JPH056327B2 - - Google Patents
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- JPH056327B2 JPH056327B2 JP6284282A JP6284282A JPH056327B2 JP H056327 B2 JPH056327 B2 JP H056327B2 JP 6284282 A JP6284282 A JP 6284282A JP 6284282 A JP6284282 A JP 6284282A JP H056327 B2 JPH056327 B2 JP H056327B2
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/84—Processes or apparatus specially adapted for manufacturing record carriers
- G11B5/85—Coating a support with a magnetic layer by vapour deposition
Landscapes
- Compositions Of Macromolecular Compounds (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Magnetic Record Carriers (AREA)
- Thin Magnetic Films (AREA)
Description
本発明は磁気記録媒体、特に鉄Feを主成分と
する強磁性金属薄膜を有して成る磁気記録媒体に
係わる。 強磁性金属薄膜を磁性層とする、いわゆる金属
薄膜型の磁気記録媒体は、磁性粉を結合剤に分散
した磁性塗料を非磁性支持体上に塗布する、いわ
ゆる塗布型の磁気記録媒体に比して、高い残留磁
束密度Br、高い抗磁力Hcが得られ、短波長記
録、したがつて高密度記録を行うことができるこ
とから、脚光を浴びるに至つている。 ところが、この種金属薄膜型の磁気記録媒体
は、金属自体が、磁気ヘツド、案内ドラム、案内
ローラ等に直接摺接するために、この金属性薄膜
が傷つき易く、耐久性に劣るという欠点がある。 この金属薄膜型の磁気記録媒体において、上述
した耐久性の問題を解決すべく種々の工夫がなさ
れている。例えば金属磁性薄膜の表面を少しく酸
化させたり、表面に高分子被膜を形成するなどの
構造が提案されている。しかし、これらの構造で
は、スペーシングロスを増加させたり、磁性金属
自体が持つ特性、すなわち、例えば残留磁束密度
Brを低下させてしまうなど、金属薄膜型磁気記
録媒体の本来の特徴を低下させてしまうというも
のであつた。 本発明は、この種、金属薄膜型の磁気記録媒体
において、その本来の特徴、すなわち、すぐれた
磁気的特性を保ちつつ、走行性、耐久性等の機械
的特性の向上をはかるものである。 すなわち、本発明においては、鉄Feを、所定
の条件下で蒸着すると、その蒸着膜にFe8N相
（α″−Fe8N）が生じてくること、そして、この
Fe8N相は、体心立方格子構造の変形（b.c.t.）
で、Fe相と、Fe4N相との間に位置する準安定相
で、このFe8N相はFe相の約30％増の飽和磁化
Msを有し、且つこれが窒化物であるが故に硬度
が高く、摩擦係数が小さく、これがため、走行性
及び耐摩耗性にすぐれているものであることを究
明し、この究明に基いて、磁気的特性及び機械的
特性にすぐれた磁気記録媒体を構成するものであ
る。 表１に、上述の各相における、室温での飽和磁
化Msを示す。
する強磁性金属薄膜を有して成る磁気記録媒体に
係わる。 強磁性金属薄膜を磁性層とする、いわゆる金属
薄膜型の磁気記録媒体は、磁性粉を結合剤に分散
した磁性塗料を非磁性支持体上に塗布する、いわ
ゆる塗布型の磁気記録媒体に比して、高い残留磁
束密度Br、高い抗磁力Hcが得られ、短波長記
録、したがつて高密度記録を行うことができるこ
とから、脚光を浴びるに至つている。 ところが、この種金属薄膜型の磁気記録媒体
