す）と、
ヘッド支持体２１の横架部２１ｅの下面に形成された可
動側電極２５ｂ（図４中破線で示す）とよりなる。両電
極２５ａ，２５ｂは上記静電アクチュエータ２４と同様
スパッタリング等の微細加工技術により短冊状に形成さ
れた微細な電極の集合体であり、薄膜状の超小型アクチ
ュエータである。
【００３７】そのため、両電極２５ａ，２５ｂに電圧が
印加されると、両電極２５ａ，２５ｂ間にＸ方向の静電
力が発生し、ヘッド支持体２１の横架部２１ｅがＸ方向
に摺動する。その際ヘッド支持体２１は両端部２１ａ，
２１ｂが基板１７の上面１７ａに固着され、且つ一対の
アーム２１ｃ，２１ｄにスリット２１ｈ，２１ｉが設け
られているので、一対のアーム２１ｃ，２１ｄで平行リ
ンクのように駆動方向に撓む。
印加されると、両電極２５ａ，２５ｂ間にＸ方向の静電
力が発生し、ヘッド支持体２１の横架部２１ｅがＸ方向
に摺動する。その際ヘッド支持体２１は両端部２１ａ，
２１ｂが基板１７の上面１７ａに固着され、且つ一対の
アーム２１ｃ，２１ｄにスリット２１ｈ，２１ｉが設け
られているので、一対のアーム２１ｃ，２１ｄで平行リ
ンクのように駆動方向に撓む。
【００３８】そのため、ヘッド支持アーム２１ｆを支持
する横架部材２１ｅはＸ方向に直線的に移動し、磁気ヘ
ッド２０をＸ方向の各データセル１８に摺接させる。
する横架部材２１ｅはＸ方向に直線的に移動し、磁気ヘ
ッド２０をＸ方向の各データセル１８に摺接させる。
【００３９】従って、磁気ヘッド２０は静電アクチュエ
ータ２５に駆動されてＸ方向に移動できるので、前述し
たＹ方向の静電アクチュエータ２４の駆動力により磁気
記憶媒体１９がＹ方向に移動することによりＸ，Ｙ方向
に整列されたすべてのデータセル１８に対して磁気記録
／再生を行うことができる。
ータ２５に駆動されてＸ方向に移動できるので、前述し
たＹ方向の静電アクチュエータ２４の駆動力により磁気
記憶媒体１９がＹ方向に移動することによりＸ，Ｙ方向
に整列されたすべてのデータセル１８に対して磁気記録
／再生を行うことができる。
【００４０】このように記憶ユニット１３は半導体製造
技術を応用して形成された薄膜状のピエゾ素子２２，２
３により磁気ヘッド２０を単振動させるとともに、薄膜
状の静電アクチュエータ２４，２５により磁気記憶媒体
１９に対して磁気ヘッド２０をＸ，Ｙ方向に駆動する構
成であるので、従来のように磁気ディスクを回転させる
モータ、スピンドル、軸受等が不要になり構成の簡略化
が図れるとともに極めて薄型化された構成となってい
る。そのため、図２に示す如く、磁気記憶装置１１は記
憶ユニット１３を回路１４，１５とともに、ケース１２
内に収納した小形パッケージとすることができる。
技術を応用して形成された薄膜状のピエゾ素子２２，２
３により磁気ヘッド２０を単振動させるとともに、薄膜
状の静電アクチュエータ２４，２５により磁気記憶媒体
１９に対して磁気ヘッド２０をＸ，Ｙ方向に駆動する構
成であるので、従来のように磁気ディスクを回転させる
モータ、スピンドル、軸受等が不要になり構成の簡略化
が図れるとともに極めて薄型化された構成となってい
る。そのため、図２に示す如く、磁気記憶装置１１は記
憶ユニット１３を回路１４，１５とともに、ケース１２
内に収納した小形パッケージとすることができる。
【００４１】図７に本発明の変形例を示す。
【００４２】同図中、磁気記憶媒体１９は基板１７の中
央部に埋設されている。このように固定された磁気記憶
媒体１９に対して磁気ヘッド２０はＸ方向及びＹ方向に
駆動されるようになっている。即ち、ヘッド支持体２１
の両端部２１ａ，２１ｂと基板１７との間にはＹ方向駆
動用の静電アクチュエータ２６，２７が設けられてい
る。
央部に埋設されている。このように固定された磁気記憶
媒体１９に対して磁気ヘッド２０はＸ方向及びＹ方向に
駆動されるようになっている。即ち、ヘッド支持体２１
の両端部２１ａ，２１ｂと基板１７との間にはＹ方向駆
動用の静電アクチュエータ２６，２７が設けられてい
る。
【００４３】一方の静電アクチュエータ２６は前述した
静電アクチュエータ２４と同様な構成であり、基板１７
の上面１７ａに形成された固定側電極２６ａと、ヘッド
支持体２１の端部２１ａの下面に設けられた可動側電極
２６ｂとよりなる。又、他方の静電アクチュエータ２７
はこれと全く同一構成である。
静電アクチュエータ２４と同様な構成であり、基板１７
