JPH0566975U - リードフレーム供給装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 短時間かつ確実に品種交換に対応できるリー
ドフレーム供給装置を提供すること。 【構成】 複数枚のリードフレーム１１が収納されるス
トッカ１２と、ストッカ１２内の最上位に位置するリー
ドフレーム１１を吸引保持してリードフレーム供給先へ
と移送するローダ装置１４とを有してなるリードフレー
ム供給装置１０において、ローダ装置１４は、ローダ本
体２１と、吸引孔を備える品種別吸引部２２と、品種別
吸引部２２が備える吸引孔２４にローダ本体２１を介し
て真空圧を供給する真空圧供給配管２３とから構成さ
れ、品種別吸引部２２は、着脱手段を介してローダ本体
２１に対し交換自在に着脱可能とされてなるものであ
る。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、半導体装置製造工程において、半導体ペレットをリードフレームの 所定位置にマウントするペレットマウンタのリードフレーム供給先に、リードフ レームを供給する、リードフレーム供給装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】

リードフレーム供給装置は、特開昭53-68973号公報に記載の如く、複数枚のリ ードフレームが収納されるストッカと、ストッカ内の最上位に位置するリードフ レームを吸引保持してリードフレーム供給先へと移送するローダ装置とを有して 構成されている。

【０００３】 そして、ローダ装置は、真空圧供給配管を一体化され、該真空圧供給配管が供 給する真空圧を吸引孔に挿着してある吸着パッドに及ぼし、この吸着パッドにて リードフレームを吸引保持することとしている。

【０００４】

【考案が解決しようとする課題】

然るに、半導体装置製造工程では、半導体装置の品種毎に、異なるサイズ、異 なる切欠パターンのリードフレームを供給する必要がある。そして、リードフレ ーム供給装置は、各品種のリードフレームのサイズ、切欠パターンに対応する位 置に、吸着パッドを備えたローダ装置を用いることが必要となる。

【０００５】 このため、従来技術では、新品種のリードフレームのサイズ、切欠パターンに 対応する位置に吸着パッドを備えたローダ装置を、品種交換毎に、真空圧供給配 管とともに取替える必要がある。このことは、真空圧供給配管の着脱作業を伴い 、品種交換時間を長時間にするという不都合がある。

【０００６】 本考案は、短時間かつ確実に品種交換に対応できるリードフレーム供給装置を 提供することを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】

請求項１に記載の本考案は、複数枚のリードフレームが収納されるストッカと 、ストッカ内の最上位に位置するリードフレームを吸引保持してリードフレーム 供給先へと移送するローダ装置とを有してなるリードフレーム供給装置において 、ローダ装置は、ローダ本体と、吸引孔を備える品種別吸引部と、品種別吸引部 が備える吸引孔にローダ本体を介して真空圧を供給する真空圧供給装置とから構 成され、品種別吸引部は、着脱手段を介してローダ本体に対し交換自在に着脱可 能とされてなるようにしたものである。

【０００８】 請求項２に記載の本考案は、請求項１に記載の本考案において更に、前記着脱 手段は、ローダ本体と品種別吸引部の一方に設けたマグネットと、他方に設けた 磁性体とから構成されてなるようにしたものである。

【０００９】

【作用】

ローダ装置は、各品種毎に、当該品種のリードフレームのサイズ、切欠パタ ーンに対応する位置に吸引孔を備えた多種類の品種別吸引部を予め用意すること になる。そして、品種交換時には、当該品種に対応する品種別吸引部を着脱手段 を介してローダ本体に着脱することにより、ローダ装置を構築することになる。 このとき、ローダ本体側の真空圧供給装置は、全品種に共通して対応し、交換対 象となるものでない。即ち、品種別吸引部のみを交換することにより、短時間か つ確実に品種交換に対応できる。

【００１０】 着脱手段をマグネットと磁性体とから構成することにより、品種別吸引部を ローダ本体に対してワンタッチで交換できる。

【００１１】

【実施例】

図１は本考案の一実施例を示す分解斜視図、図２はリードフレーム供給装置を 示す模式図である。

【００１２】 リードフレーム供給装置１０は、図２に示す如く、複数枚のリードフレーム１ １が積層状態で収納されるストッカ１２と、ストッカ１２内の最上位に位置する リードフレーム１１を吸引保持してガイドレール１３（リードフレーム供給先） へと移送するローダ装置１４とを有する。

【００１３】 尚、ストッカ１２の底部には、押上げ装置１５が設けられている。押上げ装置 １５は、ローダ装置１４が最上位のリードフレーム１１を移送した後、ストッカ １２内のリードフレーム１１を下から順次押上げる。

【００１４】 また、ローダ装置１４は、不図示の駆動装置により、ストッカ１２上での昇降 移動、ストッカ１２とガイドレール１３との間での水平移動、ガイドレール１３ 上での昇降移動を繰り返し、結果として、上述のリードフレーム１１の移送を繰 り返す。

