JP2564039Y2 - リードフレーム供給装置 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本考案は、半導体装置製造工程に
おいて、半導体ペレットをリードフレームの所定位置に
マウントするペレットマウンタのリードフレーム供給先
に、リードフレームを供給する、リードフレーム供給装
置に関する。

【０００２】

【従来の技術】リードフレーム供給装置は、特開昭53-6
8973号公報に記載の如く、複数枚のリードフレームが収
納されるストッカと、ストッカ内の最上位に位置するリ
ードフレームを吸引保持してリードフレーム供給先へと
移送するローダ装置とを有して構成されている。

【０００３】そして、ローダ装置は、真空圧供給配管を
一体化され、該真空圧供給配管が供給する真空圧を吸引
孔に挿着してある吸着パッドに及ぼし、この吸着パッド
にてリードフレームを吸引保持することとしている。

【０００４】

【考案が解決しようとする課題】然るに、半導体装置製
造工程では、半導体装置の品種毎に、異なるサイズ、異
なる切欠パターンのリードフレームを供給する必要があ
る。そして、リードフレーム供給装置は、各品種のリー
ドフレームのサイズ、切欠パターンに対応する位置に、
吸着パッドを備えたローダ装置を用いることが必要とな
る。

【０００５】このため、従来技術では、新品種のリード
フレームのサイズ、切欠パターンに対応する位置に吸着
パッドを備えたローダ装置を、品種交換毎に、真空圧供
給配管とともに取替える必要がある。このことは、真空
圧供給配管の着脱作業を伴い、品種交換時間を長時間に
するという不都合がある。

【０００６】本考案は、短時間かつ確実に品種交換に対
応できるリードフレーム供給装置を提供することを目的
とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】請求項１に記載の本考案
は、複数枚のリードフレームが収納されるストッカと、
ストッカ内の最上位に位置するリードフレームを吸引保
持してリードフレーム供給先へと移送するローダ装置と
を有してなるリードフレーム供給装置において、ローダ
装置は、ローダ本体と、吸引孔を備える品種別吸引部
と、品種別吸引部が備える吸引孔にローダ本体を介して
真空圧を供給する真空圧供給装置とから構成され、品種
別吸引部は、着脱手段を介してローダ本体に対し交換自
在に着脱可能とされてなるようにしたものである。

【０００８】請求項２に記載の本考案は、請求項１に記
載の本考案において更に、前記着脱手段は、ローダ本体
と品種別吸引部の一方に設けたマグネットと、他方に設
けた磁性体とから構成されてなるようにしたものであ
る。

【０００９】

【作用】ローダ装置は、各品種毎に、当該品種のリー
ドフレームのサイズ、切欠パターンに対応する位置に吸
引孔を備えた多種類の品種別吸引部を予め用意すること
になる。そして、品種交換時には、当該品種に対応する
品種別吸引部を着脱手段を介してローダ本体に着脱する
ことにより、ローダ装置を構築することになる。このと
き、ローダ本体側の真空圧供給装置は、全品種に共通し
て対応し、交換対象となるものでない。即ち、品種別吸
引部のみを交換することにより、短時間かつ確実に品種
交換に対応できる。

【００１０】着脱手段をマグネットと磁性体とから構
成することにより、品種別吸引部をローダ本体に対して
ワンタッチで交換できる。

【００１１】

【実施例】図１は本考案の一実施例を示す分解斜視図、
図２はリードフレーム供給装置を示す模式図である。

【００１２】リードフレーム供給装置１０は、図２に示
す如く、複数枚のリードフレーム１１が積層状態で収納
されるストッカ１２と、ストッカ１２内の最上位に位置
するリードフレーム１１を吸引保持してガイドレール１
３（リードフレーム供給先）へと移送するローダ装置１
４とを有する。

【００１３】尚、ストッカ１２の底部には、押上げ装置
１５が設けられている。押上げ装置１５は、ローダ装置
１４が最上位のリードフレーム１１を移送した後、スト
ッカ１２内のリードフレーム１１を下から順次押上げ
る。

【００１４】また、ローダ装置１４は、不図示の駆動装
置により、ストッカ１２上での昇降移動、ストッカ１２
とガイドレール１３との間での水平移動、ガイドレール
１３上での昇降移動を繰り返し、結果として、上述のリ
ードフレーム１１の移送を繰り返す。

【００１５】そして、ガイドレール１３に供給されたリ
ードフレーム１１は、不図示のリードフレーム送り装置
により次工程のペレットマウント部（不図示）に送ら
れ、ペレットをマウントせしめられる。

