JPH0571677A - 配管用継手 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】配管の連結作業の迅速化と、適正かつ強固な締
結状態を図る。 【構成】互いに連結される第１又は第２の配管２１，２
２に装着される雄ねじ体２４と雌ねじ体２６の互いに合
致させる位置に締結開始位置用目印２７を施すと共に、
互いに係合する嵌合部２８を形成する。雌ねじ体２６の
外側面に規定締結指示表示２９を施す。これにより、目
視と指の抵抗感覚の双方によって雄ねじ体２４と雌ねじ
体２６の締結開始位置を容易に確認することができ、規
定締結指示表示２９に基いて規定締結状態で第１の配管
２１と第２の配管２２とを連結することができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は配管用継手に関するも
ので、更に詳細には、互いに連結される配管の連結を容
易かつ確実に行えるようにした配管用継手に関するもの
である。

【０００２】

【従来の技術】一般に、半導体ウエハの製造工程におい
ては、レジスト塗布処理、現像処理、洗浄処理等の多く
の処理工程が必要であり、これら処理工程においてそれ
ぞれ処理液の供給用配管と排液用配管等の多くの配管系
が使用されている。例えば図８に示す現像処理装置を参
照して説明すると、半導体ウエハＷを回転可能に保持す
る載置台１と現像液噴射ノズル２を有する処理室３と、
現像液供給源４とを接続する配管５途中には、熱交換器
６及び温調水ジャケット７が配設されている。また、熱
交換器６と温調水ジャケット７には配管５を介して温調
水供給源８が接続され、現像液供給源４と熱交換器６と
の間の配管５には配管５を介してガス抜き手段９が接続
される他、処理室３には、配管５を介して洗浄液供給源
１０に接続する洗浄ノズル１１が配設され、また、処理
室３に排液用配管５が接続されている。このように、現
像処理装置のみにおいても多くの配管５が施され、各配
管５の接続部にはねじ結合式の配管用継手２０が用いら
れている。なお、図８において、符号１２は排気口で、
排気管１３を介してブロワー１４に接続されている。

【０００３】ところで、上記半導体ウエハの製造工程に
おいては処理液として種々の薬液が使用される関係上、
配管５及び配管用継手２０には耐薬品性を有する塩化ビ
ニル等の合成樹脂製部品が使用されている。また、これ
ら配管５の接続は全て手作業によって継手２０を締結す
ることによって行われている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、手作業
によって配管５を接続する場合、継手２０の締付開始時
の位置合せが困難であることから、たとえ締付回転数の
規定値を定めたとしても正確な締付回転数にてねじ結合
を行うためには細心の注意が必要となる。例えば、作業
者の個人差によって締付開始時の位置に原理上は最大で
約１回転の範囲内でフィッティング毎にばらつきが生じ
得る結果、締結回転数に不足が生じ、接続が不十分とな
る場合があり、そのため処理液等が漏れるという問題が
あった。

【０００５】特に剛性の低い合成樹脂製継手２０におい
ては、低剛性による継手の変形に伴い、締付開始時の位
置のばらつきが増幅されて生じる傾向が著しく、また締
結状態が不十分であると緩み易く、更に処理液等の漏れ
を招くという問題もあった。

【０００６】この発明は上記事情に鑑みなされたもの
で、簡単に位置合せすることができ、正確かつ強固に締
結できるようにした配管用継手を提供することを目的と
するものである。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、この発明の第１の配管用継手は、互いに連結される
配管の連結形態が雄ねじ部と雌ねじ部によるねじ結合で
ある配管用継手を前提とし、上記雄ねじ部を有する第１
の継手半体と上記雌ねじ部を有する第２の継手半体に締
結開始位置用目印を施すと共に、互いに係合する嵌合部
を形成し、上記第１又は第２の継手半体の少なくとも一
方に規定締結指示表示を施したことを特徴とするもので
ある。

【０００８】また、この発明の第２の配管用継手は、上
記第１の継手を前提とし、第１又は第２の継手半体のう
ちの一方に回転が阻止された状態で係合する緩止め体
を、他方に設けられた規定締結保持用係合部に回転を阻
止すべく係合可能に形成してなることを特徴とするもの
である。

【０００９】この発明において、上記締結開始位置用目
印は第１の継手半体と第２の継手半体の締結開始位置を
目視によって作業者に認識させることができるものであ
れば、その形態は任意のものでよく、例えば三角や丸印
等の目印を施すことができる。