の上面１７ａに形成された固定側電極２６ａと、ヘッド
支持体２１の端部２１ａの下面に設けられた可動側電極
２６ｂとよりなる。又、他方の静電アクチュエータ２７
はこれと全く同一構成である。
【００４４】従って、ヘッド支持体２１は左右両方の静
電アクチュエータ２６，２７に駆動されてＹ方向に移動
し、アクチュエータ２５によりＸ方向に移動でき、磁気
ヘッド２０は磁気記憶媒体１９に整列されたすべてのデ
ータセル１８に対して磁気記録／再生が行える。
電アクチュエータ２６，２７に駆動されてＹ方向に移動
し、アクチュエータ２５によりＸ方向に移動でき、磁気
ヘッド２０は磁気記憶媒体１９に整列されたすべてのデ
ータセル１８に対して磁気記録／再生が行える。
【００４５】尚、ヘッド支持体２１の両端部２１ａ，２
１ｂは基板２１の両側を摺接するように折曲されてお
り、これよりＹ方向の移動をガイドされる。
１ｂは基板２１の両側を摺接するように折曲されてお
り、これよりＹ方向の移動をガイドされる。
【００４６】この変形例では磁気記憶媒体１９が固定で
あるので、磁気記憶媒体１９の下面に静電アクチュエー
タを設ける必要がなく、磁気記憶媒体１９の製造が容易
となり、ヘッド支持体２１のみを精密加工すれば良い。
又、磁気ヘッド２０をＹ方向に移動させる際は２個の静
電アクチュエータ２６，２７により高速で移動すること
ができる。
あるので、磁気記憶媒体１９の下面に静電アクチュエー
タを設ける必要がなく、磁気記憶媒体１９の製造が容易
となり、ヘッド支持体２１のみを精密加工すれば良い。
又、磁気ヘッド２０をＹ方向に移動させる際は２個の静
電アクチュエータ２６，２７により高速で移動すること
ができる。
【００４７】又、上記変形例とは逆に磁気記憶媒体１９
がＸ，Ｙ方向に移動できる構成とし、磁気ヘッド２０は
Ａ方向に単振動する構成としても良い。
がＸ，Ｙ方向に移動できる構成とし、磁気ヘッド２０は
Ａ方向に単振動する構成としても良い。
【００４８】図８に本発明の別の変形例を示す。同図
中、基板１７の上面１７ａには前述したように磁気記憶
媒体１９とヘッド支持体２１を設けるとともに、ピエゾ
素子２２，２３，静電アクチュエータ２４，２５を駆動
制御する制御回路１４及び書込信号、読取信号等の信号
を処理する信号処理回路１５（図８中共に１点鎖線で示
す）が設けられている。
中、基板１７の上面１７ａには前述したように磁気記憶
媒体１９とヘッド支持体２１を設けるとともに、ピエゾ
素子２２，２３，静電アクチュエータ２４，２５を駆動
制御する制御回路１４及び書込信号、読取信号等の信号
を処理する信号処理回路１５（図８中共に１点鎖線で示
す）が設けられている。
【００４９】従って、磁気記憶装置１１はすべての構成
部品が基板１７に設けられ、図２に示すＩＣ形パッケー
ジよりもさらに小型化された構成となる。
部品が基板１７に設けられ、図２に示すＩＣ形パッケー
ジよりもさらに小型化された構成となる。
【００５０】
【発明の効果】上述の如く、本発明の請求項１によれ
ば、従来のディスク装置のように磁気記憶媒体を回転さ
せるモータ、スピンドル、軸受等の機構が不要であるの
で、超小型化することができるとともに高密度記録を実
現し記憶容量を増大することができる。
ば、従来のディスク装置のように磁気記憶媒体を回転さ
せるモータ、スピンドル、軸受等の機構が不要であるの
で、超小型化することができるとともに高密度記録を実
現し記憶容量を増大することができる。
【００５１】又、請求項２によれば、磁気記憶媒体及び
ヘッド支持体が移動できるので、磁気記憶媒体の面積を
大きくとることができ、この面からも記憶容量を増大す
ることができる。
ヘッド支持体が移動できるので、磁気記憶媒体の面積を
大きくとることができ、この面からも記憶容量を増大す
ることができる。
【００５２】又、請求項３によれば、ピエゾ素子をヘッ
ド支持体に設けるだけで磁気ヘッドを振動させることが
でき、励振手段の構成を簡略化できる。
ド支持体に設けるだけで磁気ヘッドを振動させることが
でき、励振手段の構成を簡略化できる。
【００５３】又、請求項４によれば、ヘッド支持体のみ
を移動させて磁気記録再生できるので、磁気記憶媒体を
固定させることができ、ヘッド支持体を精密加工すれば
良いので磁気記憶媒体の製造が容易となる。
を移動させて磁気記録再生できるので、磁気記憶媒体を
固定させることができ、ヘッド支持体を精密加工すれば
良いので磁気記憶媒体の製造が容易となる。