【００１６】然るに、ローダ装置１４は、図１に示す如
く、ローダ本体２１と、品種別吸引部２２と、真空圧供
給配管２３とから構成される。

【００１７】品種別吸引部２２は、半導体装置の品種毎
に用意されており、当該品種のリードフレーム１１のサ
イズ、切欠パターンに対応する位置に吸引孔２４を備
え、この吸引孔２４に吸着パッド２５を挿着される。

【００１８】真空圧供給配管２３は、ローダ本体２１に
接続されており、品種別吸引部２２が備える吸引孔２４
にローダ本体２１を介して真空圧を供給する。

【００１９】このとき、品種別吸引部２２は、着脱手段
を介してローダ本体２１に対し交換自在に着脱可能とさ
れる。着脱手段は、ローダ本体２１に設けたマグネット
２６と、品種別吸引部２２に設けた磁性体２７とから構
成される。

【００２０】尚、ローダ装置１４において、ローダ本体
２１に接続されている真空圧供給配管２３は、品種別吸
引部２２に設けられている分配室２８を介して、各吸引
孔２４に連通するようになっている。

【００２１】また、ローダ装置１４において、ローダ本
体２１の品種別吸引部２２と合致せしめられる合面の互
いに離隔する２位置には位置決めピン３１が突設されて
いる。そして、位置決めピン３１は品種別吸引部２２に
設けた位置決め孔３２に嵌合し、ローダ本体２１と品種
別吸引部２２とを合体位置決めするようになっている。

【００２２】また、ローダ装置１４において、ローダ本
体２１の品種別吸引部２２と合致せしめられる合面に
は、真空圧のリークを防止するためのパッキン３３が貼
着されている。

【００２３】即ち、ローダ装置１４にあっては、ローダ
本体２１、真空圧供給配管２３を半導体装置の全品種に
対する共通部品とし、品種別吸引部２２を品種毎に対応
する交換部品としている。吸着パッド２５は、各品種別
吸引部２２毎に固定化しても良いが、各品種別吸引部２
２の吸引孔２４にその都度着脱して使用する共通部品と
しても良い。

【００２４】次に、本実施例の作用について説明する。 ローダ装置１４は、各品種毎に、当該品種のリードフ
レーム１１のサイズ、切欠パターンに対応する位置に吸
引孔２４を備えた多種類の品種別吸引部２２を予め用意
することになる。そして、品種交換時には、当該品種に
対応する品種別吸引部２２を着脱手段を介してローダ本
体２１に着脱することにより、ローダ装置１４を構築す
ることになる。このとき、ローダ本体側２１の真空圧供
給配管２３は、全品種に共通して対応し、交換対象とな
るものでない。即ち、品種別吸引部２２のみを交換する
ことにより、短時間かつ確実に品種交換に対応できる。

【００２５】着脱手段をマグネット２６と磁性体２７
とから構成することにより、品種別吸引部２２をローダ
本体２１に対してワンタッチで交換できる。

【００２６】

【考案の効果】以上のように本考案によれば、短時間か
つ確実に品種交換に対応できるリードフレーム供給装置
を得ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は本考案の一実施例を示す分解斜視図であ
る。

【図２】図２はリードフレーム供給装置を示す模式図で
ある。

【符号の説明】

１０ リードフレーム供給装置 １１ リードフレーム １２ ストッカ １３ ガイドレール（リードフレーム供給先） １４ ローダ装置 ２１ ローダ本体 ２２ 品種別吸引部 ２３ 真空圧供給配管（真空圧供給装置） ２４ 吸引孔 ２６ マグネット ２７ 磁性体

Claims (2)

(57)【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 複数枚のリードフレームが収納されるス
   トッカと、ストッカ内の最上位に位置するリードフレー
   ムを吸引保持してリードフレーム供給先へと移送するロ
   ーダ装置とを有してなるリードフレーム供給装置におい
   て、ローダ装置は、ローダ本体と、吸引孔を備える品種
   別吸引部と、品種別吸引部が備える吸引孔にローダ本体
   を介して真空圧を供給する真空圧供給装置とから構成さ
   れ、品種別吸引部は、着脱手段を介してローダ本体に対
   し交換自在に着脱可能とされてなることを特徴とするリ
   ードフレーム供給装置。
2. 【請求項２】 前記着脱手段は、ローダ本体と品種別吸
   引部の一方に設けたマグネットと、他方に設けた磁性体
   とから構成されてなる請求項１記載のリードフレーム供
   給装置。