は、金属自体が、磁気ヘツド、案内ドラム、案内
ローラ等に直接摺接するために、この金属性薄膜
が傷つき易く、耐久性に劣るという欠点がある。 この金属薄膜型の磁気記録媒体において、上述
した耐久性の問題を解決すべく種々の工夫がなさ
れている。例えば金属磁性薄膜の表面を少しく酸
化させたり、表面に高分子被膜を形成するなどの
構造が提案されている。しかし、これらの構造で
は、スペーシングロスを増加させたり、磁性金属
自体が持つ特性、すなわち、例えば残留磁束密度
Brを低下させてしまうなど、金属薄膜型磁気記
録媒体の本来の特徴を低下させてしまうというも
のであつた。 本発明は、この種、金属薄膜型の磁気記録媒体
において、その本来の特徴、すなわち、すぐれた
磁気的特性を保ちつつ、走行性、耐久性等の機械
的特性の向上をはかるものである。 すなわち、本発明においては、鉄Feを、所定
の条件下で蒸着すると、その蒸着膜にFe8N相
（α″−Fe8N）が生じてくること、そして、この
Fe8N相は、体心立方格子構造の変形（b.c.t.）
で、Fe相と、Fe4N相との間に位置する準安定相
で、このFe8N相はFe相の約30％増の飽和磁化
Msを有し、且つこれが窒化物であるが故に硬度
が高く、摩擦係数が小さく、これがため、走行性
及び耐摩耗性にすぐれているものであることを究
明し、この究明に基いて、磁気的特性及び機械的
特性にすぐれた磁気記録媒体を構成するものであ
る。 表１に、上述の各相における、室温での飽和磁
化Msを示す。
【表】
このようにFe8Nは、すぐれた磁気的特性を示
すが上述したように、このFe8Nは、準安定相で
あるために、これを生成するとは困難であつた。 本発明においては非磁性支持体上に、特別の条
件下、すなわち、鉄Feを主体とする金属を、特
に５×10-2〜10-4トルの比較的低い真空中で、蒸
着して非磁性支持体上に、Fe8N相を有する強磁
性金属薄膜を形成する。この場合、Fe8Nは、磁
性金属薄膜の全体に亘つて存在させるに限られる
ものではなく、強磁性金属薄膜の表面部分に存在
させれば良いものであり、このFe8Nは、この金
属薄膜の全体積の20％以上とする。このように、
Fe8Nを20％以上とするのは、このFe8Nの存在に
よつて磁気的及び機械的特性の変化が顕著に生じ
てくるのが、20％以上の範囲であることを認めた
ことによる。 また、上述した蒸着は、強磁性金属薄膜に高い
抗磁力を得るべく、いわゆる斜め蒸着による。 尚、上述したように、Feを含む金属を、５×
10-2〜10-4トルで蒸着すると、これが空気を含む
雰囲気であつても、或いはN2ガスであつても、
生成された蒸着膜にFe8Nが生じてくる。 実施例 １ ポリエチレタンテレフタレートフイルムより成
る非磁性支持体上に、10-4トルの真空度でFeを、
非磁性支持体の被蒸着面に対して60゜の入射角を
もつて斜めに蒸着して磁性金属薄膜を形成して磁
気記録媒体を得た。 実施例 ２ 実施例１と同様の方法によつて磁気記録媒体を
得るも、その蒸着に際しての真空度を５×10-3ト
ルに変更した。 実施例 ３ 実施例１と同様の方法によつて磁気記録媒体を
得るも、その蒸着に際しての真空度を２×10-3ト
ルに変更した。 実施例 ４ 実施例１と同様の方法によつて磁気記録媒体を
得るも、その蒸着に際しての真空度を５×10-2ト
ルに変更した。 実施例 ５ 実施例１と同様の方法によつて磁気記録媒体を
得るも、その蒸着に際しての真空度と、被蒸着面
への入射角を夫々５×10-3トルと、20゜とに変更
した。 実施例 ６ 実施例１と同様の方法によつて磁気記録媒体を
得るも、その蒸着に際しての真空度と、被蒸着面
への入射角を夫々５×10-3トルと、40゜とに変更
した。 実施例 ７ 実施例１と同様の方法によつて磁気記録媒体を
得るも、その蒸着に際しての真空度と、被蒸着面
への入射角を夫々５×10-3トルと、80゜とに変更
した。 更に、本発明との特性を比較するための比較例
を数例あげる。 比較例 １ ポリエチレンテレフタレートフイルムより成る
非磁性支持体上に、10-5トルの真空度でコバルト