【００１０】上記嵌合部は締結開始位置を抵抗感覚とし
て作業者に認識させるもので、例えば互いに嵌合する凹
凸部を第１の継手半体と第２の継手半体に設ければよ
い。この場合、嵌合部は１つでもよく、あるいは複数設
けてもよい。

【００１１】上記規定締結指示表示は規定の締結を確保
するための指示表示で、第１あるいは第２の継手半体の
締付け回転数として表示でき、例えば回転数を第１又は
第２の継手半体の少なくとも一方に施せばよい。

【００１２】また、上記緩止め体は第１又は第２の継手
半体の一方に回転が阻止された状態で係合し、他方に設
けられた規定締結保持用係合部に回転を阻止すべく係合
するものであれば、継手半体と別体であってもよく、あ
るいは一体的に配設されるものであってもよい。

【００１３】

【作用】上記のように構成されるこの発明の配管用継手
によれば、第１の継手半体の締結開始位置用目印と第２
の継手半体の締結開始位置用目印とを合致させることに
より、作業者は目視によって締結開始位置を容易に合せ
ることができる。また、これら目印を合致させた状態で
嵌合部を係合させることにより、作業者は指の抵抗感覚
によって締結開始位置を確認することができる。そし
て、規定締結指示表示に基いて第１又は第２の継手半体
を規定締結指示に従って回転することにより、正確かつ
強固な締結状態で配管を連結することができる。

【００１４】また、上記のようにして規定締結状態で配
管の連結を行った後、第１又は第２の継手半体の一方に
係合された緩止め体を他方に設けられた規定締結保持用
係合部に係合させることにより、継手半体同士の締結状
態が緩みによって崩れることがないので、規定締結状態
を維持することができる。

【００１５】

【実施例】以下にこの発明の実施例を図面に基いて詳細
に説明する。

【００１６】◎第一実施例 図１はこの発明の配管用継手の第一実施例の分解斜視
図、図２はその要部の分解断面図が示されている。

【００１７】この発明の配管用継手２０は、互いに連結
される第１の配管２１の連結側端部に装着される雄ねじ
部２３を有する第１の継手半体２４（以下に雄ねじ体と
いう）と、第２の配管２２の連結側端部に装着される雌
ねじ部２５を有する第２の継手半体２６（以下に雌ねじ
体という）とで構成されており、これら雄ねじ体２４の
雄ねじ部２３と雌ねじ体２６の雌ねじ部２５とをねじ結
合することによって第１の配管２１と第２の配管２２と
を連結し得るようになっている。なお、雄ねじ体２４と
雌ねじ体２６は例えば塩化ビニルあるいはテフロン（商
品名）等の耐薬品性を有する合成樹脂製部材にて形成さ
れている。

【００１８】この場合、雄ねじ体２４と雌ねじ体２６の
締結開始時に互いに合致させる位置には締結開始位置表
示用の目印２７が施されている。また、雄ねじ体２４の
雄ねじ部２３の最初のねじ山部と雌ねじ体２６の雌ねじ
部２５の最初のねじ山部には互いに係合する嵌合部２８
が設けられている。すなわち、雄ねじ体２４の雄ねじ部
２３の先端のねじ山の最初の部分には、締結開始の位置
合せ用のねじ山切欠２８ａが設けられ、雌ねじ体２６の
雌ねじ部２５の先端側のねじ山の最初の部分には、雄ね
じ体２４の切欠２８ａと係合するねじ山切欠２８ｂが設
けられて、これら切欠２８ａと切欠２８ｂとによって嵌
合部２８が形成されている。したがって、雄ねじ部２３
の切欠２８ａと雌ねじ部２５の切欠２８ｂとが嵌合する
と共に、雄ねじ部２３の最初のねじ山と雌ねじ部２５の
ねじ山とが嵌合することにより、作業者はねじ体を回す
指の抵抗感覚によって締結開始位置の確認ができる。

【００１９】また、雌ねじ体２６の外側面の一部には規
定締結指示表示２９が施されている。この場合、規定締
結指示表示２９として例えば規定回転数の「５」の表示
が施されている。したがって、雄ねじ体２４と雌ねじ体
２６とが締結開始位置に嵌合された状態において、規定
締結指示表示２９に基いて雌ねじ体２６を回転すること
により、雄ねじ体２４と雌ねじ体２６は適正な締結状態
でねじ結合される。

