JPH0569162U - バッファ付クラスタ形薄膜処理装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 クラスタ形薄膜処理装置のカセット交換時間
の短縮と、バッファ付ロードロック機構の簡素化による
コストダウン及び省エネルギー化。 【構成】 ローディング及びアンローディングチャンバ
と、ローディング及びアンローディングバッファ用チャ
ンバを各々１個のチャンバで兼用し、ローディング及び
アンローディング用移載ロボットも１台で兼用できるよ
うな構成のバッファ付ロードロック機構にした。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

この考案は、ＩＣまたは液晶パネル等を製造または検査するための、クラスタ 形薄膜処理装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】

従来のバッファ付クラスタ形薄膜処理装置のロードロック機構は、図２及び図 ３に示すように、トランスファロボット１及びプロセスチャンバ２、ゲートバル ブ３を有するトランスファチャンバ４に、各々ローディングバッファ用カセット リフタ５またはアンローディングバッファ用カセットリフタ６を有するローディ ングバッファチャンバ７及びアンローディングバッファチャンバ８が結合され、 さらに前記各バッファチャンバにローディング用移載ロボット９またはアンロー ディング用移載ロボット１０、ローディング用カセットリフタ１１またはアンロ ーディング用カセットリフタ１２を有するローディングチャンバ１３及びアンロ ーディングチャンバ１４が各々ゲートバルブ３ａ、３ｂを介して結合され、カセ ット１５の出し入れ口には各々ゲートバルブ３ｃ、３ｄが取付けられている。

【０００３】

【考案が解決しようとする課題】

このため、バッファ付ローディング及びアンローディング用ロードロック機構 の構成が、バッファチャンバ２個、ロード・アンロード用チャンバ各１個、排気 系４系統、カセットリフタ４台、移載ロボット２台、ゲートバルブ６個、真空計 ４セット等と複雑になり、装置全体に占めるコスト割合いが高かったと同時に、 電力等のエネルギー消費量も大きかった。また、自走式カセット搬送車１６のロ ボット１７によるカセット交換も、２ポジション４動作と複雑なため、カセット 交換にもかなりの時間を要するという課題があった。

【０００４】

【課題を解決するための手段】

本考案は、前記課題を解決するために、図１に示すようにローディングカセッ トリフタ１９を搭載し、正面にカセット出し入れ用ゲートバルブ３ｅ及びバッフ ァチャンバ２０との結合部にゲートバルブ３ｆを有するローディングチャンバ１ ８と、回転可能なローディングバッファ用カセットリフタ２２、アンローディン グバッファ用カセットリフタ２３と、ローディングカセット２４からローディン グバッファカセット２５間及びアンローディングバッファカセット２６からロー ディングカセット２４へのウエハ２７の移載用ロボット２１を有するバッファチ ャンバ２０でローディング及びバッファ装置を構成した。

【０００５】

【作用】

上記構成によって、１つのバッファチャンバ２０でウエハ２７のローディング ／アンローディングを行う。このようなローディング機構及びバッファ機構を採 用することにより、カセットの出入口を１個所にすることができた。また、チャ ンバ及びカセットリフタ・移載ロボット・ゲートバルブ・排気系・真空計等が兼 用できるため、従来の構成に比べ構成要素の数が大幅に削減された。

【０００６】

【実施例】

次に、本考案の実施例について図１を用いて説明する。なお、従来例と同一の 部材は同一の符号を付した。 図１は、本考案になるバッファ付ロードロック機構を有するクラスタ形薄膜処 理装置と、自走式カセット搬送車の平面図である。

【０００７】 最初にローディングチャンバ１８のゲートバルブ３ｅを開いて、自走式カセッ ト搬送車１６のロボット１７により、自走式カセット搬送車１６からウエハ２７ の入ったカセット２４をローディングチャンバ１８内のカセットリフタ１９に供 給し、ゲートバルブ３ｅを閉じてからゲートバルブ３ｆを開き、ローディングバ ッファ用カセットリフタ２２を回転し、ローディングバッファ用カセット２５を 移載ロボット２１の方に向け、移載ロボット２１でローディングカセット２４内 のウエハ２７をローディングバッファ用カセット２５に移載する。