Coを、非磁性支持体の被蒸着面に対して60゜の入
射角をもつて斜めに蒸着して磁性金属薄膜を形成
して磁気記録媒体を得た。 比較例 ２ 比較例１と同様の方法によつて磁気記録媒体を
得るも、その蒸着金属薄膜の表面を酸化した。 比較例 ３ 比較例１と同様の方法によつて磁気記録媒体を
得るも、その蒸着金属薄膜の表面に高分子被膜を
形成した。 比較例 ４ 実施例１と同様の方法によつて磁気記録媒体を
得るも、その蒸着に際しての真空度を通常の高真
空度10-5トルとした。 上述した各比較例１〜４の各磁気記録媒体と、
本発明の実施例１〜７の各磁気記録媒体の磁気的
特性、すなわち残留磁束密度Br（ガウス）、抗磁
力Hcと、再生出力と耐久性との各測定結果を図
面中の表図に示す。この場合、その再生出力は、
記録磁気ヘツドとしてセンダストコアヘツドを用
いて波長の1.0μｍ信号を記録し、再生磁気ヘツド
としてフエライトコアヘツドを用いて比較例１に
おける出力を基準としたものである。また耐久性
については、ビデオテープレコーダにおいて30回
の走行をなした後における傷の存在を観察したも
ので、×印は傷が存在した場合、〇印は傷の存在
が認められなかつた場合、△印は傷の存在が殆ん
ど認められなかつた場合である。 尚、ここにFe、Fe4N、Fe8Nは電子線回折と
飽和磁化の温度変化によつてこれの存在を特定し
た。 この測定結果から明らかなように、本発明によ
る磁気記録媒体は、各比較例、すなわち従来の金
属薄膜型磁気記録媒体に比し、機械的特性はもと
より、磁気的にもすぐれた特性を有するものであ
り、しかもその製造においても従来の蒸着法によ
る手間と何ら変るところがないばかりか、むしろ
高い真空度を必要としないことから、作業性の向
上、装置の簡易化がはかられ、その工業的に利す
るところも大である。 ちなみに、Fe8N相が強磁性金属薄膜の全体積
の20％未満の例えば18％である磁気記録媒体につ
いて、比較例５及び６を例示する。 比較例 ５ この例では強磁性金属薄膜のFeが60％、Fe4N
が22％、Fe8Nが18％の場合で、このとき残留磁
束密度Brは13500ガウス、抗磁力Hcは600エルス
テツド、比較例１における出力を基準とした出力
は−dB、耐久性は上述の各例と同様の測定を行
つた結果傷の存在が認められ、耐久性に劣ること
が確かめられた。 比較例 ６ この例では強磁性金属薄膜のFeが60％、Fe4N
が０％、Fe4Nが18％の場合で、このとき残留磁
束密度Brは13200ガウス、抗磁力Hcは600エルス
テツド、比較例１における出力を基準とした出力
は−1.5dB、耐久性は上述の各例と同様の測定を
行つた結果傷の存在が認められ、耐久性に劣るこ
とが確かめられた。 更に、Fe8N相を強磁性金属薄膜の全体積の25
％としたときの本発明磁気記録媒体について、実
施例８を例示する。 実施例 ８ この例では強磁性金属薄膜のFeが60％、Fe4N
が０％、Fe8Nが25％の場合で、このとき残留磁
束密度Brは13800ガウス、抗磁力Hcは650エルス
テツド、比較例１における出力を基準とした出力
は＋0.5dB、耐久性は上述の各例と同様の測定を
行つた結果傷の存在がほとんど認められ、耐久性
が向上することが確かめられた。 また、上述の実施例では、蒸着金属がFe単体
である場合についてであるが、Feを主体とする
Co、Niの何れか一方、或いはその双方の合金を
用いる場合に本発明を適用することもできる。
すが上述したように、このFe8Nは、準安定相で
あるために、これを生成するとは困難であつた。 本発明においては非磁性支持体上に、特別の条
件下、すなわち、鉄Feを主体とする金属を、特
に５×10-2〜10-4トルの比較的低い真空中で、蒸
着して非磁性支持体上に、Fe8N相を有する強磁
性金属薄膜を形成する。この場合、Fe8Nは、磁
性金属薄膜の全体に亘つて存在させるに限られる
ものではなく、強磁性金属薄膜の表面部分に存在
させれば良いものであり、このFe8Nは、この金
属薄膜の全体積の20％以上とする。このように、
Fe8Nを20％以上とするのは、このFe8Nの存在に