【００２０】なお、雌ねじ体２６の外側面の別の位置に
は増締め用表示３０施されている。この増締め用表示３
０は、雄ねじ体２４と雌ねじ体２６とを締結した後、雄
ねじ体２４と雌ねじ体２６のクリープ特性によって緩み
が生じた場合に再度適正な締結状態にするために増締め
を行うもので、この増締め用表示３０を例えば雄ねじ体
２４の目印２７に合致させることによって適正な締結状
態とすることができる。

【００２１】図３は第一実施例の別の形態の説明図で、
締結位置確認用の嵌合部２８を複数の凹凸部によって形
成した場合である。すなわち、雄ねじ体２４の雄ねじ部
２３の最初のねじ山部分に設けた複数の凹凸嵌合部２８
ｃと、雌ねじ体２６の雌ねじ部２５の最初のねじ山部分
に設けた凹凸嵌合部２８ｄとを互いに係合し得るように
形成した場合である。このように複数の凹凸嵌合部２８
ｃ，２８ｄを設けることによって更に締結開始位置の確
認を正確にすることができる。

【００２２】上記のように構成されるこの発明の配管用
継手を用いて第１の配管２１と第２の配管２２を連結す
るには、まず、配管２２を雌ねじ体２６の中に挿入して
雄ねじ体２４に押し付けた状態にし、雄ねじ体２４の目
印２７と雌ねじ体２６の目印２７を目視によって位置合
せるようにして、雌ねじ体２６の雌ねじ部２５を雄ねじ
体２４の雄ねじ部２３に向って押付けて嵌合部２８（具
体的にはねじ山切欠２８ａと切欠２８ｂ部の係合又は凹
凸嵌合部２８ｃ，２８ｄの係合）を係合させる。このと
き、雌ねじ体２６を締結方向と逆方向に僅かに回転させ
た後、締結方向に回転することにより嵌合部２８を正確
に係合させることができる。次に、規定締結指示表示２
９に従って雌ねじ体２６を規定回転数回転すれば、雄ね
じ体２４と雌ねじ体２６とを適正な状態で締結すること
ができ、第１の配管２１と第２の配管２２とを確実かつ
強固に連結することができる。

【００２３】なお、増締めが必要な場合には、増締め用
表示３０を雄ねじ体２４の目印２７に合致させるように
増締めすればよい。

【００２４】なお、上記第一実施例では規定締結指示表
示２９が雌ねじ体２６に施される場合について説明した
が、雄ねじ体２４の外側面に同様に施してもよく、ある
いは両方に施してもよい。

【００２５】◎第二実施例 図４はこの発明の配管用継手の第二実施例の分解斜視
図、図５はその締結状態の断面図が示されている。

【００２６】第二実施例は雄ねじ体２４と雌ねじ体２６
を規定締結した後、その状態を更に確実に保持できるよ
うにした場合である。すなわち、雄ねじ体２４の雄ねじ
部２３の基部側外面に設けられた円弧状溝３１に緩止め
体３２を回転が阻止される状態で係合させ、この緩止め
体３２に設けた係合片３３を雌ねじ体２６の連結側端部
に設けられた凹溝状の規定締結保持用係合部３４に係合
させることによって、規定締結状態を保持し得るように
した場合である。この場合、緩止め体３２の係合片３３
を折曲可能に形成して、雄ねじ体２４と雌ねじ体２６と
が規定締結状態に締結された後、係合片３３を規定締結
保持用係合部３４に係合させることによって雄ねじ体２
４と雌ねじ体２６の緩み方向の逆回転を阻止することが
できる。なおこの場合、緩止め体３２は雄ねじ体２４と
雌ねじ体２６とを締結した後に円弧状溝３１に係合させ
てもよく、あるいは予め円弧状溝３１に係合させた状態
で、雄ねじ体２４と雌ねじ体２６との締結を行うように
してもよい。

【００２７】図６は第二実施例の別の形態の分解斜視
図、図７はその締結状態の断面図が示されている。図６
及び図７は緩止め体を雄ねじ体２４に一体的に取付た場
合である。すなわち、緩止め体３５を雄ねじ体２４の連
結側端部に開口する案内溝３６内に摺動可能に係合され
る摺動部材にて形成し、この緩止め体３５を雌ねじ体２
６の連結側端部に設けられた凹溝状の規定締結保持用係
合部３４に係合可能にした場合である。