【００１５】 そして、ガイドレール１３に供給されたリードフレーム１１は、不図示のリー ドフレーム送り装置により次工程のペレットマウント部（不図示）に送られ、ペ レットをマウントせしめられる。

【００１６】 然るに、ローダ装置１４は、図１に示す如く、ローダ本体２１と、品種別吸引 部２２と、真空圧供給配管２３とから構成される。

【００１７】 品種別吸引部２２は、半導体装置の品種毎に用意されており、当該品種のリー ドフレーム１１のサイズ、切欠パターンに対応する位置に吸引孔２４を備え、こ の吸引孔２４に吸着パッド２５を挿着される。

【００１８】 真空圧供給配管２３は、ローダ本体２１に接続されており、品種別吸引部２２ が備える吸引孔２４にローダ本体２１を介して真空圧を供給する。

【００１９】 このとき、品種別吸引部２２は、着脱手段を介してローダ本体２１に対し交換 自在に着脱可能とされる。着脱手段は、ローダ本体２１に設けたマグネット２６ と、品種別吸引部２２に設けた磁性体２７とから構成される。

【００２０】 尚、ローダ装置１４において、ローダ本体２１に接続されている真空圧供給配 管２３は、品種別吸引部２２に設けられている分配室２８を介して、各吸引孔２ ４に連通するようになっている。

【００２１】 また、ローダ装置１４において、ローダ本体２１の品種別吸引部２２と合致せ しめられる合面の互いに離隔する２位置には位置決めピン３１が突設されている 。そして、位置決めピン３１は品種別吸引部２２に設けた位置決め孔３２に嵌合 し、ローダ本体２１と品種別吸引部２２とを合体位置決めするようになっている 。

【００２２】 また、ローダ装置１４において、ローダ本体２１の品種別吸引部２２と合致せ しめられる合面には、真空圧のリークを防止するためのパッキン３３が貼着され ている。

【００２３】 即ち、ローダ装置１４にあっては、ローダ本体２１、真空圧供給配管２３を半 導体装置の全品種に対する共通部品とし、品種別吸引部２２を品種毎に対応する 交換部品としている。吸着パッド２５は、各品種別吸引部２２毎に固定化しても 良いが、各品種別吸引部２２の吸引孔２４にその都度着脱して使用する共通部品 としても良い。

【００２４】 次に、本実施例の作用について説明する。 ローダ装置１４は、各品種毎に、当該品種のリードフレーム１１のサイズ、 切欠パターンに対応する位置に吸引孔２４を備えた多種類の品種別吸引部２２を 予め用意することになる。そして、品種交換時には、当該品種に対応する品種別 吸引部２２を着脱手段を介してローダ本体２１に着脱することにより、ローダ装 置１４を構築することになる。このとき、ローダ本体側２１の真空圧供給配管２ ３は、全品種に共通して対応し、交換対象となるものでない。即ち、品種別吸引 部２２のみを交換することにより、短時間かつ確実に品種交換に対応できる。

【００２５】 着脱手段をマグネット２６と磁性体２７とから構成することにより、品種別 吸引部２２をローダ本体２１に対してワンタッチで交換できる。

【００２６】

【考案の効果】

以上のように本考案によれば、短時間かつ確実に品種交換に対応できるリード フレーム供給装置を得ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は本考案の一実施例を示す分解斜視図であ
る。

【図２】図２はリードフレーム供給装置を示す模式図で
ある。

【符号の説明】

１０ リードフレーム供給装置 １１ リードフレーム １２ ストッカ １３ ガイドレール（リードフレーム供給先） １４ ローダ装置 ２１ ローダ本体 ２２ 品種別吸引部 ２３ 真空圧供給配管（真空圧供給装置） ２４ 吸引孔 ２６ マグネット ２７ 磁性体

Claims (2)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 複数枚のリードフレームが収納されるス
   トッカと、ストッカ内の最上位に位置するリードフレー
   ムを吸引保持してリードフレーム供給先へと移送するロ
   ーダ装置とを有してなるリードフレーム供給装置におい
   て、ローダ装置は、ローダ本体と、吸引孔を備える品種
   別吸引部と、品種別吸引部が備える吸引孔にローダ本体
   を介して真空圧を供給する真空圧供給装置とから構成さ
   れ、品種別吸引部は、着脱手段を介してローダ本体に対
   し交換自在に着脱可能とされてなることを特徴とするリ
   ードフレーム供給装置。
2. 【請求項２】 前記着脱手段は、ローダ本体と品種別吸
   引部の一方に設けたマグネットと、他方に設けた磁性体
   とから構成されてなる請求項１記載のリードフレーム供
   給装置。