【００５４】又、請求項５によれば、信号処理回路及び
制御回路を基板と同一ケース内に収納できるので、装置
全体を１個のユニットとして扱うことができ、取付が容
易となる。
制御回路を基板と同一ケース内に収納できるので、装置
全体を１個のユニットとして扱うことができ、取付が容
易となる。
【００５５】又、請求項６によれば、基板上に信号処理
回路及び制御回路を設けることにより、装置全体の構成
をより一層小型化できる。
回路及び制御回路を設けることにより、装置全体の構成
をより一層小型化できる。
【図１】本発明の原理図である。
【図２】本発明になる磁気記憶装置の一実施例の斜視図
である。
である。
【図３】記憶ユニットの斜視図である。
【図４】記憶ユニットの分解斜視図である。
【図５】データセルを拡大して示す平面図である。
【図６】磁気ヘッドを示す斜視図である。
【図７】本発明の変形例の斜視図である。
【図８】本発明の別の変形例の斜視図である。
１，１７ 基板 ２，１９ 磁気記憶媒体 ３，２０ 磁気ヘッド ４，２１ ヘッド支持体 ５ 励振手段 １１ 磁気記憶装置 １２ ケース １３ 記憶ユニット １４ 制御回路 １５ 信号処理回路 １８ データセル ２２，２３ ピエゾ素子 ２４〜２７ 静電アクチュエータ
Claims (6)
- 【請求項１】 薄板状に形成された基板（１，１７）
と、 該基板（１，１７）上に取付けられた磁気記憶媒体
（２，１９）と、 該磁気記憶媒体（２，１９）に摺接する磁気ヘッド
（３，２０）を支持するヘッド支持体（４，２１）と、 該ヘッド支持体（４，２１）を前記磁気ヘッド（３，２
０）が前記磁気記憶媒体（２，１９）を一定の振幅で摺
接するように振動させる励振手段（５，２２，２３）
と、 よりなることを特徴とする磁気記憶装置。 - 【請求項２】 薄板状に形成された基板（１，１７）
と、 該基板（１，１７）上に取付けられた磁気記憶媒体
（２，１９）と、 該磁気記憶媒体（２，１９）に摺接する磁気ヘッド
（３，２０）を支持するヘッド支持体（４，２１）と、 該ヘッド支持体（４，２１）を前記磁気ヘッド（３，２
０）が前記磁気記憶媒体（２，１９）を一定の振幅で摺
接するように振動させる励振手段（５，２２，２３）
と、 前記磁気記憶媒体（２，１９）を前記磁気ヘッド（３，
２０）の振動方向又は振動方向と直交する方向のいずれ
か一方に駆動する第１の駆動手段（２４）と、 前記ヘッド支持体（４，２１）を前記磁気ヘッド（３，
２０）の振動方向又は振動方向と直交する方向のいずれ
か他方に駆動する第２の駆動手段（２５）と、 よりなることを特徴とする磁気記憶装置。 - 【請求項３】 前記励振手段は、ピエゾ素子（２２，２
３）を前記ヘッド支持体（４，２１）に設けてなり、該
ピエゾ素子（２２，２３）に印加された電圧に応じて前
記ヘッド支持体（４，２１）を前記磁気記憶媒体（２，
１９）と平行に振動させることを特徴とする請求項１記
載の磁気記憶装置。 - 【請求項４】 前記ヘッド支持体（４，２１）を前記磁
気ヘッド（３，２０）の振動方向及び振動方向と直交す
る方向に移動させる手段（２５，２６，２７）をさらに
有することを特徴とする請求項１記載の磁気記憶装置。 - 【請求項５】 前記磁気記憶媒体（２，１９），ヘッド
支持体（４，２１），励振手段（５，２２，２３）を有
する基板（１，１７）と、前記磁気ヘッド（３，２０）
に接続された信号処理回路（１５）と、前記励振手段
（５，２２，２３）を駆動する制御回路（１４）とを同
一ケース（１２）内に収納したことを特徴とする請求項
１記載の磁気記憶装置。 - 【請求項６】 前記基板（１７）は、前記磁気ヘッド
（３，２０）に接続された信号処理回路（１５）及び前
記励振手段（５，２２，２３）を駆動する制御回路（１
４）をさらに有することを特徴とする請求項１記載の磁
気記憶装置。
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3238439A JP2549775B2 (ja) | 1991-09-18 | 1991-09-18 | 磁気記憶装置 |
| EP92115719A EP0533095B1 (en) | 1991-09-18 | 1992-09-14 | Storage device having reciprocating head |