【０００８】 ローディングバッファ用カセット２５に移載されたウエハ２７は、各ゲートバ ルブ３の開閉とトランスファロボット１により、順次各プロセスチャンバ２に供 給され、各プロセスチャンバ２で処理されてから、トランスファロボット１によ りアンローディングバッファ用カセット２６に移載される。 アンローディングバッファ用カセット２６に移載されたウエハ２７は、アンロ ーディングバッファ用カセットリフタ２３を回転して、アンローディングバッフ ァ用カセット２６を移載ロボット２１の方に向け、ゲートバルブ３ｆを開けて移 載ロボット２１でローディング用カセット２４に移載し、移載を終了したローデ ィングカセット２４は、ゲートバルブ３ｆを閉じ、ゲートバルブ３ｅを開けてロ ボット１７でローディングカセット２４を自走式カセット搬送車１６に収納する 。

【０００９】

【考案の効果】

以上説明したように、カセットの出入口が１個所になったため、自走式カセッ ト搬送車のロボットによるカセット交換が、１個所で１個のカセット交換で済み 、カセット交換時間が従来の半分で行えるようになった。また、従来のバッファ 付ロードロック機構に比べ、構成要素が約半数になったため、バッファ付ロード ロック機構の製造コストが半減した。さらに、電力等の消費量も半減し、ランニ ングコストが低減した。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案になるバッファ付ロードロック機構を有
するクラスタ形薄膜処理装置と、自走式カセット搬送の
関係を示す平面図である。

【図２】ローディング及びアンローディングバッファ用
カセットリフタの回転しない従来のバッファ付ロードロ
ック機構を有するクラスタ形薄膜処理装置と、自走式カ
セット搬送車の関係を示す平面図である。

【図３】ローディング及びアンローディングバッファ用
カセットリフタが回転する従来のバッファ付ロードロッ
ク機構を有するクラスタ形薄膜処理装置と、自走式カセ
ット搬送車の関係を示す平面図である。

【符号の説明】

１ トランスファロボット ２ プロセスチャンバ ３ ゲートバルブ ３ａ〜３ｆ ゲートバルブ ４ トランスファチャンバ ５ ローディングバッファ用カセットリフタ ６ アンローディングバッファ用カセットリフタ ７ ローディングバッファチャンバ ８ アンローディングバッファチャンバ ９ ローディング用移載ロボット １０ アンローディング用移載ロボット １１ ローディング用カセットリフタ １２ アンローディング用カセットリフタ １３ ローディングチャンバ １４ アンローディングチャンバ １５ カセット １６ 自走式カセット搬送車 １７ ロボット １８ ローディングチャンバ １９ カセットリフタ ２０ バッファチャンバ ２１ 移載ロボット ２２ ローディングバッファ用カセットリフタ ２３ アンローディングバッファ用カセットリフタ ２４ ローディングカセット ２５ ローディングバッファ用カセット ２６ アンローディングバッファ用カセット ２７ ウエハ ２８ スルーザウォール

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 バッファ付クラスタ形薄膜処理装置のロ
   ードロック機構において、前記装置の各プロセスチャン
   バで処理される加工物を収納したカセットを載置するた
   めの、回転可能なローディング／アンローディングバッ
   ファ用カセットリフタ各１台と、前記カセットリフタの
   中間に、ローディング／アンローディングバッファ用カ
   セットとローディングカセット間のウエハ移載用ロボッ
   ト１台を有するバッファチャンバと、ローディング用カ
   セットリフタ１台を有するローディングチャンバで構成
   されたロードロック機構を有することを特徴とするバッ
   ファ付クラスタ形薄膜処理装置。