【００２８】上記のように、緩止め体３２を、雄ねじ体
２４に回転が阻止される状態で係合すると共に、雌ねじ
体２６に設けられた規定締結保持用係合部３４に回転を
阻止すべく係合可能に形成したものであれば、その形態
は上記実施例に示したものに限定されることはなく、任
意の形状のものを使用することができる。なお、上記実
施例では緩止め体３２、緩止め体３５が雄ねじ体２４に
係合されて、雌ねじ体２６に設けられた規定締結保持用
係合部３４に係合させるようにした場合について説明し
たが、係合状態を逆にしてもよい。すなわち、雌ねじ体
２６に緩止め体３２あるいは緩止め体３５を係合させ、
雄ねじ体２４に規定締結保持用係合部３４を設けるよう
にしてもよい。

【００２９】なお、第二実施例において、その他の部分
は上記第一実施例と同じであるので、同一部分には同一
符号を付して、その説明は省略する。

【００３０】この発明の継手は、上記のように確実に配
管の連結が可能であるため、半導体製造において、半導
体ウエハやＬＣＤ基板等の各種処理装置、例えばレジス
ト塗布装置、現像装置、ＨＭＤＳ処理装置、加熱装置、
冷却装置、洗浄装置、エッチング装置、ＣＶＤ装置、ア
ッシング装置、乾燥装置等の処理液や処理ガスの供給配
管系に使用することにより、漏れのない安全・確実・安
定した処理が可能となる。

【００３１】

【発明の効果】以上に説明したように、この発明の配管
用継手によれば、上記のように構成されているので、以
下のような効果が得られる。

【００３２】１）請求項１記載の配管用継手によれば、
互いに連結される継手半体に締結開始位置用目印を施す
と共に、互いに係合する嵌合部を形成し、かつ継手半体
の少なくとも一方に規定締結指示表示を施すので、配管
の連結のための位置合せを目視と指の抵抗感覚の双方に
より容易に行うことができ、かつ作業者の個人差に影響
を受けることなく、正確かつ強固に配管の連結を行うこ
とができる。

【００３３】２）請求項２記載の配管用継手によれば、
継手半体のうちの一方に回転が阻止された状態で係合す
る緩止め体を、他方に設けられた規定締結保持用係合部
に回転を阻止すべく係合可能に形成してなるので、規定
締結後に継手半体が緩むのを防止することができ、適正
な締結状態を維持することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の配管用継手の第一実施例を示す分解
斜視図である。

【図２】第一実施例の要部を示す分解断面図である。

【図３】この発明における嵌合部の別の形態を示す説明
図である。

【図４】この発明の配管用継手の第二実施例を示す分解
斜視図である。

【図５】図４に示した継手の締結状態を示す断面図であ
る。

【図６】第二実施例の別の形態を示す分解斜視図であ
る。

【図７】図６に示した継手の締結状態を示す断面図であ
る。

【図８】配管用継手が使用される半導体ウエハの現像処
理装置を示す概略構成図である。

【符号の説明】

２３ 雄ねじ部 ２４ 雄ねじ体（第１の継手半体） ２５ 雌ねじ部 ２６ 雌ねじ体（第２の継手半体） ２７ 締結開始位置表示用目印 ２８ 嵌合部 ２９ 規定締結指示表示 ３１ 円弧状溝 ３２ 緩止め体 ３３ 係合片 ３４ 規定締結保持用係合部 ３５ 摺動部材（緩止め体） ３６ 案内溝

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 馬場本 幸洋 熊本県菊池郡菊陽町津久礼2655番地 東京 エレクトロン九州株式会社内

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 互いに連結される配管の連結形態が雄ね
   じ部と雌ねじ部によるねじ結合である配管用継手におい
   て、 上記雄ねじ部を有する第１の継手半体と上記雌ねじ部を
   有する第２の継手半体に締結開始位置にて互いに係合す
   る嵌合部を形成すると共に、上記締結開始位置を表わす
   目印を施し、 上記第１又は第２の継手半体の少なくとも一方に規定締
   結指示表示を施したことを特徴とする配管用継手。
2. 【請求項２】 請求項１記載の配管用継手において、 第１又は第２の継手半体のうちの一方に回転が阻止され
   た状態で係合する緩止め体を、他方に設けられた規定締
   結保持用係合部に回転を阻止すべく係合可能に形成して
   なることを特徴とする配管用継手。