JPH0572396U - 切り込み深さ過多防止機構 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 回転ブレードの切り込み過多による破損事故
を未然に防止できるようにした、ブレード摩耗システム
における切り込み深さ過多防止機構を提供する。 【構成】 ブレードの摩耗量を予めＣＰＵに登録してお
き、所定の切削毎にブレードを下降させるブレード摩耗
補償システムにおいて、予めＣＰＵに登録されている摩
耗量と、現実の摩耗量とが相違することに起因してブレ
ードの下降が過多となり、チャックテーブル、ブレード
を傷付けるのを防止するためにチャックテーブルの側部
にブレードの下降過多検出手段を設け、その検出に基づ
いてブレードの下降制御を行う。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、ブレード摩耗補償システムにおける切り込み深さ過多防止機構に関 するものである。

【０００２】

【従来の技術】

最近、ダイサー等の精密切削装置でセラミックス等を切断加工する場合に、そ の加工精度の観点から比較的摩耗量の多いブレードを使用せざるを得ないことが ある。 このような摩耗量の多いブレードを使用した場合には、１回切断する毎 にその摩耗量に応じてブレードを下降させる必要があり、これを能率良く行うも のとしては、従来例えば特開昭６１−７１９６８号公報に開示された摩耗補償方 法がある。

【０００３】

【考案が解決しようとする課題】

しかしながら、前記のような従来技術によると、テストカットや実績や経験等 により得られたブレードの摩耗補償量を予め設定し、常に加工精度が許容誤差の 範囲内であるように摩耗補償を定期的に行うものであるから、前記のように摩耗 量の多いブレードを使用して１回切断する毎にその摩耗量に応じてブレードを下 降させる場合には、必ずしも最適であるとは言えない。即ち、現実の摩耗量とは 相違して切り込みが浅くなったり、逆に切り込み過多となってブレードやチャッ クテーブル等を破損する事故が生じる懸念がある。

【０００４】 本考案は、このような従来の問題点を除去するためになされ、特に危険とされ る切り込み過多による破損事故を未然に防止できるようにした、ブレード摩耗補 償システムにおける切り込み深さ過多防止機構を提供することを課題としたもの である。

【０００５】

【課題を解決するための手段】 この課題を技術的に解決するための手段として、本考案は、ブレードの摩耗量 を予めＣＰＵに登録しておき、所定の切削毎にブレードを下降させるブレード摩 耗補償システムにおいて、予めＣＰＵに登録されている摩耗量と、現実の摩耗量 とが相違することに起因してブレードの下降が過多となり、チャックテーブル、 ブレードを傷付けるのを防止するためにチャックテーブルの側部にブレードの下 降過多検出手段を設け、その検出に基づいてブレードの下降制御を行うようにし たことを要旨とするものである。

【０００６】

【作 用】

現実の摩耗量が微量でブレードの先端が下がり過ぎると、ブレードの下降過多 検出手段がこれを検出し、この検出に基づいてブレードの下降が制御される。

【０００７】

【実施例】

以下、本考案の実施例を添付図面に基づいて詳説する。 図１において、１は基台２の上に設けられたチャックテーブルであり、セラミッ クやウェーハ等のワーク３を載置固定できるようにしてある。

【０００８】 ４は下降過多検出手段であり、前記チャックテーブル１の側部に取り付けられ た接触用テーブル４ａと、その接触用テーブル４ａの下面に設けられたＡＥ（ac oustic emission)センサー４ｂとから構成されている。

【０００９】 ５は回転ブレードであり、Ｘ軸方向に移動させて前記ワーク３を切断し、Ｚ軸 方向に下降させて摩耗量の補償をするようにしてある。この摩耗量の補償は従来 と同様の要領にて行われ、即ち回転ブレード５の摩耗量を予めＣＰＵに登録して おき、所定の切削毎に回転ブレード５を下降させるシステムにしてある。

【００１０】 前記のように予めＣＰＵに登録されている回転ブレード５の摩耗量と、現実に 摩耗した回転ブレード５の摩耗量とが相違し、現実の摩耗量が少ないにも拘らず 所定量下降されると、回転ブレード５の下降が過多となって前記接触用テーブル ４ａに接触する。この時、接触用テーブル４ａが振動し、その振動を前記ＡＥセ ンサー４ｂが検出して信号をＣＰＵに入力する。

【００１１】 この信号入力によって、回転ブレード５の下降し過ぎが検出されると共に、直 ちに回転ブレード５の回転を停止させ、警報装置を作動させ或は回転ブレード５ の下降量を適正に制御する等の緊急手段の作動に移行させる。従って、回転ブレ ード５の破損を未然に防止すると共に、前記チャックテーブル１の傷付きを防止 し、且つワーク３の切断ミスを事前に防ぐことができる。

【００１２】 今後、このような機構はワーク自動搬送による無人運転の際にも極めて有効な 安全対策となる。 尚、下降過多検出手段は上記実施例のものに限定されることなく、光センサー 、磁気センサー等の適宜の検出センサーで実施することが可能である。

【００１３】

【考案の効果】

以上説明したように、本考案によれば、ブレードの摩耗量を予めＣＰＵに登録 しておき、所定の切削毎にブレードを下降させるブレード摩耗補償システムにお いて、予めＣＰＵに登録されている摩耗量と、現実の摩耗量との相違に起因する ブレードの下降過多を検出するための下降過多検出手段を設けたので、ブレード の破損又はチャックテーブルやワークの傷付きを未然に防止することができ、そ の効果は顕著である。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本考案の一実施例を示す説明図である。

【符号の説明】

１…チャックテーブル ２…基台 ３…ワーク
４…下降過多検出手段 ４ａ…接触用テーブル ４ｂ…ＡＥセンサー ５…
回転ブレード

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 ブレードの摩耗量を予めＣＰＵに登録し
   ておき、所定の切削毎にブレードを下降させるブレード
   摩耗補償システムにおいて、予めＣＰＵに登録されてい
   る摩耗量と、現実の摩耗量とが相違することに起因して
   ブレードの下降が過多となり、チャックテーブル、ブレ
   ードを傷付けるのを防止するためにチャックテーブルの
   側部にブレードの下降過多検出手段を設け、その検出に
   基づいてブレードの下降制御を行うようにした切り込み
   深さ過多防止機構。