よつて磁気的及び機械的特性の変化が顕著に生じ
てくるのが、20％以上の範囲であることを認めた
ことによる。 また、上述した蒸着は、強磁性金属薄膜に高い
抗磁力を得るべく、いわゆる斜め蒸着による。 尚、上述したように、Feを含む金属を、５×
10-2〜10-4トルで蒸着すると、これが空気を含む
雰囲気であつても、或いはN2ガスであつても、
生成された蒸着膜にFe8Nが生じてくる。 実施例 １ ポリエチレタンテレフタレートフイルムより成
る非磁性支持体上に、10-4トルの真空度でFeを、
非磁性支持体の被蒸着面に対して60゜の入射角を
もつて斜めに蒸着して磁性金属薄膜を形成して磁
気記録媒体を得た。 実施例 ２ 実施例１と同様の方法によつて磁気記録媒体を
得るも、その蒸着に際しての真空度を５×10-3ト
ルに変更した。 実施例 ３ 実施例１と同様の方法によつて磁気記録媒体を
得るも、その蒸着に際しての真空度を２×10-3ト
ルに変更した。 実施例 ４ 実施例１と同様の方法によつて磁気記録媒体を
得るも、その蒸着に際しての真空度を５×10-2ト
ルに変更した。 実施例 ５ 実施例１と同様の方法によつて磁気記録媒体を
得るも、その蒸着に際しての真空度と、被蒸着面
への入射角を夫々５×10-3トルと、20゜とに変更
した。 実施例 ６ 実施例１と同様の方法によつて磁気記録媒体を
得るも、その蒸着に際しての真空度と、被蒸着面
への入射角を夫々５×10-3トルと、40゜とに変更
した。 実施例 ７ 実施例１と同様の方法によつて磁気記録媒体を
得るも、その蒸着に際しての真空度と、被蒸着面
への入射角を夫々５×10-3トルと、80゜とに変更
した。 更に、本発明との特性を比較するための比較例
を数例あげる。 比較例 １ ポリエチレンテレフタレートフイルムより成る
非磁性支持体上に、10-5トルの真空度でコバルト
Coを、非磁性支持体の被蒸着面に対して60゜の入
射角をもつて斜めに蒸着して磁性金属薄膜を形成
して磁気記録媒体を得た。 比較例 ２ 比較例１と同様の方法によつて磁気記録媒体を
得るも、その蒸着金属薄膜の表面を酸化した。 比較例 ３ 比較例１と同様の方法によつて磁気記録媒体を
得るも、その蒸着金属薄膜の表面に高分子被膜を
形成した。 比較例 ４ 実施例１と同様の方法によつて磁気記録媒体を
得るも、その蒸着に際しての真空度を通常の高真
空度10-5トルとした。 上述した各比較例１〜４の各磁気記録媒体と、
本発明の実施例１〜７の各磁気記録媒体の磁気的
特性、すなわち残留磁束密度Br（ガウス）、抗磁
力Hcと、再生出力と耐久性との各測定結果を図
面中の表図に示す。この場合、その再生出力は、
記録磁気ヘツドとしてセンダストコアヘツドを用
いて波長の1.0μｍ信号を記録し、再生磁気ヘツド
としてフエライトコアヘツドを用いて比較例１に
おける出力を基準としたものである。また耐久性
については、ビデオテープレコーダにおいて30回
の走行をなした後における傷の存在を観察したも
ので、×印は傷が存在した場合、〇印は傷の存在
が認められなかつた場合、△印は傷の存在が殆ん
ど認められなかつた場合である。 尚、ここにFe、Fe4N、Fe8Nは電子線回折と
飽和磁化の温度変化によつてこれの存在を特定し
た。 この測定結果から明らかなように、本発明によ
る磁気記録媒体は、各比較例、すなわち従来の金
属薄膜型磁気記録媒体に比し、機械的特性はもと
より、磁気的にもすぐれた特性を有するものであ
り、しかもその製造においても従来の蒸着法によ
る手間と何ら変るところがないばかりか、むしろ
高い真空度を必要としないことから、作業性の向
上、装置の簡易化がはかられ、その工業的に利す
るところも大である。 ちなみに、Fe8N相が強磁性金属薄膜の全体積
の20％未満の例えば18％である磁気記録媒体につ
いて、比較例５及び６を例示する。 比較例 ５ この例では強磁性金属薄膜のFeが60％、Fe4N
が22％、Fe8Nが18％の場合で、このとき残留磁
束密度Brは13500ガウス、抗磁力Hcは600エルス
テツド、比較例１における出力を基準とした出力