| DE69227660T DE69227660T2 (de) | 1991-09-18 | 1992-09-14 | Speicher mit hin- und herbewegendem Kopf |
| US07/945,455 US5400192A (en) | 1991-09-18 | 1992-09-16 | Storage device having vibratory head |
| KR1019920017067A KR960011843B1 (ko) | 1991-09-18 | 1992-09-18 | 진동성의 헤드(Head)를 갖는 기억장치 |
| US08/358,402 US5793560A (en) | 1991-09-18 | 1994-12-19 | Storage device having vibratory head |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3238439A JP2549775B2 (ja) | 1991-09-18 | 1991-09-18 | 磁気記憶装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0573850A true JPH0573850A (ja) | 1993-03-26 |
| JP2549775B2 JP2549775B2 (ja) | 1996-10-30 |
Family
ID=17030241
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3238439A Expired - Fee Related JP2549775B2 (ja) | 1991-09-18 | 1991-09-18 | 磁気記憶装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2549775B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5523639A (en) * | 1993-11-25 | 1996-06-04 | Fujitsu Limited | Electrostatic actuator having ferroelectrics in which residual dielectric polarization is formed |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5492207A (en) * | 1977-12-28 | 1979-07-21 | Ricoh Co Ltd | System and apparatus for sheet recording and reproducing |
| JPS593708A (ja) * | 1982-06-29 | 1984-01-10 | Trio Kenwood Corp | 磁気記録再生方法 |
-
1991
- 1991-09-18 JP JP3238439A patent/JP2549775B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5492207A (en) * | 1977-12-28 | 1979-07-21 | Ricoh Co Ltd | System and apparatus for sheet recording and reproducing |
| JPS593708A (ja) * | 1982-06-29 | 1984-01-10 | Trio Kenwood Corp | 磁気記録再生方法 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5523639A (en) * | 1993-11-25 | 1996-06-04 | Fujitsu Limited | Electrostatic actuator having ferroelectrics in which residual dielectric polarization is formed |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2549775B2 (ja) | 1996-10-30 |
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