は−dB、耐久性は上述の各例と同様の測定を行
つた結果傷の存在が認められ、耐久性に劣ること
が確かめられた。 比較例 ６ この例では強磁性金属薄膜のFeが60％、Fe4N
が０％、Fe4Nが18％の場合で、このとき残留磁
束密度Brは13200ガウス、抗磁力Hcは600エルス
テツド、比較例１における出力を基準とした出力
は−1.5dB、耐久性は上述の各例と同様の測定を
行つた結果傷の存在が認められ、耐久性に劣るこ
とが確かめられた。 更に、Fe8N相を強磁性金属薄膜の全体積の25
％としたときの本発明磁気記録媒体について、実
施例８を例示する。 実施例 ８ この例では強磁性金属薄膜のFeが60％、Fe4N
が０％、Fe8Nが25％の場合で、このとき残留磁
束密度Brは13800ガウス、抗磁力Hcは650エルス
テツド、比較例１における出力を基準とした出力
は＋0.5dB、耐久性は上述の各例と同様の測定を
行つた結果傷の存在がほとんど認められ、耐久性
が向上することが確かめられた。 また、上述の実施例では、蒸着金属がFe単体
である場合についてであるが、Feを主体とする
Co、Niの何れか一方、或いはその双方の合金を
用いる場合に本発明を適用することもできる。
図は、本発明による各実施例とこれと対比され
る比較例との磁気的及び機械的特性の測定結果を
示す表図である。
る比較例との磁気的及び機械的特性の測定結果を
示す表図である。
Claims (1)
- １ 非磁性支持体上に、Feを主成分とする強磁
性金属薄膜が形成され、該強磁性金属薄膜の全体
積の20％以上がFe8N相によつて構成されること
を特徴とする磁気記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6284282A JPS58180008A (ja) | 1982-04-15 | 1982-04-15 | 磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6284282A JPS58180008A (ja) | 1982-04-15 | 1982-04-15 | 磁気記録媒体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58180008A JPS58180008A (ja) | 1983-10-21 |
| JPH056327B2 true JPH056327B2 (ja) | 1993-01-26 |
Family
ID=13211960
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6284282A Granted JPS58180008A (ja) | 1982-04-15 | 1982-04-15 | 磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58180008A (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0618135B2 (ja) * | 1983-06-10 | 1994-03-09 | 株式会社日立製作所 | 垂直磁気記録媒体 |
| JPS6025012A (ja) * | 1983-07-20 | 1985-02-07 | Konishiroku Photo Ind Co Ltd | 垂直磁気記録用磁気ヘッド |
| JPH0679369B2 (ja) * | 1984-05-08 | 1994-10-05 | 大日本印刷株式会社 | 磁気記録材料およびその製造方法 |
-
1982
- 1982-04-15 JP JP6284282A patent/JPS58180008A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS58180008A (ja) | 1983-10-21 |
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